JPH0486439A - クリーンルーム内に設置されるベンチ式ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、クリーンルーム内に設置されるユニットに関
する。

［従来技術及びその欠点］ クリーンルーム内に設置される従来のユニットは、例え
ば、第３図に示す通りの構成である。所定方向に延びる
例えばスピンドルモータの組立ライン２に沿って、その
両側に一対の仕切部材４及び６が配設されている。片方
の仕切部材４は、クリーンルームの床面８まで延びる他
方の仕切部材６よりも短く、この仕切部材４の内側に作
業者が立って組立作業を遂行する。仕切部材４及び６は
、天壁部１０と協働してクリーンブースを規定する。

天壁部１０内には、複数個のブロア１２が配設され、ブ
ロア１２とクリーンブースとの間には、空気を清浄化す
るフィルタ１４が配設されている。

天壁部１０の所定部位には吸込口が設けられ、吸込口に
はプレフィルタ１６が配設されている。従って、ブロア
１２が所定方向に回動することによって、クリーンルー
ム内の空気がプレフィルタ１６を通って天壁部１０内に
吸込まれ、しかる後フィルタ１４を通って上方から下方
に向けてクリーンブース内に送給される。

しかしながら、従来のユニットでは、次の通りの解決す
べき問題が存在する。即ち、クリーンブースに送給され
る空気を吸込むための吸込口がユニットの天壁部１０に
のみ設けられている故に、クリーンルーム内の空気の流
れが第３図に矢印に示す通りとなり、短い仕切部材４の
下方を通って流れる空気は床面８の上方を流れて隣接す
るユニットの吸込口に吸込まれる。それ故に、床面８に
落ちた塵等の回収が困難であり、クリーンルーム内の汚
染が時間と共に進行する傾向がある。

［発明の目的］ 本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであり、その
主目的は、クリーンルームの床面の塵を効果的に回収し
、クリーンルーム内のクリーン度を長期に渡って保つこ
とができる、改良されたユニットを提供することである
。

［発明の概要］ 本発明によれば、組立ラインに沿って延びるクリーンブ
ースを規定するための一対の仕切部材と、該クリーンブ
ースの上方に配設されたブロアと、該ブロアの作用によ
って該クリーンブースに送給される空気を清浄するフィ
ルタと、を具備するベンチ式ユニットにおいて、 該一対の仕切部材の片方は実質上クリーンルームの床面
まで延びており、 該片方の仕切部材の外側には、これと協働して該ブロア
まで延びる空気流路を規定するための外壁が設けられて
おり、 該片方の仕切部材及び／又は該外壁には該クリーンルー
ムの該床面に近接して複数個の吸込口が設けられており
、 主として該床面に沿って流れる空気が該複数個の吸込口
を通して該空気流路に流入する、ことを特徴とするベン
チ式ユニットが提供される。

［発明の具体例］ 以下、第１図及び第２図を参照して、本発明に従うユニ
ットの一具体例について説明する。

クリーンルームを概略的に示す第１図において、図示の
例では、クリーンルーム２０内にクリーンブース２２及
び２４を規定するユニット２６及び２８が２列に配設さ
れており、片方のユニット２６に本発明が適用されてい
る。

第１図と共に第２図を参照して、図示のベンチ式ユニッ
ト２６は、組立ライン３０に沿って延びる一対の仕切部
材３２及び３４を備えている。片方の仕切部材３２はク
リーンルーム２０の床面３６の上方約１２０ｃｍのとこ
ろまで延び、また他方の仕切部材３４は床面３６上まで
延びており、上方からクリーンブース２２に流下する空
気は、主として短い方の仕切部材３２の下方を通ってク
リーンブース２２外に流出する。上述の仕切部材３２及
び３４を有するユニットにおいては、第１図に示す通り
、組立ライン３０を他方の仕切部材３４側に配置し、片
方の仕切部材３２側に比較的大きい作業空間を設け、こ
の作業空間に作業者が位置する、或いは組付用部品を載
置するようにするのが望ましい。仕切部材３２及び３４
は、帯電防止用樹脂製の透明フィルム等から形成するこ
とができる。

他方の仕切部材３４の外側には、例えばステンレス製又
は合成樹脂製の外壁３６が配設されている。この外壁３
６は、仕切部材３４と協働して空気流路３８を規定し、
空気流路３８を流れる空気がクリーンブース２２に送給
される。具体例では、外壁３６の上下方向中間部に矩形
状の開口４０が形成され、この開口４０に透明の樹脂製
シート４２が配設され、樹脂製シート４２及び仕切部材
３４を通して外部からクリーンブース２２内を目視する
ことができる。外壁３６及び仕切部材３４の側端部の間
には、端壁４４（第２図に片方のみ示す）が配設されて
いる。

仕切部材３２及び３４の上端部は矩形状の天壁部４６に
固定され、この天壁部４６の４角部が支柱４８（第２図
に２本のみ示す）により支持されている。天壁部４６は
内部が中空になっており、天壁部４６の上部空間に複数
個のブロア４８が回転自在に配設されている。また、ブ
ロア４８．）下方、即ち天壁部４６の下部空間には、上
記ブロア４８に対応してフィルタ５ｏが配設されている
。

従って、ブロア４８の作用によってクリーンブース２２
に供給される空気は、フィルタ５０を通過することによ
って清浄される。尚、天壁部４６の下面には、作業者の
ための照明用ランプ５２が復数設けられている。

具体例のユニットでは、第１図に矢印で示す通りの空気
流が生じるように、更に、次の通り構成されている。外
壁３６の下端部、好ましくは床面３６に近接する部位に
、組立ライン３０に沿って所定の間隔を置いて複数個の
吸込口５２が形成されている。吸込口５２は上下方向に
細長く、その開口面積は比較的大きく設定されている。

また、外壁３６の上端部にも、組立ライン３０に沿って
所定の間隔を置いて複数個の吸込口５４が形成されてい
る。吸込０５４は上下方向に細長く、その開口面積は比
較的小さく設定され、これら吸込口５４を通しての空気
流入量が多くならないようになっている。具体例では、
更に、仕切部材３４の下端部、好ましくは床面３６に近
接する部位に、組立ライン３０に沿って複数個の吸込口
５６が形成されている。吸込口５６は、上記吸込口５４
と略同様の形状であり、その開口面積は比較的小さく設
定されており、吸込口５６を通しての空気流入量も多く
ならないようになっている。また、空気流路３８と天壁
部４６の内部空間とを仕切る仕切壁５８には、プレフィ
ルタ６０が設けられている。従って、空気流路３８から
天壁部４６の内部空間に流入する空気は、このプレフィ
ルタ６０によって清浄化される。

ユニット２８は、側壁３６°に吸込口５２及び５４が設
けられていない点を除けば、ユニット２６と実質上同様
の構成であり、従ってその詳細な説明は省略する。

クリーンルーム２０内の第１図において左端部には、空
気を清浄化するグリーンユニット６２が配設されている
。このクリーンユニット６２の空気取入口（図示せず）
は床面３６に近接する部位に設けられ、その空気排出口
（図示せず）は上部に設けられている。また、クリーン
ルーム２０の第１図において右の壁には、組立ライン３
０に沿って複数個の開閉ダンパ部材６４（第１図に１個
のみ示す）が設けられている。開閉ダンパ部材６４は第
１図に実線で示す閉位置と第１図に一点鎖線で示す開位
置の間を開閉自在であり、開位置にあるときにクリーン
ルーム２ｏ内の空気が開閉ダンパ部材６４を通して外部
に排出される。この開閉ダンパ部材６４も床面３６に近
接して設けるのが好ましい。

ユニット２６及び２８等をかく配設することにより、グ
リーンルーム２０内の空気流は次の通りとなる。即ち、
クリーンブース２４から仕切部材３２の下方を通って流
れる空気は、主としてユニット２６の吸込口５２を通っ
て空気流路３８に流入する。かかる空気流は、吸込口５
２が床面３６に近接する部位に設けられている故に、床
面３６に沿って流れ、床面３６（特にユニット２８内の
組立ライン３０とユニット２６の外壁３６との間の領域
）に落ちている塵等を搬送しながら空気流路３８に流入
する。また、クリーンブース２４から仕切部材３４の吸
込口５６を通って流れる空気流は、吸込口５６が床面３
６に近接する部位に設けられている故に、同様に床面３
６に沿って流れ、床面３６（特にユニット２８内の組立
ライン３０と仕切部材３４との間の領域）に落ちている
塵等を搬送しながら空気流路３８°に流入する。尚、こ
の空気流路３６には、吸込口５４を通しても空気が流入
する。

更に、クリーンブース２２から仕切部材３２の下方を通
って流れる空気は、主としてクリーンユニット６２の空
気取入口を通して内部に取入れられる。このとき、ユニ
ット６２の空気取入口は床面に近接して配設されている
故に、上記空気流も床面３６に沿って流れ、床面３６（
特にユニット２２内の組立ライン３０とクリーンユニッ
ト６２との間の領域）に落ちている塵等を搬送しながら
クリーンユニット６２に流入する。クリーンユニット６
２は流入した空気を清浄化し、清浄化した空気を空気排
出口からクリーンルーム２０内に排出する。また、クリ
ーンブース２２がら仕切部材３４吸込口５６を通って流
れる空気流は、吸込口５６が床面３６に近接する部位に
設けられている故に、同様に床面３６に沿って流れ、床
面３６（特にユニット２６内の組立ライン３０と仕切部
材３４との間の領域）に落下している塵等を搬送しなが
ら吸込口５６を通して空気流路３８に流入する。空気流
路３８に流入した空気は、まずプレフィルタ６０にて比
較的大きい塵等が除去され、次いでフィルタ５０にて塵
等が十分に除去され、清浄化された空気が上方からクリ
ーンブース２２に送給される。また、ユニット２８の空
気流路３８°に流入した空気は、プレフィルタ６０にて
比較的大きい塵等が除去され、次いでフィルタ５０にて
塵等が十分に除去され、清浄化された空気が上方からク
リーンブース２４に送給される。

更にまた、ユニット２８とクリーンルーム２０の第１図
において右側の壁との間を流れる空気は、開閉ダンパ部
材６４を通してクリーンルーム２０外に排出される。こ
のときも、開閉ダンパ部材６４が床面３６に近接して配
設されている故に、この空気流も床面３６に沿って流れ
、床面３６（特にグリーンルーム２０の第１図において
右側の壁とユニット２８の外壁３６゛との間の領域）に
落下している塵等を搬送しながらクリーンルーム２０外
に排出される。

以上、本発明に従うベンチ式ユニットの一具体例につい
て説明したが、本発明はかかる具体例に限定されるもの
ではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形
乃至修正が可能である。

例えば、図示の具体例では、仕切部材３４及び外壁３６
の双方に吸込口５６及び５２を設けているが、これらの
片方に吸込口を設けるのみでも所望の効果が達成される
。

また、図示の具体例では、外壁３６の上端部にも吸込口
５４を設けているが、かかる吸込口５４を省略すること
もできる。

［発明の効果］ 本発明のユニットでは、空気流路を規定する仕切部材及
び／又は外壁の下端部に吸込口を設けたので、吸込口を
通って空気流路に流入する空気は、クリーンルームの床
面上をそれに沿って流れるようになる。従って、床面上
の塵等はこの空気流に乗って空気流路に搬送され、ユニ
ットのフィルタに収集され、かくして長期に渡ってクリ
ーンルームのクリーン度を保つことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のユニットの一具体例を設置したクリ
ーンルームの一例を示す簡略断面図。 第２図は、第１図のユニットの１つを示す斜視図。 第３図は、従来のユニットを設置したクリーン２及び３
０・・・組立ライン ４．６．３２及び３４・・・仕切部材 ８及び３６・・・床面 １０．２６及び２８・・・ユニット １２及び４８・・・ブロア １４及び５０・・・フィルタ ２０・・・クリーンルーム ３６及び３６゛　・・・外壁 ３８及び３８°　・・・空気流路 ５２．５４及び５６・・・吸込口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、組立ラインに沿つて延びるクリーンブースを規定す
   るための一対の仕切部材と、該クリーンブースの上方に
   配設されたブロアと、該ブロアの作用によつて該クリー
   ンブースに送給される空気を清浄するフィルタと、を具
   備するベンチ式ユニットにおいて、 該一対の仕切部材の片方は実質上クリーンルームの床面
   まで延びており、 該片方の仕切部材の外側には、これと協働して該ブロア
   まで延びる空気流路を規定するための外壁が設けられて
   おり、 該片方の仕切部材及び／又は該外壁には該クリーンルー
   ムの該床面に近接して複数個の吸込口が設けられており
   、 主として該床面に沿って流れる空気が該複数個の吸込口
   を通して該空気流路に流入する、ことを特徴とするベン
   チ式ユニット。