JPS6020030A - 清浄作業室 - Google Patents
清浄作業室Info
- Publication number
- JPS6020030A JPS6020030A JP58127607A JP12760783A JPS6020030A JP S6020030 A JPS6020030 A JP S6020030A JP 58127607 A JP58127607 A JP 58127607A JP 12760783 A JP12760783 A JP 12760783A JP S6020030 A JPS6020030 A JP S6020030A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- pressure chamber
- chamber
- blower
- work room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は清浄作業室内係り特に天井部における汚染空気
の清浄作業室内への流入防止に好適な清浄作業室の構造
に関する。
の清浄作業室内への流入防止に好適な清浄作業室の構造
に関する。
従来第２図に示すような清浄作業室に空調空気を供給す
る場合、第１図に示す如く天井部の給気口１３に空調給
気ダクト６を接続していたが、清浄作業室の設置が多く
なると空調給気ダクトの設備費用が高額になるという問
題点があった。そのために最近では、第３図（ａ）に示
すように清浄作業室の天井板１を利用し、建屋１，５と
の間を、空調給気チャンバ１８として使用することが行
われ、これによれば設備費が大巾に安くなるという利点
がある。
る場合、第１図に示す如く天井部の給気口１３に空調給
気ダクト６を接続していたが、清浄作業室の設置が多く
なると空調給気ダクトの設備費用が高額になるという問
題点があった。そのために最近では、第３図（ａ）に示
すように清浄作業室の天井板１を利用し、建屋１，５と
の間を、空調給気チャンバ１８として使用することが行
われ、これによれば設備費が大巾に安くなるという利点
がある。
しかし、天井板１は、素材寸法、板取等の関係上多数の
板を継ぎ合せているため、天井板継目１４が生じる。こ
の部分はシール材により密閉されているが、作業不良、
経年変化、地震等により、シール部にすき間等が生じた
場合には、第６図（ｂ）に示すように清浄作業室の通路
部４ｂへ、汚染空気がリークしてしまうおそれがある。
板を継ぎ合せているため、天井板継目１４が生じる。こ
の部分はシール材により密閉されているが、作業不良、
経年変化、地震等により、シール部にすき間等が生じた
場合には、第６図（ｂ）に示すように清浄作業室の通路
部４ｂへ、汚染空気がリークしてしまうおそれがある。
超ＬＳＩ等の製造ではＱ、１μｍ単位の粒子を問題にし
ており、この様な劣化による性能低下が製品の品質に大
きく影響し、重大な問題となる。
ており、この様な劣化による性能低下が製品の品質に大
きく影響し、重大な問題となる。
本発明の目的は清浄作業室の天井板上部が直接空調給気
チャンバとして用いられても、清浄作業室内への汚染空
気の流入を防止することができる信頼性の高い清浄作業
室を提供することにある。
チャンバとして用いられても、清浄作業室内への汚染空
気の流入を防止することができる信頼性の高い清浄作業
室を提供することにある。
本発明は送風機と、前記送風機の吐出口に連通して設け
られた圧力室と、前記圧力室に設けられたフィルタを介
して前記圧力室と連通する給気チャンバと、前記送風機
・圧力室・フィルタを収納したケースとを備えて成る清
浄作業室において、前記給気チャンバは未処理空気との
境界面側に負圧室を備え、前記負王室は前記ケース内の
送風機の吸込口に連通して成ることを特徴とするもので
ある。
られた圧力室と、前記圧力室に設けられたフィルタを介
して前記圧力室と連通する給気チャンバと、前記送風機
・圧力室・フィルタを収納したケースとを備えて成る清
浄作業室において、前記給気チャンバは未処理空気との
境界面側に負圧室を備え、前記負王室は前記ケース内の
送風機の吸込口に連通して成ることを特徴とするもので
ある。
以下本発明の実施例を第１図・第５図および第６図によ
り説明する。第４図は本発明の一実施例における清浄作
業室の縦断面を示し、第５図は第４図に記載された清浄
作業室の天井部分を拡大して示す図である。
り説明する。第４図は本発明の一実施例における清浄作
業室の縦断面を示し、第５図は第４図に記載された清浄
作業室の天井部分を拡大して示す図である。
ケース６０内には作業部４ａに面する側にＨＦ１ＰＡフ
イルタ１２を備えた圧力室１０ａが作業部４ａの上部に
設げられ、前記圧力室ＩＱａは上部に送風機９が設けら
れて成る。さらに、圧力室１０ａの通路部４ｂに面する
側の上面には圧力室１０ｂが設けられ、前記圧力室１０
．１）は通路部４ｂ側にＨＥＰＡフィルタ１１が設けら
れ、作業室４ａの上部側には送風機９がそれぞれ設けら
れて成る。
イルタ１２を備えた圧力室１０ａが作業部４ａの上部に
設げられ、前記圧力室ＩＱａは上部に送風機９が設けら
れて成る。さらに、圧力室１０ａの通路部４ｂに面する
側の上面には圧力室１０ｂが設けられ、前記圧力室１０
．１）は通路部４ｂ側にＨＥＰＡフィルタ１１が設けら
れ、作業室４ａの上部側には送風機９がそれぞれ設けら
れて成る。
通路部４ｂの上部には散光板２８と仕切板２６により形
成され、１（ＥＰＡフィルタ１１を介して圧力室１０ｂ
と連通する給気チャンバ２４を構成している。天井板１
は前記給気チャンバ２４および送風機９の上部を覆うよ
うに設けられて成り、仕切板２６と天井板１間に送風機
９の吸込口と連通した負圧室２５を形成するように構成
されている。
成され、１（ＥＰＡフィルタ１１を介して圧力室１０ｂ
と連通する給気チャンバ２４を構成している。天井板１
は前記給気チャンバ２４および送風機９の上部を覆うよ
うに設けられて成り、仕切板２６と天井板１間に送風機
９の吸込口と連通した負圧室２５を形成するように構成
されている。
本実施例において天井板１および、側板２により囲まれ
た清浄作業室は、送風機９を運転することにより、空気
をプレフィルタ８および、給気口１３より吸引し、通路
部用ＨＥＰＡフィルタ１１および作業部用Ｈ］！１ｌＰ
Ａフィルタ１２にＬ９清浄化して、室内の作業部４ａお
よび通路部４ｂへ供給し、室内を清浄化する。清浄空気
は排気口５工り室外へ排気され、一部は空調機械室へ、
大部分は再度プレフィルタ８を通して環流される。この
場合、給気口１３から供給される空調給気量は、プレフ
ィルタ８から吸引される看に比べて、非常に少いので、
送風機９の吸込口に連らなる部分は図に○で示す様に負
圧となる。
た清浄作業室は、送風機９を運転することにより、空気
をプレフィルタ８および、給気口１３より吸引し、通路
部用ＨＥＰＡフィルタ１１および作業部用Ｈ］！１ｌＰ
Ａフィルタ１２にＬ９清浄化して、室内の作業部４ａお
よび通路部４ｂへ供給し、室内を清浄化する。清浄空気
は排気口５工り室外へ排気され、一部は空調機械室へ、
大部分は再度プレフィルタ８を通して環流される。この
場合、給気口１３から供給される空調給気量は、プレフ
ィルタ８から吸引される看に比べて、非常に少いので、
送風機９の吸込口に連らなる部分は図に○で示す様に負
圧となる。
通路部４ｂの天井部は、天井板１と仕切板２３とにより
ゃ圧室２５を形成し、前記ダクト部２５を送風機９の吸
込口に連通させているので、通路部４ｂ側の負圧室２５
内は負圧になる。これにより、空調給気チャンバ１８が
加圧されている場合、天井板１のすき間等より侵入した
リーク気流２２は肉に点線で示す様に送風機９に吸引さ
れ、プレフィルタ８、給気口１５ｊ：り吸引された空気
とともにＨＫＰＡフィルタ１１・１２を介して清浄作業
室内へ流入する。
ゃ圧室２５を形成し、前記ダクト部２５を送風機９の吸
込口に連通させているので、通路部４ｂ側の負圧室２５
内は負圧になる。これにより、空調給気チャンバ１８が
加圧されている場合、天井板１のすき間等より侵入した
リーク気流２２は肉に点線で示す様に送風機９に吸引さ
れ、プレフィルタ８、給気口１５ｊ：り吸引された空気
とともにＨＫＰＡフィルタ１１・１２を介して清浄作業
室内へ流入する。
本発明の異なる実施例においては、第６図（ａ）に示す
ように天井板１の巾を通路面までどして、通路側上面に
通気孔２７を設け、前記通気孔２７を覆うように箱状に
形成された他の天井板１゛を載置し、負圧室２５を形成
しでもよく、これによれば天井部を作業室部と通路部と
に分割することができるので、据付場所への搬入作業が
容易になり、また、据付組立時の作業性が向上する。
ように天井板１の巾を通路面までどして、通路側上面に
通気孔２７を設け、前記通気孔２７を覆うように箱状に
形成された他の天井板１゛を載置し、負圧室２５を形成
しでもよく、これによれば天井部を作業室部と通路部と
に分割することができるので、据付場所への搬入作業が
容易になり、また、据付組立時の作業性が向上する。
本発明のさらに異なる実施例においては第６図（１））
に示すように照明灯７を負圧室２５内に取付け、透光性
の照明カバー２６を介して通路部４ｂを照明する工うに
構成してもよく、これによれば照明灯７に蓄積されたじ
んあいが通路部４ｂに流出するのを防止することができ
る。なお、照明カバーは、平板状に限ることなく、第６
図（Ｃ）に示すよう下方に突出し、立下り部に斜面を有
する照明カバー２６′としてもよく、これてよればフィ
ルタ１１より吹出された清浄空気を効率よく下方に送風
することができる。また、第６図（ｃｌ）に示すように
給気チャンバ２４内に照明灯７を設けたものに山形の照
明カバー２６”を取付けてもよく、これによればフィル
タ１１からの清浄空気を効率よく下方に送風でき、照明
カバー２６＃により照明灯７へのじんあいの付着を防止
できるとともに照明灯７、照明カバー２６“が清浄空気
内に設けられるのでじんあいの蓄積による照度の低下を
防止することができる。
に示すように照明灯７を負圧室２５内に取付け、透光性
の照明カバー２６を介して通路部４ｂを照明する工うに
構成してもよく、これによれば照明灯７に蓄積されたじ
んあいが通路部４ｂに流出するのを防止することができ
る。なお、照明カバーは、平板状に限ることなく、第６
図（Ｃ）に示すよう下方に突出し、立下り部に斜面を有
する照明カバー２６′としてもよく、これてよればフィ
ルタ１１より吹出された清浄空気を効率よく下方に送風
することができる。また、第６図（ｃｌ）に示すように
給気チャンバ２４内に照明灯７を設けたものに山形の照
明カバー２６”を取付けてもよく、これによればフィル
タ１１からの清浄空気を効率よく下方に送風でき、照明
カバー２６＃により照明灯７へのじんあいの付着を防止
できるとともに照明灯７、照明カバー２６“が清浄空気
内に設けられるのでじんあいの蓄積による照度の低下を
防止することができる。
本発明の他の実施例に↓れば第６図（ｅ）に示すように
作業室上部の天井を通路部天井より低く形成した天井板
１′を用いてもよく、これによれば建屋天井１５に梁１
５′がある場合でも支障なく清浄作業室を据付けること
ができる。また、第６９（ｆ）に示すように天井板１′
の高さが変化する部分に給気口１３′を設ければ、建屋
天井１５と天井板１′との空間に設けられてこの空間に
空調空気を吹出すように設けられた空調給気ダクト６′
の吹出口６’ａからの吹田空気を効率よく取入れること
ができる。
作業室上部の天井を通路部天井より低く形成した天井板
１′を用いてもよく、これによれば建屋天井１５に梁１
５′がある場合でも支障なく清浄作業室を据付けること
ができる。また、第６９（ｆ）に示すように天井板１′
の高さが変化する部分に給気口１３′を設ければ、建屋
天井１５と天井板１′との空間に設けられてこの空間に
空調空気を吹出すように設けられた空調給気ダクト６′
の吹出口６’ａからの吹田空気を効率よく取入れること
ができる。
天井板１″′の高さが変化する部分を斜面に形成すれば
給気口１５′の開口面積を充分に取ることができる。さ
らに他の実施例によれば第６図（ｇ）に示すようにフィ
ルタユニットタイプのものに実施してもよい。
給気口１５′の開口面積を充分に取ることができる。さ
らに他の実施例によれば第６図（ｇ）に示すようにフィ
ルタユニットタイプのものに実施してもよい。
本発明によれば清浄作業室の天井板上部が直接空調給気
チャンバとして用いられた場合でも、清浄作業室内への
汚染空気の流入を防止することができ、信頼性の高い清
浄作業室を得ることができる０
チャンバとして用いられた場合でも、清浄作業室内への
汚染空気の流入を防止することができ、信頼性の高い清
浄作業室を得ることができる０
第１図は従来例における清浄作業室の縦断画商、第２図
は従来例における清浄作業室の一部を断面とした斜視図
、第３図（ａ）は空調系と組合されて設置された清浄作
業台の空気の流れを示す縦断面図、同図（ｂ）は同図（
ａ）のシステムに従来例の清浄作業台を適用した場合を
示す縦断面図、第４図は本発明の一実施例を示す縦断面
図、第５図は第４図の要部を拡大した部分縦断面図、第
６図（ａ）は本発明の異なる実施例を示す部分縦断面図
、第６□□□（ｂ）・第６図（Ｑ）・第６図（ｃｌ）は
本発明のさらに異なる実施例を示す部分縦断面図、第６
図（ｅ）・第６図（ｆ）は本発明の他の実施例を示す部
分縦断面図、第６図（ｇｌはさらに他の実施例を示す縦
断面図である。なお、上記の図中に記載された矢印は気
流を示す。 ９・・・送風機、１０ｂ・・・圧力室、１１・・・フィ
ルタ、沸３ 凹 ＋（１１ 第 ４ 図 第 ５ 図 ８６ 図 （ａ） 第 ６ 図 （Ｃ＋ ＋ｄ＋ 第６図 （ｅｌ −−−−−−７−’ −７ 凍６ 図 （９）
は従来例における清浄作業室の一部を断面とした斜視図
、第３図（ａ）は空調系と組合されて設置された清浄作
業台の空気の流れを示す縦断面図、同図（ｂ）は同図（
ａ）のシステムに従来例の清浄作業台を適用した場合を
示す縦断面図、第４図は本発明の一実施例を示す縦断面
図、第５図は第４図の要部を拡大した部分縦断面図、第
６図（ａ）は本発明の異なる実施例を示す部分縦断面図
、第６□□□（ｂ）・第６図（Ｑ）・第６図（ｃｌ）は
本発明のさらに異なる実施例を示す部分縦断面図、第６
図（ｅ）・第６図（ｆ）は本発明の他の実施例を示す部
分縦断面図、第６図（ｇｌはさらに他の実施例を示す縦
断面図である。なお、上記の図中に記載された矢印は気
流を示す。 ９・・・送風機、１０ｂ・・・圧力室、１１・・・フィ
ルタ、沸３ 凹 ＋（１１ 第 ４ 図 第 ５ 図 ８６ 図 （ａ） 第 ６ 図 （Ｃ＋ ＋ｄ＋ 第６図 （ｅｌ −−−−−−７−’ −７ 凍６ 図 （９）
Claims (1)
- 送風機と、前記送風機の吐出口に連通して設けられた圧
力室と、前記圧力室に設けられたフィルタを介して前記
圧力室と連通ずる給気チャンバと、前記送風機・圧力家
舎フィルタを格納するケースとを備えたものにおいて、
前記給気チャンバは未処理空気との境界面側に負王室を
備え、前記負王室は前記ケース内の送風機の吸込口に連
通して成ることを特徴とする清浄作業室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58127607A JPS6020030A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 清浄作業室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58127607A JPS6020030A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 清浄作業室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020030A true JPS6020030A (ja) | 1985-02-01 |
| JPH02618B2 JPH02618B2 (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=14964270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58127607A Granted JPS6020030A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 清浄作業室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020030A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081945A (en) * | 1988-12-27 | 1992-01-21 | Juki Corporation | Elastic tape sewing machine |
| JPH0454995A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Kuinraito Denshi Seiko Kk | 縫製部位の厚さに対応するミシンの糸調子制御方法 |
| CN106556085A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-04-05 | 惠科股份有限公司 | 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法 |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP58127607A patent/JPS6020030A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081945A (en) * | 1988-12-27 | 1992-01-21 | Juki Corporation | Elastic tape sewing machine |
| JPH0454995A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Kuinraito Denshi Seiko Kk | 縫製部位の厚さに対応するミシンの糸調子制御方法 |
| CN106556085A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-04-05 | 惠科股份有限公司 | 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法 |
| CN106556085B (zh) * | 2016-12-06 | 2019-05-24 | 惠科股份有限公司 | 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法 |
| US11378291B2 (en) | 2016-12-06 | 2022-07-05 | HKC Corporation Limited | Clean room and method for regulating airflow of clean room |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02618B2 (ja) | 1990-01-08 |
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