JPS62252840A - 筒状のフィルタ装置利用のクリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体工業、電子工業、精密機械工業、製
薬工業、食品工業、バイオ夢りノロジー関係の工場や研
究所、あるいは病院の手術室等において、空気中の微小
な浮遊粉塵の影響を排除するために使用されるクリーン
ルームに関するものである。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームは、たとえば第７図に示したよう
な構造が一般的である。

すなわち、クリーンルーム（１）の天井（２）のほぼ全
面に複数のフィルタ装置（３）を並設すると共に、床面
（４）の近傍に吸込口（５）を設け、またクリーンルー
ム（１）の外部に空調機（６）及び送風機（７）を設置
する。そして、送風機（７）を作動させることによって
、外気取入口（８）から取り入れた外気を空調ａ（６）
内て空調・濾過した後送りダクト（９）を介して各フィ
ルタ装置（３）に供給し、内部でさらに濾過してクリー
ンルーム（１）内に吹き出すようにする。

吹き出した清浄空気は、吸込口（５）より戻りダクト（
１０）を通って空調機（６）に送られ、外気と共に再び
フィルタ装置（３）に送られる、というものである。

このような従来のクリーンルーム（１）に設置されるフ
ィルタ装置（３）は、第８図に示すように、下面を開口
した箱形のケーシング（１１）内部に高性能フィルタ　
（１２）を交換可能に装着すると共に、ケーシング（１
１）の下面にパンチングメタル等よりなるグリル（１３
）を着脱可能に取り付けたものである。そして、このグ
リル（１３）の多数の孔が吹出口（１４）となっている
。

このフィルタ装置（３）の天井（２）への設置は、ケー
シング（１１）の下端周縁部を天井（２）に密接するこ
とによって行われる。また、ケーシング（１１）は、そ
の上部において連結ダクト（１５）を介して送りダクト
（９）と接続される。

空調機（６）より送られた空気は、送りダクト（９）と
連結ダク）　（１５）を介して各フィルタ装置（３）に
送られ、グリル（１３）の吹出口（１４）からクリーン
ルーム（１）内に吹き出すようになっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来のクリーンルーム（１）は、天井り２）に多数
のフィルタ装置（３）を並設するため、フィルタ装置（
３）から吹き出される空気流の方向と流速分布が不均一
であり、また、施工が面倒なこと及びフィルタ装置（３
）自体のコストが高いこと等から設備費も高いものであ
った。これらの点は、あまり高い清浄度を要しない小型
のクリーンルーム（クラス１０．０００〜１００，００
０程度）においては特に大きな問題となっていた。

また、上記フィルタ装置（３）は、ケーシング（１１）
内に空間（１６）を有しているので嵩高とならざるを得
す、また天井（２）の上方において送りダクト（９）や
連結ダクト（１５）を配設しなければならないため、ク
リーンルーム（１）内に大きないわゆるデッドスペース
が生じていた。

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、空気流の方向と流速分布が均一であり
、かつ構造が簡易で設備費が低額であるクリーンルーム
を提供することにある。

この発明の他の目的は、デッドスペースの生じないクリ
ーンルームを提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するための技術的手段は、次の通りであ
る。

すなわち、この発明では、天井（２）に一端を閉鎖しか
つ他端を空気供給口とした筒状のフィルタ装！　（１７
）を天井（２）に沿って取り付けている。このフィルタ
装Ｗ　（１７）は、外側面に多数の小孔から成る空気吹
出口を有しており、この吹出口より一様に空気を吹き出
すようになっている。

〔作用〕

フィルタ装置（１７）は外側面より一様に空気を吹き出
すので、その全長にわたって空気流の方向と流速分布が
均一となる。

また、筒状フィルタ装ｆ　（１７）を天井（２）に沿っ
て取り付け、その空気供給口を送りダクト（９）に接続
するだけでよく、天井（２）の上方に連結ダク）　（１
５）等の設置が不要である。従って、構造が簡易で設備
費は低額となると共に、デッドスペースが生じないこと
になる。

〔実施例〕

以下、添付図面に基いてこの発明の詳細な説明する。。

第１図ないし第３図はこの発明に使用するフィルタ装置
の実施例を示したもので、このフィルタ装！（１７）は
両端を開口した筒状フィルタ　（１８）を複数個長軸方
向に連結して構成されている。この実施例では、筒状フ
ィルタ（１８）はジグザグ状に折曲したフィルタエレメ
ント　（１９）を円筒状に形成し、その内外両側面を径
の異なる一対の円筒状の有孔板（２０）　（２１）によ
って被覆すると共に、両端部にｔ？Ｆ　（２２）　（２
２）を固着して形成されている。有孔板（２０）　（２
１）としては、パンチングメタル等の多孔金属板を用い
るのが好ましい。

各筒状フィルタ（１８）は、互いに隣接する鍔（２２）
　（２２）を円環状のガスケット（２３）を介在させて
対向し、鍔（２２）　（２２）の周囲を結合部材（２４
）によって締付・保持することにより連結されている。

最先端の筒状フィルタ（１８）の先端の開口は、閉鎖板
（２５）をこのフィルタ　（１８）の先端の鍔（２２）
に上記と同様にして締付・保持することにより閉鎖され
ている。また、最後端の筒状フィルタ　（１８）の後端
の開口は、このフィルタ装置（１７）への空気供給口で
あり、クリーンルーム（１）の送りダクト　（９）に接
続される。送りダクト　（９）の先端には鍔（２２）と
同様の鍔（２６）が固着されているので、結合部材（２
４）を用いて上記と同様にして容易に接続することがで
きる。

結合部材（２４）としては、対向する二つの鍔（２２）
　（２２）を締付・保持できるものであればよい。

たとえば、一方の鍔（２２）に配した数本のボルトを他
方の鍔（２２）に形成したネジ穴に螺合して締付けるこ
とができる。

しかしこの実施例では、筒状フィルタ　（１８）の連結
及び離脱が容易に行えるように断面Ｕ字形とした半円形
の部材とされており、その一方の側片（２４ａ）に二本
のボルト　（２７）　（２７）を螺合している。結合部
材（２４）の凹部を両方の鍔（２２）　（２２）の外周
部に嵌合してポルＩ−（２７）を締付けることにより、
両筒状フィルタ（１８）　（１８）を密封状態で連結す
ることができる。連結を解除するときは、各ボルト　（
２７）を緩めて結合部材（２４）　（２４）を鍔（２２
）　（２２）より取り外せばよい。

上記のように構成したフィルタ装置（１７）は、第３図
ないし第７図に示すように、天井（２）の一部を帯状に
上方に没入させて形成した収容部（２８）にその上半分
を収容する形で設置されている。フィルタ装置（１７）
の後端の開口は、クリーンルーム（１）の側壁に近い位
置で送りダクト（９）に接続されている。フィルタ装置
（１７）の保持は、細幅の帯状とした複数の保持部材（
２９）によって行われている。これらの保持部材（２９
）は両端を除いて略円弧状とされ、その一端は蝶番（３
０）によって天井（２）に回動自在に取り付けられると
共に、他端はボルト（３１）によって天井（２）に螺着
されるようになっている。保持部材（２９）の略中央部
には、一対の断回路り字形の支持突起（３２）　（３２
）が形成されており、これら支持突起（３２）　（３２
）が各筒状フィルタ　（１８）の外側面に当接して支持
することになる。従って、筒状フィルタ　（１８）は直
接保持部材（２９）に接触しないので、その側面からの
空気の吹出しに及ぼす影響を小さくすることができる。

この実施例では、第５図に見るようにフィルタ装置（１
７）を三列に並設し、それぞれの後端を送りダクト（９
）の分岐に接続している。

送風機（７）を作動させると、外気取入口（８）より取
り入れた空気は空調機（６）に入り、さらに送りダクト
（９）を通ってフィルタ装置（１７）に供給される。こ
の空気は、フィルタ装置（１７）の内部空間（３３）か
ら内側有孔板（２０）　、フィルタニレメンｌ−（１９
）及び外側有孔板（２１）を通り、清浄化された後放射
状に吹き出る。従って、フィルタ装置（１７）の全長及
び全周にわたって空気流の方向と流速分布は一定である
。そして、上方または斜上方に向かって吹き出した空気
流は、収容部（２８）の内側面により一様に反射されて
下方に向かい、フィルタ装置（１７）より直接床面（４
）に向かって吹き出された空気流と合流するので、クリ
ーンルーム（１）内の空気流の方向と流速分布は均一と
なる。

また、筒状のフィルタ装置（１７）を天井（２）に沿っ
て取り付けるだけでよく、従来のように多数のフィルタ
装置（３）を並設する作業が不要であり、またこれに伴
って天井（２）の上方に送りダクト（９）や連結ダクト
（１５）も不要となる。

従って、クリーンルーム（１）の構造が簡易で低コスト
となり、さらにデッドスペースが生じないためスペース
の有効利用を図ることができる。

またフィルタ装！　（１７）の全長は、クリーンルーム
（１）の大きさに応じて筒状フィルタ（１日）の連結個
数を変えれば容易に調整することができる。

上記実施例においてはフィルタ装置（１７）を円筒状と
したが、円筒に限らず四角筒等の他の筒形でもよく、さ
らに空気吹出口を全周に設けることなく下方のみ、ある
いは下方及び側方のみに設けてもよいことは勿論である
。また、フィルタ装置（１７）を単一の筒状フィルタ　
（１８）にて構成してもよい。

〔発明の効果〕

上述の説明から明らかなように、この発明のクリーンル
ーム（１）は、空気流の方向と流速分布が均一であると
共に構造が簡易で設備費が低額であり、さらにデッドス
ペースが生じずクリーンルーム（１）内を有効に利用す
ることができる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係るクリーンルームに使用するフ
ィルタ装置の前端部の一部破断正面図。 第２図は、同フィルタ装置後端部の断面図。第３図は、
天井に設置した状態の同フィルタ装置の断面図。第４図
は、この発明に係るクリーンルームの正面説明図。第５
図は、同クリーンルームの天井の平面図。第６図は、第
５図の一部拡大図。第７図は、従来のクリーンルームの
正面説明図。第８図は、従来のクリーンルームに使用す
るフィルタ装置の天井に設置した状態の断面図。 （１）・・・クリーンルーム　　（２）・・・天井（３
）　（１７）・・・フィルタ装置（１８）・・・筒状フ
ィルタ（２５）・・・閉鎖板　　（２８）・・・収容部
（２９）・・・保持部材

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一端を閉鎖しかつ他端を空気供給口とした筒状のフ
   ィルタ装置（１７）を天井（２）に沿って設置し、この
   フィルタ装置（１７）の外側面より一様に空気を吹き出
   すようにしたことを特徴とするクリーンルーム。 ２、フィルタ装置（１７）が、両端を開口した筒状フィ
   ルタ（１８）を複数個長軸方向に連結して構成されてい
   る特許請求の範囲第１項に記載のクリーンルーム。 ３、フィルタ装置（１７）が、帯状の保持部材（２９）
   により吊下されて保持されている特許請求の範囲第１項
   または第２項に記載のクリーンルーム。