JP2584104Y2 - 超高真空容器 - Google Patents
超高真空容器Info
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- JP2584104Y2 JP2584104Y2 JP1991063717U JP6371791U JP2584104Y2 JP 2584104 Y2 JP2584104 Y2 JP 2584104Y2 JP 1991063717 U JP1991063717 U JP 1991063717U JP 6371791 U JP6371791 U JP 6371791U JP 2584104 Y2 JP2584104 Y2 JP 2584104Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、各種の理化学実験等に
使用される超高真空容器に関するものである。
使用される超高真空容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種の理化学実験等において、超
高真空容器が多く使用されるようになって来た。超高真
空容器としては、図７に示す丸形タイプのものと、図８
に示す角形タイプのものとが存在しているが、最近は放
射光や素粒子関係の実験に便利な角形タイプの超高真空
容器の需要が多くなっている。
高真空容器が多く使用されるようになって来た。超高真
空容器としては、図７に示す丸形タイプのものと、図８
に示す角形タイプのものとが存在しているが、最近は放
射光や素粒子関係の実験に便利な角形タイプの超高真空
容器の需要が多くなっている。
【０００３】図７において、１は丸形タイプの超高真空
室を有する容器本体、２はその容器本体１の開口部を閉
塞するフタで、両者の接合部にはフランジ部３，３が形
成されている。又、同様に図８において、４は角型タイ
プの超高真空室を有する容器本体、５はその容器本体４
の開口部を閉塞するフタで、両者の接合部にはフランジ
部６，６が形成されている。なお、図中７は両フランジ
部３，３及び６，６を互いに締付固定するボルトであ
る。
室を有する容器本体、２はその容器本体１の開口部を閉
塞するフタで、両者の接合部にはフランジ部３，３が形
成されている。又、同様に図８において、４は角型タイ
プの超高真空室を有する容器本体、５はその容器本体４
の開口部を閉塞するフタで、両者の接合部にはフランジ
部６，６が形成されている。なお、図中７は両フランジ
部３，３及び６，６を互いに締付固定するボルトであ
る。
【０００４】一般に、超高真空容器は、図７に示す丸形
タイプのものにしろ、図８に示す角形タイプのものにし
ろ、その超高真空室の真空度を確保することが最も重要
であり、そのためには互いに接合されるフランジ部３，
３及び６，６の気密性を保持するためにその部分を如何
にしてシールするかがきわめて重要な課題となってい
る。
タイプのものにしろ、図８に示す角形タイプのものにし
ろ、その超高真空室の真空度を確保することが最も重要
であり、そのためには互いに接合されるフランジ部３，
３及び６，６の気密性を保持するためにその部分を如何
にしてシールするかがきわめて重要な課題となってい
る。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】ところで、丸形タイプ
の超高真空容器の場合には、図９及び図１０に示すよう
に、フランジ部３，３の内周に旋盤等によりナイフエッ
ジ８を形成せしめ、両フランジ部３，３間に、ナイフエ
ッジ８で締付挟持される図示のような無酸素銅製のドー
ナツ状の銅板ガスケット９を介装させ、ボルト７により
締付けることにより、ナイフエッジ８のエッジ部分を前
記銅板ガスケット９の表面に喰い込ませてシールするよ
うになっている。
の超高真空容器の場合には、図９及び図１０に示すよう
に、フランジ部３，３の内周に旋盤等によりナイフエッ
ジ８を形成せしめ、両フランジ部３，３間に、ナイフエ
ッジ８で締付挟持される図示のような無酸素銅製のドー
ナツ状の銅板ガスケット９を介装させ、ボルト７により
締付けることにより、ナイフエッジ８のエッジ部分を前
記銅板ガスケット９の表面に喰い込ませてシールするよ
うになっている。
【０００６】このように、シール用に銅板ガスケット９
を用いているのは、組立工程において加熱を要するた
め、一般にシール部材として使用されている合成樹脂材
料からなる○リングでは耐熱性に劣るためである。
を用いているのは、組立工程において加熱を要するた
め、一般にシール部材として使用されている合成樹脂材
料からなる○リングでは耐熱性に劣るためである。
【０００７】これに対し、最近需要が多くなっている角
形タイプの超高真空容器の場合にも、図１１に示すよう
に角形の壁面に沿ってフランジ部６，６の内周に角形に
ナイフエッジ８を形成せしめ、角形に形成した銅板ガス
ケット１０を用いて図１２に示すようにボルト７を締付
けることによりナイフエッジ８のエッジ部分を銅板ガス
ケット１０の表面に喰い込ませてシールすることも可能
であるが、フランジ部６，６の内周に角形にナイフエッ
ジ８を形成せしめるためにはきわめて高価な多軸加工機
を使用して隅部のエッジを精密に加工しなければなら
ず、コスト的に見てナイフエッジ８を角形に沿って形成
することは採用不可能であった。
形タイプの超高真空容器の場合にも、図１１に示すよう
に角形の壁面に沿ってフランジ部６，６の内周に角形に
ナイフエッジ８を形成せしめ、角形に形成した銅板ガス
ケット１０を用いて図１２に示すようにボルト７を締付
けることによりナイフエッジ８のエッジ部分を銅板ガス
ケット１０の表面に喰い込ませてシールすることも可能
であるが、フランジ部６，６の内周に角形にナイフエッ
ジ８を形成せしめるためにはきわめて高価な多軸加工機
を使用して隅部のエッジを精密に加工しなければなら
ず、コスト的に見てナイフエッジ８を角形に沿って形成
することは採用不可能であった。
【０００８】そこで最近では、角形の超高真空容器の場
合には、銅板ガスケット１０の代わりに図１３に示すよ
うにコイルスプリング１１の外周にアルミ板１２を円弧
状に曲げて巻きつけたヘリコフレックス（Ｈｅｌｉｃｏ
ｆｒｅｘ）というコイル内蔵型アルミニウムパッキング
材（以下ヘリコフレックスと呼ぶ）１３が登場し、これ
を図１５に示すようにスリット１４の部分が外側になる
ようにして、図１４に示すように角形に形成せしめ、こ
のヘリコフレックス１３を用いて角形超高真空容器をシ
ールする方法が採用されるようになってきた。
合には、銅板ガスケット１０の代わりに図１３に示すよ
うにコイルスプリング１１の外周にアルミ板１２を円弧
状に曲げて巻きつけたヘリコフレックス（Ｈｅｌｉｃｏ
ｆｒｅｘ）というコイル内蔵型アルミニウムパッキング
材（以下ヘリコフレックスと呼ぶ）１３が登場し、これ
を図１５に示すようにスリット１４の部分が外側になる
ようにして、図１４に示すように角形に形成せしめ、こ
のヘリコフレックス１３を用いて角形超高真空容器をシ
ールする方法が採用されるようになってきた。
【０００９】ところが、このヘリコフレックス１３を用
いて角形の超高真空容器をシールするには、図１６、図
１７に示すようにフランジ部６，６の接合面に角形に沿
って凹状のシール溝１５を設け、この凹状のシール溝１
５内にヘリコフレツックス１３を収納させてボルト７に
より両フランジ部６，６を締付けることによりヘリコフ
レックス１３を圧縮せしめ、内蔵されているコイルスプ
リング１１の弾性により外周に円弧状に巻きつけられて
いるアルミ板１２をシール溝１５の底面に密着せしめ、
この密着度によって気密性を保持する必要がある。
いて角形の超高真空容器をシールするには、図１６、図
１７に示すようにフランジ部６，６の接合面に角形に沿
って凹状のシール溝１５を設け、この凹状のシール溝１
５内にヘリコフレツックス１３を収納させてボルト７に
より両フランジ部６，６を締付けることによりヘリコフ
レックス１３を圧縮せしめ、内蔵されているコイルスプ
リング１１の弾性により外周に円弧状に巻きつけられて
いるアルミ板１２をシール溝１５の底面に密着せしめ、
この密着度によって気密性を保持する必要がある。
【００１０】その為、気密性を高めるには角形に沿って
形成されたシール溝１５の底面１６を鏡面に仕上げなけ
ればならず、精密な鏡面仕上げを必要とするため、加工
が非常に面倒であった。
形成されたシール溝１５の底面１６を鏡面に仕上げなけ
ればならず、精密な鏡面仕上げを必要とするため、加工
が非常に面倒であった。
【００１１】又、ヘリコフレックス１３そのものが非常
に高価である上に、ヘリコフレックス１３は消耗品であ
るため、フランジ部６，６を取外す毎にヘリコフレック
ス１３を取換えなければならず、超高真空容器を組立て
たり再調整する過程において、多くのヘリコフレックス
１３を消耗することになり、維持費が非常に高くなるな
ど、多くの欠点があった。
に高価である上に、ヘリコフレックス１３は消耗品であ
るため、フランジ部６，６を取外す毎にヘリコフレック
ス１３を取換えなければならず、超高真空容器を組立て
たり再調整する過程において、多くのヘリコフレックス
１３を消耗することになり、維持費が非常に高くなるな
ど、多くの欠点があった。
【００１２】本考案は前記従来の技術に鑑みて提案され
たもので、角形の超高真空室を有する超高真空容器であ
っても、シール用に銅板ガスケットの使用を可能とし、
加工や組立が容易で安価に製作することができると共
に、大きさに関係なく、高い気密性を保持することがで
きる、超高真空容器を提供せんとするものである。
たもので、角形の超高真空室を有する超高真空容器であ
っても、シール用に銅板ガスケットの使用を可能とし、
加工や組立が容易で安価に製作することができると共
に、大きさに関係なく、高い気密性を保持することがで
きる、超高真空容器を提供せんとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本考案は前記課題を解決
するために、角形の超高真空室を有する容器本体とその
容器本体の開口部を閉塞するフタとの接合部にフランジ
部が形成された超高真空容器において、上記フランジ部
を、内周縁の隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の額縁状
の外側部材と、この外側部材の内周縁の形状に適合する
外周縁形状を有し前記外側部材とボルトにより締結され
る内側部材とにより構成し、その内側部材の外周に隅部
がＲ状になったほぼ角形のシール用のナイフエッジを形
成せしめ、隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の枠状をし
た銅板ガスケットを前記両フランジ部間に介装し、前記
ナイフナエッジにより締付挾持してシールすることによ
り超高真空容器を構成せしめたものである。
するために、角形の超高真空室を有する容器本体とその
容器本体の開口部を閉塞するフタとの接合部にフランジ
部が形成された超高真空容器において、上記フランジ部
を、内周縁の隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の額縁状
の外側部材と、この外側部材の内周縁の形状に適合する
外周縁形状を有し前記外側部材とボルトにより締結され
る内側部材とにより構成し、その内側部材の外周に隅部
がＲ状になったほぼ角形のシール用のナイフエッジを形
成せしめ、隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の枠状をし
た銅板ガスケットを前記両フランジ部間に介装し、前記
ナイフナエッジにより締付挾持してシールすることによ
り超高真空容器を構成せしめたものである。
【００１４】
【作用】本考案の超高真空容器は前記の手段をもって構
成されているので、フランジ部を構成する内側部材の外
周縁に一般的なフライス盤を用いて簡単かつ高精度でナ
イフェッジを形成せしめることができ、その内側部材と
外側部材とを互いに締結するだけで隅部がＲ状に形成さ
れたほぼ角形のナイフエッジを有するフランジ部を容易
に構成することができることになる。又、隅部がＲ状に
形成されたほぼ角形のナイフエッジが形成されているの
で、安価な銅板ガスケットを使用することができ、この
銅板ガスケットを両フランジ部間に介装させてナイフエ
ッジで締付挾持せしめることにより、高い気密性が確保
されることになる。
成されているので、フランジ部を構成する内側部材の外
周縁に一般的なフライス盤を用いて簡単かつ高精度でナ
イフェッジを形成せしめることができ、その内側部材と
外側部材とを互いに締結するだけで隅部がＲ状に形成さ
れたほぼ角形のナイフエッジを有するフランジ部を容易
に構成することができることになる。又、隅部がＲ状に
形成されたほぼ角形のナイフエッジが形成されているの
で、安価な銅板ガスケットを使用することができ、この
銅板ガスケットを両フランジ部間に介装させてナイフエ
ッジで締付挾持せしめることにより、高い気密性が確保
されることになる。
【００１５】更に、この銅板ガスケットはナイフエッジ
に沿ってその隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の枠状で
あるので、超高真空容器に高真空が作用して超高真空室
が縦と横で不均一に変形しても、この銅板ガスケットに
よりその歪みが許容され、高い気密性が維持されること
になる。
に沿ってその隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の枠状で
あるので、超高真空容器に高真空が作用して超高真空室
が縦と横で不均一に変形しても、この銅板ガスケットに
よりその歪みが許容され、高い気密性が維持されること
になる。
【００１６】
【実施例】以下、本考案の一実施例を図１〜図６に基づ
いて具体的に説明する。図１及び図３は角形の超高真空
室Ｈを有する本考案の超高真空容器の平面図であり、図
３は容器本体１０１のフランジ部１０３を示し、図１は
フタ１０２のフランジ部１０４を示す。又、図２は図１
における矢視Ａ−Ａ線に沿った断面図で、図４は図３に
おける矢視Ｂ−Ｂ線に沿った断面図である。
いて具体的に説明する。図１及び図３は角形の超高真空
室Ｈを有する本考案の超高真空容器の平面図であり、図
３は容器本体１０１のフランジ部１０３を示し、図１は
フタ１０２のフランジ部１０４を示す。又、図２は図１
における矢視Ａ−Ａ線に沿った断面図で、図４は図３に
おける矢視Ｂ−Ｂ線に沿った断面図である。
【００１７】本実施例においては、超高真空室Ｈは長方
形状のほぼ角形に形成されており、容器本体１０１のフ
ランジ部１０３もフタ１０２のフランジ部１０４も、超
高真空室Ｈに沿って長方形状のほぼ角形に形成されてい
る。又、両フランジ部１０３，１０４はボルト穴１０５
に挿通されるボルト１０６により締付固定されるように
なっている。
形状のほぼ角形に形成されており、容器本体１０１のフ
ランジ部１０３もフタ１０２のフランジ部１０４も、超
高真空室Ｈに沿って長方形状のほぼ角形に形成されてい
る。又、両フランジ部１０３，１０４はボルト穴１０５
に挿通されるボルト１０６により締付固定されるように
なっている。
【００１８】又、容器本体１０１のフランジ部１０３
は、断面がＬ形をなし、額縁形の平面形状を有し、その
内周縁の隅部がＲ状に形成された外側部材１０８と、こ
の外側部材１０８の内周縁の形状に適合する外周縁形状
を有する同じくＬ形断面形状の内側部材１０７とを互い
に組合せて構成されている。そして、この内側部材１０
７と外側部材１０８とは、外周に設けたボルト穴１０９
に挿通されるボルト１１０を介して互いに締結されてい
る。
は、断面がＬ形をなし、額縁形の平面形状を有し、その
内周縁の隅部がＲ状に形成された外側部材１０８と、こ
の外側部材１０８の内周縁の形状に適合する外周縁形状
を有する同じくＬ形断面形状の内側部材１０７とを互い
に組合せて構成されている。そして、この内側部材１０
７と外側部材１０８とは、外周に設けたボルト穴１０９
に挿通されるボルト１１０を介して互いに締結されてい
る。
【００１９】同様に、フタ１０２のフランジ部１０４は
断面がＬ形をなし、額縁形の平面形状を有し、その内周
縁の隅部がＲ状に形成された外側部材１１２と、この外
側部材１１２の内周縁の形状に適合する外周縁形状を有
する同じくＬ形断面形状の内側部材１１１とを互いに組
合せて構成されている。 そして、この内側部材１１１と
外側部材１１２とは、外周に設けたボルト穴１０９に挿
通されるボルト１１０を介して互いに締結されている。
断面がＬ形をなし、額縁形の平面形状を有し、その内周
縁の隅部がＲ状に形成された外側部材１１２と、この外
側部材１１２の内周縁の形状に適合する外周縁形状を有
する同じくＬ形断面形状の内側部材１１１とを互いに組
合せて構成されている。 そして、この内側部材１１１と
外側部材１１２とは、外周に設けたボルト穴１０９に挿
通されるボルト１１０を介して互いに締結されている。
【００２０】なお、各フランジ部１０３及び１０４を構
成する内側部材１０７及び１１１の外周縁には、両者の
接合部に対向してシール用のナイフエッジ１１３が角形
の超高真空室Ｈに沿って隅部がＲ状になるようにほぼ角
形に形成されている。なおこのナイフエッジ１１３は各
フランジ部１０３，１０４を構成する外側部材１０８，
１１２を取り外すことにより、一般的なフライス盤を使
用してきわめて容易かつ高精度に形成せしめることがで
きる。
成する内側部材１０７及び１１１の外周縁には、両者の
接合部に対向してシール用のナイフエッジ１１３が角形
の超高真空室Ｈに沿って隅部がＲ状になるようにほぼ角
形に形成されている。なおこのナイフエッジ１１３は各
フランジ部１０３，１０４を構成する外側部材１０８，
１１２を取り外すことにより、一般的なフライス盤を使
用してきわめて容易かつ高精度に形成せしめることがで
きる。
【００２１】上記のようにフランジ部１０３，１０４を
構成すれば、図１１及び図１２に示すように、結果的に
一体型のフランジ部６，６と同じ構成となり、超高真空
室Ｈに合わせて形成した隅部がＲ状になったほぼ角形の
銅板ガスケット１１４を両フランジ部１０３，１０４間
に挾持してボルト１０６を締付ければ、銅板ガスケット
１１４は両フランジ部１０３，１０４の内側部材１０
７，１１１の外周に形成されてナイフエッジ１１３に喰
い込み、確実にシールされることになる。
構成すれば、図１１及び図１２に示すように、結果的に
一体型のフランジ部６，６と同じ構成となり、超高真空
室Ｈに合わせて形成した隅部がＲ状になったほぼ角形の
銅板ガスケット１１４を両フランジ部１０３，１０４間
に挾持してボルト１０６を締付ければ、銅板ガスケット
１１４は両フランジ部１０３，１０４の内側部材１０
７，１１１の外周に形成されてナイフエッジ１１３に喰
い込み、確実にシールされることになる。
【００２２】但し、角形の超高真空容器は、その超高真
空室Ｈの縦と横の比が異なるほど、真空圧が印加された
際に縦と横の壁面に異なる歪が発生し、図５において点
線で示すように不均一に変形する。
空室Ｈの縦と横の比が異なるほど、真空圧が印加された
際に縦と横の壁面に異なる歪が発生し、図５において点
線で示すように不均一に変形する。
【００２３】しかしながら、銅板ガスケット１１４の外
形形状は、図１及び図３に示すナイフエッジ１１３に沿
って図６に示すように特に隅部にＲを持たせたほぼ角形
に形成してあるので、仮に超高真空室Ｈが不均一に変形
したとしても、この銅板ガスケット１１４が歪を許容
し、ナイフエッジ１１３に挾持された銅板ガスケット１
１４がナイフエッジ１１３から外れたり、ちぎれたりす
ることなく、銅板ガスケット１１４に作用する応力は分
散させられる。
形形状は、図１及び図３に示すナイフエッジ１１３に沿
って図６に示すように特に隅部にＲを持たせたほぼ角形
に形成してあるので、仮に超高真空室Ｈが不均一に変形
したとしても、この銅板ガスケット１１４が歪を許容
し、ナイフエッジ１１３に挾持された銅板ガスケット１
１４がナイフエッジ１１３から外れたり、ちぎれたりす
ることなく、銅板ガスケット１１４に作用する応力は分
散させられる。
【００２４】
【考案の効果】以上具体的に説明したように、本考案の
超高真空容器によれば、容器本体のフランジ部とフタの
フランジ部が、互いに締結される外側部材と内外部材と
により分割して構成されているので、隅部がＲ状になっ
たナイフエッジでも一般的なフライス盤を用いて内側部
材の外周にきわめて容易かつ高精度で形成せしめること
ができる。
超高真空容器によれば、容器本体のフランジ部とフタの
フランジ部が、互いに締結される外側部材と内外部材と
により分割して構成されているので、隅部がＲ状になっ
たナイフエッジでも一般的なフライス盤を用いて内側部
材の外周にきわめて容易かつ高精度で形成せしめること
ができる。
【００２５】又、シール部がナイフエッジとなっている
ため、超高真空室が角形であっても、安価な銅板ガスケ
ットを使用して確実にシールすることができ、従来のヘ
リコフレックスを使用してシールする場合に必要なシー
ル溝の底面の鏡面仕上げの必要もなく、維持費もきわめ
て安くなる。
ため、超高真空室が角形であっても、安価な銅板ガスケ
ットを使用して確実にシールすることができ、従来のヘ
リコフレックスを使用してシールする場合に必要なシー
ル溝の底面の鏡面仕上げの必要もなく、維持費もきわめ
て安くなる。
【００２６】又、各種寸法、形状の角形の超高真空室を
有する超高真空容器に幅広く適用することができ、真空
圧の印加によって超高真空室が不均一に変形しても、隅
部がＲ状に形成された銅板ガスケットにより、確実かつ
安定して気密性を保持することができる、等多くの利点
を有し、各種の理化学実験等に用いてきわめて実用的な
超高真空容器を提案し得るものである。
有する超高真空容器に幅広く適用することができ、真空
圧の印加によって超高真空室が不均一に変形しても、隅
部がＲ状に形成された銅板ガスケットにより、確実かつ
安定して気密性を保持することができる、等多くの利点
を有し、各種の理化学実験等に用いてきわめて実用的な
超高真空容器を提案し得るものである。
【図１】本考案の一実施例に係わる超高真空容器の部分
平面図である。
平面図である。
【図２】図１における矢視Ａ−Ａ線に沿った断面図であ
る。
る。
【図３】本考案の一実施例に係わる超高真空容器の部分
平面図である。
平面図である。
【図４】図３における矢視Ｂ−Ｂ線に沿った断面図であ
る。
る。
【図５】超高真空室の変形を示す平面図である。
【図６】本考案の超高真空容器に使用する銅板ガスケッ
トの平面図である。
トの平面図である。
【図７】従来の丸形タイプの超高真空容器の斜視図であ
る。
る。
【図８】従来の角形タイプの超高真空容器の斜視図であ
る。
る。
【図９】図５に示す丸形タイプの超高真空容器の分解斜
視図である。
視図である。
【図１０】図５に示す丸形タイプの超高真空容器のフラ
ンジ部の断面図である。
ンジ部の断面図である。
【図１１】図６に示す角形タイプの超高真空容器の分解
斜視図である。
斜視図である。
【図１２】図６に示す角形タイプの超高真空容器のフラ
ンジ部の断面図である。
ンジ部の断面図である。
【図１３】一般的なヘリコフレックスの部分破断斜視図
である。
である。
【図１４】図１１に示すヘリコフレックスを角形に形成
した状態を示す斜視図である。
した状態を示す斜視図である。
【図１５】図１２における矢視Ｃ−Ｃ線に沿った断面図
である。
である。
【図１６】図１１に示すヘリコフレックスを使用した角
形タイプの超高真空容器のフランジ部の断面図である。
形タイプの超高真空容器のフランジ部の断面図である。
【図１７】図１４に示すシール溝の拡大断面図である。
１ 容器本体 ２ フタ ３ フランジ部 ４ 容器本体 ５ フタ ６ フランジ部 ７ ボルト ８ ナイフエッジ ９ 銅板ガスケット １０ 銅板ガスケット １１ コイルスプリング １２ アルミ板 １３ ヘリコフレックス １４ スリット １５ シール溝 １６ 底面 １０１ 容器本体 １０２ フタ １０３ フランジ部 １０４ フランジ部 １０５ ボルト穴 １０６ ボルト １０７ 内側部材 １０８ 外側部材 １０９ ボルト穴 １１０ ボルト １１１ 内側部材 １１２ 外側部材 １１３ ナイフエッジ １１４ 銅板ガスケット Ｈ 超高真空室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16J 12/00 - 15/12 B01J 3/00 - 3/08
Claims (1)
- 【請求項１】 角形の超高真空室を有する容器本体とそ
の容器本体の開口部を閉塞するフタとの接合部にフラン
ジ部が形成された超高真空容器において、上記フランジ
部を、内周縁の隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の額縁
状の外側部材と、この外側部材の内周縁の形状に適合す
る外周縁形状を有し前記外側部材とボルトにより締結さ
れる内側部材とにより構成し、その内側部材の外周に隅
部がＲ状になったほぼ角形のシール用のナイフエッジを
形成せしめ、隅部がＲ状に形成されたほぼ角形の枠状を
した銅板ガスケットを前記両フランジ部間に介装し、前
記ナイフエッジにより締付挾持してシールするようにし
たことを特徴とする超高真空容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991063717U JP2584104Y2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | 超高真空容器 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR101984501B1 (ko) | 2017-11-22 | 2019-06-04 | 명성티엔에스주식회사 | 안전과 제품수명 연장을 위한 압력용기용 요크프레임 |
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| JPH058130U (ja) | 1993-02-05 |
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