JP3445711B2 - フィルターユニットの筺体構造 - Google Patents
フィルターユニットの筺体構造Info
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- JP3445711B2 JP3445711B2 JP33157696A JP33157696A JP3445711B2 JP 3445711 B2 JP3445711 B2 JP 3445711B2 JP 33157696 A JP33157696 A JP 33157696A JP 33157696 A JP33157696 A JP 33157696A JP 3445711 B2 JP3445711 B2 JP 3445711B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム設
備に配設されるクリーンエアコンユニットにおいて、空
気の温度調節を行う温調ユニットと組み合わせて用いら
れる、空気の除塵を行うＨＥＰＡフィルターを備えたフ
ィルターユニットに関し、特に、このフィルターユニッ
トの筺体構造に関するものである。
備に配設されるクリーンエアコンユニットにおいて、空
気の温度調節を行う温調ユニットと組み合わせて用いら
れる、空気の除塵を行うＨＥＰＡフィルターを備えたフ
ィルターユニットに関し、特に、このフィルターユニッ
トの筺体構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルーム内の空気の温度調節と除
塵を目的としてクリーンルーム設備に配設されるクリー
ンエアコンユニットとして、従来、図３に示すような、
空気の温度調節を行う温調ユニット１と、空気の除塵を
行うＨＥＰＡフィルター３を備えたフィルターユニット
２とを組み合わせたクリーンエアコンユニットが用いら
れている。
塵を目的としてクリーンルーム設備に配設されるクリー
ンエアコンユニットとして、従来、図３に示すような、
空気の温度調節を行う温調ユニット１と、空気の除塵を
行うＨＥＰＡフィルター３を備えたフィルターユニット
２とを組み合わせたクリーンエアコンユニットが用いら
れている。
【０００３】このクリーンエアコンユニットは、温調ユ
ニット１とフィルターユニット２の接続部に空気の漏洩
を防止するパッキン４を配設して接続するとともに、フ
ィルターユニット２の二次側２ｂ（ＨＥＰＡフィルター
３により除塵が行われ、浄化された空気の放出側）を空
気の漏洩を防止するパッキン６等を介してクリーンルー
ムの天井面５等に固定することにより、温調ユニット１
の蒸発器１１により冷却した空気を、送風機１２を介し
てフィルターユニット２内へ送り、ＨＥＰＡフィルター
３により除塵を行った後、クリーンルームに向けて放出
するようにしている。なお、クリーンルーム内の空気
は、通常、この温調ユニット１及びフィルターユニット
２からなるクリーンエアコンユニットによって循環する
ように構成されている。
ニット１とフィルターユニット２の接続部に空気の漏洩
を防止するパッキン４を配設して接続するとともに、フ
ィルターユニット２の二次側２ｂ（ＨＥＰＡフィルター
３により除塵が行われ、浄化された空気の放出側）を空
気の漏洩を防止するパッキン６等を介してクリーンルー
ムの天井面５等に固定することにより、温調ユニット１
の蒸発器１１により冷却した空気を、送風機１２を介し
てフィルターユニット２内へ送り、ＨＥＰＡフィルター
３により除塵を行った後、クリーンルームに向けて放出
するようにしている。なお、クリーンルーム内の空気
は、通常、この温調ユニット１及びフィルターユニット
２からなるクリーンエアコンユニットによって循環する
ように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このクリー
ンエアコンユニットを構成するフィルターユニット２
は、図４に示すように、その内部に配設したＨＥＰＡフ
ィルター３を、清掃や交換する際にクリーンルーム側か
ら取り外すことができるように、中心部に通気口１２１
ａを形成したフィルター枠１２１に、空気の漏洩を防止
するパッキン３１を介して、吊ボルト８１、取付金具８
２及びナット８３からなる取付部材８により、着脱可能
に取り付けるようにしている。そして、ＨＥＰＡフィル
ター３を取り付けるフィルター枠１２１は、フィルター
ユニット筺体１２０の側板１２２の内面にパッキン１２
３を介してボルト・ナット１２４により固定した後、フ
ィルターユニット２の一次側２ａから二次側２ｂへの空
気の漏洩を防止するため、フィルター枠１２１の周囲を
シリコンシール１２５によってシールするようにしてい
た。また、フィルターユニット筺体１２０の内面には、
断熱材１７１，１７２，１７３を配設するようにしてい
た。
ンエアコンユニットを構成するフィルターユニット２
は、図４に示すように、その内部に配設したＨＥＰＡフ
ィルター３を、清掃や交換する際にクリーンルーム側か
ら取り外すことができるように、中心部に通気口１２１
ａを形成したフィルター枠１２１に、空気の漏洩を防止
するパッキン３１を介して、吊ボルト８１、取付金具８
２及びナット８３からなる取付部材８により、着脱可能
に取り付けるようにしている。そして、ＨＥＰＡフィル
ター３を取り付けるフィルター枠１２１は、フィルター
ユニット筺体１２０の側板１２２の内面にパッキン１２
３を介してボルト・ナット１２４により固定した後、フ
ィルターユニット２の一次側２ａから二次側２ｂへの空
気の漏洩を防止するため、フィルター枠１２１の周囲を
シリコンシール１２５によってシールするようにしてい
た。また、フィルターユニット筺体１２０の内面には、
断熱材１７１，１７２，１７３を配設するようにしてい
た。
【０００５】しかしながら、上記従来のフィルターユニ
ット２においては、パッキン１２３及びシリコンシール
１２５によるシール性能が作業者の熟練度等によって左
右されるとともに、運搬・取付時の振動や歪み、長時間
の運転等により、シリコンシール１２５が剥がれたり、
シリコンシール１２５に亀裂が入りやすく、シールの信
頼性が低いという問題点を有していた。
ット２においては、パッキン１２３及びシリコンシール
１２５によるシール性能が作業者の熟練度等によって左
右されるとともに、運搬・取付時の振動や歪み、長時間
の運転等により、シリコンシール１２５が剥がれたり、
シリコンシール１２５に亀裂が入りやすく、シールの信
頼性が低いという問題点を有していた。
【０００６】本発明は、上記従来のフィルターユニット
の有する問題点に鑑み、フィルターユニットの一次側か
ら二次側への空気の漏洩を、簡易な構造により、高い信
頼性を以て防止することができるフィルターユニットの
筺体構造を提供することを目的とする。
の有する問題点に鑑み、フィルターユニットの一次側か
ら二次側への空気の漏洩を、簡易な構造により、高い信
頼性を以て防止することができるフィルターユニットの
筺体構造を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のフィルターユニットの筺体構造は、ＨＥＰ
Ａフィルターを取り付けるフィルター枠と二次側の側板
を、金属板を曲げ加工又は溶接することにより一体化
し、独立した二次側筺体を構成するとともに、該二次側
筺体に一次側筺体を取り付けたことを特徴とする。
め、本発明のフィルターユニットの筺体構造は、ＨＥＰ
Ａフィルターを取り付けるフィルター枠と二次側の側板
を、金属板を曲げ加工又は溶接することにより一体化
し、独立した二次側筺体を構成するとともに、該二次側
筺体に一次側筺体を取り付けたことを特徴とする。
【０００８】フィルター枠と二次側の側板を一体化し、
独立した二次側筺体を構成するようにしているため、フ
ィルターユニットの一次側から二次側への空気の漏洩を
高い信頼性を以て防止することができる。
独立した二次側筺体を構成するようにしているため、フ
ィルターユニットの一次側から二次側への空気の漏洩を
高い信頼性を以て防止することができる。
【０００９】この場合において、フィルター枠の通気口
の周縁を曲げ加工して起立片を形成することができる。
の周縁を曲げ加工して起立片を形成することができる。
【００１０】これにより、フィルター枠の剛性を高める
ことができ、フィルター枠とＨＥＰＡフィルターの密着
性が向上する。
ことができ、フィルター枠とＨＥＰＡフィルターの密着
性が向上する。
【００１１】また、一次側の側壁と二次側の側壁の外面
に連続して断熱材を配設することができる。
に連続して断熱材を配設することができる。
【００１２】これにより、断熱材の貼付作業が容易にな
るとともに、一次側の側壁と二次側の側壁の隙間から空
気が外部に漏洩することを防止することができる。
るとともに、一次側の側壁と二次側の側壁の隙間から空
気が外部に漏洩することを防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明のフィルターユニッ
トの筺体構造の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図２に、フィルターユニットの一実施例を示す。
このフィルターユニット２は、図３に示した従来のフィ
ルターユニット２と同様、クリーンルーム内の空気の温
度調節と除塵を目的としてクリーンルーム設備に配設さ
れるクリーンエアコンユニットとして、空気の温度調節
を行う温調ユニットと組み合わせて用いられるものであ
る。
トの筺体構造の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図２に、フィルターユニットの一実施例を示す。
このフィルターユニット２は、図３に示した従来のフィ
ルターユニット２と同様、クリーンルーム内の空気の温
度調節と除塵を目的としてクリーンルーム設備に配設さ
れるクリーンエアコンユニットとして、空気の温度調節
を行う温調ユニットと組み合わせて用いられるものであ
る。
【００１４】このフィルターユニット２は、その内部に
配設したＨＥＰＡフィルター３を、清掃や交換する際に
クリーンルーム側から取り外すことができるように、中
心部に通気口２１ａを形成したフィルター枠２１に、空
気の漏洩を防止するパッキン３１を介して、吊ボルト８
１、取付金具８２及びナット８３からなる取付部材８に
より、着脱可能に取り付けるようにしている。
配設したＨＥＰＡフィルター３を、清掃や交換する際に
クリーンルーム側から取り外すことができるように、中
心部に通気口２１ａを形成したフィルター枠２１に、空
気の漏洩を防止するパッキン３１を介して、吊ボルト８
１、取付金具８２及びナット８３からなる取付部材８に
より、着脱可能に取り付けるようにしている。
【００１５】そして、ＨＥＰＡフィルター３を取り付け
るフィルター枠２１には、フィルターユニット２の二次
側の側板２２を、金属板を曲げ加工又は溶接することに
より一体化し、これにより、下方が開放した独立した二
次側筺体２０ｂを構成するようにする。この場合、二次
側筺体２０ｂを製作するに当たっては、通常、フィルタ
ー枠２１の四辺にそれぞれ二次側の側板２２を配した金
属板を用意し、これを曲げ加工するとともに、二次側の
側板２２の隣接する端縁を溶接する方法、あるいは、フ
ィルター枠２１の対向する二辺にそれぞれ二次側の側板
２２を配した金属板を用意し、これを曲げ加工するとと
もに、他の対向する二辺にそれぞれ別の二次側の側板２
２となる金属板を用意し、この二次側の側板２２とフィ
ルター枠２１及び二次側の側板２２の隣接する端縁を溶
接する方法を採用することができる。
るフィルター枠２１には、フィルターユニット２の二次
側の側板２２を、金属板を曲げ加工又は溶接することに
より一体化し、これにより、下方が開放した独立した二
次側筺体２０ｂを構成するようにする。この場合、二次
側筺体２０ｂを製作するに当たっては、通常、フィルタ
ー枠２１の四辺にそれぞれ二次側の側板２２を配した金
属板を用意し、これを曲げ加工するとともに、二次側の
側板２２の隣接する端縁を溶接する方法、あるいは、フ
ィルター枠２１の対向する二辺にそれぞれ二次側の側板
２２を配した金属板を用意し、これを曲げ加工するとと
もに、他の対向する二辺にそれぞれ別の二次側の側板２
２となる金属板を用意し、この二次側の側板２２とフィ
ルター枠２１及び二次側の側板２２の隣接する端縁を溶
接する方法を採用することができる。
【００１６】この場合において、フィルター枠２１の通
気口２１ａの周縁を曲げ加工して起立片２１ｂを形成す
ることにより、フィルター枠２１の剛性を高めることが
できる。
気口２１ａの周縁を曲げ加工して起立片２１ｂを形成す
ることにより、フィルター枠２１の剛性を高めることが
できる。
【００１７】また、二次側の側板２２の下端縁を曲げ加
工して突片２２ａを形成することにより、二次側筺体２
０ｂの剛性を高めることができる。この場合、突片２２
ａは、後述の二次側の側壁の外面に配設する断熱材７１
の支持部材として用いることができる。
工して突片２２ａを形成することにより、二次側筺体２
０ｂの剛性を高めることができる。この場合、突片２２
ａは、後述の二次側の側壁の外面に配設する断熱材７１
の支持部材として用いることができる。
【００１８】このように構成した二次側筺体２０ｂに一
次側の側板２３及び天板２４から構成される一次側筺体
２０ａを取り付けるようにする。一次側筺体２０ａと二
次側筺体２０ｂの取り付けは、パッキン２５等の空気の
漏洩を防止する部材又は材料を介してフィルター枠２１
の上面に植設したボルト２６に、一次側の側板２３を固
定することにより行うようにする。なお、一次側の側板
２３と天板２４の連結部にも、必要に応じて、パッキン
等の空気の漏洩を防止する部材又は材料を配設すること
ができる。
次側の側板２３及び天板２４から構成される一次側筺体
２０ａを取り付けるようにする。一次側筺体２０ａと二
次側筺体２０ｂの取り付けは、パッキン２５等の空気の
漏洩を防止する部材又は材料を介してフィルター枠２１
の上面に植設したボルト２６に、一次側の側板２３を固
定することにより行うようにする。なお、一次側の側板
２３と天板２４の連結部にも、必要に応じて、パッキン
等の空気の漏洩を防止する部材又は材料を配設すること
ができる。
【００１９】また、一次側の側壁２３と二次側の側壁２
２の外面に連続して断熱材７１を、天板２４の外面に断
熱材７２を、それぞれ配設するようにする。
２の外面に連続して断熱材７１を、天板２４の外面に断
熱材７２を、それぞれ配設するようにする。
【００２０】このフィルターユニット２の筺体構造によ
れば、フィルター枠２１と二次側の側板２２を一体化
し、独立した二次側筺体２０ｂを構成するようにしてい
るため、ＨＥＰＡフィルター３が取り付けられる通気口
２１ａを除いて、一次側２ａから二次側２ｂへ一次側２
ａの汚れた空気が侵入する隙間をなくすことができ、こ
れにより、フィルターユニット２の一次側２ａから二次
側２ｂへの空気の漏洩を高い信頼性を以て、容易に防止
することができる。また、これにより、従来のシリコン
シールの作業が不要となるため、生産性を向上させるこ
とができる。また、一次側の側壁２３と二次側の側壁２
２の連結部には、パッキン２５を配設することにより空
気の漏洩を防止したが、その外面に連続して断熱材７１
を配設するようにしているため、一次側の側壁２３と二
次側の側壁２２の隙間から空気が外部に漏洩することを
二重に防止することができる。
れば、フィルター枠２１と二次側の側板２２を一体化
し、独立した二次側筺体２０ｂを構成するようにしてい
るため、ＨＥＰＡフィルター３が取り付けられる通気口
２１ａを除いて、一次側２ａから二次側２ｂへ一次側２
ａの汚れた空気が侵入する隙間をなくすことができ、こ
れにより、フィルターユニット２の一次側２ａから二次
側２ｂへの空気の漏洩を高い信頼性を以て、容易に防止
することができる。また、これにより、従来のシリコン
シールの作業が不要となるため、生産性を向上させるこ
とができる。また、一次側の側壁２３と二次側の側壁２
２の連結部には、パッキン２５を配設することにより空
気の漏洩を防止したが、その外面に連続して断熱材７１
を配設するようにしているため、一次側の側壁２３と二
次側の側壁２２の隙間から空気が外部に漏洩することを
二重に防止することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明のフィルターユニットの筺体構造
によれば、フィルター枠と二次側の側板を一体化し、独
立した二次側筺体を構成するようにしているため、従来
のパッキン及びシリコンシールと比較して、作業者の熟
練度、運搬・取付時の振動や歪み、長時間の運転等の影
響を受けにくく、フィルターユニットの一次側から二次
側への空気の漏洩を高い信頼性を以て防止することがで
きる。また、シリコンシールの作業が不要となるため、
生産性を向上することができる。
によれば、フィルター枠と二次側の側板を一体化し、独
立した二次側筺体を構成するようにしているため、従来
のパッキン及びシリコンシールと比較して、作業者の熟
練度、運搬・取付時の振動や歪み、長時間の運転等の影
響を受けにくく、フィルターユニットの一次側から二次
側への空気の漏洩を高い信頼性を以て防止することがで
きる。また、シリコンシールの作業が不要となるため、
生産性を向上することができる。
【００２２】また、フィルター枠の通気口の周縁を曲げ
加工して起立片を形成することにより、フィルター枠の
剛性を高めることができ、フィルター枠とＨＥＰＡフィ
ルターの密着性を向上して、フィルターユニットの一次
側から二次側への空気の漏洩をより高い信頼性を以て防
止することができる。
加工して起立片を形成することにより、フィルター枠の
剛性を高めることができ、フィルター枠とＨＥＰＡフィ
ルターの密着性を向上して、フィルターユニットの一次
側から二次側への空気の漏洩をより高い信頼性を以て防
止することができる。
【００２３】また、一次側の側壁と二次側の側壁の外面
に連続して断熱材を配設することにより、断熱材の貼付
作業が容易になるため、生産性を向上することができる
とともに、一次側の側壁と二次側の側壁の隙間から空気
が外部に漏洩することを防止することができる。
に連続して断熱材を配設することにより、断熱材の貼付
作業が容易になるため、生産性を向上することができる
とともに、一次側の側壁と二次側の側壁の隙間から空気
が外部に漏洩することを防止することができる。
【図１】本発明のフィルターユニットの筺体構造の一実
施例を示す正面断面図である。
施例を示す正面断面図である。
【図２】同分解斜視図である。
【図３】従来のクリーンエアコンユニットの一例を示す
正面断面図である。
正面断面図である。
【図４】同フィルターユニットの筺体構造を示す正面断
面図である。
面図である。
１ 温調ユニット
２ フィルターユニット
２ａ 一次側
２ｂ 二次側
２０ａ 一次側筺体
２０ｂ 二次側筺体
２１ フィルター枠
２２ 二次側の側板
２３ 一次側の側板
２４ 天板
２１ａ 通気口
２１ｂ 起立片
３ ＨＥＰＡフィルター
７１ 断熱材
７２ 断熱材
８ 取付部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01D 39/00 - 39/20
Claims (3)
- 【請求項１】 ＨＥＰＡフィルターを取り付けるフィル
ター枠と二次側の側板を、金属板を曲げ加工又は溶接す
ることにより一体化し、独立した二次側筺体を構成する
とともに、該二次側筺体に一次側筺体を取り付けたこと
を特徴とするフィルターユニットの筺体構造。 - 【請求項２】 フィルター枠の通気口の周縁を曲げ加工
して起立片を形成したことを特徴とする請求項１記載の
フィルターユニットの筺体構造。 - 【請求項３】 一次側の側板と二次側の側板の外面に連
続して断熱材を配設したことを特徴とする請求項１又は
２記載のフィルターユニットの筺体構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33157696A JP3445711B2 (ja) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | フィルターユニットの筺体構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33157696A JP3445711B2 (ja) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | フィルターユニットの筺体構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10156115A JPH10156115A (ja) | 1998-06-16 |
| JP3445711B2 true JP3445711B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=18245207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33157696A Expired - Fee Related JP3445711B2 (ja) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | フィルターユニットの筺体構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3445711B2 (ja) |
-
1996
- 1996-11-26 JP JP33157696A patent/JP3445711B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10156115A (ja) | 1998-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030603 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |