JPH0418651Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は清浄な空気を作り出すクリーンルーム
用フイルターの密閉枠に係り、特にクリーンルー
ム用最終フイルターとして用いられるHEPAフ
イルター（High Efficiency Particle Filter）の
取付けを確実にできるよう改良したフイルターの
密閉枠に関するものである。

［従来の技術］ 従来、医薬品製造工場、食品工場あるいは病院
の手術室等において無菌状態を作り、それを維持
することが必要とされている。また、近年IC、
超LSI等の発展に伴い半導体製造工場のクリーン
ルームにおいても、ハイレベルの清浄空間が要求
されてきている。これらのクリーンルーム用最終
フイルターは、一般にHEPAフイルターとして
知られる高性能フイルターが使用されており、必
要に応じた清浄度を得るために捕集効率の異なる
種々のクラスのものが使用されている。これらフ
イルターは各種形式毎に大きさが決められてお
り、天井等に配設され、その取付及び交換ができ
るようになつている。

第９図は従来のHEPAフイルターの取付け状
態を示す頭、第１０図は第９図の締付け金具部分
の斜視図である。

これらの図において、フイルターユニツト１は
フイルターチヤンバ２と、HEPAフイルター３
と、締付け金具４等とから構成されており、天井
５に形成された取付け口６に装着されている。フ
イルターチヤンバ２には４角いダクト状で下側に
開口部７と、上側にダクト接続口８とが設けられ
ている。またフイルターチヤンバ２の内側には、
取付け板９が設けられ、この取付け板９の下面に
フイルター取付け用のボルト１０が数本立設され
ている。HEPAフイルター３は４角い箱形に形
成され、その周縁部の上下にはフランジ部１１，
１１が形成されている。このHEPAフイルター
３は上側のフランジ部１１をガスケツト１２を介
装して取付け板９の下面に当接され、下側のフラ
ンジ部１１をボルト１０に取付けた締付け金具４
に当接して装着されている。このガスケツト１２
は、例えば初期厚さが６mmで締付け圧縮量基準が
３mm程度のものが使用される。締付け金具４は板
材から成り、ボルト１０に挿通されるとともに、
一端がフランジ部１１に当接され、他端側はほぼ
コ字状に曲折されて再びボルト１０に上部で当接
されている。そして、HEPAフイルター３はボ
ルト１０に設けられたナツト１３を回し、締付け
金具４によりフランジ部１１周縁の数個所を押圧
することにより装着されている。

［考案が解決しようとする問題点］ 従来の締付け金具４によるHEPAフイルター
３の取付け方法では、ガスケツト１２をその圧縮
量が同じになるよう均等に締め付ける必要がある
が、締付け金具１２は第１１図に示す如く締付け
力によつては大きな歪を生ずることがあり、また
フランジ部１１周縁の数個所において締付け金具
４で押圧するために締付け力が不均一になりやす
く、取付けに相当の熟練を必要としていた。例え
ば、第１２図に示す如く４角いフランジ部１１の
向い合う辺の中央部にそれぞれ１個所と他の向い
合う辺のそれぞれ２個所において合計６個所を締
付け金具４で締付けた場合、P₁を締付け金具４
に歪が生じる力、P₂をガスケツト１２の基準圧
縮に必要な締付け力、P₃を漏れ止めに必要なガ
スケツト面圧による力とすると、中央部の１個所
で締付けけたフランジ部１１の両端側ではガスケ
ツト面圧がP₃より小さくなる締付けの弱い部分
が発生し、この部分でリークが発生するおそれが
あつた。また、従来の構造では経時的にガスケツ
ト１２の縮みが発生しリークした場合には直接汚
染となるとともに、リーク発生時期の見極めがで
きないため、生産保証上の問題点を生じることが
あつた。さらに、取付け部からの漏れ、フイルタ
ーメデイアの損傷不良、まき込み等によるリーク
判定が極めて難しくなり、かつ保全のための測定
時の手間もかかる問題点があつた。

本考案はこのような問題点を解決するために成
されたもので、その目的とするところは、誰でも
フイルターを容易に取付けることができ、たとえ
ガスケツト面からリークしても、汚染の心配が少
なく生産保証上必要な要件を満足でき、さらには
リークの判定が容易になりフイルターの有効寿命
も延長が計れるとともに、保全のための測定も容
易にあるフイルターの密閉枠を提供するにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的は本考案によれば、フイルターの締付
け用フランジ部に当接する締付け部材と、該締付
け部材に設けられ前記フイルターを案内する枠部
材とから成り、チヤンバ内において前記フイルタ
ーを固定するフイルターの密閉枠を提供すること
により達成される。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例について詳細に説明す
る。

第１図は本考案の第一実施例に係りHEPAフ
イルターの取付け状態を示す図、第２図は第１図
の分解斜視図である。

これらの図において、フイルターユニツト２１
はフイルターチヤンバ２２と、HEPAフイルタ
ー２３と、フイルターの密閉枠２４等とから構成
されている。このフイルターユニツト２１は天井
２５等に４角に形成された取付口２６に装着され
ている。フイルターチヤンバ２２は４角いダクト
状で下側に取付口２６に入る大きさで周縁部にフ
ランジ部２７を形成した開口部２８と、上側に図
示しないエアー循環系統に接続されるダクト接続
口２９とが設けられている。また、フイルターチ
ヤンバ２２のほぼ中央部の内側には中央部を
HEPAフイルター２３よりもやや小さく切り欠
いた４角い開口３０ａを有する取付板３０が設け
られている。この取付板３０の下面には、ボルト
３１が数本立設されている。このボルト３１は４
角い取付板３０の下面の向い合う辺の中央部にそ
れぞれ１個所と、他の向い合う辺のそれぞれ２個
所の合計６個所において溶接等により立設されて
いる。HEPAフイルター２３は４角い箱形に形
成され、その周縁部の上下にはフランジ部３２，
３２が形成されている。

一方、フイルターの密閉枠２４は中央部を
HEPAフイルター２３のフランジ部３２の外径
よりもやや小さく切り欠いた４角い開口３３ａを
有するとともに、フイルターチヤンバ２２の開口
部２８に入る大きさの板状の締付け部３３と、こ
の締付部材３３上面に設けられた枠部材３４等と
から構成されている。この枠部材３４は幅の狭い
板材から成りHEPAフイルター２３のフランジ
部３２の外側を囲み、該HEPAフイルター２３
を案内するよう締付け部材３３上面の開口３３ａ
の周縁近傍に溶接等により設けられている。ま
た、締付部材３３の周縁には、ボルト３１が挿通
されるボルト取付け孔３３ｂが数箇所形成され、
かつ第３図に示す如く検査用のホース接手３５が
設けられている。このホース接手３５は上及び下
接続口３５ａ，３５ｂを締付け部材３３の上下に
突出するよう溶着されており、下側の接続口３５
ｂにはシリコンキヤツプ３６が嵌着されて閉塞さ
れている。また、上記取付板３０のホース接手３
５に対応する部分には、該取付板３０の上下に突
出するよう検査用のホース接手３７が設けられて
おり、このホース接手３７の上側はフイルターチ
ヤンバ２２の上部側に開口され、下側は所定長さ
のホース３８の一端側が接続されている。このホ
ース３８の他端側はホース接手３５の接続口３５
ａに接続されている。

上記HEPAフイルター２３は、上側のフラン
ジ部３２にガスケツト３９を介装して取付板３０
の開口３０ａ周縁の下面に当接され、また下側の
フランジ部３２に同様のガスケツト３９を介装し
て枠部材３４内側の締付け部材３３上面に当接さ
れ、かつボルト３１をボルト取付け孔３３ｂに挿
通してナツト４０により締付けられて装着されて
いる。ナツト４０による締付けは、ガスケツト３
９，３９が基準圧縮量に達する程度に行われる。
そして、締付けられたナツト４０の周囲は第４図
に示す如くシリコン・コーキングによりシールが
施され、かつ締付け部材３３とフイルターチヤン
バ２２の隙間にも同様にシリコン・コーキングに
よりシールが施される。密閉枠２４の締付けはシ
ールが十分に行われるよう第５図に示す如くガス
ケツト４１を介して袋ナツト４２により行うか、
あるいは第６図に示す如くボルト３１にゴムブツ
シユ４３を介してボルト取付け孔３３ｂに挿通し
ナツト４４により行うことができる。

上記構成によるフイルターの密閉枠２４で
HEPAフイルター２３を取付け、図示しないエ
アー循環系統にフイルターチヤンバ２２のダクト
接続口２９を接続することにより、清浄な空気が
開口部２８より得られる。HEPAフイルター２
３の検査は、シリコンキヤツプ３６を外して、接
続口３５ｂに所定の計測機器を接続することによ
り、ホース接手３７の開口からHEPAフイルタ
ー２３の上流側濃度を測定することにより行うこ
とができる。

このようなフイルターの密閉枠２４によれば、
締付け部材３３によりHEPAフイルター２３の
フランジ部３２の全面を押圧するために、従来の
ように不均一な締付けがなくなり、厳密な基準が
必要でなく誰でも取り付けが容易に出来るように
なる。第７図に示す如く、P₁′を密閉枠２４に歪
が生じる力、P₂′をガスケツト３９，３９の基準
圧縮に必要な締付け力、P₃′を漏れ止めに必要な
ガスケツト面圧による力とすると、締付け部材３
３によりフランジ部３２の全面を均一に押圧する
ためP₂′の変化が小さく、かつP₃′より十分大き
くすることが可能になる。また、密閉枠２４は枠
部材３４により締付け部材３３の剛性が大きくな
るため、歪が生じるP₁′の値も大きくなる。

さらにHEPAフイルター２３のフランジ部３
２，３２に設けられているガスケツト３９、３９
をほぼ均等に締付けできるため、経時的縮みは従
来よりも格段に良くなり、たとえガスケツト面か
らリークしても、フイルターチヤンバ２２内の取
付板３０と枠部材３４との間に密閉した空間が形
成されるため、その空間内に滞留し直接汚染され
るおそれが少なくなり、生産保証上の不可欠の要
件を満足できる。

また、取付部の漏れがなくなるため、リーク判
定においてフイルターメデイアの損傷不良として
判定でき、フイルターの有効寿命の延長が計れ、
さらには保全のための測定も容易になる。

第８図は本考案の第二実施例に係るフイルター
の密閉枠の斜視図である。

この実施例のフイルターの密閉枠５１は、第一
実施例と同様に形成された開口５２ａと、ボルト
取付け孔５２ｂを有する締付け部材５２と、この
締付け部材５２上面に設けられた枠部材５３等と
から構成されている。この枠部材５３はHEPA
フイルター２３のフランジ部３２の角部のみを案
内するＬ字状の板材で形成されている。

この実施例のフイルターの密閉枠５１によれ
ば、枠部材５３の内側にHEPAフイルター２３
を配置することにより位置決めができ、第一実施
例と同様に取付けることができる。締付け部材５
２が十分剛性を有するものであれば、HEPAフ
イルター２３の位置を決める枠部材５３のみで第
一実施例と同様に作用する。

なお、上記実施例において締付け部材３３，５
２はHEPAフイルター２３のフランジ部３２の
全面をガスケツトを介して押圧できるものであれ
ばよく、ボルト３１も６個所限らず大きさに応じ
て適宜４〜８個所にでき、形状等も実施例に限定
されない。また枠部材３４，５３はHEPAフイ
ルター２３の位置を決めることができるよう枠状
に形成されていればよく、締付け部材３３，５２
の剛性が十分に大きいときには枠の一部分のみで
もよい。さらに、HEPAフイルター２３は各種
形式の高性能のフイルターに適用できる。

また、本発明のフイルターの密閉枠は、従来の
技術で述べた天井に取付けるものに限らず、側面
の壁等にも容易に取付けることができる。

［考案の効果］ 以上詳細に説明したように本考案によれば、フ
イルターの密閉枠をフイルターのフランジ部に当
接する締付け部材と、この締付け部材に設けたフ
イルターを案内する枠部材とで構成しているた
め、誰でもフイルターを容易に取付けることがで
き、たとえガスケツト面からリークしても汚染の
心配がなく生産保証上必要な要件を満足でき、さ
らにはリークの判定が容易になりフイルターの有
効寿命の延長が計れるとともに、保全のための測
定も容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第一実施例に係るHEPAフ
イルターの取付け状態を示す図、第２図は第１図
の分解斜視図、第３図は第１図のホース接手部分
の拡大断面図、第４図はシリコン・コーキングに
よるシール状態を示す図、第５図は袋ナツトによ
るシール状態を示す図、第６図はゴムブツシユに
よるシール状態を示す図、第７図は本考案による
フイルターの密閉枠の締付け力の状態を示す図、
第８図は本考案の第２実施例に係るフイルターの
密閉枠の斜視図、第９図は従来のHEPAフイル
ターの取付け状態を示す図、第１０図は第９図の
締付け金具部分の斜視図、第１１図は第９図の締
付け金具に歪が生じている状態を示す図、第１２
図は従来のフイルターの締付け金具による締付け
力の状態を示す図である。 ２１……フイルターユニツト、２２……フイル
ターチヤンバ、２３……HEPAフイルター、２
４、５１……フイルターの密閉枠、２５……天
井、２６……取付口、２７……フランジ部、２８
……開口部、２９……ダクト接続口、３０……取
付板、３１……ボルト、３２……フランジ部、３
３、５２……締付け部材、３３ａ，５２ａ……開
口、３３ｂ，５２ｂ……ボルト取付け孔、３４，
５３……枠部材、３５，３７……ホース接手、３
５ａ，３５ｂ……接続口、３６……シリコンキヤ
ツプ、３８……ホース、３９……ガスケツト、４
０……ナツト、４１……ガスケツト、４２……袋
ナツト、４３……ゴムブツシユ、４４……ナツ
ト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 両端部周縁にフランジ部が形成され、該フラン
   ジ部の一方がダクト状のフイルターチヤンバの内
   壁に設けられた取付板にガスケツトを介して当接
   されるフイルターを、該フイルターチヤンバ内に
   固定するフイルターの密閉枠において、 前記密閉枠は、前記フランジ部の他方とその周
   囲のフイルターチヤンバ開口部を覆い、該開口部
   壁にシールし得る大きさで、かつボルトで前記取
   付板に固定するためのボルト穴を有し、ガスケツ
   トを介して該フランジ部の他方全面に当接される
   締付け部材、及びフイルターを案内する枠部材か
   らなることを特徴とするフイルターの密閉枠。