JPS5926525U - クリ−ントンネル装置 - Google Patents

クリ−ントンネル装置

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JPS5926525U
JPS5926525U JP12231782U JP12231782U JPS5926525U JP S5926525 U JPS5926525 U JP S5926525U JP 12231782 U JP12231782 U JP 12231782U JP 12231782 U JP12231782 U JP 12231782U JP S5926525 U JPS5926525 U JP S5926525U
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JP
Japan
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clean
clean tunnel
tunnel device
opening
vertical
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Application number
JP12231782U
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English (en)
Other versions
JPH0123055Y2 (ja
Inventor
安藤　敏博
北迫　鐵雄
上島　「あ」也
雅之 高田
Original Assignee
高砂熱学工業株式会社
株式会社忍足研究所
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Publication date
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Publication of JPH0123055Y2 publication Critical patent/JPH0123055Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のクリーントンネルの縦断面図、第２図
は本考案のクリーントンネルの他の例を示す縦断面図、
第３図はＡ部拡大図、第４図はＢ部拡大図、第５図およ
び第６図は整流板を有しない場合と有する場合の気流分
布を示した図、第７図は本考案のクリーントンネル装置
の配置例を示した天井部平面図である゛。 １・・・クリーンルーム（通路）、２・・・開口、３・
・・クリーントンネル、４・・・ＨＥＰＡフィルター、
５・・・ＨＥＰＡフィルター、６・・・フード、７・・
・ｍ械類、９゜９′・・・整流板、１４・・・排気口、
１７・・・吸盤、１８・・・支持棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリーンルーム１内に、このクリーンルーム１と連通す
    る開口２を有するクリーントンネル３を′形成した設備
    において、該クリーントンネル３の天井部にクリーンル
    ーム１用のＨＥＰＡフィルタ４よりもハイクラスのＨＥ
    ＰＡフィルター５を水平に配置すると共に前記開口２の
    上部に垂直なフード６を設置し、このクリーントンネル
    １内に設置される機械または作業台７の開口２に面する
    垂直面８と前記フード６の内面に沿った垂直面との間に
    これらの垂直面と平行な整流板９を取付けたことを特徴
    とするクリーントンネル装置。
JP12231782U 1982-08-13 1982-08-13 クリ−ントンネル装置 Granted JPS5926525U (ja)

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JP12231782U JPS5926525U (ja) 1982-08-13 1982-08-13 クリ−ントンネル装置

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Publication Number Publication Date
JPS5926525U true JPS5926525U (ja) 1984-02-18
JPH0123055Y2 JPH0123055Y2 (ja) 1989-07-14

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ID=30279632

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60245533A (ja) * 1984-05-22 1985-12-05 Shinwa Tec Kk プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス
JP2019090576A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 株式会社桜アーク 清浄ユニット

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60245533A (ja) * 1984-05-22 1985-12-05 Shinwa Tec Kk プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス
JP2019090576A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 株式会社桜アーク 清浄ユニット

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JPH0123055Y2 (ja) 1989-07-14

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