JP2000249379A - クリーンルーム階段の空調方式 - Google Patents
クリーンルーム階段の空調方式Info
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- JP2000249379A JP2000249379A JP11050436A JP5043699A JP2000249379A JP 2000249379 A JP2000249379 A JP 2000249379A JP 11050436 A JP11050436 A JP 11050436A JP 5043699 A JP5043699 A JP 5043699A JP 2000249379 A JP2000249379 A JP 2000249379A
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- staircase
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- stairs
- clean room
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高清浄度を確保すると共にスペースの低減を図
る。 【解決手段】多層階のクリーンルームに設けられた階段
室１と、該階段室に設けられた複数の踊り場１ａおよび
その間に設けられた階段１ｂと、前記階段室に隣接して
設けられた換気ダクト５と、各踊り場の床近傍に配設さ
れ、前記換気ダクトに接続された吸込２口と、前記換気
ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユ
ニット６とを備え、各ファンフィルタユニット６は、高
清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込
口２から換気ダクト５を経て吸い込むようにする。
る。 【解決手段】多層階のクリーンルームに設けられた階段
室１と、該階段室に設けられた複数の踊り場１ａおよび
その間に設けられた階段１ｂと、前記階段室に隣接して
設けられた換気ダクト５と、各踊り場の床近傍に配設さ
れ、前記換気ダクトに接続された吸込２口と、前記換気
ダクトの内部で各踊り場に設置されたファンフィルタユ
ニット６とを備え、各ファンフィルタユニット６は、高
清浄度の空調エアを階段室に吹き出した後、下階の吸込
口２から換気ダクト５を経て吸い込むようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶など
の製造工場におけるクリーンルームの技術分野に属す
る。
の製造工場におけるクリーンルームの技術分野に属す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム内に２層程度の階
段で清浄度クラス１０万（０．５μｍ）が要求された場
合、踏面をグレーチング（多孔）構造とし、階段室の天
井面でエアを吹き出し、下階の床に近い位置で吸い込む
方式がとられてきた。多層化された半導体工場等では、
クリーンルーム内の垂直搬送だけではなく、作業者のた
めの多層にわたる高清浄度階段（クラス５，０００−
０．１μｍ程度）が必要になる。階段歩行は水平歩行よ
りゴミが発生し易くこれが床に溜まり、歩行により舞い
上がることが懸念されるため、従来よりグレーチングの
踏面が採用されてきた。
段で清浄度クラス１０万（０．５μｍ）が要求された場
合、踏面をグレーチング（多孔）構造とし、階段室の天
井面でエアを吹き出し、下階の床に近い位置で吸い込む
方式がとられてきた。多層化された半導体工場等では、
クリーンルーム内の垂直搬送だけではなく、作業者のた
めの多層にわたる高清浄度階段（クラス５，０００−
０．１μｍ程度）が必要になる。階段歩行は水平歩行よ
りゴミが発生し易くこれが床に溜まり、歩行により舞い
上がることが懸念されるため、従来よりグレーチングの
踏面が採用されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方式においては、多層階段になると上界のゴミが下
階に順に抜けていき歩行者の上にふりかかることが問題
となり、また、高清浄度要求のため天井吹き出し、下部
吸い込みでは高清浄度の確保が不可能になってきた。
来の方式においては、多層階段になると上界のゴミが下
階に順に抜けていき歩行者の上にふりかかることが問題
となり、また、高清浄度要求のため天井吹き出し、下部
吸い込みでは高清浄度の確保が不可能になってきた。
【０００４】そこで、図３に示す方式が考えられる。図
３（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図
３（Ｂ）は平面図であり、クリーンルームの階段室１に
は踊り場１ａと階段１ｂが設けられ、各踊り場１ａには
吸込口２が配設され、吸込口２の上部に吹出口３が配設
されている。各吹出口３および吸込口２は、それぞれ給
気ダクト４および換気ダクト５に接続されている。ファ
ンフィルタユニットにおいて高清浄度にされた空調エア
は、給気ダクト４を経て吹出口３から吹き出され、階段
１ｂの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場１ａの
吸込口２を経て換気ダクト５に吸い込まれるように構成
している。
３（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図
３（Ｂ）は平面図であり、クリーンルームの階段室１に
は踊り場１ａと階段１ｂが設けられ、各踊り場１ａには
吸込口２が配設され、吸込口２の上部に吹出口３が配設
されている。各吹出口３および吸込口２は、それぞれ給
気ダクト４および換気ダクト５に接続されている。ファ
ンフィルタユニットにおいて高清浄度にされた空調エア
は、給気ダクト４を経て吹出口３から吹き出され、階段
１ｂの傾斜に沿って下降し、一つ下の階の踊り場１ａの
吸込口２を経て換気ダクト５に吸い込まれるように構成
している。
【０００５】しかしながら、この方式においては、各階
段１ｂの踊り場１ａに空調エアを供給するため、空調風
量が多くなり、クラス５，０００−０．１μｍ程度の清
浄度で４５回程度の換気が必要になるとともに、階数が
多い場合には、階数分の風量が加算されるため、平面的
に大きなダクトスペースＤが必要になり、生産室の平面
設計計画の障害になるという問題を有している。
段１ｂの踊り場１ａに空調エアを供給するため、空調風
量が多くなり、クラス５，０００−０．１μｍ程度の清
浄度で４５回程度の換気が必要になるとともに、階数が
多い場合には、階数分の風量が加算されるため、平面的
に大きなダクトスペースＤが必要になり、生産室の平面
設計計画の障害になるという問題を有している。
【０００６】本発明は、上記の問題を解決するものであ
って、高清浄度を確保することができると共に、スペー
スの低減を図ることができるクリーンルーム階段の空調
方式を提供することを目的とする。
って、高清浄度を確保することができると共に、スペー
スの低減を図ることができるクリーンルーム階段の空調
方式を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の請求
項１記載のクリーンルーム階段の空調方式は、多層階の
クリーンルームに設けられた階段室１と、該階段室に設
けられた複数の踊り場１ａおよびその間に設けられた階
段１ｂと、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクト
５と、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに
接続された吸込２口と、前記換気ダクトの内部で各踊り
場に設置されたファンフィルタユニット６とを備え、各
ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段
室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て
吸い込むようにしたことを特徴とし、請求項２記載の発
明は、請求項１において、踊り場１ａおよび階段１ｂは
グレーチング構造とし、その下面に穴付き底板７を配設
したことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号
は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させる
もので、これにより本発明が何ら限定されるものではな
い。
項１記載のクリーンルーム階段の空調方式は、多層階の
クリーンルームに設けられた階段室１と、該階段室に設
けられた複数の踊り場１ａおよびその間に設けられた階
段１ｂと、前記階段室に隣接して設けられた換気ダクト
５と、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気ダクトに
接続された吸込２口と、前記換気ダクトの内部で各踊り
場に設置されたファンフィルタユニット６とを備え、各
ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エアを階段
室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクトを経て
吸い込むようにしたことを特徴とし、請求項２記載の発
明は、請求項１において、踊り場１ａおよび階段１ｂは
グレーチング構造とし、その下面に穴付き底板７を配設
したことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号
は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させる
もので、これにより本発明が何ら限定されるものではな
い。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は、本発明のクリーンルー
ム階段の空調方式の１実施形態を示し、図１（Ａ）はク
リーンルーム階段室の模式的断面図、図１（Ｂ）は平面
図である。
を参照しつつ説明する。図１は、本発明のクリーンルー
ム階段の空調方式の１実施形態を示し、図１（Ａ）はク
リーンルーム階段室の模式的断面図、図１（Ｂ）は平面
図である。
【０００９】多層階からなるクリーンルームには階段室
１が設けられ、この階段室１に隣接して換気ダクト５が
設けられている。階段室１には、複数の踊り場１ａが交
互に設けられ、各踊り場１ａ間に階段１ｂが上下方向に
傾斜して設けられている。各踊り場１ａの床近傍には階
段１ｂに対向して吸込口２が配設され、吸込口２は、換
気ダクト５に接続されている。換気ダクト５の内部に
は、踊り場１ａの壁面にファンフィルタユニット（ＨＥ
ＰＡフィルタ付き空調機）６が配設され、ファンフィル
タユニット６の下面には吸込口６ａが形成され、上部に
吹出口６ｂが形成され、吹出口６ｂは階段１ｂに対向す
るように設けている。
１が設けられ、この階段室１に隣接して換気ダクト５が
設けられている。階段室１には、複数の踊り場１ａが交
互に設けられ、各踊り場１ａ間に階段１ｂが上下方向に
傾斜して設けられている。各踊り場１ａの床近傍には階
段１ｂに対向して吸込口２が配設され、吸込口２は、換
気ダクト５に接続されている。換気ダクト５の内部に
は、踊り場１ａの壁面にファンフィルタユニット（ＨＥ
ＰＡフィルタ付き空調機）６が配設され、ファンフィル
タユニット６の下面には吸込口６ａが形成され、上部に
吹出口６ｂが形成され、吹出口６ｂは階段１ｂに対向す
るように設けている。
【００１０】上記構成からなるクリーンルーム階段の空
調方式においては、各踊り場１ａのファンフィルタユニ
ット６において高清浄度にされた空調エアは、その吹出
口６ｂからから吹き出され、階段１ｂの傾斜に沿って下
降し、一つ下の階の踊り場１ａの吸込口２を経て換気ダ
クト５に吸い込まれた後、ファンフィルタユニット６の
吸込口６ａに吸い込まれ、再び高清浄度にされた空調エ
アは、その吹出口６ｂから吹き出される。従って、空調
エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確
保することができると共に、給気ダクトが不要になるた
め、ダクトスペースＤの低減を図ることができる。
調方式においては、各踊り場１ａのファンフィルタユニ
ット６において高清浄度にされた空調エアは、その吹出
口６ｂからから吹き出され、階段１ｂの傾斜に沿って下
降し、一つ下の階の踊り場１ａの吸込口２を経て換気ダ
クト５に吸い込まれた後、ファンフィルタユニット６の
吸込口６ａに吸い込まれ、再び高清浄度にされた空調エ
アは、その吹出口６ｂから吹き出される。従って、空調
エアを各階ごとに循環させる方式のため、高清浄度を確
保することができると共に、給気ダクトが不要になるた
め、ダクトスペースＤの低減を図ることができる。
【００１１】図２は、本発明の他の実施形態を示すクリ
ーンルームの階段室の模式的断面図である。本実施形態
においては、踊り場１ａおよび階段１ｂをグレーチング
（多孔）構造とし、その下面に穴付き底板７を配設する
ようにしている。その他の構成は前記実施形態と同様で
ある。本実施形態によれば、穴付き底板７を設けること
により、階段の上面に水平層流を形成するとともに、一
部の風が踊り場１ａおよび階段１ｂを貫通して流れるた
め、グレーチング表面にゴミがたまらずに、グレーチン
グを通過したゴミを穴付き底板７に捕捉し下階への落下
を防ぐことができる。
ーンルームの階段室の模式的断面図である。本実施形態
においては、踊り場１ａおよび階段１ｂをグレーチング
（多孔）構造とし、その下面に穴付き底板７を配設する
ようにしている。その他の構成は前記実施形態と同様で
ある。本実施形態によれば、穴付き底板７を設けること
により、階段の上面に水平層流を形成するとともに、一
部の風が踊り場１ａおよび階段１ｂを貫通して流れるた
め、グレーチング表面にゴミがたまらずに、グレーチン
グを通過したゴミを穴付き底板７に捕捉し下階への落下
を防ぐことができる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、空調エアを各階ごとに循環させる方式のた
め、高清浄度を確保することができると共に、給気ダク
トが不要になるため、ダクトスペースの低減を図ること
ができ、加えて、空調機械室も不要になり、工期および
コストの低減を図ることができる。
によれば、空調エアを各階ごとに循環させる方式のた
め、高清浄度を確保することができると共に、給気ダク
トが不要になるため、ダクトスペースの低減を図ること
ができ、加えて、空調機械室も不要になり、工期および
コストの低減を図ることができる。
【図１】本発明のクリーンルーム階段の空調方式の１実
施形態を示し、図１（Ａ）はクリーンルームの階段室の
模式的断面図、図１（Ｂ）は平面図である。
施形態を示し、図１（Ａ）はクリーンルームの階段室の
模式的断面図、図１（Ｂ）は平面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示すクリーンルームの
階段室の模式的断面図である。
階段室の模式的断面図である。
【図３】本発明の課題を説明するための図であり、図３
（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図３
（Ｂ）は平面図である。
（Ａ）はクリーンルームの階段室の模式的断面図、図３
（Ｂ）は平面図である。
１…階段室 １ａ…踊り場 １ｂ…階段 ２…吸込口 ５…換気ダクト ６…ファンフィルタユニット ７…穴付き底板
Claims (2)
- 【請求項１】多層階のクリーンルームに設けられた階段
室と、該階段室に設けられた複数の踊り場およびその間
に設けられた階段と、前記階段室に隣接して設けられた
換気ダクトと、各踊り場の床近傍に配設され、前記換気
ダクトに接続された吸込口と、前記換気ダクトの内部で
各踊り場に設置されたファンフィルタユニットとを備
え、各ファンフィルタユニットは、高清浄度の空調エア
を階段室に吹き出した後、下階の吸込口から換気ダクト
を経て吸い込むようにしたことを特徴とするクリーンル
ーム階段の空調方式。 - 【請求項２】前記踊り場および階段はグレーチング構造
とし、その下面に穴付き底板を配設したことを特徴とす
る請求項１記載のクリーンルーム階段の空調方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05043699A JP3653693B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05043699A JP3653693B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000249379A true JP2000249379A (ja) | 2000-09-12 |
| JP3653693B2 JP3653693B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=12858822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05043699A Expired - Fee Related JP3653693B2 (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3653693B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002213785A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム階段の空調方式 |
| US6705450B2 (en) * | 2000-07-19 | 2004-03-16 | Renesas Technology Corp. | Clean room having an escalator, and method of transporting a semiconductor device therein |
| JP2007240118A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 多層階建屋の附室の結露防止システム |
| KR20120128039A (ko) * | 2011-05-16 | 2012-11-26 | 현대중공업 주식회사 | 계단 통로를 귀환 공기의 통로로 사용하는 선박의 데크 하우스 및 이를 이용한 데크 하우스의 공기조화방법 |
| CN112064556A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 李青莲 | 一种园林自清理式台阶及其清理方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105604258B (zh) * | 2016-03-16 | 2017-11-07 | 绍兴俪泰纺织科技有限公司 | 一种雾霾净化的防水的楼道结构 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP05043699A patent/JP3653693B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6705450B2 (en) * | 2000-07-19 | 2004-03-16 | Renesas Technology Corp. | Clean room having an escalator, and method of transporting a semiconductor device therein |
| JP2002213785A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム階段の空調方式 |
| JP4707242B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-06-22 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
| JP2007240118A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 多層階建屋の附室の結露防止システム |
| JP4636382B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2011-02-23 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 多層階建屋の附室の結露防止システム |
| KR20120128039A (ko) * | 2011-05-16 | 2012-11-26 | 현대중공업 주식회사 | 계단 통로를 귀환 공기의 통로로 사용하는 선박의 데크 하우스 및 이를 이용한 데크 하우스의 공기조화방법 |
| KR101708010B1 (ko) * | 2011-05-16 | 2017-02-17 | 현대중공업 주식회사 | 계단 통로를 귀환 공기의 통로로 사용하는 선박의 데크 하우스 및 이를 이용한 데크 하우스의 공기조화방법 |
| CN112064556A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 李青莲 | 一种园林自清理式台阶及其清理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3653693B2 (ja) | 2005-06-02 |
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