JPS63294440A

JPS63294440A - クリーンルーム

Info

Publication number: JPS63294440A
Application number: JP24887587A
Authority: JP
Inventors: Hirokuni Tanaka; 田中　博国
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1987-01-28
Filing date: 1987-10-01
Publication date: 1988-12-01
Anticipated expiration: 2011-09-25
Also published as: JP2537247B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、フィルタダクト方式のクリーンルームに関す
る。

〔従来の技術〕

例えば半導体ウェハー等の製造を行なうクリーンルーム
は、室内空気に対して高度の清浄度が要求される。

従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第１３
図に示す全面ラミナーフロ一方式（全面天井吹出し）や
第１４図に示すコンベンショナル方式が用いられている
。

全面ラミナーフロ一方式では、第１３図に示す如く、ク
リーンルームＲの上部一杯に天井チャンバＴｃを設け、
この天井チャンバＴｃの下面全体にフィルタＨとしてＨ
Ｅ　Ｐ　Ａ　（Ｈｉｇｈ　ＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＰａｒ
ｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒｆｉｌｔｅｒ）が敷設される
と共に、多数の吸出孔Ｙａを有する床Ｙが張られ、クリ
ーンルームＲ外に設置された送風ファンＦから送気ダク
トＤｓ→天井チャンバＴｃ→フィルタＨ→室内Ｒｎ→吸
気孔Ｙａ→床下チャンバＹｃ→排気ダクトＤｅ→送風フ
ァントの経路により、清浄空気ａを循環させている。

又、コンベンショナル方式では、第１４図に示す如く、
クリーンルームＲの上部に張設した天井板Ｔｂの所要箇
所に、フィルタＨを下面に設けたフィルタチャンバＨｃ
を複数個配設し、それぞれに分岐した送気ダク１−Ｄｓ
を導き、送気ファンＦから送気ダクトＤＳ→フィルタチ
ャンバＨｃ→（フィルタＨ）→室内Ｒｎ→室側壁Ｒｓ下
部に開口した吸入穴Ｒａ→排気ダクトＤｅ→送風ファン
Ｆの経路により清浄空気ａを循環させ、室内Ｒｎの空気
清浄度を高めている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のクリーンルームは上記のように構成されているの
で、全面ラミナーフロ一方式のものにあっては、清浄空
気流は、整斉とした層流となるが、天井チャンバを必要
とし、フィルタも全面敷設となるため、室内天井が低く
なるばかりか、材料費や施設工事費が高価になるという
不都合がある。

一方、コンベンショナル方式のものでは、フィルタチャ
ンバのフィルタ部分が天井板下面に突出しており、而も
清浄空気の吹出しが下方の一方向だけであるため、フィ
ルタ側方に渦流が停滞して循環しないので、清浄するこ
とができないという欠点がある。

〔発明の目的〕

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、天井チャンバやフィルタチャンバ
を必要とせず、室内天井を高くすることができるばかり
か、低コスト化を図ることが可能であり、又、室内上部
に渦流を滞留させることなく、整斉とした清浄空気の層
流が得られるフィルタダクト方式のクリーンルームを提
供することにある。

〔問題点を解決するための手段］本発明に係るクリーンルームは、支持部材と、フィルタ
と、少なくとも一側に湾曲部を有する接続用の枠体とを
有し、フィルタの長手方向の少なくとも一側部を湾曲さ
せて支持部材に取り付けると共に、支持部材の長手方向
両端部に接続用の枠体を取り付け、枠体内にフィルタを
架設して成るフィルタダクトユニットを、複数台一列に
連結して構成したフィルタダクトを室内上部に所要の間
隔をもって併設すると共に、フィルタダクトの各列中間
に整流部材を設置したものである。

〔発明の作用〕

本発明に於ては、９０度方向、又は１８０度方向へ清浄
空気を吹き出すフィルタダクトを室内天井に所要の間隔
をもって併設するとともに、該フィルタダクトの中間に
整流部材を設置して構成したものであるから、フィルタ
から吹き出される清浄空気の横方向へ進むものは、整流
部材によって円滑に進路を下方向へ案内され、斜め方向
へ進むものは、両方から合流して下方へ向かい、下方へ
進むものは、そのまま床へ向かい１．これらが総合され
て層流となる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図乃至第５図は本発明の第一実施例を示すものであ
る。尚、従来例と同一、又は相当部分は同一符号を用い
、その説明は省く。

第１図に於て、１はクリーンルームを示し、２はこのク
リーンルーム１の天井ＩＬ及び側壁ＩＳに取り付けた天
井隅用フィルタダクト、３はこの天井隅用フィルタダク
ト２に対し所要の間隔をもって併設された天井用フィル
タダクト、４は両フィルタダクト２．３のほぼ中央に併
設された照明器具５の保持を兼ねた整流部材である。そ
して、側壁ｉｓ、ｉｓそれぞれの下部両隅付近に開口し
た吸出孔１ａから室内Ｉｎの清浄空気ａは、排気ダクト
Ｄｅにより前記クリーンルームｌの外部に設置された送
風ファントに導かれ、更に送気ダクトＤｓを通り、それ
ぞれの分岐ダクトＤｂを介して天井隅用フィルタタリト
２及び天井用フィルタダクト３へ送られるようになって
いる。

ところで、天井隅用フィルタダクト２及び天井用フィル
タダクト３は、それぞれ天井隅用フィルタダクトユニッ
ト２１及び天井用フィルタダクトユニット３１が複数台
一列に連結されて構成されたものであり、一方、整流部
材４も１本又は複数本の蛍光灯等の照明器具５を有する
整流ユニット４１を複数個一列に連結したものである。

天井隅用フィルタダクトユニット２１は、第２図に示す
如く、方形の平板を横断面ほぼＬ形に形成した支持部材
２２の長手方向両端辺に、湾曲部２３ｗを形成した板枠
２３一対を突設し、前記湾曲部２３ｗ内に湾曲したフィ
ルタ２４をパツキン２５を介して架設し、内枠２６によ
り固定したものである。

板枠２３の支持部材２２に接するＬ形部２３ｊ２の面に
は、天井隅用フィルタダクトユニット２１の連結に際し
気密にするための置型パツキン２７を挾持するパツキン
溝２３ｍが形成されており、又、湾曲部２３ｗの面には
連結用の皿ビス２８を取り付ける皿ビス用孔２３ａが適
当な間隔をもって複数個穿設されている。

又、支持部材２２の横方向の両端辺部２２ｈには、クリ
ーンルーム１の側壁ＩＳ及び天井１ｔにそれぞれ皿ビス
止めするための取付孔２２ａが複数個穿設されている。

一方、天井用フィルタダクトユニット３１は、第３図に
示す如く、長方形の平板をもって支持部材３２として、
長手方向の両端辺に１８０度方向に湾曲部３３ｗを形成
する平面り形の板枠３３一対を突設し、湾曲部３３ｗ内
に湾曲したフィルタ３４をパツキン３５を介して架設し
て、内枠３６により固定したものである。

その他の構成は、前述の天井隅用フィルタダクトユニッ
ト２１と略同様で、天井ＩＬへの取付孔３２ａ、板枠３
３のパツキン溝３３ｍ（管壁パンキン３７用）、連結用
の皿ビス用孔３３ａがそれぞれ設けられている。

尚、第４図に示すように、支持部材と仮枠とを一体に平
板から打ち抜き、破線に沿い折曲げ加工して形成すれば
、天井隅用フィルタダクト２１　（同図（ａ）参照）、
天井用フィルタダクト３１（回部（ｂ）参照）とも外形
を極めて簡単に作成することができる。又、要部だけを
部分的に打抜き形成しても良い。

前記両フィルタダクトユニット２１．３１は、叙上の構
成となっているので、それぞれ所要の個数を連結して天
井隅用フィルタダクト２及び天井用フィルタダクト３を
組み立て、それぞれの両端に位置する仮枠２３．２３及
び３３．３３を第１図に見られるように送気ダク１−Ｄ
ｓの分岐ダクトＤｂを接続した蓋板２９．３９で塞ぎ、
クリーンルーム１の所定位置に取り付けると共に、照明
器具５を装備した整流部材４を設置する。そして、清浄
空気ａを送風ファンＦ→送気ダク１−Ｄｓ→分ダクトＤ
ｂ→天井隅用フィルタダクト２又は天井用フィルタダク
ト３→室内１ｎ→吸出孔１ａ→排気ダクトＤｅ→送風フ
アントの経路で循環させると、第５図に示すように室内
１ｎに於ては、フィルタ２４．３４から吹き出される清
浄空気ａが横方向へ吹き出すものは整流部材４によって
進む方向を下方へ案内され、斜下方へ吹き出すものは両
方から合流して下方へ向かい、下方へ吹き出すものはそ
のまま床へ向かって進み、これらが総合されて層流とな
り、天井１を近くに停滞する渦流を発生することはない
。

尚、室内１ｎに一点鎖線で示すように、吸出孔Ｙａを有
する床Ｙを張って床下チャンバＹｃを設け、全面床吸込
みとした場合には、従来の全面ラミナーフロ一方式と同
等の気流効果を得ることが可能となる。

又、本実施例では、天井用フィルタダクト３を１列だけ
設置しであるが、クリーンルーム１の大きさに応じて複
数列を配設することはいうまでもない。

更に、仮枠２３．３３に架設するフィルタ２４゜３４は
１枚の湾曲形を用いたが、複数枚の平板型のフィルタを
横断面が多角形の一部を為す形に併設して、略湾曲型の
フィルタとしても良い。

又、天井用フィルタダクト３の代わりに、天井隅用フィ
ルタダクト２一対を背中合わせに結合して使用しても良
い。

又、上記実施例では、整流部材４に照明器具５を装備し
たが、照明器具５は天井隅用フィルタダクト２と整流部
材４との間の天井、及び天井用フィルタダクト２と整流
部材４との間の天井に埋設しても良い。

第６図は本発明の別の実施例に係るクリーンルーム１°
を示す。

このクリーンルーム１°は、第１図に示しクリーンルー
ムよりも長手方向が長くて風量が多いタイプのものであ
る。

第７図乃至第９図は第６図に於ける天井隅用ユニット５
１を示すものである。

天井隅用ユニット５１は、長手方向両端辺にフランジ５
３が取り付けてある断面コ字状のダクト５２と、フィル
タ５４と、−例に湾曲部５６を有する接続用のフランジ
５５とを有し、フィルタ５４の長手方向の一側部を湾曲
させてフランジ５６に取り付けてフランジ５６内にパツ
キン６０を介してフィルタ５４の端部を架設し、フィル
タ５４の湾曲部５５と対向する部位に板体５７を配し、
フィルタ５４及び板体５７の上部に補強プレート５８．
５９を載置し、補強プレート５８．５９上に断面コ字状
のダクト５２を取り付けた後、補強プレート５８．５９
の部位でビス６１によって固着されるようになっている
。

又、フランジ５３及び５４には、連結用の皿ビス６３を
取り付ける皿ビス用孔６２が適当な間隔をもって複数個
穿設されている。

斯（して構成された天井隅用ユニット５１は、パツキン
を介して各フランジ５３同士が接合されると共に、皿ビ
ス６２によって連結されて、第６図に示す如き所定長さ
の天井隅用ダクト２゛形成することができる。

第１０図乃至第１２図は第６図に於ける天井用ユニット
７１を示すものである。

天井用ユニット７１は、長手方向両端辺にフランジ７３
が取り付けてある断面コ字状のダクト７２と、フィルタ
７４と、両側に湾曲部７６を有する接続用のフランジ７
５とを有し、フィルタ７４の長手方向の両側部を湾曲さ
せてフランジ７７に取り付けてフランジ７７内にパツキ
ン８０を介してフィルタ７４の端部を架設し、フィルタ
７４の上部に側部に適当間隔で複数の皿ビス取付孔８２
を穿設した補強プレート７８．７９を載置し、補プレー
ト７８．７９上に断面コ字状のダクト７２強を取り付け
た後、補強プレー）７８．７９の部でビス８３によって
固着されるようになっている。

又、フランジ８３及び８７には、連結用の皿ビスを取り
付ける皿ビス用孔８４が適当な間隔をもって複数個穿設
されている。

斯くして構成された天井用ユニット７１は、パツキンを
介して各フランシフ３同士が接合されると共に、皿ビス
によって連結されて、第６図に示す如き所定長さの天井
隅用ダクト３′を形成することができる。

本実施例によれば、第１図のユニッ１−２１，３１に比
し、本実施例ではダクト５２．７２が箱断面を為してい
るため、断面積が大きくなり、所定の風量を補うことが
可能となる。

又、本実施例によれば、天井下に垂下がるフィルタ部分
をできるだけ短くしたい場合に、ダクト５２．７２を天
井内に入れることによって形成することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、フィルタダクトを併設す
るとともに、それらの中間に整流部材を設置して構成し
たため、はぼ曲面を形成するフィルタから側方、斜下方
及び下方へ清浄空気を吹き出すので、処理風量が多くな
るばかりか、整流部材によりフィルタ相互間の気流干渉
をなくして下方へ流れることにより、全面天井吹出しと
同等の平面気流分布が得られる。

又、フィルタダクト方式であり、フィルタダクトの端面
に送気ダクトの分岐管を接続するので、天井板上を長い
分岐管を這わせる空積や天井チャバを設ける必要がない
ため、室内の天井を高くすることができ、而も室内から
装着することが可能なので取付作業も簡単容易となり、
全般的にコストの低減を図ることができるなど数々の効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第一実施例であるクリーンルームの透
視斜視図である。第２図は同じく隅用フィルタダクトユニットの斜視図で
ある。第３図は同じく天井用フィルタダクトユニットの斜視図
である。第４図（ａ）は天井隅用フィルタダクトユニット用フィ
ルタダクトユニットの外形作成用平板の一例を示す平面
図である。第４図（ｂ）は天井用フィルタダクトユニット用フィル
タダクトユニットの外形作成用平板の一例を示す平面図
である。第５図は第一実施例のクリーンルーム内に於ける清浄空
気の流れを示正面図である。第６図は本発明の別の実施例の使用状態を示すクリーン
ルームの透視斜視図である。第７図は第６図の実施例に用いる天井隅用フィルタダク
トユニットの斜視図である。第８図は同天井隅用フィルタダクトユニットの分解図で
ある。第９図は同接合部の拡大図である。第１０図は第６図の実施例に用いる天井用フィルタダク
トユニットの斜視図である。第１１図は同天井隅用フィルタダクトユニットの分解図
である。第１２図は同接合部の拡大図である。第１３図は従来の全面ラミナーフロ一方式によるクリー
ンルームの概要構成を示す正面図である。第１４図は従来のコンベンショナル方式によるクリーン
ルームの概要を示す正面図である。〔主要な部分の符号の説明〕１．１′　・・・クリーンルーム１ｎ・・・室内２．２″　・・・天井隅用フィルタダクト３．３°　・
・・天井用フィルタダクト４・・・整流部材５・・・照明器具２１．５１・・・天井隅用フィルタダクトユニット２２．３２・・・支持部材２３．３３・・・仮枠２３ｗ、３３ｗ・・・湾曲部２４．３４　・　・　・フィルタ３１．７１・・・天井用フィルタダクトユニット。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）支持部材と、フィルタと、少なくとも一側に湾曲
部を有する接続用の枠体とを有し、フィルタの長手方向
の少なくとも一側部を湾曲させて支持部材に取り付ける
と共に、支持部材の長手方向両端部に接続用の枠体を取
り付け、枠体内にフィルタを架設して成るフィルタダク
トユニットを、複数台一列に連結して構成したフィルタ
ダクトを室内上部に所要の間隔をもって併設すると共に
、フィルタダクトの各列中間に整流部材を設置したこと
を特徴とするクリーンルーム。
（２）整流部材は、照明機器保持部を有することを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
（３）フィルタダクトユニットは、支持部材の長手方向
両端辺に、湾曲部を形成し、フィルタ保持を兼ねる接続
用の板枠一対を突設すると共に、枠体の湾曲部内にフィ
ルタを架設して構成されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
（４）支持部材は、長方形の平板であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
（５）支持部材は、方形の平板を横断面ほぼＬ形に形成
したものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のクリーンルーム。
（６）支持部材は、断面コ字状のダクトであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
（７）支持部材は、長手方向両端辺にフランジが取り付
けてあることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
クリーンルーム。
（８）枠体は、フランジであることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
（９）フィルタダクトユニットは、長手方向両端辺にフ
ランジが取り付けてある断面コ字状のダクトと、フィル
タと、一側に湾曲部を有する接続用のフランジとを有し
、フィルタの長手方向の一側部を湾曲させてフランジを
取り付けてフランジ内にフィルタの端部を架設し、フィ
ルタの湾曲部と対向する部位に板体を配し、フィルタ及
び板体の上部に補強プレートを載置し、補強プレート上
に断面コ字状のダクトを取り付けて構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
（１０）フィルタダクトユニットは、長手方向両端辺に
フランジが取り付けてある断面コ字状のダクトと、フィ
ルタと、両側に湾曲部を有する接続用のフランジとを有
し、フィルタの長手方向の両側部を湾曲させてフランジ
を取り付けてフランジ内にフィルタの端部を架設し、フ
ィルタの上部に補強プレートを載置し、補強プレート上
に断面コ字状のダクトを取り付けて構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。