JPS6319129U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6319129U JPS6319129U JP11016486U JP11016486U JPS6319129U JP S6319129 U JPS6319129 U JP S6319129U JP 11016486 U JP11016486 U JP 11016486U JP 11016486 U JP11016486 U JP 11016486U JP S6319129 U JPS6319129 U JP S6319129U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- chamber
- front surfaces
- chambers
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第1図ないし第4図はこの考案の一実施例を説
明するためのもので、第1図はこの考案の水平層
流型クリーントンネルシステムの斜視図、第2図
はこの考案のクリーンルームシステムを構成する
エアークリーナーユニツトの斜視図、第3図は同
クリーントンネルシステムの平面図、第4図は同
エアークリーナーユニツトの吹出口近傍の側面図
、第5図は従来のクリーントンネルシステムの構
成図である。 20……エアークリーナーユニツト、20a…
…吹出口、20b……吸込口、21……クリーン
ゾーン、22,23……室、24……HEPAフ
イルター(エアーフイルター)、28……送風機
。
明するためのもので、第1図はこの考案の水平層
流型クリーントンネルシステムの斜視図、第2図
はこの考案のクリーンルームシステムを構成する
エアークリーナーユニツトの斜視図、第3図は同
クリーントンネルシステムの平面図、第4図は同
エアークリーナーユニツトの吹出口近傍の側面図
、第5図は従来のクリーントンネルシステムの構
成図である。 20……エアークリーナーユニツト、20a…
…吹出口、20b……吸込口、21……クリーン
ゾーン、22,23……室、24……HEPAフ
イルター(エアーフイルター)、28……送風機
。
Claims (1)
- 互いに隣接一体化された2室からなり、一方の
室の前面からは空気がほぼ水平方向に吹き出し、
他方の室の前面からは空気を吸い込むように構成
されるとともに、前記2室の一方または両方にエ
アーフイルターが設けられてなるエアークリーナ
ーユニツトが、互いにその前面を所定間隔空けて
対向するようにして複数個連続して平行に配置さ
れ、各ユニツトの前面間に高いレベルのトンネル
状のクリーンゾーンが形成されていることを特徴
とする水平層流型クリーントンネルシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986110164U JPH0315954Y2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986110164U JPH0315954Y2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6319129U true JPS6319129U (ja) | 1988-02-08 |
JPH0315954Y2 JPH0315954Y2 (ja) | 1991-04-05 |
Family
ID=30988933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986110164U Expired JPH0315954Y2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0315954Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53144062A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-15 | Masahiko Izumi | Closed type air curtain |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP1986110164U patent/JPH0315954Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53144062A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-15 | Masahiko Izumi | Closed type air curtain |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0315954Y2 (ja) | 1991-04-05 |