JP3653693B2 - クリーンルーム階段の空調方式 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶などの製造工場におけるクリーンルームの技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内に２層程度の階段で清浄度クラス１０万（０．５μｍ）が要求された場合、踏面をグレーチング（多孔）構造とし、階段室の天井面でエアを吹き出し、下階の床に近い位置で吸い込む方式がとられてきた。多層化された半導体工場等では、クリーンルーム内の垂直搬送だけではなく、作業者のための多層にわたる高清浄度階段（クラス５，０００−０．１μｍ程度）が必要になる。階段歩行は水平歩行よりゴミが発生し易くこれが床に溜まり、歩行により舞い上がることが懸念されるため、従来よりグレーチングの踏面が採用されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方式においては、多層階段になると上界のゴミが下階に順に抜けていき歩行者の上にふりかかることが問題となり、また、高清浄度要求のため天井吹き出し、下部吸い込みでは高清浄度の確保が不可能になってきた。
【０００４】
そこで、図３に示す方式が考えられる。図３（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図３（Ｂ）は平面図であり、クリーンルームの階段室１には踊り場１ａと階段１ｂが設けられ、各踊り場１ａには吸込口２が配設され、吸込口２の上部に吹出口３が配設されている。各吹出口３および吸込口２は、それぞれ給気ダクト４および換気ダクト５に接続されている。ファンフィルタユニットにおいて高清浄度にされた空調エアは、給気ダクト４を経て吹出口３から吹き出され、階段１ｂの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場１ａの吸込口２を経て換気ダクト５に吸い込まれるように構成している。
【０００５】
しかしながら、この方式においては、各階段１ｂの踊り場１ａに空調エアを供給するため、空調風量が多くなり、クラス５，０００−０．１μｍ程度の清浄度で４５回程度の換気が必要になるとともに、階数が多い場合には、階数分の風量が加算されるため、平面的に大きなダクトスペースＤが必要になり、生産室の平面設計計画の障害になるという問題を有している。
【０００６】
本発明は、上記の問題を解決するものであって、高清浄度を確保することができると共に、スペースの低減を図ることができるクリーンルーム階段の空調方式を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の請求項１記載のクリーンルーム階段の空調方式は、多層階のクリーンルームに設けられた階段室１と、該階段室に設けられた複数の踊り場１ａおよびその間に設けられた階段１ｂと、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクト５と、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに接続された吸込２口と、前記換気ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユニット６とを備え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て吸い込むようにしたことを特徴とし、
請求項２記載の発明は、請求項１において、踊り場１ａおよび階段１ｂはグレーチング構造とし、その下面に穴付き底板７を配設したことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明のクリーンルーム階段の空調方式の１実施形態を示し、図１（Ａ）はクリーンルーム階段室の模式的断面図、図１（Ｂ）は平面図である。
【０００９】
多層階からなるクリーンルームには階段室１が設けられ、この階段室１に隣接して換気ダクト５が設けられている。階段室１には、複数の踊り場１ａが交互に設けられ、各踊り場１ａ間に階段１ｂが上下方向に傾斜して設けられている。各踊り場１ａの床近傍には階段１ｂに対向して吸込口２が配設され、吸込口２は、換気ダクト５に接続されている。換気ダクト５の内部には、踊り場１ａの壁面にファンフィルタユニット（ＨＥＰＡフィルタ付き空調機）６が配設され、ファンフィルタユニット６の下面には吸込口６ａが形成され、上部に吹出口６ｂが形成され、吹出口６ｂは階段１ｂに対向するように設けている。
【００１０】
上記構成からなるクリーンルーム階段の空調方式においては、各踊り場１ａのファンフィルタユニット６において高清浄度にされた空調エアは、その吹出口６ｂからから吹き出され、階段１ｂの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場１ａの吸込口２を経て換気ダクト５に吸い込まれた後、ファンフィルタユニット６の吸込口６ａに吸い込まれ、再び高清浄度にされた空調エアは、その吹出口６ｂから吹き出される。従って、空調エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確保することができると共に、給気ダクトが不要になるため、ダクトスペースＤの低減を図ることができる。
【００１１】
図２は、本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの階段室の模式的断面図である。本実施形態においては、踊り場１ａおよび階段１ｂをグレーチング（多孔）構造とし、その下面に穴付き底板７を配設するようにしている。その他の構成は前記実施形態と同様である。本実施形態によれば、穴付き底板７を設けることにより、階段の上面に水平層流を形成するとともに、一部の風が踊り場１ａおよび階段１ｂを貫通して流れるため、グレーチング表面にゴミがたまらずに、グレーチングを通過したゴミを穴付き底板７に捕捉し下階への落下を防ぐことができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、空調エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確保することができると共に、給気ダクトが不要になるため、ダクトスペースの低減を図ることができ、加えて、空調機械室も不要になり、工期およびコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルーム階段の空調方式の１実施形態を示し、図１（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図１（Ｂ）は平面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの階段室の模式的断面図である。
【図３】本発明の課題を説明するための図であり、図３（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図３（Ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
１…階段室
１ａ…踊り場
１ｂ…階段
２…吸込口
５…換気ダクト
６…ファンフィルタユニット
７…穴付き底板
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶などの製造工場におけるクリーンルームの技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内に２層程度の階段で清浄度クラス１０万（０．５μｍ）が要求された場合、踏面をグレーチング（多孔）構造とし、階段室の天井面でエアを吹き出し、下階の床に近い位置で吸い込む方式がとられてきた。多層化された半導体工場等では、クリーンルーム内の垂直搬送だけではなく、作業者のための多層にわたる高清浄度階段（クラス５，０００−０．１μｍ程度）が必要になる。階段歩行は水平歩行よりゴミが発生し易くこれが床に溜まり、歩行により舞い上がることが懸念されるため、従来よりグレーチングの踏面が採用されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方式においては、多層階段になると上界のゴミが下階に順に抜けていき歩行者の上にふりかかることが問題となり、また、高清浄度要求のため天井吹き出し、下部吸い込みでは高清浄度の確保が不可能になってきた。
【０００４】
そこで、図３に示す方式が考えられる。図３（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図３（Ｂ）は平面図であり、クリーンルームの階段室１には踊り場１ａと階段１ｂが設けられ、各踊り場１ａには吸込口２が配設され、吸込口２の上部に吹出口３が配設されている。各吹出口３および吸込口２は、それぞれ給気ダクト４および換気ダクト５に接続されている。ファンフィルタユニットにおいて高清浄度にされた空調エアは、給気ダクト４を経て吹出口３から吹き出され、階段１ｂの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場１ａの吸込口２を経て換気ダクト５に吸い込まれるように構成している。
【０００５】
しかしながら、この方式においては、各階段１ｂの踊り場１ａに空調エアを供給するため、空調風量が多くなり、クラス５，０００−０．１μｍ程度の清浄度で４５回程度の換気が必要になるとともに、階数が多い場合には、階数分の風量が加算されるため、平面的に大きなダクトスペースＤが必要になり、生産室の平面設計計画の障害になるという問題を有している。
【０００６】
本発明は、上記の問題を解決するものであって、高清浄度を確保することができると共に、スペースの低減を図ることができるクリーンルーム階段の空調方式を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の請求項１記載のクリーンルーム階段の空調方式は、多層階のクリーンルームに設けられた階段室１と、該階段室に設けられた複数の踊り場１ａおよびその間に設けられた階段１ｂと、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクト５と、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに接続された吸込２口と、前記換気ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユニット６とを備え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て吸い込むようにしたことを特徴とし、
請求項２記載の発明は、請求項１において、踊り場１ａおよび階段１ｂはグレーチング構造とし、その下面に穴付き底板７を配設したことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明のクリーンルーム階段の空調方式の１実施形態を示し、図１（Ａ）はクリーンルーム階段室の模式的断面図、図１（Ｂ）は平面図である。
【０００９】
多層階からなるクリーンルームには階段室１が設けられ、この階段室１に隣接して換気ダクト５が設けられている。階段室１には、複数の踊り場１ａが交互に設けられ、各踊り場１ａ間に階段１ｂが上下方向に傾斜して設けられている。各踊り場１ａの床近傍には階段１ｂに対向して吸込口２が配設され、吸込口２は、換気ダクト５に接続されている。換気ダクト５の内部には、踊り場１ａの壁面にファンフィルタユニット（ＨＥＰＡフィルタ付き空調機）６が配設され、ファンフィルタユニット６の下面には吸込口６ａが形成され、上部に吹出口６ｂが形成され、吹出口６ｂは階段１ｂに対向するように設けている。
【００１０】
上記構成からなるクリーンルーム階段の空調方式においては、各踊り場１ａのファンフィルタユニット６において高清浄度にされた空調エアは、その吹出口６ｂからから吹き出され、階段１ｂの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場１ａの吸込口２を経て換気ダクト５に吸い込まれた後、ファンフィルタユニット６の吸込口６ａに吸い込まれ、再び高清浄度にされた空調エアは、その吹出口６ｂから吹き出される。従って、空調エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確保することができると共に、給気ダクトが不要になるため、ダクトスペースＤの低減を図ることができる。
【００１１】
図２は、本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの階段室の模式的断面図である。本実施形態においては、踊り場１ａおよび階段１ｂをグレーチング（多孔）構造とし、その下面に穴付き底板７を配設するようにしている。その他の構成は前記実施形態と同様である。本実施形態によれば、穴付き底板７を設けることにより、階段の上面に水平層流を形成するとともに、一部の風が踊り場１ａおよび階段１ｂを貫通して流れるため、グレーチング表面にゴミがたまらずに、グレーチングを通過したゴミを穴付き底板７に捕捉し下階への落下を防ぐことができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、空調エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確保することができると共に、給気ダクトが不要になるため、ダクトスペースの低減を図ることができ、加えて、空調機械室も不要になり、工期およびコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルーム階段の空調方式の１実施形態を示し、図１（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図１（Ｂ）は平面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの階段室の模式的断面図である。
【図３】本発明の課題を説明するための図であり、図３（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図３（Ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
１…階段室
１ａ…踊り場
１ｂ…階段
２…吸込口
５…換気ダクト
６…ファンフィルタユニット
７…穴付き底板
Claims (2)
- 多層階のクリーンルームに設けられた階段室と、該階段室に設けられた複数の踊り場およびその間に設けられた階段と、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクトと、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに接続された吸込口と、前記換気ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユニットとを備え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て吸い込むようにしたことを特徴とするクリーンルーム階段の空調方式。
- 前記踊り場および階段はグレーチング構造とし、その下面に穴付き底板を配設したことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム階段の空調方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05043699A JP3653693B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05043699A JP3653693B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000249379A JP2000249379A (ja) | 2000-09-12 |
| JP3653693B2 true JP3653693B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=12858822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05043699A Expired - Fee Related JP3653693B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3653693B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105604258A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-05-25 | 邹桂平 | 一种雾霾净化的防水的楼道结构 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002043387A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-08 | Mitsubishi Electric Corp | クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法 |
| JP4707242B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-06-22 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
| JP4636382B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2011-02-23 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 多層階建屋の附室の結露防止システム |
| KR101708010B1 (ko) * | 2011-05-16 | 2017-02-17 | 현대중공업 주식회사 | 계단 통로를 귀환 공기의 통로로 사용하는 선박의 데크 하우스 및 이를 이용한 데크 하우스의 공기조화방법 |
| CN112064556A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 李青莲 | 一种园林自清理式台阶及其清理方法 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP05043699A patent/JP3653693B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105604258A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-05-25 | 邹桂平 | 一种雾霾净化的防水的楼道结构 |
| CN105604258B (zh) * | 2016-03-16 | 2017-11-07 | 绍兴俪泰纺织科技有限公司 | 一种雾霾净化的防水的楼道结构 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000249379A (ja) | 2000-09-12 |
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