JPH061221Y2 - 清浄空気吹出ユニット - Google Patents
清浄空気吹出ユニットInfo
- Publication number
- JPH061221Y2 JPH061221Y2 JP1988006009U JP600988U JPH061221Y2 JP H061221 Y2 JPH061221 Y2 JP H061221Y2 JP 1988006009 U JP1988006009 U JP 1988006009U JP 600988 U JP600988 U JP 600988U JP H061221 Y2 JPH061221 Y2 JP H061221Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- blowing unit
- clean air
- clean
- air blowing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は近い将来に必要とされる高清浄度（例えば粒
径0.05μmの粒子が１立方フィートのサンプリング空気
中に１個程度）で、生産機器等に組み込み可能な局所的
に清浄空間を形成するための清浄空気吹出ユニットに関
する。
径0.05μmの粒子が１立方フィートのサンプリング空気
中に１個程度）で、生産機器等に組み込み可能な局所的
に清浄空間を形成するための清浄空気吹出ユニットに関
する。
現在の半導体工場では天井全面にフィルタ付吹出口を設
け、床全面にも吸込口用グレーチングなどを設ける全面
ダウンフロータイプのクリーンルームか、あるいはファ
ンフィルタユニットをライン状に多数設置して成るトン
ネルタイプのクリーンルームが使用されている。
け、床全面にも吸込口用グレーチングなどを設ける全面
ダウンフロータイプのクリーンルームか、あるいはファ
ンフィルタユニットをライン状に多数設置して成るトン
ネルタイプのクリーンルームが使用されている。
両タイプのクリーンルームとも生産機器の設置されてい
るライン上部に清浄空気吹出口が設けられている。全面
ダウンフロータイプのクリーンルームでは人間の通路部
も生産機器の上部と同レベルの清浄空気吹出口が使用さ
れている。又トンネルタイプのクリーンルームでは人間
の通路部は清浄空気吹出口が連続状には設置されておら
ず、清浄度レベルを多少低く設定している（コンベンシ
ョナルクリーンルーム）。
るライン上部に清浄空気吹出口が設けられている。全面
ダウンフロータイプのクリーンルームでは人間の通路部
も生産機器の上部と同レベルの清浄空気吹出口が使用さ
れている。又トンネルタイプのクリーンルームでは人間
の通路部は清浄空気吹出口が連続状には設置されておら
ず、清浄度レベルを多少低く設定している（コンベンシ
ョナルクリーンルーム）。
どちらのタイプのクリーンルームでも大面積の清浄空気
吹出口が使用されているので設備費及び運転管理費が多
大なものとなっていた。
吹出口が使用されているので設備費及び運転管理費が多
大なものとなっていた。
さらに両方のタイプのクリーンルームとも、均一に送風
するためのプレナムチャンバやフィルタを設置するため
のフィルタチャンバ（通常天井にある）、あるいは均一
なダウンフローを形成するために重要なレタンチャンバ
（通常床下にある）に大きな空間を必要とし、結局は大
きな階高が必要となり、クリーンルーム建設の費用を大
きなものとしていた。
するためのプレナムチャンバやフィルタを設置するため
のフィルタチャンバ（通常天井にある）、あるいは均一
なダウンフローを形成するために重要なレタンチャンバ
（通常床下にある）に大きな空間を必要とし、結局は大
きな階高が必要となり、クリーンルーム建設の費用を大
きなものとしていた。
また半導体工場における製品歩留りに影響を与える大き
な要因として作業者の存在がある。作業者は非常に大き
な発塵源であるとともに、塵の搬送者であり、塵の拡散
者でもある。さらに発汗などによりＬＳＩ製造プロセス
上不都合となるナトリウムイオンなどの供給者でもあ
る。このため、半導体工場のクリーンルームでは無人化
が無塵化につながると言われている。
な要因として作業者の存在がある。作業者は非常に大き
な発塵源であるとともに、塵の搬送者であり、塵の拡散
者でもある。さらに発汗などによりＬＳＩ製造プロセス
上不都合となるナトリウムイオンなどの供給者でもあ
る。このため、半導体工場のクリーンルームでは無人化
が無塵化につながると言われている。
このような技術上、経済上の問題点を解決するために
は、生産プロセスのロボット化、必要な（超）清浄空間
の局所化、装置の小型化が必須要件となる。
は、生産プロセスのロボット化、必要な（超）清浄空間
の局所化、装置の小型化が必須要件となる。
この考案は前記の課題を解決するために、上部に取り付
け用のつば部が形成され、上方は開口し、さらに底部に
は多数のパンチング孔が設けられている、箱状体の底面
に支持されるようにメンブランフィルタを箱状体の内側
面に接着して張設し、箱状体の上方開口には圧縮空気導
入部を有する蓋板が固定されていることを特徴とする局
所的に清浄空間を形成するための清浄空気吹出ユニット
を得たものである。
け用のつば部が形成され、上方は開口し、さらに底部に
は多数のパンチング孔が設けられている、箱状体の底面
に支持されるようにメンブランフィルタを箱状体の内側
面に接着して張設し、箱状体の上方開口には圧縮空気導
入部を有する蓋板が固定されていることを特徴とする局
所的に清浄空間を形成するための清浄空気吹出ユニット
を得たものである。
第１図は、この考案の一実施例の構成の説明図、第２図
は第１図のＡ部詳細図であって、符号１０はこの考案の
清浄空気吹出ユニットを示している。
は第１図のＡ部詳細図であって、符号１０はこの考案の
清浄空気吹出ユニットを示している。
この実施例では箱状体を絞り加工で形成し、その際底部
１２には空気の流通が可能なように、打抜き加工等で適
当なパンチング孔を可能なように、打抜き加工等で適当
なパンチング孔を多数設ける。さらに、同時に取り付け
用の長いつば部１１を箱状体１の上部に一体に形成す
る。
１２には空気の流通が可能なように、打抜き加工等で適
当なパンチング孔を可能なように、打抜き加工等で適当
なパンチング孔を多数設ける。さらに、同時に取り付け
用の長いつば部１１を箱状体１の上部に一体に形成す
る。
この箱状体１の底部１２付近内側にメンブランフィルタ
２を張設する。第２図に拡大して示すように、メンブラ
ンフィルタ２の周辺は箱状体１の内側面に接着剤８で十
分固着し、洩れの起こらぬようにする。このようにする
ことによりメンブランフィルタ２は箱状体１に機械的に
支持されることになる。
２を張設する。第２図に拡大して示すように、メンブラ
ンフィルタ２の周辺は箱状体１の内側面に接着剤８で十
分固着し、洩れの起こらぬようにする。このようにする
ことによりメンブランフィルタ２は箱状体１に機械的に
支持されることになる。
一方箱状体１の上方は開口となっていて、その周辺には
長いつば状部１１が形成されている。箱状体の上方には
圧縮空気導入管３を有する蓋板４をシール材又は接着剤
６を介して、ボルト、ナットなどの固定用具５を用いて
固定する。３１は圧縮空気導入管３の開口部である。
（第１図は蓋板４をシール材６を介して箱状体１の上方
に密着させる前の状態を示している。） 取り付け用つば部１１を用いて、適当な方法で生産機
器、天井等任意の個所に（符号７で示す）取り付け、そ
れにより局所的に清浄空気を必要とする場所に清浄空気
吹出ユニットを取り付けることができる。
長いつば状部１１が形成されている。箱状体の上方には
圧縮空気導入管３を有する蓋板４をシール材又は接着剤
６を介して、ボルト、ナットなどの固定用具５を用いて
固定する。３１は圧縮空気導入管３の開口部である。
（第１図は蓋板４をシール材６を介して箱状体１の上方
に密着させる前の状態を示している。） 取り付け用つば部１１を用いて、適当な方法で生産機
器、天井等任意の個所に（符号７で示す）取り付け、そ
れにより局所的に清浄空気を必要とする場所に清浄空気
吹出ユニットを取り付けることができる。
この考案の清浄空気吹出ユニットは、前記の如き構成で
あって、空気の濾過にメンブランフィルタを用いること
により、例えば径0.1μｍのメンブランフィルタを用い
ると、0.1μｍ以上の粒径の粒子は１００％除去するこ
とができるし、0.01μｍや0.05μｍの粒径の粒子も効率
よく除去することができる。
あって、空気の濾過にメンブランフィルタを用いること
により、例えば径0.1μｍのメンブランフィルタを用い
ると、0.1μｍ以上の粒径の粒子は１００％除去するこ
とができるし、0.01μｍや0.05μｍの粒径の粒子も効率
よく除去することができる。
箱状体も断面を円、四角、その他任意の形状に製作する
ことができ、フィルタの支持体が吹出口に兼用されてお
り、装置の小型、軽量化を図ることができ、生産機器な
どに組込んで局所的にクリーンペースを確保するのに最
も適している。
ことができ、フィルタの支持体が吹出口に兼用されてお
り、装置の小型、軽量化を図ることができ、生産機器な
どに組込んで局所的にクリーンペースを確保するのに最
も適している。
さらにこの考案の吹出ユニットは、箱状体、メンブラン
フィルタ、蓋板が一体に固定されてまとまった単体にな
っているので、メンブランフィルタが目詰りをしたとき
には、ユニット全体を取り替えればよいので、作業が簡
便である。
フィルタ、蓋板が一体に固定されてまとまった単体にな
っているので、メンブランフィルタが目詰りをしたとき
には、ユニット全体を取り替えればよいので、作業が簡
便である。
そして、箱状体の内側面にメンブランフィルタを接着さ
せるまでは工場生産であるから、確実に接着させること
ができ漏洩防止が完全である。
せるまでは工場生産であるから、確実に接着させること
ができ漏洩防止が完全である。
このように、この考案の清浄空気吹出ユニットは、将来
の半導体製造ラインの局所クリーンルーム化と超清浄度
の確保が可能となり、設備費と、運転管理費の両方とも
格段に低減することができる。
の半導体製造ラインの局所クリーンルーム化と超清浄度
の確保が可能となり、設備費と、運転管理費の両方とも
格段に低減することができる。
第１図はこの考案の清祥空気吹出ユニットの構成を示す
説明図、第２図は第１図のＡ部の拡大図である。 符号の説明 １…箱状体、 ２…メンブランフイルタ、 ３…圧縮空気導入管、 ４…蓋板、 ５…固定用具、 ６…シール材または接着剤、 ７…取付部、 ８…接着剤。
説明図、第２図は第１図のＡ部の拡大図である。 符号の説明 １…箱状体、 ２…メンブランフイルタ、 ３…圧縮空気導入管、 ４…蓋板、 ５…固定用具、 ６…シール材または接着剤、 ７…取付部、 ８…接着剤。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 上栗 幸一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)考案者 岩宮 正治 東京都中央区京橋２丁目５番12号 東洋熱 工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−252840（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−157320（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−43619（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】局所的に清浄空間を形成するための清浄空
気吹出ユニットにおいて、 上部に取り付け用のつば部が形成され、上方は開口し、
さらに底部には多数のパンチング孔が設けられている、
箱状体の底面に支持されるようにメンブランフィルタを
箱状体の内側面に接着して展張し、 箱状体の上面開口には、圧縮空気導入部を有する蓋板が
固定されていることを特徴とする清浄空気吹出ユニッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006009U JPH061221Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 清浄空気吹出ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006009U JPH061221Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 清浄空気吹出ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110820U JPH01110820U (ja) | 1989-07-26 |
| JPH061221Y2 true JPH061221Y2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=31209878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988006009U Expired - Lifetime JPH061221Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 清浄空気吹出ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061221Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61157320A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Fukuhara Seisakusho:Kk | コンプレツサ−に於ける除菌装置 |
| JPH0244833Y2 (ja) * | 1985-09-05 | 1990-11-28 | ||
| JPS62252840A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-04 | Nitta Kk | 筒状のフィルタ装置利用のクリ−ンル−ム |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1988006009U patent/JPH061221Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01110820U (ja) | 1989-07-26 |
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