JPS602745U - 非層流式クリ−ンル−ム - Google Patents

非層流式クリ−ンル−ム

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Publication number
JPS602745U
JPS602745U JP9525683U JP9525683U JPS602745U JP S602745 U JPS602745 U JP S602745U JP 9525683 U JP9525683 U JP 9525683U JP 9525683 U JP9525683 U JP 9525683U JP S602745 U JPS602745 U JP S602745U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laminar flow
clean room
flow clean
side wall
provided near
Prior art date
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Pending
Application number
JP9525683U
Other languages
English (en)
Inventor
飯島　唯史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Orion Machinery Co Ltd
Original Assignee
Orion Machinery Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Orion Machinery Co Ltd filed Critical Orion Machinery Co Ltd
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Publication of JPS602745U publication Critical patent/JPS602745U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の非層流式クリーンルームの概略図、第２
図及び第３図は水平、垂直層流方式のクリーンルームの
概略図、第４図は本考案に係る、一実施例をあられすク
リーンルームの概略図である。 １・・・・・・送風用ファン、２・・・・・・ＨＥＰＡ
フィルタ、３・・・・・・多孔板、４・・・・・・吹出
口、５・・・・・・吹入口、６・・・・・・吸入ダクト
、７・・・・・・調温調湿清浄機、８・・・・・・送風
用ダクト、９・・・・・・エアーチ、ヤンバー、１０・
・・…り一リーンルーム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 側壁の上部近傍に吹出口を設けると共に、該側壁と対向
    する側壁の下部近傍に吸入口を設けたことを特徴とする
    非層流式クリーンルーム。
JP9525683U 1983-06-21 1983-06-21 非層流式クリ−ンル−ム Pending JPS602745U (ja)

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JP9525683U JPS602745U (ja) 1983-06-21 1983-06-21 非層流式クリ−ンル−ム

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JP9525683U JPS602745U (ja) 1983-06-21 1983-06-21 非層流式クリ−ンル−ム

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JPS602745U true JPS602745U (ja) 1985-01-10

Family

ID=30227567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9525683U Pending JPS602745U (ja) 1983-06-21 1983-06-21 非層流式クリ−ンル−ム

Country Status (1)

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JP (1) JPS602745U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6297541U (ja) * 1985-12-10 1987-06-22
JPS63114128U (ja) * 1987-01-19 1988-07-22
JP2011099576A (ja) * 2009-11-04 2011-05-19 Orion Machinery Co Ltd エアフィルタ装置および送風装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6297541U (ja) * 1985-12-10 1987-06-22
JPS63114128U (ja) * 1987-01-19 1988-07-22
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