CN106556085A - 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。该无尘室车间包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，风机过滤机组安装在各个制程区域空间的顶部，且各个制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，无尘室车间还包括：用于调节各个制程区域空间内气流流动的气流调节设备，气流调节设备安装在各个制程区域空间内，且气流调节设备设置在风机过滤机组的下游。应用本发明的技术方案能够解决目前技术中无尘室车间内无尘洁净环境依靠风机过滤机组进行气流调节而造成费时费工且影响后续产品良率的情况的问题。

Description

无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法
技术领域
本发明涉及无尘洁净环境技术领域，具体地，涉及一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。
背景技术
制程洁净度区域，即无尘室车间，以FFU(Fan Filter Unit，风机过滤机组)进行制程空间内换气频率调节以达到所需求的洁净度(例如无尘室洁净等级100，即Class100)。在对制程空间内气流进行调节的过程中，依各设备结构Down Flow(向下吹送气流)需求，对FFU进行转速调节。
当设备结构较为复杂且主制程区域(即进行制程生产操作的无尘室车间区域)需保持正压时，仅可使用区域性控制的方式调节FFU。如此仍无法达到使主制程区域保持正压的需求时，则需进行区间性排气空间封除，但是这样的调节方式费时费力且调节之后所达到的调节效果不佳。
另外，无尘室车间内设备建置初期，如果FAB(无尘室车间)洁净功能尚未完善前，主制程洁净区域(无尘室洁净程度要求达到Class100)的无尘空间环境易受到非制程区域(无尘室洁净程度为Class1000)空间气流污染造成主制程区域的无尘室洁净等级下降，这就要求FFU的清洁频率提升，从而造成费时费工且影响后续产品良率的严重后果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法，旨在解决目前技术中无尘室车间内无尘洁净环境依靠风机过滤机组进行气流调节而造成费时费工且影响后续产品良率的情况的问题。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：提供一种无尘室车间，包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，风机过滤机组安装在各个制程区域空间的顶部，且各个制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，无尘室车间还包括：用于调节各个制程区域空间内气流流动的气流调节设备，气流调节设备安装在各个制程区域空间内，且气流调节设备设置在风机过滤机组的下游。
可选地，气流调节设备安装在靠近制程区域空间的底部位置且位于换气通风通道结构的上方。
可选地，相邻两个制程区域空间之间设有气流交换通道，靠近制程区域空间的底部位置安装有气流调节设备且气流调节设备位于换气通风通道结构与气流交换通道之间，相邻两个制程区域空间之间的气流交换通道内安装有气流调节设备。
可选地，气流调节设备包括第一孔板和第二孔板，第一孔板和第二孔板相互叠置，第一孔板与第二孔板上开设气流通道，第一孔板与第二孔板相互叠置时，第一孔板上的气流通道与第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错开。
可选地，第一孔板上还开有多个第一调节孔，第二孔板上还开有多个第二调节孔，各第一调节孔与各第二调节孔一一对应地设置，且第一调节孔与对应的第二调节孔之间通过调节连接结构连接。
可选地，调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构。
可选地，气流调节设备包括第一孔板、第二孔板和第三孔板，三者之间依次叠置，且三者上均开有多个气流通道，第一孔板的各个气流通道与第三孔板的各个气流通道一一对应地正对设置，第二孔板的各个气流通道的一端与第一孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开，第二孔板的各个气流通道的另一端与第三孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开。
可选地，第一孔板上还开有多个第一孔板连接孔，第三孔板上还开有多个第三孔板连接孔，各个第一孔板连接孔与各个第三孔板连接孔正对设置，第二孔板上还开有多个第二孔板调节孔，各个第二孔板调节孔与相应的第一孔板连接孔、第三孔板连接孔内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。
根据本发明的另一方面，提供了一种无尘室车间的气流调节方法，在前述的无尘室车间内实施该气流调节方法，气流调节方法包括以下步骤：
开启无尘室车间的风机过滤机组进行送风；
通过调节无尘室车间的气流调节设备，以控制向无尘室车间的制程区域空间的气流流动。
可选地，气流调节设备包括相互叠置的多个孔板，各个孔板上均开有多个气流通道，在进行步骤通过调节无尘室车间的气流调节设备，以控制向无尘室车间的制程区域空间的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道之间至少部分相互重合或相互错开，以控制制程区域空间内的气流流动速率。
应用本发明的无尘室车间，相较于目前的无尘室车间而言，无需通过频繁地调节风机过滤机组来调节送风状态以保持制程区域空间内的正压，只需通过调节气流调节设备即可实现对送风状态的控制调节，方便快捷，并且通过气流调节设备还能够有效地对尚未完善洁净功能的制程区域空间进行隔断，从而确保进行生产操作的制程区域空间免受污染。
附图说明
图1是本发明的无尘室车间的剖视结构示意图；
图2是本发明的气流调节设备的一实施例的分解结构示意图；
图3是本发明的气流调节设备的另一实施例的分解结构示意图。
在附图中：
10、制程区域空间； 20、风机过滤机组；
30、换气通风通道结构； 40、气流调节设备；
41、第一孔板； 42、第二孔板；
43、第三孔板； 401、气流通道；
411、第一调节孔； 412、第一孔板连接孔；
421、第二调节孔； 422、第二孔板调节孔；
431、第三孔板连接孔； 100、气流交换通道。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者间接连接至该另一个元件上。
还需要说明的是，本实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。
如图1所示，本申请的无尘室车间包括多个制程区域空间10、多个风机过滤机组20和气流调节设备40，多个制程区域空间10相互连通，风机过滤机组20安装在各个制程区域空间10的顶部，且各个制程区域空间10的底部设有换气通风通道结构30，气流调节设备40用于调节各个制程区域空间10内气流流动，气流调节设备40安装在各个制程区域空间10内，且气流调节设备40设置在风机过滤机组20的下游。
利用风机过滤机组20向制程区域空间10内进行送风，然后与制程区域空间10内的换气通风通道结构30形成气流流动，当洁净的气流由风机过滤机组20送入后，通过气流调节设备40调节气流的流动速率、吹送流量并最终送到制程区域空间10内，从而调节制程区域空间10内的气压状态，使得制程区域空间10内保持正压(正压是相对于制程区域空间10的外部空间气压而言，制程区域空间10内气压大于外部空间气压为正压，制程区域空间10内气压可小于外部空间气压为负压)。相较于目前的无尘室车间而言，无需通过频繁地调节风机过滤机组20来调节送风状态以保持制程区域空间10内的正压，只需通过调节气流调节设备40即可实现对送风状态的控制调节，方便快捷，并且通过气流调节设备40还能够有效地对尚未完善洁净功能的制程区域空间10进行隔断，从而确保进行生产操作的制程区域空间10免受污染。
在一实施例中，气流调节设备40安装在靠近制程区域空间10的底部位置且位于换气通风通道结构30的上方。这样，外部空气经过风机过滤机组20过滤洁净被吹送进来制程区域空间10内，然后由气流调节设备40进行气流流动速率、气流流量调节，气流再从制程区域空间10底部的换气通风通道结构30出送出去进行气流流通。如图1所示，气流调节设备40安装完成之后形成了制程区域空间10的地板，并且气流调节设备40与制程区域空间10的底部表面之间的距离为H，例如20cm≤H≤35cm。在一些实施例中，例如25cm≤H≤30cm。
在另一可行的实施例中，相邻两个制程区域空间10之间设有气流交换通道100，这样方便各个制程区域空间10之间进行气流交换，使得各个制程区域空间10之间形成连通的气流交换空间。此时，靠近制程区域空间10的顶部位置处安装有气流调节设备40且气流调节设备40位于换气通风通道结构30与气流交换通道100之间。相邻两个制程区域空间10之间的气流交换通道100内也安装有气流调节设备40，如此，尽管由于各个制程区域空间10进行洁净功能设备装配的完工进度不同，通过相邻两个制程区域空间10之间的气流交换通道100内的气流调节设备40，只需调节气流调节设备40至阻断气流流通的工作模式，即可隔断相邻两个制程区域空间10的气流交换，从而消除尚未完善洁净功能的制程区域空间10对已经完成洁净功能的制程区域空间10内的洁净等级造成污染。
如图2所示，一实施例的气流调节设备40包括第一孔板41和第二孔板42，第一孔板41和第二孔板42相互叠置，并且第一孔板41与第二孔板42之间能够相对滑移调节，第一孔板41与第二孔板42上开设气流通道401，第一孔板41与第二孔板42相互叠置时，第一孔板41上的气流通道401与第二孔板42上的气流通道401至少部分重合或相互错开。当第一孔板41的气流通道401与第二孔板42的气流通道401完全重合时，气流通过气流调节设备40的流量最大；当第一孔板41的气流通道401与第二孔板42的气流通道401完全错开时，气流被气流调节设备40阻隔而无法通过(即阻断气流流通的工作模式)；当第一孔板41的气流通道401与第二孔板42的气流通道401之间部分重合时，通过调节第一孔板41的气流通道401与第二孔板42的气流通道401之间的重合度，从而控制气流通过气流调节设备40的气流流速、气流流量，以达到控制制程区域空间10内气压的目的。
在该实施例中，第一孔板41上还开有多个第一调节孔411，第二孔板42上还开有多个第二调节孔421，且第一调节孔411和第二调节孔421可均为腰形通孔，各第一调节孔411与各第二调节孔421一一对应地设置，且第一调节孔411与对应的第二调节孔421之间通过调节连接结构连接。当需要对第一孔板41上的气流通道401和第二孔板42上的气流通道401的重合度进行调节时，工作人员对调节连接结构进行拆卸，但并不需要将连接结构拆出相应的第一调节孔411和第二调节孔421，使得第一孔板41和第二孔板42之间能够相对滑移即可，然后移动第一孔板41或第二孔板42以改变两者上的气流通道401的重合度，从而实现对制程区域空间10内的气流控制，然后将调节连接结构进行锁紧以固定第一孔板41和第二孔板42。具体地，调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构，当然调节连接结构也可以采用其他形式的连接组件，并不限于螺栓与螺母配合的连接结构。
相对于上述的两个孔板形成的气流调节设备40而言，在另一可行的实施例中，如图3所示，气流调节设备40包括第一孔板41、第二孔板42和第三孔板43，三者之间依次叠置，第一孔板41和第三孔板43之间的相对位置固定，第二孔板42相对于第一孔板41、第三孔板43能够滑移，且三者上均开有多个气流通道401，第一孔板41的各个气流通道401与第三孔板43的各个气流通道401一一对应地正对设置，第二孔板42的各个气流通道401的一端与第一孔板41上相应的气流通道401至少部分重合或相互错开，第二孔板42的各个气流通道401的另一端与第三孔板43上相应的气流通道401至少部分重合或相互错开。并且，第一孔板41上还开有多个第一孔板连接孔412，第三孔板43上还开有多个第三孔板连接孔431，第一孔板连接孔412和第三孔板连接孔431均为圆形通孔，各个第一孔板连接孔412与各个第三孔板连接孔431正对设置，第二孔板42上还开有多个第二孔板调节孔422，第二孔板调节孔422为腰形通孔，各个第二孔板调节孔422与相应的第一孔板连接孔412、第三孔板连接孔431内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。当需要对制程区域空间10内的气流进行调节时，工作人员将螺母与螺栓拧松，但是不必将螺栓拆卸下来，只需使第二孔板42能够进行相对滑移即可，然后工作人员将第二孔板42滑移使得第二孔板42上的气流通道401与第一孔板41上的气流通道401、第二孔板42上的气流通道401之间的重合度均改变，从而达到控制制程区域空间10内气压的目的，最后将螺栓和螺母锁紧即可完成调节。
在本发明中，孔板均由不锈钢板制成(即：第一孔板41、第二孔板42和第三孔板43均由不锈钢板制成)。
根据本发明的另一方面，提供了一种无尘室车间的气流调节方法。具体地，工作人员在前述提供的无尘室车间内实施该气流调节方法，气流调节方法包括以下步骤：
开启无尘室车间的风机过滤机组20进行送风；
通过调节无尘室车间的气流调节设备40，以控制向无尘室车间的制程区域空间10的气流流动。
具体地，气流调节设备40包括相互叠置的多个孔板(此处，可以选择上述无尘室车间中所提供的由第一孔板41和第二孔板42组成的气流调节设备40，也可以选择由第一孔板41、第二孔板42和第三孔板43组成的气流调节设备40，因而调节孔板之间的气流通道401之间的重合度方法也与上述调节方式相同，在此不再赘述)，各个孔板上均开有多个气流通道401，在进行步骤通过调节无尘室车间的气流调节设备40，以控制向无尘室车间的制程区域空间10的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道401之间至少部分相互重合或相互错开，以控制制程区域空间10内的气流流动速率。
解释说明：
①风机过滤机组：FFU，即Fan Filter Unit，可模块化连接使用，FFU广泛应用与洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级(Class100)等应用场合，FFU有初效、高效两级滤网，顶部风机将空气吸入并经过初效、高效过滤网过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20％的风速送出。
以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种无尘室车间，其特征在于，包括：
相互连通的多个制程区域空间；
风机过滤机组，所述风机过滤机组安装在各个所述制程区域空间的顶部，且各个所述制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；
其中，所述无尘室车间还包括：
用于调节各个所述制程区域空间内气流流动的气流调节设备，所述气流调节设备安装在各个所述制程区域空间内，且所述气流调节设备设置在所述风机过滤机组的下游。
2.如权利要求1所述的无尘室车间，其特征在于，所述气流调节设备安装在靠近所述制程区域空间的底部位置且位于所述换气通风通道结构的上方。
3.如权利要求1所述的无尘室车间，其特征在于，相邻两个所述制程区域空间之间设有气流交换通道，靠近所述制程区域空间的底部位置安装有所述气流调节设备且所述气流调节设备位于所述换气通风通道结构与所述气流交换通道之间，相邻两个所述制程区域空间之间的所述气流交换通道内安装有所述气流调节设备。
4.如权利要求1或2所述的无尘室车间，其特征在于，所述气流调节设备包括第一孔板和第二孔板，所述第一孔板和所述第二孔板相互叠置，所述第一孔板与所述第二孔板上开设气流通道，所述第一孔板与所述第二孔板相互叠置时，所述第一孔板上的气流通道与所述第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错开。
5.如权利要求4所述的无尘室车间，其特征在于，所述第一孔板上还开有多个第一调节孔，所述第二孔板上还开有多个第二调节孔，各所述第一调节孔与各所述第二调节孔一一对应地设置，且所述第一调节孔与对应的所述第二调节孔之间通过调节连接结构连接。
6.如权利要求5所述的无尘室车间，其特征在于，所述调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构。
7.如权利要求1或2所述的无尘室车间，其特征在于，所述气流调节设备包括第一孔板、第二孔板和第三孔板，三者之间依次叠置，且三者上均开有多个气流通道，所述第一孔板的各个气流通道与所述第三孔板的各个气流通道一一对应地正对设置，所述第二孔板的各个气流通道的一端与所述第一孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开，所述第二孔板的各个气流通道的另一端与所述第三孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开。
8.如权利要求7所述的无尘室车间，其特征在于，所述第一孔板上还开有多个第一孔板连接孔，所述第三孔板上还开有多个第三孔板连接孔，各个所述第一孔板连接孔与各个所述第三孔板连接孔正对设置，所述第二孔板上还开有多个第二孔板调节孔，各个所述第二孔板调节孔与相应的所述第一孔板连接孔、第三孔板连接孔内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。
9.一种无尘室车间的气流调节方法，其特征在于，在权利要求1至8中任一项所述的无尘室车间内实施该气流调节方法，所述气流调节方法包括以下步骤：
开启所述无尘室车间的风机过滤机组进行送风；
通过调节所述无尘室车间的气流调节设备，以控制向所述无尘室车间的制程区域空间的气流流动。
10.如权利要求9所述的无尘室车间的气流调节方法，其特征在于，所述气流调节设备包括相互叠置的多个孔板，各个孔板上均开有多个气流通道，在进行步骤通过调节所述无尘室车间的气流调节设备以控制向所述无尘室车间的制程区域空间的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道之间至少部分相互重合或相互错开，以控制所述制程区域空间内的气流流动速率。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018103279A1 (zh) * 2016-12-06 2018-06-14 惠科股份有限公司 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法
CN108180568A (zh) * 2017-12-22 2018-06-19 科越工程(苏州）有限公司 一种无尘室排风系统及其安装工艺
CN112657871A (zh) * 2020-12-25 2021-04-16 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种晶圆片分选设备及晶圆片分选方法
CN117073090A (zh) * 2023-08-16 2023-11-17 江苏姑苏净化科技有限公司 一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114440336B (zh) * 2021-12-30 2023-12-29 无锡冠亚智能装备有限公司 一种微环境方式半导体装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6020030A (ja) * 1983-07-15 1985-02-01 Hitachi Ltd 清浄作業室
JPS61197927A (ja) * 1985-02-27 1986-09-02 Nec Kyushu Ltd 垂直層流方式クリ−ン空調システムの床下塵埃集収システム
CN1360178A (zh) * 2000-12-21 2002-07-24 松下电器产业株式会社 净化室及半导体装置的制造方法
CN1401949A (zh) * 2001-08-24 2003-03-12 株式会社日立制作所 风扇过滤器单元控制系统和具有该系统的无尘室
CN101089502A (zh) * 2006-06-12 2007-12-19 亚翔工程股份有限公司 无尘室及其空调方法
CN101967893A (zh) * 2010-10-11 2011-02-09 汕头市锐科电子有限公司 一种净化厂房
CN202899553U (zh) * 2012-08-21 2013-04-24 惠亚科技（苏州）有限公司 一种通风高架地板
CN203163096U (zh) * 2013-03-13 2013-08-28 江苏心日源建筑节能科技有限公司 洁净室系统

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5401212A (en) 1990-08-29 1995-03-28 Intelligent Enclosures Corporation Environmental control system
US5207614A (en) * 1991-11-07 1993-05-04 Brod & Mcclung - Pace Company Clean room air system
JPH05172378A (ja) 1991-12-25 1993-07-09 Matsushita Electron Corp クリーンルーム
KR100461613B1 (ko) 1997-01-31 2005-06-20 다까사고네쯔가꾸고교가부시끼가이샤 청정장치와 필터 및 그제조방법
JP3977514B2 (ja) * 1998-05-26 2007-09-19 高砂熱学工業株式会社 空気浄化フィルタ及びその製造方法及び高度清浄装置
US6574937B1 (en) * 1999-09-07 2003-06-10 Speedfam-Ipec Corporation Clean room and method
CN105849859B (zh) * 2013-12-26 2019-11-01 柯尼卡美能达株式会社 电子器件的印刷制造系统
CN106556085B (zh) 2016-12-06 2019-05-24 惠科股份有限公司 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6020030A (ja) * 1983-07-15 1985-02-01 Hitachi Ltd 清浄作業室
JPS61197927A (ja) * 1985-02-27 1986-09-02 Nec Kyushu Ltd 垂直層流方式クリ−ン空調システムの床下塵埃集収システム
CN1360178A (zh) * 2000-12-21 2002-07-24 松下电器产业株式会社 净化室及半导体装置的制造方法
CN1401949A (zh) * 2001-08-24 2003-03-12 株式会社日立制作所 风扇过滤器单元控制系统和具有该系统的无尘室
CN101089502A (zh) * 2006-06-12 2007-12-19 亚翔工程股份有限公司 无尘室及其空调方法
CN101967893A (zh) * 2010-10-11 2011-02-09 汕头市锐科电子有限公司 一种净化厂房
CN202899553U (zh) * 2012-08-21 2013-04-24 惠亚科技（苏州）有限公司 一种通风高架地板
CN203163096U (zh) * 2013-03-13 2013-08-28 江苏心日源建筑节能科技有限公司 洁净室系统

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018103279A1 (zh) * 2016-12-06 2018-06-14 惠科股份有限公司 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法
US11378291B2 (en) 2016-12-06 2022-07-05 HKC Corporation Limited Clean room and method for regulating airflow of clean room
CN108180568A (zh) * 2017-12-22 2018-06-19 科越工程(苏州）有限公司 一种无尘室排风系统及其安装工艺
CN112657871A (zh) * 2020-12-25 2021-04-16 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种晶圆片分选设备及晶圆片分选方法
CN117073090A (zh) * 2023-08-16 2023-11-17 江苏姑苏净化科技有限公司 一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法
CN117073090B (zh) * 2023-08-16 2024-05-24 江苏姑苏净化科技有限公司 一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法

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