JPS62119336A - クリ−ンル−ムの空調コントロ−ルシステム - Google Patents
クリ−ンル−ムの空調コントロ−ルシステムInfo
- Publication number
- JPS62119336A JPS62119336A JP60258293A JP25829385A JPS62119336A JP S62119336 A JPS62119336 A JP S62119336A JP 60258293 A JP60258293 A JP 60258293A JP 25829385 A JP25829385 A JP 25829385A JP S62119336 A JPS62119336 A JP S62119336A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air conditioning
- conditioning control
- room
- clean room
- zone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体生産工場あるいはクリーントンネル等
の高精度の空気調和が要求されるクリーンルームの空調
コントロールシステムに関するものである。
の高精度の空気調和が要求されるクリーンルームの空調
コントロールシステムに関するものである。
従来の技術
通常のクリーンルームにおける空調コントロールは第５
図に示すように、室内Ａの天井面にフィルタＢを設け、
室外に設けられた一つの空調コントロールユニットＣに
よって、前記フィルタＢを通して室内にエアを送り込み
、これによって室内のエアの空気調和およびクリーン化
を行なうようにしたもの、あるいは第６図に示すように
、フィルタの近傍にエア循環用のファンＤを配設し、室
外に空調コントロールユニットＣを設けたシステムのも
のがあるが、いずれも室外に設けられた一つの空調コン
トロールユニットＣで室内全体の空気調和を行なうよう
にしたいわゆるセントラル方式が採用されている。
図に示すように、室内Ａの天井面にフィルタＢを設け、
室外に設けられた一つの空調コントロールユニットＣに
よって、前記フィルタＢを通して室内にエアを送り込み
、これによって室内のエアの空気調和およびクリーン化
を行なうようにしたもの、あるいは第６図に示すように
、フィルタの近傍にエア循環用のファンＤを配設し、室
外に空調コントロールユニットＣを設けたシステムのも
のがあるが、いずれも室外に設けられた一つの空調コン
トロールユニットＣで室内全体の空気調和を行なうよう
にしたいわゆるセントラル方式が採用されている。
しかしながら、前記セントラル方式では半導体生産工場
のように室内面積が広い場合には、それによって生ずる
内部発熱の片寄りに対して、室内全体の温湿度を均一に
維持することができず満足できる空気調和を得ることが
困難である。
のように室内面積が広い場合には、それによって生ずる
内部発熱の片寄りに対して、室内全体の温湿度を均一に
維持することができず満足できる空気調和を得ることが
困難である。
また前記セントラル方式では、クリーンルームの面積形
状あるいは室内レイアウトの変更時にはクリーンルーム
全体を壊して、あらたにクリーンルームを形成しなけれ
ばならないものである。
状あるいは室内レイアウトの変更時にはクリーンルーム
全体を壊して、あらたにクリーンルームを形成しなけれ
ばならないものである。
本発明が解決しようとする問題点
本発明は、半導体生産Ｔ場のごとく広い室内において、
内部発熱の片寄りが生じても、室内全体の温湿度を均一
に維持しうる空気調和を行なうことができ、またクリー
ンルームの面積形状および室内のレイアウトの変更等が
自在かつ簡単に設計できる空調コントロールシステムを
得ることを目的とするものである。
内部発熱の片寄りが生じても、室内全体の温湿度を均一
に維持しうる空気調和を行なうことができ、またクリー
ンルームの面積形状および室内のレイアウトの変更等が
自在かつ簡単に設計できる空調コントロールシステムを
得ることを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
本発明は、室内をモジュール化せしめ、該モジュール化
した各ゾーン毎に空調コントロールとフィルタとよりな
るモジュールユニットを配設して、各ゾーン毎にエアの
空気調和およびクリーン化を行なうようにすることによ
って前記目的を達成したものである。
した各ゾーン毎に空調コントロールとフィルタとよりな
るモジュールユニットを配設して、各ゾーン毎にエアの
空気調和およびクリーン化を行なうようにすることによ
って前記目的を達成したものである。
実施例
本発明は第１図の平面図に示されるように室内１が適宜
の面積幅を有してモジュール化されている。そしてモジ
ュール化された各ゾーン毎に空調コントロールユニット
２とフィルタ３とよりなるモジュールユニット４が各々
配設されている。室内の外側（図示では上方）のクリー
ン通路５も同様にモジュール化され、各ゾーン毎に前記
同様のモジュールユニットが設けられている。第２図は
室内１の平面図であって、フィルタ３がその天井面に配
設されるクリーンルーム室６と空調コントロールユニッ
ト２が前記フィルタ３に隣接して配設されるスペース７
とが隔壁８によって分離されている。前記クリーンルー
ムは第３図の側面図で一層明瞭であるように、クリーン
ルーム６の天井面にはモジュール化による各ゾーン毎に
複数個のフィルタ３が配設され、該フィルタに連通して
スペース７の上方には空調コントロールユニット２が配
設されている。本発明では前記複数のフィルタと一つの
空調コントロールユニットをモジュールユニットとして
、モジュール化された室内１の各ゾーン毎に配設したも
のである。
の面積幅を有してモジュール化されている。そしてモジ
ュール化された各ゾーン毎に空調コントロールユニット
２とフィルタ３とよりなるモジュールユニット４が各々
配設されている。室内の外側（図示では上方）のクリー
ン通路５も同様にモジュール化され、各ゾーン毎に前記
同様のモジュールユニットが設けられている。第２図は
室内１の平面図であって、フィルタ３がその天井面に配
設されるクリーンルーム室６と空調コントロールユニッ
ト２が前記フィルタ３に隣接して配設されるスペース７
とが隔壁８によって分離されている。前記クリーンルー
ムは第３図の側面図で一層明瞭であるように、クリーン
ルーム６の天井面にはモジュール化による各ゾーン毎に
複数個のフィルタ３が配設され、該フィルタに連通して
スペース７の上方には空調コントロールユニット２が配
設されている。本発明では前記複数のフィルタと一つの
空調コントロールユニットをモジュールユニットとして
、モジュール化された室内１の各ゾーン毎に配設したも
のである。
前記各々のフィルタ３は公知の技術によってジヨイント
されている。また空調コントロールユニット２はエアの
温湿度制御機構と、外気導入装置より送られるエアまた
は室内のエアを循環せしめて送り出すファンが内蔵され
ており、これは従来の空調コントロールユニットと同様
である。
されている。また空調コントロールユニット２はエアの
温湿度制御機構と、外気導入装置より送られるエアまた
は室内のエアを循環せしめて送り出すファンが内蔵され
ており、これは従来の空調コントロールユニットと同様
である。
本発明のクリーンルームの空調コントロールシステムを
第４図によって説明すると、ファンを含む空調コントロ
ールユニットがモジュール化された室内の各ゾーン毎に
設けられており、該空調コントロールユニットには外気
導入装置１０が連設されており、エアは空調コントロー
ルユニットよりフィルタを通してクリーンルームに送り
出され、排気口９より室外に排気される。クリーンルー
ム内のエアの一部は床面に沿って前記空調コントロール
ユニットに循環せしめてもよい。
第４図によって説明すると、ファンを含む空調コントロ
ールユニットがモジュール化された室内の各ゾーン毎に
設けられており、該空調コントロールユニットには外気
導入装置１０が連設されており、エアは空調コントロー
ルユニットよりフィルタを通してクリーンルームに送り
出され、排気口９より室外に排気される。クリーンルー
ム内のエアの一部は床面に沿って前記空調コントロール
ユニットに循環せしめてもよい。
前記空調コントロールユニツトはフィルタより吹出され
る風量およびフィルタの面積さらにモジュール化された
各ゾーンの広さ等に対して、十分温湿度の調節が可ス近
である機能を有していルモので、該空調コントロールユ
ニー／ ）は、各ゾーン毎に設置された温湿度感知塁１
１の温湿度感知によって各ゾーンの温湿度のコントロー
ルを行なうよう作動するものである。これによってモジ
ュール化された室内の各ゾーン毎のエアの空気調和およ
びクリーン化が可能となる。
る風量およびフィルタの面積さらにモジュール化された
各ゾーンの広さ等に対して、十分温湿度の調節が可ス近
である機能を有していルモので、該空調コントロールユ
ニー／ ）は、各ゾーン毎に設置された温湿度感知塁１
１の温湿度感知によって各ゾーンの温湿度のコントロー
ルを行なうよう作動するものである。これによってモジ
ュール化された室内の各ゾーン毎のエアの空気調和およ
びクリーン化が可能となる。
また前記空調コントロールユニットと外気導入装置の連
結は、外気導入装置に連設される主パイプに各々の空調
コントロールユニットに連結する副バイブを複数設ける
ことにより行なう方法あるいは外気導入装置に複数のパ
イプを設け、直接各々の空調コントロールユニットに連
結するようにしてもよい。
結は、外気導入装置に連設される主パイプに各々の空調
コントロールユニットに連結する副バイブを複数設ける
ことにより行なう方法あるいは外気導入装置に複数のパ
イプを設け、直接各々の空調コントロールユニットに連
結するようにしてもよい。
前記室内のモジュールのレイアウトは、例えば基本モジ
ュールをフィルタが１ｍ四方のモジュールとして設定す
ればよい、勿論これに限定されるものではなく、室内の
面積、形状等に合せて設定することができる。
ュールをフィルタが１ｍ四方のモジュールとして設定す
ればよい、勿論これに限定されるものではなく、室内の
面積、形状等に合せて設定することができる。
また前記空調コントロールユニットの下側のスペース７
は空調コントロールユニットの点検スペースまたはその
他の使用スペースとする。
は空調コントロールユニットの点検スペースまたはその
他の使用スペースとする。
効果
本発明は、室内をモジュール化せしめ、該モジュール化
した各ゾーン毎に空調コントロールユニットとフィルタ
とよりなるモジュールユニットを配設して、各ゾーン毎
にエアの空気調和およびクリーン化を可能としたもので
、それによって半導体生産工場のごとく広い室内におい
て生ずる内部発熱の片寄りに対して、各ゾーン毎に各々
のモジュールユニットによって温湿度の調節が可能であ
るから、室内全体のエアの温湿度を均一に維持しうる空
気調和を行なうことができ、また室内をモジュール化し
て、各ゾーン毎にモジュールユニットを設けたものであ
るから、クリーンルームの面積、形状および室内のレイ
アウトの変更時には、変更するゾーンのモジュールユニ
ー／ ）のみを移動するだけでよく、自在かつ簡単に行
なうことができるものである。
した各ゾーン毎に空調コントロールユニットとフィルタ
とよりなるモジュールユニットを配設して、各ゾーン毎
にエアの空気調和およびクリーン化を可能としたもので
、それによって半導体生産工場のごとく広い室内におい
て生ずる内部発熱の片寄りに対して、各ゾーン毎に各々
のモジュールユニットによって温湿度の調節が可能であ
るから、室内全体のエアの温湿度を均一に維持しうる空
気調和を行なうことができ、また室内をモジュール化し
て、各ゾーン毎にモジュールユニットを設けたものであ
るから、クリーンルームの面積、形状および室内のレイ
アウトの変更時には、変更するゾーンのモジュールユニ
ー／ ）のみを移動するだけでよく、自在かつ簡単に行
なうことができるものである。
第１図は本発明のクリーンルームにおける室内をモジュ
ール化して各ゾーン毎にモジュールユニットを配設した
平面図、第２図はモジュールユニットを取り除いて示し
た室内の平面図、第３図は本発明のシステムの一部側面
図、第４図は本発明の全体の概略図、第５図は、従来の
クリーンルームにおける空調コントロールシステムの概
略図、第６図は他の従来のクリーンルームにおける空調
コントロールシステムの概略図である。 ２：空調コントロールユニット、３：フィルタ、４：モ
ジュールユニット、６：クリーンルーム。
ール化して各ゾーン毎にモジュールユニットを配設した
平面図、第２図はモジュールユニットを取り除いて示し
た室内の平面図、第３図は本発明のシステムの一部側面
図、第４図は本発明の全体の概略図、第５図は、従来の
クリーンルームにおける空調コントロールシステムの概
略図、第６図は他の従来のクリーンルームにおける空調
コントロールシステムの概略図である。 ２：空調コントロールユニット、３：フィルタ、４：モ
ジュールユニット、６：クリーンルーム。
Claims (1)
- クリーンルームのエアの空気調和およびクリーン化を行
なうシステムにおいて、室内をモジュール化せしめ、該
モジュール化した各ゾーン毎に空調コントロールユニッ
トとフィルタとよりなるモジュールユニットを配設して
、各ゾーン毎にエアの空気調和およびクリーン化を行な
うようにしたクリーンルームの空調コントロールシステ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60258293A JPS62119336A (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 | クリ−ンル−ムの空調コントロ−ルシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60258293A JPS62119336A (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 | クリ−ンル−ムの空調コントロ−ルシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62119336A true JPS62119336A (ja) | 1987-05-30 |
Family
ID=17318243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60258293A Pending JPS62119336A (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 | クリ−ンル−ムの空調コントロ−ルシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62119336A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH054985U (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-26 | 東陶機器株式会社 | 浴槽の支持構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
-
1985
- 1985-11-18 JP JP60258293A patent/JPS62119336A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH054985U (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-26 | 東陶機器株式会社 | 浴槽の支持構造 |
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