JPS60173838U - 垂直層流型クリンル−ム - Google Patents

垂直層流型クリンル−ム

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Publication number
JPS60173838U
JPS60173838U JP6271984U JP6271984U JPS60173838U JP S60173838 U JPS60173838 U JP S60173838U JP 6271984 U JP6271984 U JP 6271984U JP 6271984 U JP6271984 U JP 6271984U JP S60173838 U JPS60173838 U JP S60173838U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean room
ventilation
laminar flow
chamber
ceiling
Prior art date
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Pending
Application number
JP6271984U
Other languages
English (en)
Inventor
柿崎　治郎
Original Assignee
株式会社竹中工務店
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社竹中工務店 filed Critical 株式会社竹中工務店
Priority to JP6271984U priority Critical patent/JPS60173838U/ja
Publication of JPS60173838U publication Critical patent/JPS60173838U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第３図は、それぞれ従来例の構成要領
断面図、第４因は、本考案の実施例を示す構成要領断面
図、第５図は、同側要部の拡大断面図である。 １・・・躯体、２・・・クリンルーム、３・・・天井チ
ャンバ、４・・・レタンチャンバ、５・・・機械室、６
・・・フィルタ天井、７・・・通風床、８・・・支持鋼
、９・・・仕切壁、１０・・・空調器、１１・・・外気
導入ダクト、１２・・・送風ダクト、１３・・・レタン
ダクト、１４・・・フィルタまたはダンパ、１５・・・
通風量調整装置、１６・・・通風量センサ、１７・・・
制御装置、１８・・・高低アジャスタ、１９・・・目隠
し用プレフィルタ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリンルーム２の上に天井チャンバ３を、且つ、下にレ
    タンチャンバ４を有し、フィルタ天井６及び通風床７を
    備えて、清浄空気を天井チャンバ３からクリンルニム２
    へと供給し、続いて、該クリンルームからレタンチャン
    バ４へと送る層流型クリンルームにおいて、通風床７の
    直下の平面全域を複数のブロックに区分して、各ブロッ
    クに゛　それぞれ通風量調整装置１５・・・を配備する
    と共に、通風量センサ１６・・・を設け、−また、それ
    らの通風量センサ１６・・・から検出出力を受けてそれ
    らの通風量調整装置１５・・・を通風量が均等となるよ
    うフィードバック制御する制御装置１７を設けたことを
    特徴とする垂直層流型クリンルーム。
JP6271984U 1984-04-26 1984-04-26 垂直層流型クリンル−ム Pending JPS60173838U (ja)

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JP6271984U JPS60173838U (ja) 1984-04-26 1984-04-26 垂直層流型クリンル−ム

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JP6271984U JPS60173838U (ja) 1984-04-26 1984-04-26 垂直層流型クリンル−ム

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JPS60173838U true JPS60173838U (ja) 1985-11-18

Family

ID=30592199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6271984U Pending JPS60173838U (ja) 1984-04-26 1984-04-26 垂直層流型クリンル−ム

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JP (1) JPS60173838U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003065577A (ja) * 2001-08-24 2003-03-05 Hitachi Ltd ファンフィルタユニット制御システム及びそのシステムを備えたクリーンルーム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5631230B2 (ja) * 1973-02-23 1981-07-20
JPS5714727B2 (ja) * 1978-07-17 1982-03-26

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5631230B2 (ja) * 1973-02-23 1981-07-20
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003065577A (ja) * 2001-08-24 2003-03-05 Hitachi Ltd ファンフィルタユニット制御システム及びそのシステムを備えたクリーンルーム

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