JPS62190339A - 清浄室装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、半導体の製造などに必要とする清浄な作業環
境を作り出すための清浄室装置に関する。

〔発明の背景〕

従来、半導体製造工程に用いられていた清浄室の代表的
な例（全面ダウンフロ一式クリーンルーム）を第１図に
示す。（ａ）は切断平面図、（ｂ）は側断面図で、１は
建屋、２はクリーンルーム室内、３は高性能フィルタ、
４は照明灯、５は天井部多孔板、６は床部多孔板、７は
空調用給気ダクト、８は空調用戻りダクト、９は露光、
エツチング、拡散、メタライズ等の製造ライン用機器、
１０は製造ラインへ水、ガス等を供給する配管類である
。図中矢印で示すように高性能フィルタ３で処理された
清浄空気は天井全面より室内２に吹き出し、室内空気は
床下を通って排出される。これしている。この全面ダウ
ンフロ一式クリーンルームは室全体の清浄度を高める上
からは最良の方式とされていたが、これは床面から天井
面までの寸法が各部同一であり、その寸法は作業者が立
ってどこでも通行できるように充分な高さにしなければ
ならなかったため清浄化しなければならない空間が広く
なり、高価な高性能フィルタを多量に使用しなければな
らなかった。このため設備費が非常に高くなっていた。

この高性能フィルタは一度設置すれば良いというもので
はなく、使用していると次第に目づまりするので新しい
ものと取り換えなければならない。

清浄化しなければならない空間が広いと、それだけ高性
能フィルタを通して除塵しなければならない空気の量が
多くなるから、高性能フィルタを取り換えなければなら
ない時期が早く到来することになる。

また作業者は多くの場合椅子に座って作業を行うので清
浄空気の吹出口である。天井から作業を行う面までの高
さ方向の寸法が大きくなり、せっかく清浄空気吹出口か
ら清浄空気を送っても、作業面へ清浄空気が行くまでに
塵芥が混入してしまうことも考えられる。

清浄作業所の天井の中央部を囲りよりも高くして、ここ
へ背の高い機械を入れ、清浄にしなければならない空間
を小さくしたものとして実公昭５２−３７’１７５号公
報記載のものが公知である。

しかしこの公知例には床から天井までの寸法を作業空間
では通路空間よりも小さくして、より小さい空間を清浄
にして作業が通行しやすく、かつ作業空間では十分な空
気清浄度を得られるようにすることに関しては何んら開
示されていない。

〔発明の目的〕

本発明はこのような点に鑑み成されたものであって、そ
の目的とするところは作業面で十分な清浄度を保つこと
ができ、しかも設備費、維持費を安くすることができ、
且つフイアウトの変更増設が容易な清浄室装置を構成す
ることにある。

〔発明の概要〕

すなわち本発明では両側壁及び天板で覆われた空間内に
、逆行して通路として用いられる第１帯域と製造用機器
や検査用機器等を設置する第２帯域とを設ける。第２帯
域の高さ方向の寸法は第１帯域のそれよりも小さくなる
。

第２帯域の上には清浄空気の吹出口を下方へ向けて高性
能フィルタを設け、この高性能フィルタの上流側にはチ
ャンバを設ける。このチャンバ内の気圧を第２帯域内の
気圧よりも高くする送風手段を設けて、チャンバ内の空
気を高性能フィルタで清浄化して空間内へ送り込むよう
にする。

一方、空間の下方には第１、第２帯域内の空気が流呂す
る流出口を設ける。更に両側板、チャンバ、高性能フィ
ルタは第１帯域が伸びる方向に対して直角を成す断面で
分割可能なユニットに構成する。

このように構成することにより、第２帯域の高さ方向の
寸法を小さくした分だけ、清浄にしなければならない空
間を狭くすることができ、そのうえ第２帯域に於ける高
性能フィルタの清浄空気吹出口から作業面までの距離を
短かくすることができるので清浄空気の供給必要量を少
くすることができ、その分設備費、保守費を従来の全面
ダウンフロ一式クリーンルームに比べて、はるかに少く
することができる。

またユニット構成になっているので増設、レイアウトの
変更が容易である。

上記以外の本発明の他の目的その目的を達する為の構成
、ならびに、これによって得られる効果については、以
下に記述する実施例の説明の中で明らかにする。

第２図は本発明による清浄室装置の施工例を示す図で、
（ａ）は切断平面図、（ｂ）は側断面図であり、第１図
と同一符号は対応する部分を示している。

空調用給気ダクト７、戻りダクト８を布設した建屋１内
に製造ライン用機器９を向い合せに設置し、２ラインを
１組として両側板２０と天板１９とで覆う。詳細につい
ては後述するが、製造用機器や検査用機器等の製造ライ
ン用機器９を設置する第２帯域の天井部に清浄空気供給
手段を内蔵して、図中に矢印で示すように天井面から清
浄空気を１２ａ、１２ｂで示す帯域内１２に吹き出し、
帯域内を清浄化する、空間１２内の空気は側板２０の下
方に設けた側面流出口１４から周囲の保全域１６へ排出
され、これによって保全域１６もある程度清浄化される
が、空間１２内よりは清浄度が低い。

空間１２の両端には扉８０付のエンドパネル１１ａを取
付け、空間１２内と保全域１６とを仕切っている。製造
ラインで使用する水、ガス等の配管類１ｏや電線等は保
全域１６に設置され、側面流出口１４を通して製造ライ
ン用機器９へ引き込まれる。こうすることによって、配
管類１ｏや電線等のメンテナンスは保全域１６で行うこ
とができる。

また、後述するように側板２０を部分的に取りはずせる
ようにすれば、製造ライン用機器９の補修もそのほとん
どが保全域１６から行なえる。また、ある工程の製造装
置一式を補修するような場合にも、その工程の空間１２
内でのみ処理できるので、メンテナンス作業による発塵
が他の製造ライン（工程）に影響を及ぼすことはほとん
どない。

さらに、空気室９０の空気流入口１５を空調用給気ダク
ト７に接続することによって、帯域１２ａ、１２ｂ内の
温度、湿度等を制御でき、製造ライン別（工程別）の空
調温度制御も可能である。

この場合でも、室内清浄度を高めるには、側面流出口１
４を通って空間１２から流出した空気の一部を別の空気
流入口１３から取り入れ再循環させた方がよい。

このように本発明による清浄室装置は、高清浄度を必要
とする製造ライン部のみを周囲の保全域と区分して清浄
化するので、第１図の従来方式に比べ清浄化区域および
空調対象区域が大幅に減少するほか、多くの利点を有し
ている。

第３図は清浄室１１の椅成例の１つを示す。本図は清浄
室１１の長手方向と直角な断面図で、支柱１７と横梁１
８とで門形フレームを組み、これに天板１９と両側の側
板２０を張って覆いを構成し、この覆いと床面とで囲ま
れた空間１２内に製造ライン用機器９を設置する第２帯
域１２ａと作業者が通行する第１帯域１２ｂを空間１２
の長手方向に連続してつまり側板２０と平行に設ける。

１０１．１０２はそれぞれ第２帯域用清浄空気吹出し口
および第１帯域用清浄空気吹出し口である。

第２帯域用清浄空気吹出し口１０１と天板１９との間に
は清浄空気供給手段を構成する第１送風機２３、第２送
風機９６、第２、第１高性能フイルタ２４．２５送風用
第１チヤンバ２６、第２チヤンバ９５それと作業部照明
灯２７を収納し、照明灯２７の下に格子状の作業部用散
光板２８を設置する。これらの機材は後述する方法によ
って横梁１８から　り下げ支持されている。３０は第２
帯域用清浄空気吹出し口１０１と第１帯域用清浄空気吹
出し口１０２との間の仕切り手段として作用する化粧板
である。

第１帯域用清浄空気吹出し口１０２と天板１９との間は
空気通路とするほか第１帯域部用照明灯２２を収納し、
そのｆに格子状の散光板２９を設置する。第１帯域１２
ｂつまり通路部の空気吹出し口高さは作業者が立って通
行できる程度に高くし、第２帯域１２ｂつまり作業部の
空気吹出し口高さは作業に支障がない限り低くする（−
例を示せば、第１帯域用清浄空気吹出し口１０２の高さ
は２２００ｍｍ、第２帯域用清浄空気吹出し口１０１の
高さは１８００ｍｍである）。第２帯域用空気吹出し口
１０．１の高さはできるだけ低くした方が、第２帯域１
２ａつまり作業部空間の気流の乱れが少なく、清浄度保
持性能が良くなるからである。

この場合、第１帯域用清浄空気吹出し口１０２の上には
高性能フィルタ及び送風機が収納されていないので、第
１帯域清浄空気吹出し口１０２の高さを高くしても天板
１９全体をほぼ同一高さとして、全高を低くすることが
できる。

送風機２３の運転により、外部空気はプレフィルタ２１
を通して空気吸込み口１３から吸込まれる。送風機２３
から送り出された空気の一部は第１高性能フイルタ２５
により清浄化された後、第２帯域用清浄空気吹出し口１
０１から第２帯域１２ａへ下向に吹き出し、また、第１
送風機２３から送り出された残りの空気は第２高性能フ
イルタ２４により清浄化された後、第１帯域用清浄空気
吹出し口１０２から第１帯域１２ｂへ下向に吹き出す。

図中の矢印はこの空気の流れを示している。散光板２８
．２９（整流板）は、照明の散光と清浄気流の整流のた
めに設けたものである。

清浄気流の風速は、たとえば作業部である第２帯域１２
ａで０．４ｍ／ｓ、通路部である第１帯ｇ１２　ｂで０
．２ｍ／ｓというように、各部の必要清浄度に応じて設
定する。こうすることによって、第２帯域１２ａの清浄
度を第１帯域１２ｂの清浄度よりも高くすることができ
る。

帯域１２ａ、１２ｂ内に吹き出された清浄気流は図の矢
印で示すように流れ、側板２０の下部に設けられた側面
流液口１４から外部（保全域）へ流出する。帯域圧力は
側面流出口１４での圧力損失分だけ外気に対し正圧とな
るので、外部からの汚染空気の流入を防止できる。側面
流出口１４は、製造ラインへの水、ガス等の配管類や電
線等の引き込みにも利用される。側板２０は、配管や機
器の補修などのため、ねじ止めあるいは引掛金具などを
用いて部分的に取りはずせるようにしておく。

また、帯域内の作業環境の改善と外部からの作業管理の
必要上側板２０の一部を透明板とすることがある。

第４図にはモジュール化した側板２０、天板１９及び清
浄空気供給手段等から成るユニットを多数連結してなる
本発明による清浄室の外観を示す。

第５図は製造ラインが通路の片側にある場合の構成例を
、長手方向に直角な断面で示したものである。第５図に
おいて、第３図と同一符号は対応する部分を示しており
、第１帯域１２ｂの一側が側板２０でふさがれている点
以外は、第３．４図の構成例と実質的に変わりがない。

第６図には清浄度保持性能をさらに向上させた作業室の
別の構成例を示す。本例は、作業室内の中央の通路部床
面に末流出口としてグレイチンク（ＧＲＡＴＩＮＧ）３
４を設け、両側板２０の下部に設けた側面流出口１４と
合せて３個所から排気するようにしたもので、特に第２
帯域１２ａの清浄気流が矢印で示すように二つに分れて
末流出口３４と側面流出口１４０両方から排出されるよ
うにすれば、第１帯域１２ｂを通る作業者からの発塵が
製造ライン用機器９を設置した第２帯域１２ｂへ流入す
ることを防止でき、清浄度保持性能を向上させることが
できる。このためには、清浄気流の風速を、第１帯域部
の平均風速≦第２帯域の平均風速の関係に保つことが望
ましい。また、各種配管類を引き込む関係で側面流出口
１４の開口寸法を大きくする必要が′ある場合には、末
流出口３４の排気量が減少するのを防ぐため、側面流出
口１４に軟質の仕切リカバー３６を取り付けて排気量を
調節する。仕切リカバー３６をゴム板等の軟質材料で作
れば、部分的に側面流出口１４の開口寸法を大きくして
配管類を通すことができる。

従来の全面ダウンフロ一式クリーンルームは、床全体を
多孔板としているため、振動に対して弱かったが、第６
図に示すように第１帯域１２ｂの床面のみグレイチング
で、製造ライン用機器９を設置する第２帯域の床面ばフ
ラットであるため。

床強度を高めることができ、微細加工を行う半導体製造
装置等の振動防止の点でもすぐれている。

また、第６図では内側側板２０の外側にさらに外側側板
３１を設けて、側面流出口１４および床下還気ダクト３
５に接続する側面還気ダクト３２を内側側板２ｏと外側
側板３１の間に形成し、この一端を送風機２２の吹込口
が位置する空気室につないだから帯域１２ａ、１２ｂか
ら流出した空気の大部分はこの側面還気ダクト３２から
プレフィルタ２１を通して空気吸込み口１３へ還流し、
空調用給気ダクトから空気吸込み口１５へ供給される空
気量に相当する部分だけが外側側板３１の下部に設けた
流出口３３から外部（保全域）へ流出する。この方式は
、局所的にほとんどの空気を循環使用するため、保全域
とも区切られ、室内空気の超清浄化と空調の省エネルギ
ー化の効果が大きい。

第７図は第６図に示した作業室の外観を示す斜視図であ
る。第６．７図の構造はこれまでの実施例の中では最も
費用がかかるが、それでも高価な高性能フィルタを空間
１２の内部にのみ使用しているので、全面ダウンフロ一
方式に比べれば安価である。

第８図に示す構造は第６．７図の構造の変形例とでもい
うべきもので、隣接する作業室１１の間の保全域１６を
小さいスペースに抑え、この部分を清浄空気のリターン
通路として利用するものである。３７は床下還気ダクト
３５に連結する保全域１６の床還気口である。

第３図〜７図に示した構成によれば、天板１９をほぼ平
らにすることができるので、隣接する清浄室１１間に天
井仕切り板３８を架設することにより、建屋天井との間
に空調用給気ダクト７を簡単に形成することができ、ダ
クト工事費の大幅な低減がはかれる。

以上、清浄室とこれを用いたシステムの全体構成につい
て説明した。

次に、細部の改善例について説明する。

第９．１０には本発明者が最初に考えた高性能フィルタ
の取付構造を示す。清浄室１１では、その上に空調用ダ
クト等を布設することが多いため、高性能フィルタの交
換等のメンテナンスは清浄室内側から行えるようにする
と良い。第９図では、第２高性能フイルタ２４、第１高
性能フイルタ２５を取付金具３９でフィルタケース４２
に取付け、フィルタ交換時には、第２帯域１２ａであれ
ば第２帯域散光板２８、第２帯域魚明灯２７をはずした
うえで取付金具３９はすし、第２帯域用高性能フイルタ
２５を下方へ取り出す。これが具体例であるが、次のよ
うな問題点がある。

（１）高性能フィルタの取付方が悪いと、汚染空気洩れ
４ｏが発生し、室内の清浄度が仁王する。

（２）高性能フィルタの周囲に空気のよどみ４１が生じ
て清浄度が上らず、長期間にはこの部分に停滞した塵埃
が清浄室側に出て来て清浄度を損なう。

（３）高性能フィルタの外枠は通常木製であり、清浄室
側に木部が露出するので塵埃の発生源となって好ましく
ない。

これらの問題点を改善した高性能フィルタの取付構造を
第１１．１２図に示す。本例では、第１帯域用つまり第
２高性能フイルタ２４、第２帯域用つまり第１高性能フ
イルタ２５第１チヤンバ２６、第２チヤンバ９５、第１
送風機２３、第２送風機９６を一体に構成し特に第２高
性能フイルタ２４は、これの清浄空気吹出口を第１帯域
が位置する方の側方に向けて第１高性能フイルタよりも
上に設ける。

このようにすると第１帯域の高さを充分高くすることが
できる。

第１高性能フイルタ２５第２高性能フイルタ２４をそれ
ぞれ断面り形の押え枠４４と取付金具３９によってチャ
ンバ２６に取付ける。高性能フィルタ２４．２５の上流
側と下流側（清浄室側）とは。

仕切り手段として作用する仕切り板４６と仕切り用化粧
板３０によって仕切る。しかし、フィルタ交換時、押え
枠４４および高性能フィルタ２４．２５を取り出すため
に、仕切り板４６および仕切り用化粧板３０と押え枠４
４との間には一定のスキマが必要である。このスキマか
ら汚染空気が洩れないよう、シール用バッキング４５に
よりこのスキマを埋める。このような構造にすれば、高
性能フィルタ２４．２５の締め具合等により押え枠４４
の位置がずれても上記シール用バッキング４５により有
効なシールができる。この改善により、高性能フィルタ
のメンテナンスを清浄室側がら行えて１次の効果が得ら
れる。

（１）高性能フィルタの取付方が悪くてチャンバ２６と
の間から汚染空気洩れが生じても、高性能フィルタの周
側部は負圧になっているので、汚染空気が清浄室側へ洩
れる心配がない（第１１図中の［Ｆ］は正圧部、○は負
圧部を示す。）（２）高性能フィルタの周側部の清浄域
内に空気のよどみができない。

（３）高性能フィルタの木枠が清浄室側に露出して汚染
源になる心配がない。

（４）シール用バッキング４５に欠陥が発生しても、清
浄空気が高性能フィルタの周囲の負圧部へ流入するだけ
で、清浄室側への汚染空気洩れが生じる心配がない。

次に、空気吹出し口での清浄空気の流れの改善例につい
て述べる。

本発明者が最初に考えた構造は、第１０図に示すように
フィルタケース４２を清浄室１１の長手方向に順次突き
合せて接続する。この場合、フィルタケース４２は、散
光板２８の取付やフィルターケース自体の補強のために
、空気吹出し口の周縁部を水平方向に若干折曲げておく
。しかし、この構造では２図に示すようにフィルタケー
ス４２の接続部付近にうす流４３が発生し、このうす流
が作業者の発塵等を巻き込んで、清浄度を低下させろ原
因になる心配がある。

第１２図（ａ）に示した改善例では、押え枠４４の空気
吹出し日周縁に気流のじゃまになる折曲げ部がないので
、うす流の発生がなく、清浄空気の流れが良くなる。し
かし、第１２図（ａ）では。

まだ少し隣接する押え枠４４の接続部付近で風速が遅く
なる傾向があるので、その改善例を第１２図（ｂ）、（
ｃ）に示す。

（ｂ）の改善例は、高性能フィルタ２５の吹出し目下部
に拡散用パンチング板４７を部分的に設置して、パンチ
ング板４７が存在しない吹出し口の端部へ気流を多く流
し、吹出し口の風速を平均化したものである。拡散用パ
ンチング板４７は、照明灯２７による乱流の防止も兼ね
て照明灯２７の下側に設け、材質は光を透過するものが
良い。

また、（Ｃ）の改善例は、高性能フィルタ２５の吹出し
目下部に風向板４８を設置して、吹出し口端部へ気流を
多く流し、風速を平均化したものである。

これらの改善によって、吹出し口端部付近のうす流の発
生を防止し、さらに清浄気流を均一化して清浄度を向上
させることができる。

次に、空気浄化ユニットの取付構造の改善例を第９〜１
２図によって説明する。本発明者が最初に考えたのは第
９．１０図に示すように、フィルタケース４２を含む天
井部を板金ケースで構成し、長手方向に接続していく構
造である。この場合、建屋の床面にはかなりの凹凸があ
るため、床は柱を立てて組立てる構造では、床面になら
って天井部の高さが不ぞろいとなり、特に室内から見た
場合、第１帯域部散光板２９およびフィルタケース４２
の前面等が波打ち状となって、商品性が損なわれるとい
う問題がある。そこで、第１１．１２図に示す改善例で
は、チャンバ２６の後部を天井部の横梁４９にのせて取
付金具５０で固定し、第１１Ｆ域側の前部を可長調節金
具（ターンバックル）５１で天板１９から　り下げ支持
する構造とした。

チャンバ２６の一端を横梁４９に固定したのは、り下げ
支持のみでは耐震性が不足し、地震時にり下げ部分が動
いて破損する恐れがあるからである。この構造によれば
、天板１９が床面の凹凸にならって波打ち状となった場
合でも、可長調節金具５１により第１帯域側の仕切り用
化粧板３０を水平に調整でき、併せて第１帯域散光板２
９も水平に調整できるので、部品の取付不良などをなく
すことができる。

次に、散光板の改善例を第１３図によって説明する。第
２帯域散光板２８、第１帯域散光板２９には、通常格子
状の樹脂成形品を使用する。この場合、散光板単独で使
用すると、第１３図（ａ）に示すように自重でたわみが
出るため、同図（ｂ）に示すように周囲をコ字状の補強
サツシ５２で囲み、補強すると良い。しかし、この構造
では、次のような問題点が生じる。つまり同図（ｃ）に
示すように補強サツシ５２が気流を妨害するため、その
下流にうす流４３が生じて清浄度を損なう心配があるの
である。そこで同図（ｄ、）〜（ｇ）に改善例を示す。

つまり（ｄ）および（ｅ）に示すように、散光板２８の
上面に一部分のみＬ形状をした補強板５３を取付ける。

補強板５３の取付部詳細は（ｆ）、（ｇ）に示す通りで
、取付部品５４または５５によって補強板５３のＬ形部
を散光板２８の上面に固定する。この構造によれば、気
流の妨害になるのは補強板５３の極く一部のみで、（ｂ
）、（Ｃ）の構造に比べ、うす流は大幅に減少する。

第１４図には散光板取付構造の改善例を示す。

同図（ｃ）に示すようなし形状の受金具５６をピン５８
で仕切り用化粧板３０に取付ける。受金具５６の取付穴
は長穴で、受金具５６を散光板２８の格子の１図以上左
右にスライド可能としである。

この受金具５６に設けたツメ５７に散光板２８の格子を
掛けて同図（、）、（ｂ）に示すように取付ける。散光
板は第１３図（ｄ）に示すものを用いると、気流を妨害
しなくて良い。第１０図に示す通常の散光板取付構造に
比べ、この改善例の利点は、第１２図（ａ）に示すよう
に、高性能フィルタの寸法に関係なく、散光板の定尺物
を使用して連続して取付けられることである。この場合
、受金具５６を散光板の１目以上スライドできるように
しておけば、散光板がどのような位置に来ても対処する
ことができる。

第１５図は第１帯域散光板の取付力の改善例を示す。実
施例に示した清浄室の組立工事では、門形フレームを組
んで、第２帯域部天井に空気浄化ユニットを取付けるた
め、組立誤差は中央の第１帯域部の寸法にしわ寄せされ
る。この場合、仕切り用化粧板３０の散光板受部を第１
５図（ａ）または（ｂ）に示す形状にして、各部寸法り
２、Ｌ２、Ｌ？と第１帯域散光板２９の幅　および１目
の寸法の関係を次のように定める。

（１）Ｌ、＞ム　（２）Ｌ；＞ノ、　　（３）　Ｌ、＋
Ｌ、＜１゜このようにしておけば、第１帯域部寸法の誤
差が大きくなって、当初の散光板が入らない場合、格子
の１目切りができる。散光板を格子の途中で切断すると
強度的に弱くなるので、１目切りができることは重要で
ある。

次に、照明灯取付構造の改善例について述べる。

本発明者が最初に考えた照明灯の取付構造は第３図の２
２および２７に示す構造であった。これらはいずれも高
性能フィルタの吹出し口にあるため、超清浄塵を必要と
する清浄室にあっては、気流を妨害したり、照明灯の上
に塵埃がたまる等の不都合がある。第１６図に示改善例
では、直管状照明灯２２．２７を溝状照明ケース６１に
納めて、仕切り用化粧板３０および側板２０に埋め込み
、表面に透光カバー５９をかぶせて高性能フィルタ２５
の空気吹出口をさけ、高性能フィルタ２５をはさむ位置
に設けである。こうすれば、高性能フィルタ２４．２５
の吹出し口に発塵源になるものがない構造として、必要
な照明を行うことができる。

照明ケース６１を用いたのは、内面反射により照度向上
をはかるためであり１本ケースに通気孔６０を設ければ
、温度上昇を防止でき、さらにケース内が負圧になるた
め、汚染空気が清浄域に洩れる心配もない。高性能フィ
ルタ２４．２５の吹出し口には、高性能フィルタの保護
と気流分布の改善のため、パンチング板６２を取付ける
こともできる。

第１７図は風量調節と送風機の逆流防止に関する改善例
を示す。清浄室は、清浄度維持のため連続運転するのが
原則であるが、夜間等の非作業時に全風量運転するのは
不経済であるため、一部送風機を停止して風量調節を行
うことが望ましい。

この場合、第１１図に示す構造のままで一部送風機を停
止すると、停止した送風機から空気が逆流し、損失が大
きいのと、送風機駆動モータが単相モータの場合、逆流
によりモータが逆回転しているので、次に全風量運転を
行う場合、モータが正常回転に戻らないという重大な欠
点がある。第１７図に示す改善例では、送風機２３の吹
出し口にそれぞれ支点軸６４を中心として開閉動作する
ダンパ６３を設けた。このダンパ６３は、送風中は風圧
によって同図（ａ）に示す開状態となり、送風停止時に
は重り（またはネジ）６５による回転力で同図（ｂ）に
示す閉状態となって、空気の逆流を防止する。また、ダ
ンパ６３の開き角度を同図（ａ）に示すように９０″′
より小さくしておけば、構造上、送風機２３が片寄って
取付けられている場合でも、ダンパ６３が風向板の役目
をして。

チャンバ２６内の風量分布を均一化することができる。

次に、空調用給気ダクトの接続構造の改善例について説
明する。清浄室内の温度制御を行う場合、には第１８図
に示すように清浄室１１のリターン空気吸込口１３とは
別に設けた空気流入口１５に空調用給気ダクト７を接続
して、空調装置６６から、送風機２３の空気吸込口が開
口している空気室９０内に給気を行うと良い。６７は給
気量制御ダンパ、６８は空調装置の給気用送風機、６９
．７０は換気用送風機である。しかし、この構造では、
給気量制御ダンパ６７の開閉により清浄室１１への給気
量が変化すると同時に、空気室９ｏの空気口１３からの
リターン空気量も変化するため、プレフィルタ２１での
圧損が変化し、ひいては第１、第２帯域１２ｂ、１２ａ
内の圧力が大きく変動する心配がある。

このように帯域１２ａ、１２ｂ内圧力が変動することは
、帯域内を高清浄度に維持するうえで大きな障害になる
ので、第１９．２０図に示す改善例では、第１８図に示
した空気流入口１５を廃し、リターン空気流入口１３を
囲んで設けたフランジ７１またはフランジ７２の内部に
、空調用給気ダクト７の先端を多少差し込んだ状態で取
付けた。

二のようにすれば、図の矢印で示すように空調装置６６
からの給気は保全域１６からのリターン空気と一緒にプ
レフィルタ２１を通して空気流入口１３へ吸込まれるた
め、空調給気量が変化しても、プレフィルタ２１を通る
風量はリターン空気量を含めて常に一定となる。この場
合、プレフィルタ２１の吸込風量は空調給気量よりも大
きいので、空調装置からの給気は全量吸込まれる。この
改善により、帯域１２ａ、１２ｂ内の圧力変動を少なく
することができ、また、第１８図の構造に比べ、空調給
気ダクトと空気室９０とを剛体接続しないので、施工時
に、ダクト接続部の寸法が合わない等のトラブルも少な
くなる。

第２１図は本発明清浄室の変形例を示す。この変形例で
は、清浄室１１の内部には送風機を内蔵せず、天井部に
主ダクト７３を設けて、その吹畠し口に高性能フィルタ
２４．２５を取付ける。そして、清浄室１１の外部に主
送風機７４を設置し、主ダクト７３を通じて送風する。

また、天井部からの吸引ダクト７５を設けて主送風機７
４に接続すれば、高性能フィルタ２４．２５の周囲を負
圧に保つことができる。この構成によれば、主送風機を
清浄室から離して設置できるので、帯域１２ａ、１２ｂ
内の騒音値を低減でき、また、大容量送風機を用いるの
で、小形送風機を多数使用するよりも効率が良く、省エ
ネルギー化がはかれる。

また、清浄室周辺に空調用給気ダクトを布設する必要も
なくなる。

第２２図も清浄室装置の他の変形例を示す。この変形例
は、清浄室装置を１モジユール毎にユニット化し、連結
切離しを可能にしたものである。キャスタ７６、キャス
タ７７は移動を容易にするためのものであるが、たびた
び移動するものでなければ、移動時のみ別の方法で運搬
してもよい。このようにユニット化する場合、最近の半
導体製造装置は、基本寸法を定めて、基本寸法のｎ倍寸
法で設計されることが多いから、清浄装置のモジュール
寸法も半導体製造装置の基本寸法に合せておけば、製造
ラインのレイアウト変更、増設、廃止等に対処して清浄
室の増結、切離しができ、便利である。また、基本寸法
を合せることにより、半導体製造装置のメンテナンス時
に、支柱が障害になって保全域からのメンテナンス作業
ができない等のトラブルもなくなる。図中の７８は結合
手段としてのユニット接続孔である。この孔にボルトを
通して両ユニット間を接続する。

以上の説明から明らかなように本発明清浄室装置によれ
ば、従来半導体の製造等に最良の方式とされていた全面
ダウンフロ一式クリーンルームに比べ、清浄化区域およ
び空調対象区域が大幅に減少するため、設備費が大幅に
低減できる効果がある。またユニット構成になっている
のでレイアウトの変更、増設が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は先行技術である全面ダウンフロ一式クリーンル
ームを示す図で、（ａ）は切断平面図、（ｂ）は側断面
図、第２図は本発明による清浄室装置の施工例を示す図
で、（ａ）は切断平面図、（ｂ）は側断面図、第３図は
本発明清浄室装置の構成例を示す長手方向に直角な断面
図、第４図はその外観を示す斜視図、第５図は本発明清
浄室装置の他の構成例を示す長手方向に直角な断面図、
第６図は清浄度保持性能をさらに向上させた別の構成例
の長手方向に直角な断面図、第７図はその外観を示す斜
視図、第８図は本発明の変形施工例を示す側断面図、第
９図は高性能フィルタ取付構造の一般例を示す部分切断
正面図、第１０図は同切断側面図、第１１図は高性能フ
ィルタ取付構造の改善例を示す部分切断正面図、第１２
図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は同切断側面図、第１３図は
散光板の一般例と改善例を示す図で、（ａ）は散光板取
付状態を示す図、（ｂ）は散光板と補強サツシの斜視図
、（ｃ）は同切断側面図、（ｄ）は改善例の散光板と補
強板の斜視図、（ｅ）は同切断側面図、（ｆ）、（ｇ）
は補強取付部の詳細断面図、第１４図は散光板取付構造
の改善例を示す図で、（ａ）は部分切断正面図、（ｂ）
は部分平面図。 （ｃ）は受金具取付部の斜視図、第１５図（ａ）、（ｂ
）は第１帯域散光板の取付構造の改善例を示す部分切断
正面図、第１６図は照明灯取付構造の改善例を示す部分
切断正面図、第１７図は風量調節と送風機の逆流防止に
関する改善例を示す図で、（ａ）は送風中の部分切断正
面図、（ｂ）は送風停止時の部分切断正面図、（ｃ）は
送風中の部分切断側面図、第１８図は空調ダクト接続構
造を示す切断正面図、第１９図は空調ダクト接続構造の
改善例を示す切断正面図、第２０図は第１９図に示した
改善例の空調ダクト接続部詳細図で、（ａ）および（ｃ
）は部分切断正面図、（ｂ）および（ｃｌ）は側面図、
第２１図は清浄室装置の変形例を示す図で、（ａ）は切
断正面図、（ｂ）は部分品　１　凹 切断側面図、第２２図は清浄室装置の他の変形例を示す
斜視図である。 １：建屋、９：製造ライン用機器、１０：配管類、１１
：本発明による清浄装置、１２：清浄室室内、１２ａ：
室内の作業部である第２帯域、１２ｂ二室内の通路部で
ある第１帯域、１３：リターン空気流入口、１４：側面
流出口、１５：空調用給気ダクトに接続する空気流入口
、１６：保全域、１７：支柱、１８：横梁、１９：天板
、２０：側板、２３：送風機、２４：第１高性能フイル
タ、２５：第２高性能フイルタ、３０．４６：仕切り手
段を形成する仕切用化粧板及び仕切板、１０１：第２帯
域用清浄空気吹呂し口、１０２：第１帯域用清浄空気吹
呂し口、３４：床流畠口、２６：第１チヤンバ、９５：
第２チヤンバ、２７：直管状服明灯、５９：透光カバー
、７８：結合手段としてのユニット接続孔、６１：溝状
照明ケース、９０：空気室、９６：第２チヤンバ。 第　２　　凹 第　５　　図 第　６　図 ″） ＄　９　図 第　ｌＯ面 茅　１２Ｉ２１ （ａ） 第　Ｉ３　　図 （の （ｂｌ　　　　　　　　” （ｊ＋　　　　　　　、ｔ。 第　Ｉ４　　図 （の ＄　７５　　図 （の Ｑ 第　／ｚ１２１ ＄　７７　図 （ａン 第　７８　　　図 第　／’？　　図 殆　　２０　　　図 （と２）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
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Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、両側壁と天板とで覆われた空間内に、前記両側壁に
   対して平行に第１帯域と、該第１帯域よりも高さ方向の
   寸法が小さい第２帯域とが設けてあり、該第２帯域の上
   には清浄空気の吹出口を下方に向けて複数個の高性能フ
   ィルタが設けてあり、該高性能フィルタの上流側にはチ
   ャンバが設けてあり、該チャンバ内の気圧を前記第２帯
   域内の気圧よりも高くする送風機が設けてあり、前記フ
   ィルタの下流側に整流板が設けられ、上記高性能フィル
   タは通過した清浄空気が上記整流板にほぼ均一に供給す
   るよう配設されてなる清浄室装置。