JP3653693B2 - クリーンルーム階段の空調方式 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶などの製造工場におけるクリーンルームの技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内に2層程度の階段で清浄度クラス10万(0.5μm)が要求された場合、踏面をグレーチング(多孔)構造とし、階段室の天井面でエアを吹き出し、下階の床に近い位置で吸い込む方式がとられてきた。多層化された半導体工場等では、クリーンルーム内の垂直搬送だけではなく、作業者のための多層にわたる高清浄度階段(クラス5,000−0.1μm程度)が必要になる。階段歩行は水平歩行よりゴミが発生し易くこれが床に溜まり、歩行により舞い上がることが懸念されるため、従来よりグレーチングの踏面が採用されてきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方式においては、多層階段になると上界のゴミが下階に順に抜けていき歩行者の上にふりかかることが問題となり、また、高清浄度要求のため天井吹き出し、下部吸い込みでは高清浄度の確保が不可能になってきた。
【0004】
そこで、図3に示す方式が考えられる。図3(A)はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図3(B)は平面図であり、クリーンルームの階段室1には踊り場1aと階段1bが設けられ、各踊り場1aには吸込口2が配設され、吸込口2の上部に吹出口3が配設されている。各吹出口3および吸込口2は、それぞれ給気ダクト4および換気ダクト5に接続されている。ファンフィルタユニットにおいて高清浄度にされた空調エアは、給気ダクト4を経て吹出口3から吹き出され、階段1bの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場1aの吸込口2を経て換気ダクト5に吸い込まれるように構成している。
【0005】
しかしながら、この方式においては、各階段1bの踊り場1aに空調エアを供給するため、空調風量が多くなり、クラス5,000−0.1μm程度の清浄度で45回程度の換気が必要になるとともに、階数が多い場合には、階数分の風量が加算されるため、平面的に大きなダクトスペースDが必要になり、生産室の平面設計計画の障害になるという問題を有している。
【0006】
本発明は、上記の問題を解決するものであって、高清浄度を確保することができると共に、スペースの低減を図ることができるクリーンルーム階段の空調方式を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の請求項1記載のクリーンルーム階段の空調方式は、多層階のクリーンルームに設けられた階段室1と、該階段室に設けられた複数の踊り場1aおよびその間に設けられた階段1bと、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクト5と、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに接続された吸込2口と、前記換気ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユニット6とを備え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て吸い込むようにしたことを特徴とし、
請求項2記載の発明は、請求項1において、踊り場1aおよび階段1bはグレーチング構造とし、その下面に穴付き底板7を配設したことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定されるものではない。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明のクリーンルーム階段の空調方式の1実施形態を示し、図1(A)はクリーンルーム階段室の模式的断面図、図1(B)は平面図である。
【0009】
多層階からなるクリーンルームには階段室1が設けられ、この階段室1に隣接して換気ダクト5が設けられている。階段室1には、複数の踊り場1aが交互に設けられ、各踊り場1a間に階段1bが上下方向に傾斜して設けられている。各踊り場1aの床近傍には階段1bに対向して吸込口2が配設され、吸込口2は、換気ダクト5に接続されている。換気ダクト5の内部には、踊り場1aの壁面にファンフィルタユニット(HEPAフィルタ付き空調機)6が配設され、ファンフィルタユニット6の下面には吸込口6aが形成され、上部に吹出口6bが形成され、吹出口6bは階段1bに対向するように設けている。
【0010】
上記構成からなるクリーンルーム階段の空調方式においては、各踊り場1aのファンフィルタユニット6において高清浄度にされた空調エアは、その吹出口6bからから吹き出され、階段1bの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場1aの吸込口2を経て換気ダクト5に吸い込まれた後、ファンフィルタユニット6の吸込口6aに吸い込まれ、再び高清浄度にされた空調エアは、その吹出口6bから吹き出される。従って、空調エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確保することができると共に、給気ダクトが不要になるため、ダクトスペースDの低減を図ることができる。
【0011】
図2は、本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの階段室の模式的断面図である。本実施形態においては、踊り場1aおよび階段1bをグレーチング(多孔)構造とし、その下面に穴付き底板7を配設するようにしている。その他の構成は前記実施形態と同様である。本実施形態によれば、穴付き底板7を設けることにより、階段の上面に水平層流を形成するとともに、一部の風が踊り場1aおよび階段1bを貫通して流れるため、グレーチング表面にゴミがたまらずに、グレーチングを通過したゴミを穴付き底板7に捕捉し下階への落下を防ぐことができる。
【0012】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、空調エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確保することができると共に、給気ダクトが不要になるため、ダクトスペースの低減を図ることができ、加えて、空調機械室も不要になり、工期およびコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のクリーンルーム階段の空調方式の1実施形態を示し、図1(A)はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図1(B)は平面図である。
【図2】本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの階段室の模式的断面図である。
【図3】本発明の課題を説明するための図であり、図3(A)はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図3(B)は平面図である。
【符号の説明】
1…階段室
1a…踊り場
1b…階段
2…吸込口
5…換気ダクト
6…ファンフィルタユニット
7…穴付き底板

Claims (2)

  1. 多層階のクリーンルームに設けられた階段室と、該階段室に設けられた複数の踊り場およびその間に設けられた階段と、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクトと、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに接続された吸込口と、前記換気ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユニットとを備え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て吸い込むようにしたことを特徴とするクリーンルーム階段の空調方式。
  2. 前記踊り場および階段はグレーチング構造とし、その下面に穴付き底板を配設したことを特徴とする請求項1記載のクリーンルーム階段の空調方式。
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