JP4411509B2 - ファンフィルタユニット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームなどの清浄な環境を形成するために使用されるファンフィルタユニットに関する。詳細には、フィルタ面での流速が均一で、部分的な濾過性能の低下が生じることがなく、送風設備などのメンテナンスが容易であり、しかも高風量とした場合でも騒音の発生が少ないファンフィルタユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
ファンフィルタユニットは、電子、精密、食品、衛生、バイオなど清浄な作業環境が必要とされる分野で用いられている。これらの分野で用いられるファンフィルタユニットの多くは、部屋の天井に埋め込まれて使用され、室内からフィルタの交換、送風設備の点検、調整ができる構造となっていた。
【0003】
従来のファンフィルタユニットとしては、例えば図7に示すものがある。このファンフィルタユニットは、ユニット本体1内に送風設備部2とフィルタ部3とが順に並んで配設され、これら送風設備部2とフィルタ部3のそれぞれの底部が開閉可能となっており、室内からフィルタの交換、送風設備の点検、調整ができる構造となっていた(例えば特許文献1参照)。
【0004】
また、別のファンフィルタユニットとして、図8及び図9に示すものがある。
このファンフィルタユニットは、ユニット本体11の送風設備部12内に設置した送風機14から吹き出された空気の流れの向きを変更する3つの気流遮蔽部材18、19、20と、これら気流遮蔽部材19、20の各端部と所定の間隔をもって配置された気流誘導部材21とを備えており、前記気流誘導部材21は、気流遮蔽部材19、20によって風向が変更された気流の一部を誘導して風向をほぼ反転させる屈曲部21aを備えたものである。
【0005】
このファンフィルタユニットの場合、フィルタ部13上部の空気拡散室15において、ラッパ状に先が広がった吹き出し口16によって送風機14からの空気の流れの幅を広げ、さらに気流遮蔽部材18によって気流の向きを下方のフィルタ17へと反転させている。そして、気流遮蔽部材19、20間のフィルタ17に対してほぼ中央から気流誘導部材21によって気流をフィルタ面に供給するようになっている(例えば特許文献2参照)。
【0006】
【特許文献1】
実公平5−20412号公報(第1〜3頁、第2図参照)
【特許文献2】
特開平1−236944号公報(特許請求の範囲、図1及び図2)
【0007】
また、さらに別のファンフィルタユニットとして、図10及び図11に示すものが市販されている。このファンフィルタユニットは、ユニット本体31内に送風機34を有する送風設備部32とフィルタ37を有するフィルタ部33とが順に並んで配設され、これら送風設備部32およびフィルタ部33の各底部が開閉可能となっており、室内からフィルタの交換、送風設備の点検、調整ができる構造としたものである。
【0008】
このファンフィルタユニットにあっては、フィルタ部33が上部の空気拡散室35と下部のフィルタ37とに分離されており、送風設備部32に形成された空気取り入れ口39から取り入れた空気が、送風設備部32内の送風機34によってフィルタ33上部の空気拡散室35内に配したラッパ状のデフューザ36を通して空気拡散室35内に送られ、さらに空気拡散室35の内側壁35a、35b、35cとデフューザ36との隙間を通ってデフューザ36下部に設けた開口38からフィルタ33下部のフィルタ37へと送風されるようになっている。
【0009】
このように、図10及び図11に示す市販のファンフィルタユニットにあっては、送風設備32からの空気がスムーズにフィルタ部33のフィルタ37へと送風されるようになっているので、フィルタ面での流速は均一となり、部分的な濾過性能の低下が生じないようになっている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特許文献1記載のファンフィルタユニットの場合、送風設備部2の送風機4によって送風された空気が、フィルタ部3上部の空気拡散室5のほぼ中央に設けた開口6からフィルタ部3下部に配したフィルタ7へと直角に曲がって流れるようになっているので、フィルタ7のフィルタ面において流速の分布が不均一になり、部分的に濾過性能が低下してしまうという不具合があった。特に高風量とするために風速を速くした場合、流速の分布はさらに不均一になっていた。
【0011】
このため、特許文献1記載のファンフィルタユニットの場合、ユニット本体1の高さを高くすることで、フィルタ部3上部の空気拡散室5からフィルタ7へと至る空気の流れの角度を緩やかにして、流速の分布を一様にすることも考えられる。しかし、この場合、ユニット本体1自体の容量が大きくなって、メンテナンスにも手間が多くかかってしまうという新たな問題を生じる恐れがある。
【0012】
また、特許文献2記載のファンフィルタユニットにあっては、吹き出し口16からの気流は対向する空気拡散室15の壁15aに衝突し、そのまま壁15aに沿って下方へと流れ込むようになっているので、フィルタ面での均一な流速を確保するため、気流遮蔽部材18、19、20や気流誘導部材21が必要となり、その分、該ファンフィルタユニットの構造が複雑となってしまうという問題があった。
【0013】
また、このような構造としたことで、ファンフィルタユニットのユニット本体1の高さも高くなり、容量も大きくなってしまうので、送風設備部などのメンテナンスにも手間がかかるという問題も生じていた。
【0014】
一方、図10および図11に示すファンフィルタユニットにあっては、フィルタ部33の空気拡散室35からフィルタ37へと至る過程で騒音が発生し易く、特に高風量としたときの騒音は解決すべき重要な課題として残されていた。
【0015】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、フィルタ面での流速が均一で、部分的な濾過性能の低下が生じることがなく、送風設備部などのメンテナンスが容易であり、しかも高風量とした場合でも騒音の発生が少ないファンフィルタユニットを提供することを目的とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、クリーンルームなどの清浄な環境を形成するために使用されるファンフィルタユニットであって、
ユニット本体内に送風設備部とフィルタ部とが順に配設されると共に、前記送風設備部及びフィルタ部の各底部が開閉可能に設けられた構造をなしており、
前記送風設備部から送られた空気が前記フィルタ部下部に配したフィルタへと送風される際に、前記フィルタ部上部に配したデフューザと該デフューザの空気送り出し口側及び側方に配した気流拡散室の内壁との間に形成された通路を通って、前記空気がフィルタへと送風されるようになっており、
前記デフューザと気流拡散室の内壁との間に形成された通路内の風向を制御する制御板であって、前記気流拡散室の内側壁に取り付けられる第1制御板及び前記デフューザの相対する送り出し口端縁部に拡幅方向に取り付けられる第2制御板の少なくとも一方が前記通路内に配置されていることを特徴とするファンフィルタユニットをその要旨とした。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のファンフィルタユニットを図面に示した一実施の形態に従ってさらに詳しく説明する。本発明のファンフィルタユニットは、クリーンルームなどの清浄な環境を形成するために用いられ、電子、精密、食品、衛生、バイオなど清浄な作業環境が必要とされる分野で使用することができる。また、このファンフィルタユニットは、部屋の天井に埋め込まれて使用され、室内からフィルタの交換、送風設備の点検、調整ができる構造となっている。以下、詳細を述べる。
【0018】
図1〜図3に示すファンフィルタユニットでは、箱形をなすユニット本体41内に送風設備部42とフィルタ部43とが順に配設されている。送風設備部42とフィルタ部43の各底部42a、43aには開口(図示しない)が形成されており、送風設備部42の開口には蓋42bが開閉可能に取り付けられ、フィルタ部43の開口にはフィルタ47が取り付けられるようになっており、室内からフィルタ47の交換、送風設備のメンテナンスができるようになっている。
【0019】
上記送風設備部42内には、該送風設備部42のケーシングに形成した空気取り入れ口49から取り入れた空気を冷却する熱交換器が配置され、この熱交換器には冷媒液管50と冷媒ガス管51とが配管されている。また送風設備部42内には、ドレン排出口52からドレンを排出するためのドレンポンプ53が配置されている。さらに送風設備42内には送風機44が設置されており、この送風機44によって前記空気取り入れ口49から取り入れた空気がフィルタ部43へと送られるようになっている。
【0020】
尚、ユニット本体41内には、気流方式(清浄度のレベル)に従って、空気取り入れ口を有するプレフィルタ部を設けて、空気取り入れ口から取り入れた空気が、プレフィルタ部、送風設備部、フィルタ部の順に送風されるようにして、高度な浄化レベルに対応するようにすることもできる。
【0021】
フィルタ部43は、上部の空気拡散室45と下部のフィルタ47とに分離されている。空気拡散室45には、送風設備部42からの空気を同気流拡散室45内へと送り出すデフューザ46が配置されており、このデフューザ46を通して送り出された気流は、空気拡散室45の内前壁45aに衝突した後、デフューザ46と気流拡散室45の内側壁45bとの間に形成された通路を通り、さらにデフューザ46の下方に形成した開口48を通ってフィルタ47へと送風されるようになっている。尚、フィルタ47には、クリーンルーム用フィルタとして多用されているHEPAフィルタやULPAフィルタを用いる。
【0022】
前記デフューザ46と気流拡散室45の内壁45a、45b、45cとの間に形成された空気が通過する通路、図示の例ではデフューザ46と気流拡散室45の内側壁45bとの間に形成された通路には気流拡散室45の左右の各内壁側壁45bにそれぞれ風向を制御する制御板54(第1制御板)が取り付けられている。
【0023】
これにより、上記デフューザ46を通して送り出されてフィルタ47へと至る気流は、デフューザ46と気流拡散室45の内側壁45bとの間に形成された通路内において制御板54(第1制御板)が障害となってデフューザ46側へと押しやられ、図1〜図3中矢印に示すように気流は二手に分かれ、さらに緩やかな曲線を描く経路を辿って反転しつつ、デフューザ46下方の開口48へと流れ込み、フィルタ47のフィルタ面へと供給されるようになっている。
【0024】
尚、制御板54(第1制御板)は、デフューザ46と気流拡散室45の内側壁45bとの間に形成された通路の断面積に対して、障壁となる面の面積が20〜70%とするのがよく、より好ましくは20〜50%である。
【0025】
図1〜図3に示す形態では、気流拡散室45の左右の各内壁側壁45bに取り付けた制御板54(第1制御板)は略長方状をなす板となっているが、これに限らず例えば図4に示すような断面弧状に湾曲した制御板60(第1制御板)を用いても良く、この場合、空気は制御板60(第1制御板)表面のなめらかな曲面に沿ってスムーズに風向が変更されるようになる。
【0026】
また、図4に示す制御板60(第1制御板)は、空気の流れに向かって傾斜して立設している。このため、制御板60(第1制御板)に当たった気流は、デフューザ46側へと押しやられるとともに、該制御板60(第1制御板)の傾斜面に沿って下方へと誘導され、デフューザ46下部の開口48に向かうスムーズな流れとなる。
【0027】
また、図1〜図3に示す例では、デフューザ46と気流拡散室45の内側壁45bとの間に形成された通路に取り付けた制御板54(第1制御板)の他に、前記デフューザ46の相対する送り出し口の端縁部46aには制御板55(第2制御板)が拡幅方向に取り付けられている。この制御板55(第2制御板)により、デフューザ46によって送り出される空気の流れの幅は該制御板55(第2制御板)の長さの分だけ広げられ、かつデフューザ46によって送り出された気流は、気流拡散室45の内前壁45aに衝突した後、制御板55(第2制御板)に沿って内側壁45b側へと誘導され、さらに制御板54(第1制御板)によって(制御板54が無い場合は内後壁45cによって)反転するが、新たにデフューザ46によって送り出された気流と衝突することがなく、また新たに送り出される空気の風路を狭めることもないので、よりスムーズでなめらかな流れとなる。
【0028】
尚、上記制御板55(第2制御板)は、デフューザ46の相対する送り出し口の端縁部46aと気流拡散室45の内側壁45bとの間に形成された通路の断面積に対して、障壁となる面の面積が5〜40%とするのがよく、より好ましくは10〜30%である。
【0029】
制御板55(第2制御板)に沿って内側壁45b側へと誘導された空気は、制御板54によりデフューザ46側へ誘導され、一部の空気は気流拡散室45の内壁45a側方向に反転してフィルタ47へ至るが、この際にデフューザ46から新たに送り出される気流と衝突することがなく、また新たに送り出される空気の風路を狭めることがない。
【0030】
尚、上記制御板54、55、60には吸音材や制振材を貼り付けたり、これら制御板54、55、60そのものを吸音材や制振材によって構成するなどの騒音対策を施すこともできる。
【0031】
【実施例】
図5及び図6に示すように、幅1300mm、長さ1700mm、高さ525mmの箱形のユニット本体71内に、空気取り入れ口81を有するプレフィルタ部80と送風設備部72とフィルタ部73とを配置して、空気取り入れ口81から取り入れた空気が、プレフィルタ部80、送風設備部72、フィルタ部73の順に送風されるようにして浄化レベルを高めたファンフィルタユニットについて、制御板74(第1制御板)、制御板76(第2制御板)の有無による騒音、風量、および電力の違いを比較した。
【0032】
尚、制御板74(第1制御板)は略長方状をなしており、気流拡散室75の左右の各内壁側壁75bとデフューザ46の相対する送り出し口の両端縁部46aとの間に形成された通路の断面積に対し、該制御板74(第1制御板)の障壁となる面の面積が約40%となっており、これをフィルタ部73上部の気流拡散室75の左右の各内壁側壁75bにそれぞれ取り付けた。また、制御板76(第2制御板)については、デフューザ46の相対する送り出し口の両端縁部46aと気流拡散室75の左右の各内壁側壁75bとの間に形成される通路の断面積に対し、該制御板76(第2制御板)の障壁となる面の面積が約20%となる大きさの板を用い、これをデフューザ46の相対する送り出し口の両端縁部46aにそれぞれ拡幅方向に取り付けた。その結果を下記表1に示した。
【0033】
【表1】
表1から、実施例1と比較例2を比較すると、風量は同程度であるが、騒音レベルを見たとき、実施例1の方が約5%減少している。また、実施例1と比較例1を比較したとき、両者の騒音レベルは同程度であるが、風量は実施例1の方が約10%増加している。しかし、実施例1の電力消費は約5%の増加に留まっている。実施例2と比較例2を比較すると、実施例2の方が風量が増加しているにも拘わらず、騒音レベルは低くなっている。
【0034】
以上のことから、制御板を有する実施例に係るユニットでは、制御板の無い比較例のものに比べて、風量が同等の条件下では、騒音レベルが低下し、制御板が騒音低減に有効であることが解る。また、制御板を有する実施例に係るユニットでは、制御板の無い比較例のものに比べて、騒音レベルが同程度の条件下で、風量が増加することが確認された。
【0035】
尚、本発明は、上記図面に示す形態に限定されず、例えばユニット本体、およびユニット本体内に配置される送風設備部と空気排出部のすべてを吸音材や制振材などの防音材によって構成するなど、「特許請求の範囲」に記載された範囲で自由に変更することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上、詳述したように、本発明のファンフィルタユニットにあっては、フィルタ面での流速が均一で、部分的な濾過性能の低下が生じることがなく、送風設備などのメンテナンスが容易であり、しかも高風量とした場合でも騒音の発生が少ない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のファンフィルタユニットの一実施例を示した斜視図。
【図2】同じく平面図。
【図3】同じく断面図。
【図4】第1制御板の別の形態を示した平面図。
【図5】本発明のファンフィルタユニットの別の実施例を示した平面図。
【図6】同じく断面図。
【図7】従来のファンフィルタユニットを示した断面図。
【図8】従来の別のファンフィルタユニットを示した平面図。
【図9】同じく断面図。
【図10】従来の別のファンフィルタユニットを示した平面図。
【図11】同じく断面図。
【符号の説明】
41、71・・・ユニット本体
42、72・・・送風設備部
43、73・・・フィルタ部
44・・・送風機
45、75・・・気流拡散室
46・・・デフューザ
47・・・フィルタ
49、81・・・空気取り入れ口
54、60、74・・・第1制御板
55、76・・・第2制御板
80・・・プレフィルタ部
Claims (5)
- クリーンルームなどの清浄な環境を形成するために使用されるファンフィルタユニットであって、
ユニット本体内に送風設備部とフィルタ部とが順に配設されると共に、前記送風設備部及びフィルタ部の各底部が開閉可能に設けられた構造をなしており、
前記送風設備部から送られた空気が前記フィルタ部下部に配したフィルタへと送風される際に、前記フィルタ部上部に配したデフューザと該デフューザの空気送り出し口側及び側方に配した気流拡散室の内壁との間に形成された通路を通って、前記空気がフィルタへと送風されるようになっており、
前記デフューザと気流拡散室の内壁との間に形成された通路内の風向を制御する制御板であって、前記気流拡散室の内側壁に取り付けられる第1制御板及び前記デフューザの相対する送り出し口端縁部に拡幅方向に取り付けられる第2制御板の少なくとも一方が前記通路内に配置されていることを特徴とするファンフィルタユニット。 - 第1制御板の障壁となる面の面積が、デフューザと気流拡散室の内側壁との間に形成された通路の断面積に対して20〜70%であることを特徴とする請求項1または2記載のファンフィルタユニット。
- 第1制御板が、断面弧状に湾曲していると共に、空気の流れに向かって傾斜して立設していることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のファンフィルタユニット。
- 第2制御板の障壁となる面の面積が、デフューザの相対する送り出し口端縁部と気流拡散室の内側壁との間に形成された通路の断面積に対して5〜40%であることを特徴とする請求項1に記載のファンフィルタユニット。
- 第2制御板が、断面弧状に湾曲していることを特徴とする請求項1又は4のいずれかに記載のファンフィルタユニット。
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