JPS59189023U - クリ−ンル−ムの給気装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの給気装置Info
- Publication number
- JPS59189023U JPS59189023U JP8385983U JP8385983U JPS59189023U JP S59189023 U JPS59189023 U JP S59189023U JP 8385983 U JP8385983 U JP 8385983U JP 8385983 U JP8385983 U JP 8385983U JP S59189023 U JPS59189023 U JP S59189023U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- air supply
- room air
- supply system
- particle concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の説明図である。
１・・・クリーンルーム、４・・・ＨＥＰＡフィルタ、
６・・・送風器、７・・・微粒子濃度の設定器、８・・
・微粒子濃度の検出器、９・・・制御器。
６・・・送風器、７・・・微粒子濃度の設定器、８・・
・微粒子濃度の検出器、９・・・制御器。
Claims (1)
- 送風器からフィルタを介して清浄空気の供給を受けるク
リーンルームにおいて、クリーンルーム中に設置された
微粒子検出器、微粒子濃度の設定器、設定された微粒子
濃度と検出された微粒子濃度とから制御信号を発生する
制御器、及び上記制御信号に応動する送風器を備えてな
るクリーンルームの給気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8385983U JPS59189023U (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | クリ−ンル−ムの給気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8385983U JPS59189023U (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | クリ−ンル−ムの給気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59189023U true JPS59189023U (ja) | 1984-12-14 |
Family
ID=30213814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8385983U Pending JPS59189023U (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | クリ−ンル−ムの給気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59189023U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021183902A (ja) * | 2015-04-20 | 2021-12-02 | シネクシス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーSynexis LLC | 希薄過酸化水素（ｄｈｐ）ガスを含むクリーンルームおよびその使用方法 |
-
1983
- 1983-06-03 JP JP8385983U patent/JPS59189023U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021183902A (ja) * | 2015-04-20 | 2021-12-02 | シネクシス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーSynexis LLC | 希薄過酸化水素（ｄｈｐ）ガスを含むクリーンルームおよびその使用方法 |
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