JPS61149030U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面は、いずれも本考案の実施例を示し、第１
図はクリーンルームを示す斜視図、第２図は第１
の壁部材の一実施例を示す斜視図、第３図ないし
第５図は第１の壁部材の夫々異なる実施例を示す
縦断面図である。 Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ……第１の壁部材、Ｅ……第２
の壁部材、１２……パネル、３……帯状板、４…
…排気口、６……吸気口、８……ヘパフイルタ、
９……プレフイルタ、１０……シロツコフアン（
送風装置）、１１……熱交換器、１２……加湿器
、１３……ヒータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 上部に排気口が開設され、下部に吸気口が開
   設され、内部に少なくとも送風装置および除塵フ
   イルタが設けている第１の壁部材と、排気口およ
   び吸気口が開設されていない第２の壁部材とが、
   床部材上に着脱可能に装着されているクリーンル
   ーム。 ２ 第１の壁部材に、ヒータが内蔵されている実
   用新案登録請求の範囲第１項に記載のクリーンル
   ーム。 ３ 第１の壁部材に、冷媒が導入される熱交換器
   が内蔵されている実用新案登録請求の範囲第１項
   若しくは第２項に記載のクリーンルーム。 ４ 第１の壁部材に、加湿器が内蔵されている実
   用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のいず
   れかに記載のクリーンルーム。