JPH0520410Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は、たとえばクリーンルーム等に用い
られて好適な低騒音型の空気清浄装置に関する。

「従来の技術」 従来、半導体工場等のクリーンルームに用いら
れる空気清浄装置として、第６図に示すものが知
られている。

この空気清浄装置は、クリーンルームからの還
流空気の吸込口１を備えた主空気清浄機２と、ク
リーンルームへの空気の吹出口３を備えたフイル
タボツクス４と、それら主空気清浄機２およびフ
イルタボツクス４を連通させるダクト５をそれぞ
れ主構成とするものである。

前記主空気清浄機２の内部には送風機６が設け
られ、この送風機６を作動させることにより、前
記吸込口１や外気取入口７から取り入れた空気を
冷却コイル８で一旦冷却させるとともに、チヤン
バー８内で消音させた後、ダクト５を介してフイ
ルタボツクス４に供給する。そして、フイルタ９
を介して清浄化された空気は、吹出口３からクリ
ーンルーム内へ吹き出される。

なお、符号１０は空気清浄装置内部に貼り付け
られた吸音材、符号１１はフイルタボツクス４内
に設けられ風量を一様に分布させるための整流板
である。また、前記チヤンバー８、ダクト５、フ
イルタボツクス４はそれぞれ送風機６の送風口１
２および前記吹出口３を連絡する送風路１３を構
成している。

「考案が解決しようとする問題点」 ところが、半導体工場などのクリーンルームに
おいては、従来より問題点として挙げられていた
にもかかわらず、上記空気清浄装置が故障した場
合のバツクアツプシステムがなかつた。

そのため、一部の送風機６が停止すれば、稼働
する送風機６の清浄空気の気流がフイルタボツク
ス４からダクト５を介してチヤンバー８内まで侵
入することとなるから、クリーンルーム内の集塵
を目的として形成した清浄空気の気流が乱れてク
リーンルーム内の粉塵等の捕捉能率が低下すると
いつた問題がある。

この考案は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、信頼性をより向上させることのできる空気清
浄装置を提供することを目的としている。

「問題点を解決するための手段」 この考案は、各々が送風機および空気流の吹出
口を備えた２台の空気清浄機からなり、かつ、そ
れぞれの空気清浄機には、送風機の送風口と前記
吹出口を連絡する送風路が設けられた空気清浄装
置であつて、前記２つの送風路間には連絡路が設
けられ、かつ、それぞれの送風機の送風口と連絡
路との間には、他方の送風機からの空気流の逆流
を阻止するための逆止ダンパーが設けられてな
り、前記逆止ダンパーを、送風口に空気流の吹き
出し方向に沿つて配設したガイド部材と、該ガイ
ド部材に移動可能に取り付けた支持部材と、支持
部材をガイド部材に沿つて移動させかつ目的の位
置で支持する支持機構と、送風口と支持部材との
間に空気流の吹き出し方向に沿つて移動自在に介
在した可動板とで構成し、可動板を送風口を閉塞
可能な形態に形成したものである。

「作用」 ２台の空気清浄機を作動させると、それぞれの
送風機から発生する空気流は、それぞれの送風路
を通つて２つの吹出口から吹き出される。また、
一方の空気清浄機のみを作動させた場合、１台の
送風機から発生する空気流は、自身の送風路とこ
の送風路に開口する連通路を介して他方の送風路
に分流されてそれぞれ２つの吹出口から吹き出さ
れる。このとき、他方の送風路へ分流された空気
流は、逆止ダンパーの作用により、他方の送風機
の送風口方向への逆流が阻止される。

「実施例」 以下、この考案の実施例について図面を参照し
て説明する。

第１図ないし第５図はこの考案の一実施例であ
つて、空気清浄装置を２組連結してユニツトと
し、その下方にクリーンルームを形成した例を示
すものである。なお図中、前記第６図と同一部材
には同一符号を付してある。

この実施例の空気清浄装置は、第３図の矢印に
示すように、清浄な空気を常時クリーンルームＣ
内に天井から床下へ向けて送風した後に、ユーテ
イリテイ領域Ｕを通つて再び空気清浄装置に還流
させるシステムとなつている。

上記空気清浄装置は、互いに並列に配置された
２台の空気清浄ユニツト（空気清浄機）Ｋ，Ｋか
ら構成されるのものであつて、この実施例では、
第４図に示すように２組の空気清浄装置を組み合
わせて使用している。なお、符号２０はクリーン
ルームＣの前室を示すものである。

前記空気清浄ユニツトＫは、第１図に示すよう
に互いに上下に設けられた主空気清浄機２とフイ
ルタボツクス４をダクト５で連通させて構成した
ものである。この構成において、前記主空気清浄
機２は、上下２室に区画されており、上部室の隅
部には第２図に示す給気チヤンバー２１が設けら
れるとともに、下部室には上部室と連通する消音
ボツクス８ａ、およびこの消音ボツクス８ａに連
通するチヤンバー８ｂがそれぞれ設けられてい
る。そして、このチヤンバー８ｂには、この考案
の特徴の一つであつて隣の空気清浄ユニツト
K′のチヤンバー８b′と互いに連通する連通路２２
が接続されている。

前記給気チヤンバー２１には、外気の取入口７
が接続されているとともに、ガラリにより構成さ
れてクリーンルームＣからの還気流を吸気する吸
込口１が形成されている。そして、この吸込口１
にはセル部材２３が設けられている。このセル部
材２３は、空気清浄装置を作動させることによつ
て発生する騒音（モーター音、気流音など）のう
ち、吸込口１から外部に拡散す直接音をより小さ
く減音するためのものであつて、角筒の断面を小
さく区画することによつて（たとえば四室に）吸
音材１０の貼付面積を大きくし、角筒内を通過す
る音の吸収効率をより高めるものである。

なお、給込口１の角隣りには給込口２４が形成
されており、この実施例ではめくら板２５を装着
して使用しないが、空気清浄ユニツトＫ，K′の
配置位置を変更することによつてＢ方向からの空
気を給込口２４へ吸い込むことができる。この場
合、めくら板を外して新たにセル部材２３、ガラ
リ等を装着して使用される。

また、給気チヤンバー２１の後方（吐出側）に
は、プレフイルタ２６を介して冷却コイル２７が
設けられている。そして、冷却コイル２７の側方
（吐出側）には、前記消音ボツクス８ａに冷却空
気を供給する送風機６が設けられている。なお、
これらの上部室の内壁周囲にはグラスウール等の
吸音材１０が貼り付けられている。

また、下部室の消音ボツクス８ａの内壁には、
空気層２８を介してその上に吸音材１０、パンチ
ングメタル２９がそれぞれ内貼りされており、こ
のように消音ボツクス８ａの内壁に空気層２８を
設けることによつて、音の共鳴による消音効果を
期待している。

さらに、前記消音ボツクス８ａおよびチヤンバ
ー８ｂ間の連通口８ｃには、チヤンバー８ｂ側に
位置して、この考案の特徴と一つである逆止ダン
パー３０が設けられている。この逆止ダンパー３
０は、消音ボツクス８ａからの風量調節およびチ
ヤンバー８ｂからの逆流防止の役目をそれぞれ果
たすもので、前記消音ボツクス８ａおよびチヤン
バー８ｂ間の空気流の圧力差によつて、連通口８
ｃを開口または閉口させるようになつている。

上記逆止ダンパー３０を、第５図を参照して詳
細に説明すると、前記連通口８ｃの四隅に、４本
のスライド支持棒（ガイド部材）３１，３１……
がそれぞれ若干の角度をもつて上向き（10〜20°）
かつ平行に取り付けられており、これらのスライ
ド支持棒３１，３１……には、孔３２ａ，３２ａ
……を通すことによつて１枚の可動板３２がスラ
イド自在に装着されている。そして、可動板３２
とダクト５との間には、可動板３２の摺動範囲Ｓ
を規制して風量を調節するための支持機構３３が
設けられている。この支持機構３３は、可動板３
２の前方（ダクト５側）に位置して可動板３２と
同様に前記スライド支持棒３１，３１……に装着
された支持板（支持部材）３４と、この支持板３
４に固定されて支持板３４を前後に移動させる操
作棒３５と、操作棒３５に形成された溝（ラツ
ク）３５ａに噛み合う歯車（ピニオン）３６と、
この歯車３６を回動させる調節ロツド３７とから
それぞれ構成されている。

なお、前記支持板３４には、可動板３２が連通
路２２からの空気流を受け易くするための開口部
３４ａが形成されており、また前記操作棒３５
は、チヤンバー９の底面に設けられた固定台３８
によつて支持されている。

上記構成において、前記スライド支持棒３１、
可動板３２、支持機構３３はそれぞれ逆止ダンパ
ー３０を構成しているものである。

一方、主空気清浄機２の下方にはフイルタボツ
クス４が設けられており、このフイルタボツクス
４はダクト５を介して上方の主空気清浄機２のチ
ヤンバー８ｂと接続されている。そして、フイル
タボツクス４の下面には空気の吹出口３，３……
が設けられるとともに、吹出口３，３……の上方
にはそれぞれダクト５から供給された空気を清浄
化させるためのフイルタ９，９……が装着されて
いる。このフイルタ９としては、たとえば
HEPAフイルタ、ULPAフイルタ、超ULPAフ
イルタ等が使用される。

また、フイルタボツクス４の内側壁４ａには、
ダクト５の開口部の下方近傍に位置して、前記開
口部の面積よりも大きな整流板１１が水平かつ一
体に取り付けられている。この整流板１１は、こ
の考案の特徴の一つであつて、その役割は、ダク
ト５からの空気流を水平方向に一旦迂回させるこ
とによつてフイルタ９，９……面での風速分布を
一様にすることと、ダクト４からの吹出口３（特
に右側の吹出口）への直接音を遮断することによ
つて消音効果を上げることである。

なお、前記消音ボツクス８ａ、チヤンバー８
ｂ、ダクト５、フイルタボツクス４はそれぞれ送
風機６の送風口１２および前記吹出口３を連絡す
る送風路１３を構成している。

次に、上記構成の空気清浄装置についてその作
用を説明する。

まず、逆止ダンパー３０の機構およびその作用
について説明すると、調節ロツド３７をハンドル
等によつて回動操作すれば、歯車３６を介して支
持板３４が連通口８ｃに対して前後に移動するの
で、可動板３２の可動範囲Ｓが定まる。したがつ
て、送風機６を作動させて空気流を消音ボツクス
８に送風すれば可動板３２が風圧で支持板３４に
押し付けられて所定の風量がチヤンバー８ｂへ送
り出される。

また、送風機６が停止して他方の空気清浄ユニ
ツトK′のみ稼動する場合、連通路２２を通過し
てチヤンバー８ｂに流入した空気流が可動板３２
を押圧しかつスライドさせて、連通口８ｃが閉口
する。しかも、可動板３２はスライド支持棒３
１，３１……を斜め下方にスライドするので重力
作用が加わり、引つ掛かりなどがなくその動作が
スムーズである。

次に、空気流の動きについて説明すると、空気
清浄ユニツトＫを稼動して送風機６を作動させ
る。すると、クリーンルームＣ内の空気が吸込口
１からまた処理済みの外気が外気取入口７からそ
れぞれ給気チヤンバー２１内に給気される。そし
て、給気された空気はプレフイルタ２６を通つて
冷却コイル２７で冷却された後、送風機６によつ
て下部室の消音ボツクス８ａに供給される。さら
に、連通部８ｃを通過した空気流は、逆止ダンパ
ー３０で風量調節されて上下に迂回した後、ダク
ト５を介してフイルタボツクス４へ送られる。ま
た、チヤンバー８ｂ内の空気流のいくぶんかは、
連通路２２を通つて他方の空気清浄ユニツト
K′のチヤンバー８ｂの空気流と合流する。

次いで、フイルタボツクス４へ送られた空気流
は、整流板１１によつて一水平方向へ迂回された
後、一様な風速となつてフイルタ９，９……を通
過し、フイルタ９，９……で清浄化されて吹出口
３，３，……よりクリーンルームＣ内に吹き出さ
れる。

次いで、クリーンルームＣの床下に排出された
後、ユーテイリテイ領域Ｕを通つて再び主空気清
浄機２の吸込口１に還気流として吸い込まれる。

次に、上記空気清浄装置の２台の空気清浄ユニ
ツトＫ，K′のうち１台（Ｋ）が故障した場合の
バツクアツプシステムについて説明する。

空気清浄ユニツトK′を稼動させると、上記し
たように送風機６によりチヤンバー８ｂに送風さ
れた空気流がダクト５′と連通路２２に分流され
る。ダクト５′に分流された供給空気の50％の空
気流はフイルタボツクス４′を通つて吹出口３′，
３′……からクリーンルームＣ内へ吹き出される。
また、連通路２２に分流された残り50％の空気流
は他方のチヤンバー８ｂへ送られ、さらにダクト
５からフイルタボツクス４を通つて吹出口３，３
……からクリーンルームＣへ吹き出される。この
とき、チヤンバー８ｂへ送られた空気流の風圧に
よつて逆止ダンパー３０がチヤンバー８ｂの連通
口８ｃを閉口させ、空気流が消音ボツクス８ａへ
逆流して逃げるのを阻止している。

このように、２台の空気清浄ユニツトＫ，
K′のうち片方が故障したとしても、上記のバツ
クアツプシステムによつて、常に双方の空気清浄
ユニツトＫ，K′の吹出口３，３……および３′，
３′……からそれぞれ50％ずつの風量が確保され
る。

「考案の効果」 以上詳細に説明したように、この考案による
と、２台の空気清浄機のそれぞれの送風路間に連
通路を設けたので、２台の空気清浄機のうちいず
れか一方が故障して片運転となつたとしても、他
方の空気清浄機の空気流が連通路を通つて、故障
した一方の空気清浄機の吹出口より吹き出される
ことになり、常に２台の空気清浄機がお互いのバ
ツクアツプ体制をとることができる。したがつ
て、本考案の空気清浄装置は、２台の空気清浄機
の内いずれか一方が故障した際にも、各吹出口か
ら清浄空気を吹き出すから、クリーンルーム内の
集塵を目的に形成する清浄空気の気流への影響が
少なく、容易に空気清浄装置の信頼性を向上させ
ることができる。

しかも、２台の空気清浄機のそれぞれの送風機
の送風口と連通路との間に、他方の送風機からの
空気流の逆流を阻止するための逆止ダンパーを設
けたので、片運転時に、故障した空気清浄機の送
風口から他方の空気清浄機より供給された空気流
の逃げがなくなり、送風機からの供給量に対する
吐出量の効率の低下を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図はこの考案の一実施例であ
つて、第１図は空気清浄装置の断面図、第２図は
空気清浄装置の平面図、第３図は２組の空気清浄
装置でクリーンルームを形成するシステムを示す
正面図、第４図は第３図に示すシステムの上面
図、第５図は逆止ダンパーの斜視図、第６図は空
気清浄装置の従来例である。 ３……吹出口、６……送風機、１２……送風
口、１３……送風路、２２……連通路、３０……
逆止ダンパー、３１……ガイド部材（スライド支
持棒）、３２……可動板、３３……支持機構、３
４……支持部材（支持板）、Ｋ……空気清浄機
（空気清浄ユニツト）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 各々が送風機および空気流の吹出口を備えた２
   台の空気清浄機からなり、かつ、それぞれの空気
   清浄機には、送風機の送風口と前記吹出口を連絡
   する送風路が設けられた空気清浄装置であつて、
   前記２つの送風路間には連絡路が設けられ、か
   つ、それぞれの送風機の送風口と連絡路との間に
   は、他方の送風機からの空気流の逆流を阻止する
   ための逆止ダンパーが設けられてなり、前記逆止
   ダンパーは、送風口に空気流の吹き出し方向に沿
   つて配設されたガイド部材と、該ガイド部材に移
   動可能に取り付けられた支持部材と、支持部材を
   ガイド部材に沿つて移動させかつ目的の位置で支
   持する支持機構と、送風口と支持部材との間に空
   気流の吹き出し方向に沿つて移動自在に介在され
   た可動板とで構成され、可動板は送風口を閉塞可
   能な形態に形成されていることを特徴とする空気
   清浄装置。