CN117073090B - 一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，属于洁净室过滤领域，其包括洁净室主体，其上具有一第一洁净门及一第二洁净门，其内具有一洁净腔室。本发明的用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，通过布设的洁净室主体，将洁净室主体分割形成两个互不影响的洁净腔室，通过两组送风构件，分别对第一子洁净腔室及第二子洁净腔室进行送风及过滤，以使得进入第一子洁净腔室注入至经送风构件过滤后的风通过第一回风构件进行再次的过滤且使得风循环，第二子洁净腔室通过第二回风构件进行再次的过滤使得风循环。
Description
技术领域
本发明属于洁净室过滤领域，具体涉及一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法。
背景技术
洁净室是一个工程空间，它保持非常低的空气中颗粒物浓度。它被很好地隔离，很好地控制了污染并积极清洁。这些房间通常用于科学研究以及所有纳米级工艺的工业生产，例如半导体制造。洁净室旨在使从灰尘到空气中的生物或汽化颗粒的所有东西远离它，从而远离它内部正在处理的任何材料。
洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来保持无颗粒空气。层流或单向气流系统将过滤后的空气向下或沿水平方向恒定地引导至位于洁净室地板附近墙壁上的过滤器，再通过要再循环的高架穿孔地板。层流气流系统通常用于洁净室天花板的80%。不锈钢或其他非脱落材料用于构建层流气流过滤器和烟罩，以防止多余的颗粒进入空气。湍流或非单向气流使用层流罩和非特异性速度过滤器来保持洁净室中的空气运动，并将它们推向地板，在那里它们进入过滤器并离开洁净室环境。
受制于再循环的高架穿孔地板的影响及受制于风力流向因素的影响，在洁净室中仅通过送风构件整体及高架穿孔地板的风循环使得洁净室中整体的风循环及过滤效果无法维持恒定的空气处理，其次来讲的是在送风构件整体进行风循环过滤时，若仅通过吸附盘来进行吸附杂质时则会致使少量的杂质通过送风构件整体而流入至洁净室中，致使影响整个风循环过滤系统的结果。
本发明试图通过提供新的或以其他方式改进的洁净室过滤来减轻或至少缓解这样的问题或缺陷。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求中的一种或者多种，本发明提供了一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，具有风循环及过滤效果高且吸附件的吸附效果较高的优点。
为实现上述目的，本发明提供一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，其包括洁净室主体，其上具有一第一洁净门及一第二洁净门，其内具有一洁净腔室，在其内布设有一隔板，且其通过布设的隔板将该洁净腔室分为一第一子洁净腔室及一第二子洁净腔室，且该第一子洁净腔室与该第二子洁净腔室相互独立，在其顶部还具有一用于将该洁净腔室封闭的顶板，在其底部具有多组依次毗邻布设且可供流体所穿过出气板，且通过多组该出气板将该洁净室主体的底部所封闭；
第一回风构件，其布设于该第一子洁净腔室中，且其输出端可从其中一个该出气板中所穿出并再穿入其中另一个出气板中，其用于对该第一子洁净腔室进行循环过滤；
第二回风构件，其布设于该第二子洁净腔室中，其输出端可从其中一个该出气板中所穿出并在穿入其中另一个出气板中，其用于对该第二子洁净腔室进行循环过滤；
连通构件，其布设于该隔板上，且其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通，其位于该第二子洁净腔室的一端布设有一封堵件；以及
两组送风构件，均布设于该顶板上，其中一组该送风构件与该第一子洁净腔室所连通，其中另一组该送风构件与该第二子洁净腔室所连通。
作为本发明的进一步改进，该第一回风构件包括
第一过滤器，其可拆卸的布设于该第一子洁净腔室中；
第一滤网，其可拆卸的安装于该第一过滤器上；
第一连接管，其可拆卸的布设于该第一过滤器的底部且其可从该出气板中所穿出；
第二连接管，其一体成型的布设于该第一连接管的一端，且其与该第一连接管相连通；
第三连接管，其一体成型的布设于该第二连接管远离第一连接管的一端且其可穿入至该出气板中，其与该第二连接管相连通；以及
第一通风网板，其可拆卸的安装于该第三连接管上，且其与该第三连接管相连通。
作为本发明的进一步改进，该第二回风构件包括
第二过滤器，其可拆卸的布设于该第二子洁净腔室中；
第二滤网，其可拆卸的安装于该第二过滤器上；
第四连接管，其可拆卸的布设于该第二过滤器的底部且其可从该出气板中所穿出；
第五连接管，其一体成型的布设于该第四连接管的一端，且其与该第四连接管相连通；
第六连接管，其一体成型的布设于该第五连接管远离该第四连接管的一端且其可穿入至该出气板中，其与该第五连接管相连通；以及
第二通风网板，其可拆卸的布设于该第六连接管上，且其与该第六连接管相连通。
作为本发明的进一步改进，该连通构件包括
套环，其上可拆卸的布设有一立板，且该立板可拆卸的布设于该隔板上；
连通管，其可拆卸的布设于该套环内，其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通；
连接板，其可拆卸的布设于该连通管的一端，其内具有一空腔；以及
封堵件，其布设于该连接板上，其用于对该连通管的一端口进行封堵。
作为本发明的进一步改进，该封堵件包括
封板，其可滑动的布设于该连接板所具有的空腔内，其用于对该连通管的一端口进行封堵；
驱动电机，其可拆卸的安装于该连接板上；
卡箍，其可拆卸的安装于该连接板上，且其将该驱动电机所包围；
基板，其可拆卸的布设于该封板上，在其内可拆卸的穿设有一内螺纹套环；以及
丝杆，其可拆卸的安装于该驱动电机的输出端，且其可穿入至该内螺纹套环内；
其中，当该驱动电机的输出端转动时，用于驱动该丝杆转动，以使得该封板沿着该连接板所具有的空腔滑动，以开启该连通管的一端。
作为本发明的进一步改进，在该丝杆远离该驱动电机输出端的一端还可拆卸的安装有一挡块，该挡块用于防止该内螺纹套环从该丝杆上所脱落。
作为本发明的进一步改进，该送风构件包括
第三过滤器，其一端可拆卸的布设有一插管，且该插管与该顶连接板相连通，在该插管上可拆卸的布设有一顶连接板，该顶连接板可拆卸的安装于该顶板上，且该插管可穿入至该洁净腔室中；
聚风套环，其插设于该顶连接板所穿入洁净腔室中的一端，且其与该顶连接板相连通；
贴合盘，其可拆卸的布设于该第三过滤器上，其内具有一通孔，在其上布设有一垫片；
中空立柱，其可拆卸的安装于该第三过滤器上，其与该第三过滤器相连通，且其可从该贴合盘所具有的通孔中所穿过；
吸附件，其穿设于该中空立柱上，且其一端与该贴合盘相贴触；以及
套筒，其上具有一连接杆，且其可通过该连接杆插入该垫片中，以使得该套筒与该贴合盘相贴合，以对该吸附件进行封闭，在其外圆周面上还开设有多组第一透气孔。
作为本发明的进一步改进，该吸附件由多组子M段所构成，多组子M段依次首尾相连接以使得该吸附件呈环状，在每组该子M段上所具有的斜面上均可贴设有一第一硅胶吸附贴片，在每组子M段上的最低点处贴设有一第二硅胶吸附贴片，且该第二硅胶吸附贴片与该子M段最低点处所形成的曲面面积相适配。
作为本发明的进一步改进，还包括一底通风构件，该底通风构件包括
底支撑板，其可拆卸的安装于该洁净室主体的底部，在其边侧面上贯穿开设有多组垫块，其与该洁净室主体的底部形成一循环风腔，且该循环风腔与多组该垫块相连通，该垫块的形状为直槽口状；
垫块，其可拆卸的安装于该底支撑板底部的四角处；
贴合垫，其可拆卸的安装于该底支撑板的底面；以及
空气净化器，其可拆卸的布设于该第二子洁净腔室中。
本发明所要解决的另一技术问题是一种用于洁净室的多级过滤系统的控制方法，
S1、对洁净室主体洁净腔室送风：打开第三过滤器，第三过滤器工作以吸收外界空气通过第一透气孔进入至吸附件中，通过多组第一硅胶吸附贴片及多组第二硅胶吸附贴片的吸附以使得被吸附净化后的空气进入通过中空立柱注入至第三过滤器中，经过第三过滤器的出气端进入至插管中，在通过聚风套环聚风进入注入至洁净腔室中；
S2、对第一子洁净腔室的循环控风：打开第一过滤器，第一过滤器工作对流入至第一子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第一连接管、第二连接管、第三连接管、最终从第一通风网板中聚集后再注入至第一子洁净腔室中，依次循环；
S3、对第二子洁净腔室的循环控风：打开第二过滤器，第二过滤器工作对流入至第二子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第四连接管、第五连接管、第六连接管、最终从第二通风网板中聚集后再注入至第二子洁净腔室中，依次循环；
S4、将第二子洁净腔室中的空气与第一子洁净腔室空气相连通：打开驱动电机，驱动电机工作用于驱动丝杆转动，以使得封板沿着连接板所具有的空腔滑动，以开启该连通管的一端，且通过基板向着挡块运行的一端运动时，连通管一端的开口面积为逐渐变大，以控制第二子洁净腔室与第一子洁净腔室中空气相连通交换的速率；
S5、对洁净腔室底部的空气循环：经过送风构件整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板所具有的多个通风孔所流入至底支撑板与洁净室主体所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔中所与外界相连通，打开布设的空气净化器以对第二子洁净腔室进行进一步的过滤吸收杂质，以净化再次的净化第二子洁净腔室中的杂质。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有的有益效果包括：
本发明的用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，通过布设的洁净室主体，将洁净室主体分割形成两个互不影响的洁净腔室，通过两组送风构件，分别对第一子洁净腔室及第二子洁净腔室进行送风及过滤，以使得进入第一子洁净腔室注入至经送风构件过滤后的风通过第一回风构件进行再次的过滤且使得风循环，第二子洁净腔室通过第二回风构件进行再次的过滤使得风循环，通过布设的连通构件可以使得第二子洁净腔室与第一子洁净腔室所循环连通且可控制第二子洁净腔室空气注入至第一子洁净腔室中的注入速率，通过布设的底通风构件，对洁净腔室底部的进行空气循环，经过送风构件整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板所具有的多个通风孔所流入至底支撑板与洁净室主体所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔中所与外界相连通，以使得整个洁净腔室的风循环及过滤效果提高，及可以维持恒定的空气处理，且通过布设的吸附件，可以使得在进风注入时，可以有效的进行风循环过滤，且通过吸附件由多组子M段所依次形成圆环状，以便于对吸附件进行拆装更换，再通过布设的多组第一硅胶吸附贴片及多组第二硅胶吸附贴片可以对杂质进行有效的吸附，以提高送风构件整体的过滤效果。
附图说明
图1为本发明用于洁净室的多级过滤系统整体的结构示意图；
图2为本发明用于洁净室的多级过滤系统去除顶板时的结构示意图；
图3为本发明从另一角度看图2时的结构示意图；
图4为本发明图2的俯视图；
图5为本发明从再一角度看图2时的结构示意图；
图6为本发明第一回风构件的部分结构示意图；
图7为本发明第二回风构件的部分结构示意图；
图8为本发明连通构件整体的结构示意图；
图9为本发明从另一角度看通风构件整体的结构示意图；
图10为本发明送风构件整体的结构示意图；
图11为本发明从另一角度看送风构件整体的结构示意图；
图12为本发明送风构件的爆炸图；
图13为本发明吸附件整体的结构示意图；
图14为本发明套筒整体的结构示意图。
在所有附图中，同样的附图标记表示相同的技术特征，具体为：1、洁净室主体；11、第一洁净门；12、第二洁净门；13、顶板；14、出气板；15、隔板；2、第一回风构件；21、第一过滤器；22、第一滤网；23、第一连接管；24、第二连接管；25、第三连接管；26、第一通风网板；3、第二回风构件；31、第二过滤器；32、第二滤网；33、第四连接管；34、第五连接管；35、第六连接管；36、第二通风网板；4、连通构件；41、套环；42、立板；43、连通管；44、连接板；441、封板；45、驱动电机；46、卡箍；47、基板；48、内螺纹套环；49、丝杆；491、挡块；5、送风构件；51、第三过滤器；52、插管；53、顶连接板；54、聚风套环；55、中空立柱；56、贴合盘；561、垫片；57、吸附件；571、第一硅胶吸附贴片；572、第二硅胶吸附贴片；58、套筒；581、连接杆；582、第一透气孔；6、底通风构件；61、底支撑板；62、第二透气孔；63、垫块；64、贴合垫；65、空气净化器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本发明。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的含义，除非另外定义。应注意，这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义，而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。
实施例中，由图1-14给出，一种用于洁净室的多级过滤系统，其中，图1为本发明用于洁净室的多级过滤系统整体的结构示意图；图2为本发明用于洁净室的多级过滤系统去除顶板时的结构示意图；图3为本发明从另一角度看图2时的结构示意图；图4为本发明图2的俯视图；图5为本发明从再一角度看图2时的结构示意图；图6为本发明第一回风构件的部分结构示意图；图7为本发明第二回风构件的部分结构示意图；图8为本发明连通构件整体的结构示意图；图9为本发明从另一角度看通风构件整体的结构示意图；图10为本发明送风构件整体的结构示意图；图11为本发明从另一角度看送风构件整体的结构示意图；图12为本发明送风构件的爆炸图；图13为本发明吸附件整体的结构示意图；图14为本发明套筒整体的结构示意图，其包括洁净室主体1，其上具有一第一洁净门11及一第二洁净门12，其内具有一洁净腔室，在其内布设有一隔板15，且其通过布设的隔板15将洁净腔室分为一第一子洁净腔室及一第二子洁净腔室，且第一子洁净腔室与第二子洁净腔室相互独立，在其顶部还具有一用于将洁净腔室封闭的顶板13，在其底部具有多组依次毗邻布设且可供流体所穿过出气板14，且通过多组出气板14将洁净室主体1的底部所封闭；第一回风构件2，其布设于第一子洁净腔室中，且其输出端可从其中一个出气板14中所穿出并再穿入其中另一个出气板14中，其用于对第一子洁净腔室进行循环过滤；第二回风构件3，其布设于第二子洁净腔室中，其输出端可从其中一个出气板14中所穿出并在穿入其中另一个出气板14中，其用于对第二子洁净腔室进行循环过滤；连通构件4，其布设于隔板15上，且其分别与第一子洁净腔室及第二子洁净腔室所连通，其位于第二子洁净腔室的一端布设有一封堵件；以及两组送风构件5，均布设于顶板13上，其中一组送风构件5与第一子洁净腔室所连通，其中另一组送风构件5与第二子洁净腔室所连通。
本发明所基于的一个整体的思路为，通过布设的洁净室主体1，将洁净室主体1分割形成两个互不影响的洁净腔室，通过两组送风构件5，分别对第一子洁净腔室及第二子洁净腔室进行送风及过滤，以使得进入第一子洁净腔室注入至经送风构件5过滤后的风通过第一回风构件2进行再次的过滤且使得风循环，第二子洁净腔室通过第二回风构件3进行再次的过滤使得风循环，通过布设的连通构件4可以使得第二子洁净腔室与第一子洁净腔室所循环连通且可控制第二子洁净腔室空气注入至第一子洁净腔室中的注入速率，通过布设的底通风构件6，对洁净腔室底部的进行空气循环，经过送风构件5整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板14所具有的多个通风孔所流入至底支撑板61与洁净室主体1所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔62中所与外界相连通，以使得整个洁净腔室的风循环及过滤效果提高，及可以维持恒定的空气处理，且通过布设的吸附件57，可以使得在进风注入时，可以有效的进行风循环过滤，且通过吸附件57由多组子M段所依次形成圆环状，以便于对吸附件57进行拆装更换，再通过布设的多组第一硅胶吸附贴片571及多组第二硅胶吸附贴片572可以对杂质进行有效的吸附，以提高送风构件5整体的过滤效果。
接下来对第一回风构件2整体赋予一个更为具体的结构及构造进行进一步的解释说明，第一回风构件2包括第一过滤器21，其可拆卸的布设于第一子洁净腔室中；第一滤网22，其可拆卸的安装于第一过滤器21上；第一连接管23，其可拆卸的布设于第一过滤器21的底部且其可从出气板14中所穿出；第二连接管24，其一体成型的布设于第一连接管23的一端，且其与第一连接管23相连通；第三连接管25，其一体成型的布设于第二连接管24远离第一连接管23的一端且其可穿入至出气板14中，其与第二连接管24相连通；以及第一通风网板26，其可拆卸的安装于第三连接管25上，且其与第三连接管25相连通。
在对第一回风构件2整体进行使用时，打开第一过滤器21，第一过滤器21工作对流入至第一子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第一连接管23、第二连接管24、第三连接管25、最终从第一通风网板26中聚集后再注入至第一子洁净腔室中，依次循环。
接下来对第二回风构件3整体赋予一个更为具体的结构及构造进行进一步的解释说明，第二回风构件3包括第二过滤器31，其可拆卸的布设于第二子洁净腔室中；第二滤网32，其可拆卸的安装于第二过滤器31上；第四连接管33，其可拆卸的布设于第二过滤器31的底部且其可从出气板14中所穿出；第五连接管34，其一体成型的布设于第四连接管33的一端，且其与第四连接管33相连通；第六连接管35，其一体成型的布设于第五连接管34远离第四连接管33的一端且其可穿入至出气板14中，其与第五连接管34相连通；以及第二通风网板36，其可拆卸的布设于第六连接管35上，且其与第六连接管35相连通。
在对第二回风构件3整体进行使用时，打开第二过滤器31，第二过滤器31工作对流入至第二子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第四连接管33、第五连接管34、第六连接管35、最终从第二通风网板36中聚集后再注入至第二子洁净腔室中，依次循环。
接下来对连通构件4整体赋予一个更为具体的结构及构造进行进一步的解释说明，连通构件4包括套环41，其上可拆卸的布设有一立板42，且立板42可拆卸的布设于隔板15上；连通管43，其可拆卸的布设于套环41内，其分别与第一子洁净腔室及第二子洁净腔室所连通；连接板44，其可拆卸的布设于连通管43的一端，其内具有一空腔；以及封堵件，其布设于连接板44上，其用于对连通管43的一端口进行封堵。
接下来对封堵件整体赋予一个更为具体的结构及构造进行进一步的解释说明，封堵件包括封板441，其可滑动的布设于连接板44所具有的空腔内，其用于对连通管43的一端口进行封堵；驱动电机45，其可拆卸的安装于连接板44上；卡箍46，其可拆卸的安装于连接板44上，且其将驱动电机45所包围；基板47，其可拆卸的布设于封板441上，在其内可拆卸的穿设有一内螺纹套环48；以及丝杆49，其可拆卸的安装于驱动电机45的输出端，且其可穿入至内螺纹套环48内；
其次来对封堵件整体的使用原理进行说明，使用者打开驱动电机45，可以使得驱动电机45的输出端转动，即可用于驱动丝杆49转动，以使得封板441沿着连接板44所具有的空腔滑动，以开启连通管43的一端；
还需要说明的是，在初始阶段，封板441是完全封闭于连通管43的一端部的，在随着封板441逐步向着挡块491的一端运动后，连通管43的一端部是逐步的扩大的，可使得第二子洁净腔室可以向着第一子洁净腔室中进行空气流动注入；
在一个更为具体的实施例中，连通管43的一端部的开口端以矩形状进行举例说明。
在一个更为具体的实施例中，为了防止内螺纹套环48从丝杆49上所脱落，在丝杆49远离驱动电机45输出端的一端还可拆卸的安装有一挡块491，挡块491用于防止内螺纹套环48从丝杆49上所脱落。
在一个更为具体的实施例中，丝杆49的长度与封板441的长度大小相同，且是为了防止封板441完全从连接板44中所脱落。
接下来对送风构件5整体赋予一个更为具体的结构及构造进行进一步的解释说明，送风构件5包括第三过滤器51，其一端可拆卸的布设有一插管52，且插管52与顶连接板53相连通，在插管52上可拆卸的布设有一顶连接板53，顶连接板53可拆卸的安装于顶板13上，且插管52可穿入至洁净腔室中；聚风套环54，其插设于顶连接板53所穿入洁净腔室中的一端，且其与顶连接板53相连通；贴合盘56，其可拆卸的布设于第三过滤器51上，其内具有一通孔，在其上布设有一垫片561；中空立柱55，其可拆卸的安装于第三过滤器51上，其与第三过滤器51相连通，且其可从贴合盘56所具有的通孔中所穿过；吸附件57，其穿设于中空立柱55上，且其一端与贴合盘56相贴触；以及套筒58，其上具有一连接杆581，且其可通过连接杆581插入垫片561中，以使得套筒58与贴合盘56相贴合，以对吸附件57进行封闭，在其外圆周面上还开设有多组第一透气孔582。
在对送风构件5的构件进行局部的解释，通过布设的吸附件57，可以使得在进风注入时，可以有效的进行风循环过滤，且通过吸附件57由多组子M段所依次形成圆环状，以便于对吸附件57进行拆装更换，再通过布设的多组第一硅胶吸附贴片571及多组第二硅胶吸附贴片572可以对杂质进行有效的吸附；
其次来讲的话，在对吸附件57进行拆装时，通过直接将吸附件57所插入至中空立柱55上，即可将吸附件57与中空立柱55进行连接，在将连接杆581所插入至贴合盘56及垫片561中，在将垫片561对连接杆581进行锁紧，即可完成对套筒58整体的装配，拆卸方式与装配方式相反。
在一个更为具体的实施例中，吸附件57由多组子M段所构成，多组子M段依次首尾相连接以使得吸附件57呈环状，在每组子M段上所具有的斜面上均可贴设有一第一硅胶吸附贴片571，在每组子M段上的最低点处贴设有一第二硅胶吸附贴片572，且第二硅胶吸附贴片572与子M段最低点处所形成的曲面面积相适配。
更为具体的是，通过吸附件57呈环状，可易于吸附件57所插入至中空立柱55上，通过多组子M段所形成，可以使得每组子M段所具有的四组斜面上都布设有第二硅胶吸附贴片572，以增大对杂质的吸附效果，吸附面更大，每组子M段上的最低点处所形成的曲面面积上布设第二硅胶吸附贴片572，可以防止杂质聚集于曲面上，以使得吸附件57在对杂质进行吸附时较为的全面，且防止杂质堆积于死角处。
接下来对底通风构件6整体赋予一个更为具体的结构及构造进行进一步的解释说明，还包括一底通风构件6，底通风构件6包括底支撑板61，其可拆卸的安装于洁净室主体1的底部，在其边侧面上贯穿开设有多组垫块63，其与洁净室主体1的底部形成一循环风腔，且循环风腔与多组垫块63相连通，垫块63的形状为直槽口状；垫块63，其可拆卸的安装于底支撑板61底部的四角处；贴合垫64，其可拆卸的安装于底支撑板61的底面；以及空气净化器65，其可拆卸的布设于第二子洁净腔室中。
接下来对底通风构件6进行进一步的解释说明，经过送风构件5整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板14所具有的多个通风孔所流入至底支撑板61与洁净室主体1所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔62中所与外界相连通，打开布设的空气净化器65以对第二子洁净腔室进行进一步的过滤吸收杂质，以净化再次的净化第二子洁净腔室中的杂质。
本发明所要解决的另一技术问题是一种用于洁净室的多级过滤系统的控制方法，
S1、对洁净室主体1洁净腔室送风：打开第三过滤器51，第三过滤器51工作以吸收外界空气通过第一透气孔582进入至吸附件57中，通过多组第一硅胶吸附贴片571及多组第二硅胶吸附贴片572的吸附以使得被吸附净化后的空气进入通过中空立柱55注入至第三过滤器51中，经过第三过滤器51的出气端进入至插管52中，在通过聚风套环54聚风进入注入至洁净腔室中；
S2、对第一子洁净腔室的循环控风：打开第一过滤器21，第一过滤器21工作对流入至第一子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第一连接管23、第二连接管24、第三连接管25、最终从第一通风网板26中聚集后再注入至第一子洁净腔室中，依次循环；
S3、对第二子洁净腔室的循环控风：打开第二过滤器31，第二过滤器31工作对流入至第二子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第四连接管33、第五连接管34、第六连接管35、最终从第二通风网板36中聚集后再注入至第二子洁净腔室中，依次循环；
S4、将第二子洁净腔室中的空气与第一子洁净腔室空气相连通：打开驱动电机45，驱动电机45工作用于驱动丝杆49转动，以使得封板441沿着连接板44所具有的空腔滑动，以开启连通管43的一端，且通过基板47向着挡块491运行的一端运动时，连通管43一端的开口面积为逐渐变大，以控制第二子洁净腔室与第一子洁净腔室中空气相连通交换的速率；
S5、对洁净腔室底部的空气循环：经过送风构件5整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板14所具有的多个通风孔所流入至底支撑板61与洁净室主体1所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔62中所与外界相连通，打开布设的空气净化器65以对第二子洁净腔室进行进一步的过滤吸收杂质，以净化再次的净化第二子洁净腔室中的杂质。
综上，通过布设的洁净室主体1，将洁净室主体1分割形成两个互不影响的洁净腔室，通过两组送风构件5，分别对第一子洁净腔室及第二子洁净腔室进行送风及过滤，以使得进入第一子洁净腔室注入至经送风构件5过滤后的风通过第一回风构件2进行再次的过滤且使得风循环，第二子洁净腔室通过第二回风构件3进行再次的过滤使得风循环，通过布设的连通构件4可以使得第二子洁净腔室与第一子洁净腔室所循环连通且可控制第二子洁净腔室空气注入至第一子洁净腔室中的注入速率，通过布设的底通风构件6，对洁净腔室底部的进行空气循环，经过送风构件5整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板14所具有的多个通风孔所流入至底支撑板61与洁净室主体1所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔62中所与外界相连通，以使得整个洁净腔室的风循环及过滤效果提高，及可以维持恒定的空气处理，且通过布设的吸附件57，可以使得在进风注入时，可以有效的进行风循环过滤，且通过吸附件57由多组子M段所依次形成圆环状，以便于对吸附件57进行拆装更换，再通过布设的多组第一硅胶吸附贴片571及多组第二硅胶吸附贴片572可以对杂质进行有效的吸附，以提高送风构件5整体的过滤效果。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，其包括
洁净室主体（1），其上具有一第一洁净门（11）及一第二洁净门（12），其内具有一洁净腔室，在其内布设有一隔板（15），且其通过布设的隔板（15）将该洁净腔室分为一第一子洁净腔室及一第二子洁净腔室，且该第一子洁净腔室与该第二子洁净腔室相互独立，在其顶部还具有一用于将该洁净腔室封闭的顶板（13），在其底部具有多组依次毗邻布设且可供流体所穿过出气板（14），且通过多组该出气板（14）将该洁净室主体（1）的底部所封闭；
第一回风构件（2），其布设于该第一子洁净腔室中，且其输出端可从其中一个该出气板（14）中所穿出并再穿入其中另一个出气板（14）中，其用于对该第一子洁净腔室进行循环过滤；
第二回风构件（3），其布设于该第二子洁净腔室中，其输出端可从其中一个该出气板（14）中所穿出并在穿入其中另一个出气板（14）中，其用于对该第二子洁净腔室进行循环过滤；
连通构件（4），其布设于该隔板（15）上，且其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通，其位于该第二子洁净腔室的一端布设有一封堵件；以及
两组送风构件（5），均布设于该顶板（13）上，其中一组该送风构件（5）与该第一子洁净腔室所连通，其中另一组该送风构件（5）与该第二子洁净腔室所连通，该第一回风构件（2）包括
第一过滤器（21），其可拆卸的布设于该第一子洁净腔室中；
第一滤网（22），其可拆卸的安装于该第一过滤器（21）上；
第一连接管（23），其可拆卸的布设于该第一过滤器（21）的底部且其可从该出气板（14）中所穿出；
第二连接管（24），其一体成型的布设于该第一连接管（23）的一端，且其与该第一连接管（23）相连通；
第三连接管（25），其一体成型的布设于该第二连接管（24）远离第一连接管（23）的一端且其可穿入至该出气板（14）中，其与该第二连接管（24）相连通；以及
第一通风网板（26），其可拆卸的安装于该第三连接管（25）上，且其与该第三连接管（25）相连通，该第二回风构件（3）包括
第二过滤器（31），其可拆卸的布设于该第二子洁净腔室中；
第二滤网（32），其可拆卸的安装于该第二过滤器（31）上；
第四连接管（33），其可拆卸的布设于该第二过滤器（31）的底部且其可从该出气板（14）中所穿出；
第五连接管（34），其一体成型的布设于该第四连接管（33）的一端，且其与该第四连接管（33）相连通；
第六连接管（35），其一体成型的布设于该第五连接管（34）远离该第四连接管（33）的一端且其可穿入至该出气板（14）中，其与该第五连接管（34）相连通；以及
第二通风网板（36），其可拆卸的布设于该第六连接管（35）上，且其与该第六连接管（35）相连通，该连通构件（4）包括
套环（41），其上可拆卸的布设有一立板（42），且该立板（42）可拆卸的布设于该隔板（15）上；
连通管（43），其可拆卸的布设于该套环（41）内，其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通；
连接板（44），其可拆卸的布设于该连通管（43）的一端，其内具有一空腔；以及
封堵件，其布设于该连接板（44）上，其用于对该连通管（43）的一端口进行封堵，该封堵件包括
封板（441），其可滑动的布设于该连接板（44）所具有的空腔内，其用于对该连通管（43）的一端口进行封堵；
驱动电机（45），其可拆卸的安装于该连接板（44）上；
卡箍（46），其可拆卸的安装于该连接板（44）上，且其将该驱动电机（45）所包围；
基板（47），其可拆卸的布设于该封板（441）上，在其内可拆卸的穿设有一内螺纹套环（48）；以及
丝杆（49），其可拆卸的安装于该驱动电机（45）的输出端，且其可穿入至该内螺纹套环（48）内；
其中，当该驱动电机（45）的输出端转动时，用于驱动该丝杆（49）转动，以使得该封板（441）沿着该连接板（44）所具有的空腔滑动，以开启该连通管（43）的一端，在该丝杆（49）远离该驱动电机（45）输出端的一端还可拆卸的安装有一挡块（491），该挡块（491）用于防止该内螺纹套环（48）从该丝杆（49）上所脱落，该送风构件（5）包括
第三过滤器（51），其一端可拆卸的布设有一插管（52），在该插管（52）上可拆卸的布设有一顶连接板（53），且该插管（52）与该顶连接板（53）相连通，该顶连接板（53）可拆卸的安装于该顶板（13）上，且该插管（52）可穿入至该洁净腔室中；
聚风套环（54），其插设于该顶连接板（53）所穿入洁净腔室中的一端，且其与该顶连接板（53）相连通；
贴合盘（56），其可拆卸的布设于该第三过滤器（51）上，其内具有一通孔，在其上布设有一垫片（561）；
中空立柱（55），其可拆卸的安装于该第三过滤器（51）上，其与该第三过滤器（51）相连通，且其可从该贴合盘（56）所具有的通孔中所穿过；
吸附件（57），其穿设于该中空立柱（55）上，且其一端与该贴合盘（56）相贴触；以及
套筒（58），其上具有一连接杆（581），且其可通过该连接杆（581）插入该垫片（561）中，以使得该套筒（58）与该贴合盘（56）相贴合，以对该吸附件（57）进行封闭，在其外圆周面上还开设有多组第一透气孔（582）。
2.根据权利要求1所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，该吸附件（57）由多组子M段所构成，多组子M段依次首尾相连接以使得该吸附件（57）呈环状，在每组该子M段上所具有的斜面上均可贴设有一第一硅胶吸附贴片（571），在每组子M段上的最低点处贴设有一第二硅胶吸附贴片（572），且该第二硅胶吸附贴片（572）与该子M段最低点处所形成的曲面面积相适配。
3.根据权利要求2所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，还包括一底通风构件（6），该底通风构件（6）包括
底支撑板（61），其可拆卸的安装于该洁净室主体（1）的底部，在其边侧面上贯穿开设有多组垫块（63），其与该洁净室主体（1）的底部形成一循环风腔，且该循环风腔与多组该垫块（63）相连通，该垫块（63）的形状为直槽口状；
垫块（63），其可拆卸的安装于该底支撑板（61）底部的四角处；
贴合垫（64），其可拆卸的安装于该底支撑板（61）的底面；以及
空气净化器（65），其可拆卸的布设于该第二子洁净腔室中。
4.基于权利要求3所述的用于洁净室的多级过滤系统的控制方法，其特征在于，
S1、对洁净室主体（1）洁净腔室送风：打开第三过滤器（51），第三过滤器（51）工作以吸收外界空气通过第一透气孔（582）进入至吸附件（57）中，通过多组第一硅胶吸附贴片（571）及多组第二硅胶吸附贴片（572）的吸附以使得被吸附净化后的空气进入通过中空立柱（55）注入至第三过滤器（51）中，经过第三过滤器（51）的出气端进入至插管（52）中，在通过聚风套环（54）聚风进入注入至洁净腔室中；
S2、对第一子洁净腔室的循环控风：打开第一过滤器（21），第一过滤器（21）工作对流入至第一子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第一连接管（23）、第二连接管（24）、第三连接管（25）、最终从第一通风网板（26）中聚集后再注入至第一子洁净腔室中，依次循环；
S3、对第二子洁净腔室的循环控风：打开第二过滤器（31），第二过滤器（31）工作对流入至第二子洁净腔室中的风进行吸收，且依次流经第四连接管（33）、第五连接管（34）、第六连接管（35）、最终从第二通风网板（36）中聚集后再注入至第二子洁净腔室中，依次循环；
S4、将第二子洁净腔室中的空气与第一子洁净腔室空气相连通：打开驱动电机（45），驱动电机（45）工作用于驱动丝杆（49）转动，以使得封板（441）沿着连接板（44）所具有的空腔滑动，以开启该连通管（43）的一端，且通过基板（47）向着挡块（491）运行的一端运动时，连通管（43）一端的开口面积为逐渐变大，以控制第二子洁净腔室与第一子洁净腔室中空气相连通交换的速率；
S5、对洁净腔室底部的空气循环：经过送风构件（5）整体注入至洁净腔室中的空气经过出气板（14）所具有的多个通风孔所流入至底支撑板（61）与洁净室主体（1）所形成的循环风腔中，在通过多组直槽口状的第二透气孔（62）中所与外界相连通，打开布设的空气净化器（65）以对第二子洁净腔室进行进一步的过滤吸收杂质，以净化再次的净化第二子洁净腔室中的杂质。
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