JPS62136221A - エアフイルタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はエアフィルタ装置の構造改良に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

半導体工業、電子工業、精密機械工業、病院手術室など
で使用されるクリーンルームには、空気吹出口に清浄空
気を供給するためエアフィルタ装置を装着している。

このエアフィルタ装置はケーシング内に高性能エアフィ
ルタを内蔵し、クリーンルームの天井などに吊り下げら
れている。高性能エアフィルタ（ＨＥＰ＾フィルタ）は
、例えば０．３　μｍのＤＯＰ粒子に対する捕集効率が
９９．９７％以上という性能を有するこの種のエアフィ
ルタ装置は、第４図に示すように、ケーシング（１）に
エアフィルタ（２）を挿入すのものであるため、ケーシ
ング（１）とエアフィルタ（２）の周縁との間には隙間
ができる。この隙間は密閉しておかないとエアフィルタ
（２）上流側の空気がデ材を通過しないでそのまま下流
側に流れることになり、清浄空気が得られない。

従来、この隙間、すなわち第４図に示す溜り部（１５）
のシールはエアフィルタ（２）の上流側で行っていた。

具体的には、例えばケーシング（１）を上下に分割し上
部ケーシング（１７）の下縁を内側に湾曲させてリブ（
１８）を形成し、このリブ、（１８）を、フィルタ枠（
８）上面に周設した溝に封入されたシール材（１２）中
に、押１し込み嵌入することによりシールを行っていた
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このシール構造は、溜り部（１５）上流
側でシールを行い下方は下流側に開放しているため、エ
アフィルタ装置設置時から溜り部（１５）に残留してい
た未浄化の空気がエアフィルタ装置稼動時の振動や動圧
の差により徐々に下流側に漏れ出てくるという不都合が
あった。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、ケーシングとこれに内装されるエアフィル
タからなり、ケーシングとエアフィルタの周縁との間で
形成される空気の溜り部を、エアフィルタの下流側で密
閉シールし、他空間との連通を遮断するものである。

〔作用〕

この発明は、溜り部をエアフィルタの下流側でシールを
行うので、溜り部の未浄化の空気が下流側に流れること
はない。

〔実施例〕 この発明の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図乃至第３図に示すように、この発明にかかるエア
フィルタ装置は、ケーシング（１）、これに内蔵される
エアフィルタ（２）、化粧板（３）から構成されている
。

ケーシング（１）は下方を開放した箱形であって、側面
（１ａ）上部に空気入口（４）を設けると共に下部外面
に棚（５）を突設し、棚（５）下面に適宜間隔で化粧板
取付用の突起（６）を設けている。

エアフィルタ（２）は、蛇腹状のフィルタパック（７）
（５’Ｆ材とスペーサーとの一体物）をフィルタ枠（８
）で支持し、このフィルタ枠（８）の外周を外板（９）
によって覆っている。

化粧板（３）は、角状の枠体であって上面内側に全周に
わたり内外２枚の板を立設して溝部（１０）を形成して
いる。

かかる構成からなるエアフィルタの組立方法について説
明する。

まず、ケーシング（１）を吊りボルト（１１）で梁等に
固定し、化粧板（３）の溝部（１０）シール材を入れる
。

次に、ケーシング（１）にエアフィルタ（２）と化粧板
（３）を取り付けるが、その方法は、あらかじめ化粧板
（３）の溝部（１０）にエアフィルタ（２）を載せシー
ル材（１２）中に押し込んでおいてから、トラビス（１
３）を突起（６）に取り付けることによりこの化粧板（
３）をケーシング（１）に固定するものである。あるい
は、先に化粧板（３）をトラビス留めによりケーシング
（１）に固定しておき、次にエアフィルタ（２）をケー
シング（１）内に挿入し溝部（１０）に設置してもよい
。化粧板（３）は天井（１４）下面に当接し外観を整え
る。

化粧板（３）をトラビス留めすることにより、ケーシン
グ側面（１ａ）下縁は溝部（１０）のシール材（１２）
中に押し込まれる。

このようにして、ケーシング側面（１ａ）下縁と外板（
９）下縁はシール材（１２）によってシールされる。そ
のため、ケーシング（１）とエアフィルタ（２）周縁に
よって形成される隙間である溜り部（１５）は、その下
流側が密閉シールされることになる。また、エアフィル
タ設置時に溜り部（１５）に残留している未浄化の空気
が下流側に流れることを防止できる。

ところで、本実施例では、化粧板（３）に本来の外観を
整える機能のほかに、エアフィルタ（２）を支持する機
能と溜り部（１５）を密閉シールする機能を持たせてい
るので、エアフィルタ装置の構造を非常に簡単にできる
効果がある。しかも、従来、エアフィルタ（２）をケー
シング（１）に支持するため使用していた支持用ボルト
（第４図（１６））を省略できるので、組立時に支持用
ボルト（１６）によってフィルタパック（７）を破損す
ることがなくなった。また、エアフィルタ（２）はボル
ト等によって固定されておらず溝部（１０）に載置され
ているだけであるので、その交換は簡単である。

尚、シール材（１２）は、第２図のような三分割したも
のに限らず、一体物に二条の溝を形成し、この溝にケー
シング側面（１ａ）及び外板（９）を嵌入しこれらをシ
ールするものであってもよく、さらに特に溝を有さない
軟質のシール材であってもよい。

〔発明の効果〕

この発明は、ケーシングとエアフィルタの周縁の間で形
成される空気の溜り部をエアフィルタ下流側で密閉して
いるので、エアフィルタを設置して溜り部に残留してい
る未浄化の空気が稼動時にエアフィルタ下流側に漏洩す
ることがない、従って、クリーンルームの清浄度の低下
を生じることがない。また、エアフィルタ装置のリーク
テストの際、本来のエアフィルタの性能とは関係のない
、エアフィルタ周縁の未浄化空気を吸引サンプリングす
ることがない。従ワて、テスト結果が悪影響を受けるこ
ともなく、正確なリークテストができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明の一実施例であって、第１
図はエアフィルタ装置の組立図、第２図はエアフィルタ
装置の一部の断面図、第３図は要部拡大図である。 第４図は従来のエアフィルタ装置の一部の断面図である
。 （１）・・・ケーシング　　（２）・・・エアフィルタ
（３）・・・化粧板　　　　（９）・・・外板（１０）
・・・溝部　　　　　（１２）・・・シール材（１５）
・・・溜り部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ケーシングとこれに内装されるエアフィルタからな
   り、ケーシングとエアフィルタの周縁との間で形成され
   る空気の溜り部を、エアフィルタの下流側で密閉シール
   し、他空間との連通を遮断することを特徴とするエアフ
   ィルタ装置。