CN112648697A - 一种电子工业洁净厂房回风除尘装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，属于电子工业洁净厂房相关技术领域，包括底座、回风静压箱、第一回风除尘装置、第二除尘滤芯和第二百叶，所述底座的上方安装有箱体，箱体的内部下方设置为回风静压箱，箱体的内部上方设置为送风静压箱；所述回风静压箱的左右两侧分别设置有第一回风除尘装置和第二回风除尘装置；所述第一回风除尘装置上安装有第一除尘滤芯，第二回风除尘装置上安装有第二除尘滤芯；所述第一除尘滤芯上设置有第一百叶，第二除尘滤芯上设置有第二百叶。本发明通过设置的第一回风除尘装置和第二回风除尘装置的配合使用，能够更好的控制洁净厂房洁净度，并且延长FFU风机过滤机组的使用寿命。

Description

一种电子工业洁净厂房回风除尘装置

技术领域

本发明属于电子工业洁净厂房相关技术领域，具体是一种电子工业洁净厂房回风除尘装置。

背景技术

电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、震动、静电防护、照度等参数要求。

为保证产品生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括：应采用产生污染物少的生产工艺及设备，或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散，采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及工器具；减少人员及物料带入室内的污染物质；维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压，防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗或其他缝隙、孔洞侵人；加强洁净室的管理，按规定进行清扫、灭菌等。

除采取上述各种技术措施之外，为使生产环境或其他用途的洁净室室内环境控制在所要求的空气洁净度等级，重要的技术措施是需要送入足够量的经过处理的清洁空气，以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染后的空气。洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求，采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气，靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。

目前洁净室对送入空气的净化方法，最重要和使用最广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气，主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。近年来，根据超大规模集成电路及其他一些电子工业生产的微细化和精密化要求，还需去除空气中浓度极微的化学污染物或分子污染物。为此，在洁净室的送风、回风系统应增设各种类型的化学过滤器、吸附过滤器、吸收装置等。

目前回风静压箱内空气是通过垂直正压的压差及循环风机的共同作用，由回风静压箱内运送到送风静压箱内，再通过在顶部设置FFU风机过滤机组等系统，把空气污染物质过滤后，送入洁净室内；如图1所示，由于回风静压箱内的尘粒和微生物等物质易受到气流扰动，使回风气体受到污染，所以在通过FFU风机过滤机组时会增加过滤器工作压力，而降低高效过滤器使用寿命，增加生产成本。而FFU风机过滤机组对回风过滤不够时，尘粒和微生物等物质有可能会污染洁净室内空气，或是由于气流作用回风静压箱内的尘粒和微生物等物质受到扰动而再次滞留在洁净室内，以此循环降低洁净室内空气洁净度，对洁净工作环境产生不良的影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，包括底座、回风静压箱、第一回风除尘装置、第二除尘滤芯和第二百叶，所述底座的上方安装有箱体，箱体的内部下方设置为回风静压箱，箱体的内部上方设置为送风静压箱，回风静压箱和送风静压箱之间安装有FFU风机过滤机组，FFU风机过滤机组的左右两侧均设置有循环风机；所述回风静压箱的左右两侧分别设置有第一回风除尘装置和第二回风除尘装置；所述第一回风除尘装置上安装有第一除尘滤芯，第二回风除尘装置上安装有第二除尘滤芯；所述第一除尘滤芯上设置有第一百叶，第二除尘滤芯上设置有第二百叶。

作为本发明的进一步方案：所述第一回风除尘装置和第二回风除尘装置之间保持一定的间距，间距尺寸大于300mm。

作为本发明的进一步方案：所述第一百叶和第二百叶的宽度设置为40mm～80mm，第一百叶和第二百叶的厚度设置为7mm，第一百叶和第二百叶的开启角度设置为45°～90°。

作为本发明的进一步方案：所述第一回风除尘装置采用无隔板式铝型材外框，第二回风除尘装置采用有隔板式铝型材外框。

作为本发明的进一步方案：所述第一百叶设置为向下倾斜，第二百叶设置为向上倾斜。

作为本发明的再进一步方案：所述第一百叶和第二百叶的表面以及第一回风除尘装置和第二回风除尘装置间的地面均设置有硅藻泥涂层。

与现有技术相比，本发明具有以下的有益效果：

1.通过设置的第一回风除尘装置和第二回风除尘装置的配合使用，能够更好的控制洁净厂房洁净度，并且延长FFU风机过滤机组的使用寿命；

2.通过将第一百叶和第二百叶设置为不同的倾斜方向，能够加大百叶与有压气体的接触面积，起到把回风气体中的尘粒和微生物等物质吸附到百叶表面或滞留在回风静压箱地面的有效空气净化和过滤作用。

3.通过将第一回风除尘装置和第二回风除尘装置的外框采用铝型材制作而成，独特的支撑骨架结构，使滤料平铺成形，更换组装方便、通用性好；并且结构轻巧，搬运和安装简单；使用结束后,可更换新滤料或清洗原有源材重复使用、节省资源、降低运行成本。

4.通过在第一百叶和第二百叶的表面以及第一回风除尘装置和第二回风除尘装置之间的地面上设置硅藻泥涂层，能够净化回风气体洁净度，增加FFU高效过滤器的使用寿命，降低运行成本，有效的控制洁净厂房空气洁净度，延长高效过滤器的使用寿命，节约生产成本，达到节能等更高要求。

附图说明

图1为现有技术垂直单向流洁净室的剖面结构示意图。

图2为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置的结构示意图。

图3为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中第一回风除尘装置的结构示意图。

图4为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中第二回风除尘装置的结构示意图。

图5为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中第一除尘滤芯的结构示意图。

图6为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中第二除尘滤芯的结构示意图。

图7为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中第一除尘滤芯的侧视剖面结构示意图。

图8为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中第二除尘滤芯的侧视剖面结构示意图。

图9为一种电子工业洁净厂房回风除尘装置中回风静压箱的俯视结构示意图。

图中：1、底座；2、箱体；3、回风静压箱；4、送风静压箱；5、FFU风机过滤机组；6、循环风机；7、第一回风除尘装置；8、第二回风除尘装置；9、第一除尘滤芯；10、第二除尘滤芯；11、第一百叶；12、第二百叶；13、硅藻泥涂层。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图2-9，一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，包括底座1、回风静压箱3、第一回风除尘装置7、第二除尘滤芯10和第二百叶12；所述底座1的上方安装有箱体2，箱体2的内部下方设置为回风静压箱3，回风静压箱3的定制宽度尺寸不大于1.2m，回风静压箱3的高度尺寸不大于1.6m，箱体2的内部上方设置为送风静压箱4，回风静压箱3和送风静压箱4之间安装有FFU风机过滤机组5，FFU风机过滤机组5的左右两侧均设置有循环风机6。

所述回风静压箱3的左右两侧分别设置有第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8，第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8之间保持一定的间距，间距尺寸大于300mm，具体的间距参数可根据不同洁净厂房的空气洁净度等级要求进行实时的调节，第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8保持一定的间距能够防止气体流速降低，能够便于更加充分的气体过滤净化。

所述第一回风除尘装置7上安装有第一除尘滤芯9，第二回风除尘装置8上安装有第二除尘滤芯10，第一回风除尘装置7采用无隔板式铝型材外框，利于回风气体顺利通过，第二回风除尘装置8采用有隔板式铝型材外框，在外框下部设置一块隔板，用于阻挡空气中尘粒和微生物等物质的通过，起到把它们留在回风静压箱内的作用，第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8的外框均采用铝型材骨架结构，能够使滤料平铺成形，更换组装方便、通用性好；并且结构轻巧，搬运和安装简单；使用结束后,可更换新滤料或清洗原有源材重复使用、节省资源、降低运行成本。

所述第一除尘滤芯9上设置有第一百叶11，第二除尘滤芯10上设置有第二百叶12，第一百叶11设置为向下倾斜，能够使回风气体流速向下，利于回风空气中的尘粒和微生物等物质更好的被吸附到地面上，以达到永久滞留在回风静压箱的目的，第二百叶12设置为向上倾斜，能够使回风气体流速向上，利于回风气体更快的进入循环风机，以达到加快气体循环流速的目的，同时能够增加抗菌和静电吸附的材质，通过静电层对微小的颗粒进行吸附，相对于单层的过滤会有明显的提升，抗菌涂层可以让滤芯在潮湿天气下不滋生细菌，在风量和过滤性上找到一个平衡点，第一百叶11和第二百叶12的宽度设置为40mm～80mm，第一百叶11和第二百叶12的厚度设置为7mm，第一百叶11和第二百叶12的开启角度设置为45°～90°，具体的角度数据可以根据不同洁净厂房的空气洁净度等级要求进行调节设置。

所述第一百叶11和第二百叶12的表面以及第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8之间的地面均设置有硅藻泥涂层13，利用硅藻泥独有的吸附能力，不仅可以净化回风气体洁净度，增加FFU高效过滤器的使用寿命，降低运行成本。

本发明在使用过程中，垂直正压的压差及循环风机的共同作用，由回风静压箱3内运送到送风静压箱4内，再通过在顶部设置FFU风机过滤机组5等系统，在循环净化空气同时，把空气中的尘粒和微生物等物质运送到回风静压箱3内，通过第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8的作用，对尘粒和微生物等物质进行吸附，防止尘粒和微生物等物质能够不受空气扰动，而永久的滞留在回风静压箱3内，这样既可以净化回风气体的洁净度，延长FFU风机过滤机组5的使用寿命，降低运行成本，又可以防止尘粒和微生物等物质在回风静压箱3内的气流扰动而再次滞留在洁净室内，从而提高洁净室内洁净度的有效，达到节能减排的要求；当空气中的悬浮颗粒物、微生物等随着气体流动经过第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8的时候，由于第一回风除尘装置7和第二回风除尘装置8采用的第一百叶11和第二百叶12是两种不通开启角度的组合形式和除尘装置隔板设置，所以在不同方向对气体流动形成阻力，也就形成了对粒子的无数道屏障，悬浮颗粒物、微生物等被过滤或吸附百叶表面或被阻挡到回风静压箱3地板上。这样在完成回风静压箱3内回风气体过滤的同时，对于顶部设置FFU风机过滤机组5等系统的使用寿命也得到了很好的保障。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (6)

1.一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，包括底座(1)、回风静压箱(3)、第一回风除尘装置(7)、第二除尘滤芯(10)和第二百叶(12)，其特征在于，所述底座(1)的上方安装有箱体(2)，箱体(2)的内部下方设置为回风静压箱(3)，箱体(2)的内部上方设置为送风静压箱(4)，回风静压箱(3)和送风静压箱(4)之间安装有FFU风机过滤机组(5)，FFU风机过滤机组(5)的左右两侧均设置有循环风机(6)；所述回风静压箱(3)的左右两侧分别设置有第一回风除尘装置(7)和第二回风除尘装置(8)；所述第一回风除尘装置(7)上安装有第一除尘滤芯(9)，第二回风除尘装置(8)上安装有第二除尘滤芯(10)；所述第一除尘滤芯(9)上设置有第一百叶(11)，第二除尘滤芯(10)上设置有第二百叶(12)。

2.根据权利要求1所述的一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，其特征在于，所述第一回风除尘装置(7)和第二回风除尘装置(8)之间保持一定的间距，间距尺寸大于300mm。

3.根据权利要求1所述的一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，其特征在于，所述第一百叶(11)和第二百叶(12)的宽度设置为40mm～80mm，第一百叶(11)和第二百叶(12)的厚度设置为7mm，第一百叶(11)和第二百叶(12)的开启角度设置为45°～90°。

4.根据权利要求1所述的一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，其特征在于，所述第一回风除尘装置(7)采用无隔板式铝型材外框，第二回风除尘装置(8)采用有隔板式铝型材外框。

5.根据权利要求1所述的一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，其特征在于，所述第一百叶(11)设置为向下倾斜，第二百叶(12)设置为向上倾斜。

6.根据权利要求1所述的一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，其特征在于，所述第一百叶(11)和第二百叶(12)的表面以及第一回风除尘装置(7)和第二回风除尘装置(8)之间的地面均设置有硅藻泥涂层(13)。

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