KR20080054019A - 클린룸의 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치 및 그 제어방법 - Google Patents

클린룸의 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치 및 그 제어방법 Download PDF

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KR20080054019A
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fan filter
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clean room
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박덕준
윤종보
박길용
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주식회사 신성이엔지
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Abstract

클린룸의 팬필터유닛 전후부의 압력 변동을 감지하여 일정한 토출 풍속을 원하는 조건으로 유지하기 위한 클린룸 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치에 있어서, 상기 클린룸의 팬필터유닛의 토출구에 구비되는 필터부재의 전후부간의 차압을 측정하기위한 차압측정장치와, 상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 견주기위한, 상기 팬필터유닛의 필터부재의 전후부간의 압력차에 따른 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부로의 토출 풍속을 나타내는 상관도가 수록되는 메모리를 구비하고, 상기 메모리의 상관도에 근거하여, 운전중 외부환경의 변화로 변동하는 상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 비교부에서 비교하여 클린룸의 팬필터유닛의 필터부재 전후부의 압력 변동이 기준 압력차에 맞게 항시 원하는 조건으로 유지되도록 송풍모터의 회전수를 제어하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

클린룸의 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치 및 그 제어방법 {Method and Apparatus for control blower for FFU}
도 1은 본원의 클린룸 천정에 팬필터유닛(FFU)이 다수개 탑재된 상태를 나타낸 종단면도,
도 2는 본 발명에 따른 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치의 개략적인 구조를 나타낸 블록도,
도 3은 도 2의 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치의 차압측정장치의 장착 상태를 도시한 팬필터유닛의 반단면도 및 확대구조도,
도 4는 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치를 제어하기 위한 제어 흐름도,
도 5는 본 발명에 따른 팬필터유닛의 필터 전후부의 압력차 및 토출풍속을 나타내는 상관도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2....클린룸 3....구획프레임
5....하우징 14....필터부재
30...팬필터유닛 40...송풍모터
42...팬 50...차압측정장치(압력감지부)
60...외부연통수단 63...연결관
64...그로멧 110...제어부
120...구동부 130...표시부
140...비교기
본 발명은 클린룸의 팬필터유닛 전후부의 압력 조절을 위한 송풍모터 제어장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 팬필터유닛용 송풍모터의 회전수를 제어하여 해당 클린룸의 팬필터유닛 전후부의 압력을 유지하도록 하는 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD, 반도체나 반도체기판 등을 처리하는 클린룸(2)과 이 클린룸(2) 내부에 일정한 공간으로 구획형성되고 일부의 룸에는 로봇이나 스택커와 같은 이송자재가 탑재된 이송 클린룸을 비롯한 피처리물을 가공하는 가공 클린룸과 같은 클린룸 내로 유입되는 풍속을 일정하게 유지를 위하여 팬필터유닛(30)이 장착되는 바, 상기 팬필터유닛(30)은 일반적으로 각 클린룸(2)의 토출 풍속을 원하는 조건으로 일정하게 유지하기 위하여 팬필터유닛(30)의 하부에서 클린룸(2)으로의 토출풍속을 직접적으로 측정하거나 팬필터유닛의 외부와 내측 클린룸의 압력조건에 대한 모터의 회전수(RPM)에 따른 풍속을 간접적으로 측정한 후, 상기 클린룸 내부의 압력이 일정하게 유지되도록 팬필터유닛(30)용 모터를 설정 회전수(RPM)으로 제 어하도록 설치 구성되어 있었다.
그러나 팬필터 유닛(30)의 외부와 내부의 압력조건이 계절, 온도, 습도, 장비운전 특성등의 외부조건에 따라 변동될 경우 송풍모터(40)의 회전수(RPM)가 동일하더라도 실제 토출 풍속이 변동되며 실제 풍속이 얼마인지 알 수 없게 된다.
또한, 각 클린룸(2)의 천정에 각기 별도로 마련된 팬필터유닛(30)은 일단 클린룸의 천정에 설치가 완료된 후에는 다시 송풍모터의 회전수를 조절하기가 어려운 위치에 위치설정되어 있기 때문에, 재차 송풍모터의 회전수를 조절하기가 매우 번거롭게 되는 등의 단점을 내포하고 있었다.
본 발명은 상술한 바와 같이 제반되는 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로, 그 목적은 각 클린룸의 해당 팬필터유닛 내외부간 즉, 필터부재의 전후간 압력을 차압측정장치에 의해 측정하여 계절 및 장비 운전특성 등의 환경변화에 따라 변동되는 압력조건의 변동에 관계없이, 클린룸의 팬필터유닛의 필터 전후부의 압력차를 일정하게 원하는 조건으로 유지설정하기 위한 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치는 클린룸의 팬필터유닛 전후부의 압력 변동을 감지하여 일정한 토출 풍속을 원하는 조건으로 유지하기 위한 클린룸 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치에 있어서,
상기 클린룸의 팬필터유닛의 토출구에 구비되는 필터부재의 전후부간의 차압을 측정하기위한 차압측정장치와,
상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 견주기위한, 상기 팬필터유닛의 필터부재의 전후부간의 압력차에 따른 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부로의 토출 풍속을 나타내는 상관도가 수록되는 메모리를 구비하고,
상기 메모리의 상관도에 근거하여, 운전중 외부환경의 변화로 변동하는 상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 비교부에서 비교하여 클린룸의 팬필터유닛의 필터부재 전후부의 압력 변동이 기준 압력차에 맞게 항시 원하는 조건으로 유지되도록 송풍모터의 회전수를 제어하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 차압측정장치는 상기 팬필터유닛 내부의 제1 압력과, 상기 팬필터유닛 외부의 제2 압력 간, 즉 필터부재 전후의 차압을 검출하기 위한 압력감지부로서, 상기 제2 압력을 측정하기 위해 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부와 연통 가능하게 상기 압력감지부에 접속된 외부연통수단을 포함하는 것이 가능하다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 외부연통수단은 상기 팬필터유닛의 필터부재를 지지하는 측면프레임을 관통하여 상기 측면프레임의 하단부와 연통 가능하게 접속된 연결관과, 상기 연결관이 접속하는 측면프레임의 관통구와 연결관 사이에 개재된 밀봉용 그로멧을 포함하는 것이 가능하다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 제어부의 제어에 따라 송풍모터를 구동하는 구동부를 더 포함하는 것이 가능하다.
본 발명에 따른 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치를 이용한 송풍모터의 회전속을 제어하는 방법은 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부로의 토출 풍속과, 상기 팬 필터유닛 전후간의 압력차와의 관계를 나타내는 상관도에 근거하여, 운전중 변동하는 상기 압력차를 비교하여 클린룸의 팬필터유닛의 필터부재 전후부의 압력 변동이 항시 원하는 조건으로 유지되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 일실시예에 관하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본원의 클린룸 천장에 팬필터유닛(FFU)이 다수개 탑재된 상태를 나타낸 종단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치의 개략적인 구조를 나타낸 블록도이며, 도 3은 도 2의 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치의 차압측정장치의 장착 상태를 도시한 팬필터유닛의 반단면도 및 확대구조도이고, 도 4는 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치를 제어하기 위한 제어 흐름도이다.
부호(30)는 무진을 요구하는 전자기기조립실, 반도체조립실, 병원의 수술실, 세균배양실등 항상 청정 상태를 유지해야만 하는 클린룸(2)에 정화된 공기를 송풍하여 주는 클린룸(2)용 팬필터 유닛이다.
상기 팬필터 유닛(30)은 클린룸(2)에서 구획프레임(3)으로 형성된 시스템 챔버 천장의 구획프레임(3)에 탑재된 각각의 하우징(5)에 필터(14)를 조합하여 구성된다.
또, 상기 팬필터 유닛(30)의 내부에는, 상기 시스템 천장에서 팬필터유닛(30)을 통해 클린룸(2) 내로 진입하는 청정 공기의 풍속을 일정하게 유지되도록 조절하도록 프레임에 장착된 차압측정장치(50)가 구비되어 있다.
또한, 상기 차압측정장치(50)의 차압 변동상태를 견주기 위한, 상기 팬필터유닛(30)의 필터부재(14)의 전후부간의 압력차에 따른 상기 팬필터유닛(30)의 필터부재(14) 하부로의 토출 풍속을 나타내는 상관도가 수록되는 메모리(150)를 구비하고 있다.
또, 챔버 내로 진입하는 청정 공기의 풍속을 일정하게 유지되도록 클린룸(2) 내외부의 압력 변동에 관계없이 일정한 토출 풍속을 원하는 조건으로 유지하기 위한 클린룸 팬필터 유닛(30)용 송풍모터 제어장치는, 각 클린룸(2)의 내외부의 압력 변동에 관계없이 일정한 토출 풍속을 원하는 조건으로 유지하기 위한 팬필터유닛(30) 내의 일측벽에 부착된 압력감지부를 구비하고 있다.
또한, 상기 압력감지부는 상기 팬필터유닛(30) 내부의 제1 압력과, 상기 팬필터유닛(30) 토출측의 제2 압력 간, 즉 필터부재(14) 전후부 간의 차압을 검출하기 위한 차압측정장치(50)로서, 상기 제2 압력을 측정하기 위해 상기 팬필터유닛(30)의 필터부재 하부와 연통 가능하게 상기 차압측정장치에 접속된 외부연통수단(60)을 구비하고 있다.
또, 상기 차압측정장치(50)는, 상기 외부연통수단(60)을 통해, 상기 팬필터유닛(30)의 필터부재(14) 하부로의 토출 풍속(V)과, 상기 팬필터유닛(30) 전후간의 압력차와의 관계를 나타내는 상관도에 근거하여, 운전중 변동하는 상기 압력차를 비교하여 그 차이에 따라 상기 토출풍속을 원하는 조건으로 기준 압력차에 대응하여 일정하게 설정하도록 송풍모터(40)의 회전수를 제어하는 제어부(110)의 통제를 받도록 구성되어 있다.
다시 말해서, 상기 제어부(110)는 상기 메모리(150)의 상관도에 근거하여, 운전중 외부환경의 변화로 변동하는 상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 비교부에서 비교하여 클린룸의 팬필터유닛의 필터부재 전후부의 압력 변동이 기준 압력차에 맞게 항시 원하는 조건으로 유지되도록 송풍모터의 회전수를 제어하도록 구성되어 있다.
또, 상기 외부연통수단(60)은 상기 팬필터유닛(30)의 필터부재를 지지하는 측면프레임을 관통하여 상기 측면프레임의 하단부와 연통 가능하게 접속된 연결관(63)과, 상기 연결관(63)이 접속하는 측면프레임의 관통구와 연결관(63) 사이에 개재된 밀봉용 그로멧(64)을 포함한다.
또한, 상기한 구성의 팬필터유닛(30)용 송풍모터(40) 제어장치를 이용하여, 상기 팬필터유닛(30)의 필터부재 하부로의 토출 풍속과, 상기 팬필터유닛(30) 전후간의 압력차와의 관계를 나타내는 상관도에 근거하여, 운전중 변동하는 상기 압력차를 비교하여 그 차이에 따라 원하는 조건의 일정 토출 풍속이 기준 압력차에 대응하여 유지되도록 송풍모터의 회전수를 제어하는 방법을 하기에 후술한다.
우선, 본 발명에 따른 송풍모터(40)를 제어하는 방법에 있어서, 상기 팬필터유닛(30) 전후간의 압력차와의 관계를 나타내는 상관도를 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 클린룸의 팬필터유닛 필터부재 내외부의 압력차 및 토출풍속을 나타내는 상관도이다.
도 5는 클린룸(2) 내부로 유입되는 풍속을 일정하게 유지하기 위한, 실험실에서 필터의 고유 특성을 기준으로 측정한 풍속의 기준치를 구한 것으로서, 실험실 내에서, 팬필터유닛(30) 필터부재 상단 압력(P2)과 클린룸(2)측 팬필터유닛(30) 필터부재 하부(P3) 사이의 압력차를 진단하여, 상기 필터하부로의 공기 토출풍속(V)에 대한 압력차(ΔP23)의 상관 관계를 서로에 대해서 근사비례하는 그래프로 나타낸 도면이다.
상기 팬필터유닛(30) 내부(P2)와 클린룸측 팬필터유닛(30) 필터부재 하부(P3) 사이의 압력차(ΔP23)가 외부조건의 변화에 따라 증가 또는 감소하게 되고 이에 따라 필터하부로의 토출 풍속(V)이 증가 또는 감소하는 것을 측정하여 나타낸, 상기 부호 P2와 P3의 압력차(ΔP23)에 따른 토출 풍속(V)을 나타내는 상관도이다.
더욱이, 상기 상관도에 표시된 압력차(ΔP23)는 기준 압력차(ΔP0)를 기준으로 곡선상의 상하부로 이동하는 변동압력차(ΔPa) 사이에서 변화를 나타낸다.
상기 기준 압력차(P0)는 반도체 공정에 따라 요구되는 클린룸(2) 내부의 압력에 따른 팬필터유닛(30)(FFU)의 토출구의 공기속도(Vo)일때, 상기 팬필터유닛(30) 내부 압력(P2)와 클린룸측 압력(P3) 사이의 압력차(ΔP23)를 측정한 것이다.
상기 변동압력차(ΔPa)는 내부 이상발생 또는 외부조건 변동시 팬필터유닛(30)의(FFU)의 토출구의 공기속도(Va)일때, 상기 부호 P2와 P3 사이의 압력차(ΔP23)를 측정한 것이다.
이어, 상기 상관도를 소스로 적용하는 본 발명에 따른 팬필터유닛(30)의 송풍모터(40) 제어방법을 설명하면 다음과 같다.
상기 제어부(110)는, 크린룸내의 요구되는 풍속을 기설정하거나 필요에 따라 입력설정장치(미도시)등를 통해 설정된 토출풍속을 일정하게 유지하기 위해, 차압측정장치(50)로부터 필터부재(14)의 전후의 압력차(ΔP23)를 인가받아 팬필터유닛(30)의 모터(40)를 제어함으로써 해당 클린룸(2)으로 유입되는 일정 토출풍속 원하는 조건에 따라 제어를 수행하는 마이컴으로서, 이하 상세한 작동설명을 후술한다.
먼저, 상기 팬필터유닛(30)의 구동부(120)에서 일정하게 출력되는 모터의 구동전압을 입력받아 모터(40)를 구동하게 된다.
다음에, 상기 모터(40)에 탑재된 홀센서(미도시)나 인코더(미도시) 등과 같은 센서에 의해 실제 회전하는 모터의 회전수(RPM)를 검출하고, 이 모터의 실제속도를 제어부(110)에 전달하여 지속적인 통제 하에 작동되게 된다.
즉, 상기 제어부(110)는 상기 모터(40)의 작동으로 팬필터유닛(30)의 팬을 회전시켜 발생하는 공기를 필터부재(14)를 거쳐 청정공기 상태로 클린룸(2)내에 송풍되게 한다.
이때, 상기 차압측정장치(50)는 상기 필터부재(14)의 전후측, 즉 팬필터유닛(30) 내의 일측벽에 부착된 압력감지부(50)에서 상기 팬필터유닛(30) 내부의 제1 압력(P2)을 검출하고, 상기 팬필터유닛(30) 외부에 연통된 외부연통수단(60)을 통해 제2 압력(P3)을 검출하여 상기 필터부재 전후의 압력차(ΔP23)를 실시간을 측정하여 제어부(110)와 연결된 비교기(140)로 출력하게 된다(S10).
이어, 상기 비교기(140)는 메모리(150)에 저장된, 상기 팬필터유닛(30)의 필 터부재(14) 하부로의 토출 풍속(V)과, 상기 팬필터유닛(30) 전후간의 압력차(ΔP23)와의 관계를 나타내는 상기 상관도에 근거하여, 크린룸내에 요구되는 조건의 토출풍속(V0)으로 일정하게 유지하기위해, 상기 실시간으로 측정되는 팬필터유닛(30)의 운전중 변동하는 변동압력차(ΔPa)와 설정압력에 대한 압력차(ΔP23)인 기준 압력차(ΔP0)를 비교하여 상기 제어부(110)에 송출한다(S30).
다음, 상기 제어부(110)는 상기 현재 필터부재(14) 전후의 압력차(Pa)가 해당하는 상기 상관도의 기설정된 압력차(ΔP23) 곡선에 맞춰 요구되는 기준 토출풍속(V0)으로 설정 유지되도록 송풍모터(40)의 회전수를 제어하는 신호를 구동부(120)로 전달하여 송풍모터(40)의 회전수를 조절하도록 한다.
여기에서, 상기 제어부(110)는 모터(40)의 구동 주파수를 소정치만큼 상승 또는 하강하여 상기 송풍모터(40)의 인버터(미도시)를 조절하고 그에 따라 상기 클린룸(2)으로 유입되는 풍속을 소망하는 조건으로 일정하게 유지를 위해 조절되도록 팬필터유닛(30)의 송풍모터(40)의 회전수를 제어하게 된다.
즉, 도5의 상관도에 근거하여 상기 필터부재(14) 상부 압력(P2)와 클린룸 내측 압력(P3)의 압력차(ΔP23)가 증가(C->D)하면, 상기 필터부재(14) 하부로의 토출 풍속(V)이 기준 토출풍속(V0)이 되도록, 상기 제어부(110)는 송풍모터(40)의 회전수를 저감하고 이에 따라 상기 압력차(ΔP23)가 기준 압력차(ΔP0)에 다다르기까지 상기 송풍모터(40)의 회전수를 낮추되, 상기 압력차(ΔP23)가 도 5의 상관도의 곡선을 따라 상기 기준 압력차(ΔP0)에 다다르면, 상기 송풍모터(40)의 회전수의 저감을 중지하여, 그 상태로 유지되도록 제어한다(S60).
또한, 상기 압력차(ΔP23)가 감소(C->B)한 경우, 상기 제어부(110)는 송풍모터(40)의 회전수를 증대하게 되는 바, 이때, 상기한 회전수를 증대하여, 상기 기준 압력(ΔP0)에 도달하면, 상기한 회전수의 증대를 중지함으로써, 상기 필터 하부로의 토출 풍속(V)이 속도를 설정 기준 토출풍속(V0)으로 유지되도록 제어한다(S40).
또, 상기 차압측정장치(50)에서 측정되는 상기 현재 압력차(ΔP23)의 크기가 기준 압력차(ΔP0)일 때, 일정 토출풍속(Vo)이 유지되는 상태 그대로, 송풍모터의 회전수를 유지한다(S50).
또한, 상기 제어부(110)는 비교기(140)롤 통해, 상기 차압측정장치(50)로부터 입력되는 실시간의 압력차(ΔP23)를 상기 도5의 상관도와 비교한 신호를 인가받아 기준 압력차(ΔP0)와의 차이가 생기면 지속적으로 상기 구동부(120)를 구동제어하여, 상기 기준 압력차(ΔP0)에 도달하도록 송풍모터(40)의 회전수를 가감 설정함으로써 일정 토출풍속이 원하는 조건으로 유지되도록 제어신호를 발하게 된다.
즉, 상기 상관도에 따라 클린룸(2)의 각각의 팬필터유닛(30)을 일정 토출풍속을 원하는 조건으로 자유롭게 정밀한 조절이 가능하다.
따라서, 상기한 바와 같이, 상기 팬필터유닛(30) 전후간의 압력차(ΔP23)와의 관계를 나타내는 상관도에 근거하여, 운전중 변동하는 상기 압력차(ΔP23)를 기준 압력차(ΔP0)와 비교하여 그 차이에 따라 상기 송풍모터(40)의 회전수를 변동시키도록 조절함으로써, 외부환경의 영향으로 발생하는 압력변화에 영향없이 팬필터유닛(30)의 토출 풍속(V)을 능동적으로 제어할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 각 클린룸(10) 내외부의 계절, 장비운전 특성 등의 외부조건 변화에 대응하여 크게 변동되는 해당 클린룸(10)의 압력차 대신에, 외부조건 변화에 민감하지 않는 팬필터유닛의 필터 전후부의 압력차를 차압측정장치(20)에 의해 측정하여, 이 차압측정장치에 의해 측정된 압력차를 설정치로 유지함에 따라 팬필터유닛으로부터 클린룸 내부로 유입되는 일정 토출풍속을 원하는 조건으로 정확하게 유지할 수 있게 되며, 특정한 클린룸(10)에서도 나머지 모든 클린룸(10)의 풍속을 별도의 측정장비없이도 외부조건에 관계없이, 일정하게 제어할 수 있게 되므로 사람이 머물지 않는 클린룸(10)의 풍속제어를 용이하게 할 수 있는 탁월한 효과가 있다.
다시 말해서, 본 발명에 의하면 필터부재 전후부 압력차에 따른 토출풍속에 따라 측정된 상관도를 이용하여 풍속을 일정하게 유지하는 것이 가능하기 때문에 팬필터유닛 하부에 별도의 풍속측정장치 없이도 클린룸의 유입되는 일정 풍속을 원하는 조건으로 제어를 용이하게 할 수 있어 비용 절감 등의 탁월한 효과가 있다.
이상에서와 같이 본 발명은 상술한 실시 예로만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있는 것은 이해 될 것이다.

Claims (5)

  1. 클린룸의 팬필터유닛 전후부의 압력 변동을 감지하여 일정한 토출 풍속을 원하는 조건으로 유지하기 위한 클린룸 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치에 있어서,
    상기 클린룸의 팬필터유닛의 토출구에 구비되는 필터부재의 전후부간의 차압을 측정하기위한 차압측정장치와,
    상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 견주기위한, 상기 팬필터유닛의 필터부재의 전후부간의 압력차에 따른 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부로의 토출 풍속을 나타내는 상관도가 수록되는 메모리를 구비하고,
    상기 메모리의 상관도에 근거하여, 운전중 외부환경의 변화로 변동하는 상기 차압측정장치의 차압 변동상태를 비교부에서 비교하여 클린룸의 팬필터유닛의 필터부재 전후부의 압력 변동이 기준 압력차에 맞게 항시 원하는 조건으로 유지되도록 송풍모터의 회전수를 제어하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 차압측정장치는 상기 팬필터유닛 내부의 제1 압력과, 상기 팬필터유닛 외부의 제2 압력 간, 즉 필터부재 전후의 차압을 검출하기 위한 압력감지부로서, 상기 제2 압력을 측정하기 위해 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부와 연통 가능하게 상기 압력감지부에 접속된 외부연통수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 팬필터유 닛용 송풍모터 제어장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 외부연통수단은 상기 팬필터유닛의 필터부재를 지지하는 측면프레임을 관통하여 상기 측면프레임의 하단부와 연통 가능하게 접속된 연결관과, 상기 연결관이 접속하는 측면프레임의 관통구와 연결관 사이에 개재된 밀봉용 그로멧을 포함하는 것을 특징으로 하는 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부의 제어에 따라 송풍모터를 구동하는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치.
  5. 제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한항에 따른 팬필터유닛용 송풍모터 제어장치를 이용하여, 상기 팬필터유닛의 필터부재 하부로의 토출 풍속과, 상기 팬필터유닛 전후간의 압력차와의 관계를 나타내는 상관도에 근거하여, 운전중 변동하는 상기 압력차를 비교하여 클린룸의 팬필터유닛의 필터부재 전후부의 압력 변동이 항시 원하는 조건으로 유지되도록 송풍모터의 회전속을 제어하는 방법.
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