JPH0315954Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は、製造ラインおよびその周辺等の局
所に高いレベルのクリーンゾーンを形成すること
のできる水平層流型のクリーントンネルシステム
に関するものである。

「従来の技術および問題点」 周知のように、精密機器製造工場等におけるク
リーンルームは、成熟期に入つており、今後は所
定レベルのクリーンルーム内により高いレベルの
クリーンゾーンを形成するという必要性および要
望が高まつている。

すなわち、半導体工場でのように、当初から非
常に高度のクリーンルームを必要とする場合は、
例外として大部分の機器製造工場等のクリーンル
ームでは、全体を高いクリーン度にする必要はな
く、全体をある程度のクリーン度にした後、製造
ラインおよびその周辺の要所のみを高いクリーン
度に保てば充分である。

このように、ある程度のクリーン度のクリーン
ルーム内の局所に高いレベルのクリーンゾーンを
形成する構造としては、従来、第５図に示すよう
な、比較的大掛かりなクリーントンネルシステム
が採用されていた。

このクリーントンネルシステムでは、図に示す
ように、まず、クリーンルーム内の高いレベルで
クリーンゾーンとしたい部分、例えば製造装置１
およびその周辺に、ほぼ天井２から床３に至る仕
切り壁４…が設置される。そして、天井２の裏に
は空間が設けられ、ここにサプライダクト５が設
置され、このサプライダクト５から空気が天井２
に取り付けたエアーフイルター付きの降流送風機
６，６を介して前記仕切り壁４内のクリーンゾー
ン７に送り込まれる。

一方、このクリーンゾーン７内の床３には吸気
口８が形成され、クリーンゾーン７の外、つまり
仕切り壁４の外側の床３には吹出口９が形成され
ており、床３の下には空間が設けられ、内部に前
記サプライダクト５に連結しているリターンダク
ト１０が設置されている。

従つて、前記降流送風機６からクリーンゾーン
７に送り込まれた空気は、床３の吸気口８を通つ
て床３の下に入り、その一部はリターンダクト１
０によりサプライダクト５へ導かれ、残りの空気
は床３の吹出口９からクリーンゾーン７の外側に
吹き出されて仕切り壁４に沿つて立ち上がり、降
流送風機６中に吸い込まれ、循環を繰り返す。

従来は、このようにしてクリーンルーム内に高
いレベルなクリーンゾーンを形成していた。

「考案が解決しようとする問題点」 ところで、前記従来のクリーントンネルシステ
ムにおいては、次のような問題点があり、それら
の解決が望まれている。

(i) 天井２の裏および床３の下にダクト５，１０
を設置するための空間を確保するために階高Ｈ
を大きく取らなければならず、設備投資がかさ
む。

また、既存の建物を利用する場合には、構造
躯体、仕上げ材、各種設備の改修を行なわねば
ならなくなる。また、それに伴つて、生産機器
の移動やラインの一時休止等が必要となり、製
品製造の停止および設備コストの上からかなり
困難である。

この考案は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は電源と小容積の設置空間さえあれ
ば、容易に高レベルのクリーンゾーンを形成する
ことのできるクリーントンネルシステムを提供す
ることにある。

「問題点を解決するための手段」 この考案に係るクリーントンネルシステムは、
互いに隣接一体化された２室からなり、一方の室
の前面からは空気はほぼ水平方向に吹き出し、他
方の室の前面からは空気を吸い込むように構成さ
れるとともに、前記２室の一方または両方にエア
ーフイルターが設けられ、さらに、前記２室の間
には流通口が設けられてなるエアークリーナーユ
ニツトが、互いに前記一方の室の前面と、前記他
方の室の前面とを所定間隔空けて対向するように
して複数個連続して平行に配置され、各ユニツト
の前面側に高いレベルのトンネル状のクリーンゾ
ーンが形成されていることを特徴とするものであ
る。

「作用」 前記構成において、単にエアークリーナーユニ
ツトをクリーンゾーンを形成したい場所を挟むよ
うにして配置すれば、一方の列のエアークリーナ
ーユニツトの吹出口は他方の列の対向するエアー
クリーナーユニツトの吸込口に面することにな
る。そして、一方の列の複数のエアークリーナー
ユニツトと、これらに対向して配置されている他
方の列の複数のエアークリーナーユニツトとの間
で小区画ずつ空気が循環することになり、循環空
気は各エアークリーナーユニツト内で清浄化され
る。

このように、本考案のクリーントンネルシステ
ムによれば、小容積の設置空間と電源さえあれ
ば、新規、既存を問わずにクリーンルーム内に容
易、かつ高レベルのクリーンゾーンを形成するこ
とができる。

以下、この考案を実施例によりさらに詳しく説
明する。

「実施例」 第１図は、この考案の一実施例を示すものであ
る。この考案に係る水平層流型クリーントンネル
システムは、図に示すように、前面に空気の吹出
口２０ａと吸込口２０ｂとを複数のエアークリー
ナーユニツト２０…を互いに対向させて配置する
ことにより各対向エアークリーナーユニツト２０
間に高度なクリーンゾーン２１を実現するもので
あり、このクリーンゾーン２１には製造ラインＬ
を位置させて使用する。

前記エアークリーナーユニツト２０は、第２図
に示すように、互いに隣接一体化されている２つ
の室２２，２３とから構成されている幅広の箱型
形状のものである。室２３の内部には、上部から
底部にかけて順次HEPAフイルター（エアーフ
イルター）２４、冷水コイル２５、ドレインパン
２６が取り付けられている。この室２２と隣接す
る室２３との間の壁部の下部（冷水コイル２５と
ドレインパン２６との間）には、流通口２７が形
成されている。

一方、室２３の上部前面には前記吸込口２０ｂ
が形成されている。そして、この室２３の内底部
には送風機２８が設置されており、この送風機２
８の吹出口２８ａは前記流通口２７に接続されて
いる。さらに、この室２３の後面にはエアーフイ
ルター付きの外気取入口２９が設けられている。

前記構造のエアークリーナーユニツト２０の送
風機２８を駆動すれば、空気が吸込口２０ｂおよ
び外気取入口２９から空気が室２３内に導入さ
れ、隣接の室２２に吹き込まれる。室２２に吹き
込まれた空気は、冷水コイル２５により除湿され
るとともに、HEPAフイルター２４により除塵
され吹出口２４から外へ吹き出される。

従つて、このエアークリーナーユニツト２０
を、第１図に示すように、製造ラインＬを挟むよ
うにして対向して複数配置すれば、一方の列のエ
アークリーナーユニツト２０の吹出口２０ａの対
向面には、他方の列のエアークリーナーユニツト
２０の吸込口２０ｂが位置することになる。その
結果、製造ラインＬ上にHEPAフイルター２４
を通過する空気循環の複数の小区画が形成される
ことになり、製造ラインＬは常に清浄化された空
気（クリーンゾーン）中に置かれ、高レベルなク
リーン度に維持されることになる。

なお、前記構成において、各対向するエアーク
リーナーユニツト２０間にそれぞれ小区画の空気
循環径路が形成され、これら小区画の空気循環径
路の隣接部分では空気流が逆向きになるので、第
３図に示すように、空気流の干渉を防ぐために製
造ラインＬの邪魔にならない程度に透明アクリル
板や透明ガラス板等の仕切り板３０を設けること
が望ましい。また、第４図に示すように、エアー
クリーナーユニツト２０の吹出口２０ａの下部に
先端が製造ラインＬに近接する着脱自在のガイド
板３１を設けるようにしてもよい。このように吹
出口２０ａの下部にガイド板３１を設ければ、流
体（空気）が壁面に沿つて流れ易い性質を利用す
ることができ、吹き出した空気流の乱れを防ぐこ
とが可能となる。また、上部からの操作の不要な
部分については、図中符号３２で示すような蓋材
を取り付けることにより、さらに高いクリーン度
を維持することが可能となる。

また、前記実施例では、一方の室２２内にのみ
エアーフイルターを設けたが、他方の室２３に設
けるようにしてもよいし、他方の室に設けるよう
にしてもよい。

「考案の効果」 以上説明したように、この考案に係るクリーン
トンネルシステムによれば、小容積の設置空間と
電源さえあれば、新規、既存を問わずにクリーン
ルーム内に容易、かつ高レベルのクリーンゾーン
を形成することができる。また、互いに対向配置
された２室の間は、常に清浄化された空気が循環
するので、エアークリーナーユニツトの数量、大
きさを適宜変更することによつて任意の範囲に亙
つて高レベルのクリーン領域を容易に得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図はこの考案の一実施例を説
明するためのもので、第１図はこの考案の水平層
流型クリーントンネルシステムの斜視図、第２図
はこの考案のクリーンルームシステムを構成する
エアークリーナーユニツトの斜視図、第３図は同
クリーントンネルシステムの平面図、第４図は同
エアークリーナーユニツトの吹出口近傍の側面
図、第５図は従来のクリーントンネルシステムの
構成図である。 ２０……エアークリーナーユニツト、２０ａ…
…吹出口、２０ｂ……吸込口、２１……クリーン
ゾーン、２２，２３……室、２４……HEPAフ
イルター（エアーフイルター）、２８……送風機。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 互いに隣接一体化された２室２２，２３からな
   り、一方の室２２の前面２０ａからは空気がほぼ
   水平方向に吹き出し、他方の室２３の前面２０ｂ
   からは空気を吸い込むように構成されるととも
   に、前記２室２２，２３の一方または両方にエア
   ーフイルター２４が設けられ、さらに、前記２室
   の間には流通口２７が設けられてなるエアークリ
   ーナーユニツト２０が、互いに前記一方の室の前
   面と、前記他方の室の前面とを所定間隔空けて対
   向するようにして複数個連続して平行に配置さ
   れ、各ユニツト２０の前面間に高いレベルのトン
   ネル状のクリーンゾーン２１が形成されているこ
   とを特徴とする水平層流型クリーントンネルシス
   テム。