JPH0366576B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体工業、電子工業、精密機械
工業、製薬工業、食品工業、バイオテクノロジー
関係の工場や研究所、あるいは病院の手術室等に
おいて、空気中の微小な浮遊粉塵の影響を排除す
るために使用されるクリーンルームに関するもの
である。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームは、たとえば第７図に示
したような構造が一般的である。

すなわち、クリーンルーム１の天井２のほぼ全
面に複数のフイルタ装置３を並設すると共に、床
面４の近傍に吸込口５を設け、またクリーンルー
ム１の外部に空調機６及び送風機７を設置する。
そして、送風機７を作動させることによつて、外
気取入口８から取り入れた外気を空調機６内で空
調・濾過した後送りダクタ９を介して各フイルタ
装置３に供給し、内部でさらに濾過してクリーン
ルーム１内に吹き出すようにする。吹き出した清
浄空気は、吸込口５より戻りダクト１０を通つて
空調機６に送られ、外気と共に再びフイルタ装置
３に送られる、というものである。

このような従来のクリーンルーム１に設置され
るフイルタ装置３は、第８図に示すように、下面
を開口した箱形のケーシング１１内部に高性能フ
イルタ１２を交換可能に装着すると共に、ケーシ
ング１１の下面にパンチングメタル等よりなるグ
リル１３を着脱可能に取り付けたものである。そ
して、このグリル１３の多数の孔が吹出口１４と
なつている。

このフイルタ装置３の天井２へ設置は、ケーシ
ング１１の下端周縁部を天井２に密接することに
よつて行われる。また、ケーシング１１は、その
上部において連結ダクト１５を介して送りダクト
９と接続される。

空調機６より送られた空気は、送りダクト９と
連結ダクト１５を介して各フイルタ装置３に送ら
れ、グリル１３の吹出口１４からクリーンルーム
１内に吹き出すようになつている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来のクリーンルーム１は、天井２に多数
のフイルタ装置３を並設するため、フイルタ装置
３から吹き出される空気流の方向と流速分布が不
均一であり、また、施工が面倒なこと及びフイル
タ装置３自体のコストが高いこと等から設備費も
高いものであつた。これらの点は、あまり高い清
浄度を要しない小型のクリーンルーム（クラス
10000〜100000程度）においては特に大きな問題
となつていた。

また、上記フイルタ装置３は、ケーシング１１
内に空間１６を有しているので嵩高とならざるを
得ず、また天井２の上方において送りダクト９や
連結ダクト１５を配設しなければならないため、
クリーンルーム１内に大きないわゆるデツドスペ
ースが生じていた。

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、空気流の方向と流速分
布が均一であり、かつ構造が簡易で設備費が低額
であるクリーンルームを提供することにある。

この発明の他の目的は、デツドスペースの生じ
ないクリーンルームを提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するための技術的手段は、次の
通りである。

すなわち、この発明では、天井２に一端を閉鎖
しかつ他端を空気供給口とした筒状フイルタ１８
の内部空間３３を空気の通路としたフイルタ装置
１７を天井２に沿つて取り付けている。このフイ
ルタ装置１７は、外側面に多数の小孔から成る空
気吹出口を有しており、この吹出口より一様に空
気を吹き出すようになつている。

〔作用〕

フイルタ装置１７は外側面より一様に空気を吹
き出すので、その全長にわたつて空気流の方向と
流速分布が均一となる。

また、筒状フイルタ１８の内部空間３３を空気
の通路として用いるので、フイルタ装置１７を天
井２に沿つて取り付け、その空気供給口を送りダ
クト９に接続するだけでよく、天井２の上方に連
結ダクト１５等の設備が不要となる。従つて、構
造が簡易で設備費は低額となると共に、デツドス
ペースが生じないことになる。

〔実施例〕 以下、添付図面を基いてこの発明の実施例を説
明する。

第１図ないし第３図はこの発明に使用するフイ
ルタ装置の実施例を示したもので、このフイルタ
装置１７は両端を開口した筒状フイルタ１８を複
数個長軸方向に連結して構成されている。この実
施例では、筒状フイルタ１８はジグザグ状に折曲
したフイルタエレメント１９を円筒状に形成し、
その内外側面を径の異なる一対の円筒状の有孔板
２０，２１によつて被覆すると共に、両端部に鍔
２２，２２を固着して形成されている。有孔板２
０，２１としては、パンチングメタル等の多孔金
属板を用いるのが好ましい。

各筒状フイルタ１８は、互いに隣接する鍔２
２，２２を円環状のガスケツト２３を介在させて
対向し、鍔２２，２２の周囲を結合部材２４によ
つて締付・保持することにより連結されている。
最先端の筒状フイルタ１８の先端の開口は、閉鎖
板２５をこのフイルタ１８の先端の鍔２２に上記
と同様にして締付・保持することにより閉鎖され
ている。また、最後端の筒状フイルタ１８の後端
の開口は、このフイルタ装置１７への空気供給口
であり、クリーンルーム１の送りダクト９に接続
される。送りダクト９の先端には鍔２２と同様の
鍔２６が固着されているので、結合部材２４を用
いて上記と同様にして容易に接続することができ
る。

結合部材２４としては、対向する二つの鍔２
２，２２を締付・保持できるものであればよい。
たとえば、一方の鍔２２に配した数本のボルトを
他方の鍔２２に形成したネジ穴に螺合して締付け
ることができる。

しかしこの実施例では、筒状フイルタ１８の連
結及び離脱が容易に行えるように断面Ｕ字形とし
た半円形の部材とされており、その一方の側片２
４ａに二本のボルト２７，２７を螺合している。
結合部材２４の凹部を両方の鍔２２，２２の外周
部に嵌合してボルト２７を締付けることにより、
両筒状フイルタ１８，１８を密封状態で連結する
ことができる。連結を解除するときは、各ボルト
２７を緩めて結合部材２４，２４を鍔２２，２２
より取り外せばよい。

上記のように構成したフイルタ装置１７は、第
３図ないし第６図に示すように、天井２の一部を
帯状に上方に没入させて形成した収容部２８にそ
の上半分を収容する形で設置されている。フイル
タ装置１７の後端の開口は、クリーンルーム１の
側壁に近い位置で送りダクト９に接続されてい
る。フイルタ装置１７の保持は、細幅の帯状とし
た複数の保持部材２９によつて行われている。こ
れらの保持部材２９は両端を除いて略円弧状とさ
れ、その一端は蝶番３０によつて天井２に回動自
在に取り付けられると共に、他端ボルト３１によ
つて天井２に螺着されるようになつている。保持
部材２９の略中央部には、一対の断面略Ｌ字形の
支持突起３２，３２が形成されており、これら支
持突起３２，３２が各筒状フイルタ１８の外側面
に当接して支持することになる。従つて、筒状フ
イルタ１８は直接保持部材２９に接触しないの
で、その側面からの空気の吹出しに及ぼす影響を
小さくすることができる。

この実施例では、第５図に見るようにフイルタ
装置１７を三列に並設し、それぞれの後端を送り
ダクト９の分岐に接続している。

送風機７を作動させると、外気取入口８より取
り入れた空気は空調機６に入り、さらに送りダク
ト９を通つてフイルタ装置１７に供給する。この
空気は、フイルタ装置１７の内部空間３３から内
側有孔板２０、フイルタエレメント１９及び外側
有孔板２１を通り、清浄化された後放射状に吹き
出る。従つて、フイルタ装置１７の全長及び全周
にわたつて空気流の方向と流速分布は一定であ
る。そして、上方または斜上方に向かつて吹き出
した空気流は、収容部２８の内側面により一様に
反射されて下方に向かい、フイルタ装置１７より
直接床面４に向かつて吹き出された空気流と合流
するので、クリーンルーム１内の空気流の方向と
流速分布は均一となる。

また、筒状のフイルタ装置１７を天井２に沿つ
て取り付けるだけでよく、従来のように多数のフ
イルタ装置３を並設する作業が不要であり、また
これに伴つて天井２の上方に送りダクト９より連
結ダクト１５も不要となる。従つて、クリーンル
ーム１の構造が簡易で低コストとなり、さらにデ
ツドスペースが生じないためスペースの有効利用
を図ることができる。

またフイルタ装置１７の全長は、クリーンルー
ム１の大きさに応じて筒状フイルタ１８の連結個
数を変えれば容易に調整することができる。

上記実施例においてはフイルタ装置１７を円筒
形としたが、円筒に限らず四角筒等の筒形でもよ
いことは勿論である。また、フイルタ装置１７を
単一の筒状フイルタ１８にて構成してもよい。

〔発明の効果〕

上述の説明から明らかなように、この発明のク
リーンルーム１は、空気流の方向と流速分布が均
一であると共に構造が簡易で設備費が低額であ
り、さらにデツドスペースが生じずクリーンルー
ム１内を有効に利用することができる効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係るクリーンルームに使
用するフイルタ装置の前端部の一部破断正面図。
第２図は、同フイルタ装置後端部の断面図。第３
図は、天井に設置した状態の同フイルタ装置の断
面図。第４図は、この発明に係るクリーンルーム
の正面説明図。第５図は、同クリーンルームの天
井の平面図。第６図は、第５図の一部拡大図。第
７図は、従来のクリーンルームの正面説明図。第
８図は、従来のクリーンルームに使用するフイル
タ装置の天井に設置した状態の断面図。 １……クリーンルーム、２……天井、３，１７
……フイルタ装置、１８……筒状フイルタ、２３
……ガスケツト、２５……閉鎖板、２８……収容
部、２９……保持部材、３３……内部空間。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 一端を閉鎖しかつ他端を空気供給口とした筒
   状フイルタ１８の内部空間３３を空気の通路とし
   たフイルタ装置１７を天井２に沿つて設置し、こ
   のフイルタ装置１７の外側面より一様に空気を吹
   き出すようにしたことを特徴とするクリーンルー
   ム。 ２ フイルタ装置１７が、両端を開口した筒状フ
   イルタ１８をガスケツト２３を介在させて複数個
   長軸方向に連結して構成されている特許請求の範
   囲第１項に記載のクリーンルーム。 ３ フイルタ装置１７が、帯状の保持部材２９に
   より吊下されて保持されている特許請求の範囲第
   １項または第２項記載のクリーンルーム。