JPS5926119A - フイルタ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、特にクリーンルーム等に用いる高性能フィル
ター取付時の気密性や作業性を考慮したフィルター装置
に関する。

一般に、クリーンルームにおいて天井の空気吹出口に取
付けられる高性能フィルターは、フィルター（フィルタ
ー支持枠）外周囲からの非ρ過空気の漏洩が完全に防止
される気密構造であること、及びフィルターの交換作業
が容易であることの条件が特に要求される。

ところで、従来のこの種のフィルター装置としては、第
１図ｔａ＋の如く、天井１の空気吹出口２の内周門下部
に取付けた取付枠３に、天井１内からパツキン４を介し
てフィルター５を乗せ置き、押え金具６を用いてボルト
７で締結する取付方法があるか、天井１内に作業者が入
り込む空間を必要とするうえ、交換作業性もきわめて悪
かった。

このため、第１図（ｂ）の如く、天井１の空気吹出口２
の内周囲上部に取付けた取付枠３に、クリーンルーム８
内からパツキン４を介してフィルター５を押し当て、押
え金具６を用いてボルト７て締結する取付方法があるが
、フィルター５の位置決めが困難であり、多数本のボル
ト７の均一な締付けが困難で、フィルター５が傾いて押
し当てら第１る場合があり、気密性に欠けるうえ、フィ
ルター（フィルター支持枠）５の外周囲に付着した塵埃
かクリーンルーム８内に落下するので、落下塵埃量が減
少するまで（長時間）清浄度が維持できなか°つた。

一方、パツキン４としては、ゴムシート等の他に、第２
図ｔａ＋の如く、フィルター５の支持枠９の外周囲に形
成されたａｌｏ内に、稠性の高い液状シール材１１（ペ
トロラタムｐｅｔｒｏｌａｔｕｍ　　）を予じめ充填し
て、取付枠３の立下り３ａを嵌合させるものが特公昭５
２−２３１０３号等で提案されているが、現場で支持枠
９を取付けるに際して、取付枠３との位置合わせのため
に、第２図（ｂｌの如く、支持枠９を上下、水平方向に
移動調節する場合が実際には多々あり、このために液状
シール材１１と取付枠３の立下り３ａとの間に隙間がで
きてしまい気密性が極端に低下するという問題があった
。

本発明は、上記従来の諸問題点に鑑みてなされたもので
、基本的には、クリーンルーム側から容易に取付けられ
、フィルターの外周囲に付着した塵埃の影響も全くなく
、気密外も高いフィルター装置を新規に提供するもので
ある。

このため本発明は、フィルターの外周囲を気密に保持す
るとともに゛下流側端部の外周囲に上流側向きのパツキ
ン溝を形成した支持枠と、該支持枠のパツキン溝内に嵌
装され、上流側向きに立上げた略Ｖ字状のひだ内に液状
ソール材を充填したゴムパツキンと、空気吹出口の内周
囲に気密に取付けられる取付枠とを備え、上記支持枠を
下流側から取付枠に締結固定したとき、取付枠でゴムパ
ツキンのひだを押し拡げ得るようにしたことを特徴とす
るものである。

以下、本発明の実施例を添付図面について詳細に説明す
る。

第３図及び第４図（ａｌに示すように、フィルター装置
は、的方体状の高性能フィルター１５の外周囲を気密に
保持する支持枠１６を備え、該支持枠１６の下流側端部
の外周囲には、上流側向きに開口したパツキン溝１７を
形成する。

クリーンルーム１８の天井１９に開設された空気吹出口
２０の内周囲下部には、上記支持枠１６を僅かな隙間【
を隔てて嵌合可能な立上り開口２１を形成した取付枠２
２を溶接等で取付けて、シール材２３で気密にシールす
る。

該取付枠２２の周面上の適所には、袋ナツト２４を溶接
等で取付けてシール材２３で気密にシールすると共に、
該袋ナツト２４のねじ部には、クリーンルーム１８側か
らスペーサー２５１とワッシャー２５ｂを介してナツト
２６によりボルト２７を螺合しておく。

上記支持枠１６のパッキン溝１７内には、上流側向きに
立上げた略Ｖ字状のひだ２８ａ、２８ｂを有するゴムパ
ツキン２８を嵌装する。

該ゴムパツキン２８のひだ２８ａ、２８’ｂｒ…の空間
３と、ひだ２８ｂと支持枠１６との間の空間すとに液状
ソール材２９を予じめ充填する。

該液状ソール材２９は、室温では準固体の稠性の高い流
体であり、ペトロラタム（ｐ　ｅ　ｔ　ｒ　ｏｌａｔｕ
ｍ）の如きものが好適である。

なお、パツキン溝１７の立Ｌす１７ａが高ければゴムパ
ツキン２８のひだ２８ａとの間の空間Ｃにも液状シール
材２９を充填することもてきるが、立上り１７ａが低く
ても、第５図（ａｌのように、ゴムパツキン２８に側ひ
た２８Ｃを設けて、その空間Ｃに液状シール材２９を充
填することができる。

また、第５図（ｂ）のように、ゴムパツキン２８に両ひ
だ２８Ｃ，２８ｄを設けて、その空間す、ｃに液状シー
ル材２９を充填する構成としてもよい。

上記取付枠２２のボルト２７の螺合位置に対応して、支
持枠１６のパッキン溝１７部分に下方から当接する押え
金具３０を設けて、ワッシャ−３１を介してナツト３２
によりボルト２７に螺合する。

上記のようにフィルター装置を構成すれは、現場で空気
吹出口２０に取付枠２２を取付ける。

一方、工場で支持枠１６に高性能フィルター１５を組込
み、パツキン溝１７にゴムパツキン２８を組込み、ひた
２８ａ、２８ｂの空間ａ、ｂに液状シール材２９を予じ
め充填（現場で充填してもよい。）したものを現場に搬
入して、クリーンルーム１８内から取付枠２２の立上り
開口２１に支持枠１６を嵌合し、ボルト２７に仮止めし
た押え金具３０で支持枠１６を受は支えなから、取付枠
２２よの位置合わせをした後、第４図（ｂ）のように、
押え金具３０がナツト２６に当て止められるまでナツト
３２を締め上げ−Ｃ１取付枠２２に対して支持枠１６を
締結固定する。

この時、ゴムパツキン２８のひだ２８ａ、２８ｂか取付
枠２２に当接して左右に押し拡げられて取付枠２２に密
着すると共に、空間３の液状シール材２９があふれて空
間す、ｃに流入し、空間Ｃにも液状シール材２９が充填
されると同時に、空間すのシール材２９は取付枠２２と
支持枠１６との隙間ｔにも充填されるようになる。

このように、ゴムパツキン２８と取付枠２２との闇に広
範囲で均一に液状ソール材２９が充填されるようになる
ので気密性が格段に向上するのである。

なお、使用中に、例えば第４図（ｂｌの矢印Ａ箇所でエ
アー洩れが発見された場合、その箇所の空間Ｃに対して
液状シール材２９をクリーンルーム１８以上の説明から
も明らかなように、本発明は、フィルター支持枠のパツ
キン溝に嵌装したコムパツキンの７字状ひだに液状シー
ル材を充填して、支持枠を取付枠に締結固定したとき、
取付枠でゴムパツキンのひだを押し拡げるようにしたも
のであるから、ゴムパツキンと取付枠との間に液状シー
ル材が広範囲で均一に充填されるので、従来のように支
持枠を移す１調節した場合にもエアー洩れの原因となる
隙間が生じる恐れは全くなく気密性が格段に向上するよ
うになる。

また、クリーンルーム側から取付けられるので交換作業
性がよく、さらに空気吹出口の下部側で］＆　骨枠に取
付けられるので、フィルター（フィルター支持枠）の外
周囲に付着した塵埃がクリーンルームに落下することも
ない。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌ及び第１図（ｂ）は従来のフィルター装置
の略画的断面図、第２図（ａｌ及び第２図（ｂｌは液状
シール材を用いた従来のフィルター装置の要部断面図、
第３図は本発明に係るフィルター装置の１３画的断面図
、第４図（ａｌは第３図の締結固定前の要部断面図、第
４図（ｂ）は第３図の締結固定後の要部断面図１、第５
図（ａ）及び第５図（ｂｌはコ゛ムノｆ゛ンキンの変形
例の断面図である。 １５・・・高性能フィルター、１６・・・支持枠、１７
・・・パツキン溝、２０・・・空気吹出口、２２・・・
取付枠、２８・・・ゴムパツキン、２８ａ、２８ｂ・・
・ひり、２９・・・液状シール材、３０・・・押え金具
。 特　許　出　願　人　　新晃工業株式会社外１名代　　
理　　人　　弁理士　青　山　葆ほか２名第１頁の続き ０発　明　者　柿崎治部 東京都板橋区南町３２−２ ０出　願　人　株式会社竹中工務店 大阪市東区本町４丁目２７番地

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 は）　フィルターの外周囲を気密に保持するとともに下
   流側端部の外周囲に上流側向きのパツキン溝を形成した
   支持枠と、 該支持枠のパツキン溝内に嵌装され、上流側向きに立上
   げた略■字状のひだ内に液状ソール材を充填したゴムパ
   ツキンと、 空気吹出口の内周囲に気密に取付けられる取付枠とを備
   え、 上記支持枠を下流側から取付枠に締結固定したとき、取
   付枠でゴムパツキンのひだを押し拡は得るようにしたこ
   とを特徴とするフィルター装置。