JPS62206333A - エアシヤワ−室 - Google Patents
エアシヤワ−室Info
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- JPS62206333A JPS62206333A JP4755086A JP4755086A JPS62206333A JP S62206333 A JPS62206333 A JP S62206333A JP 4755086 A JP4755086 A JP 4755086A JP 4755086 A JP4755086 A JP 4755086A JP S62206333 A JPS62206333 A JP S62206333A
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- JP
- Japan
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- room
- air
- air shower
- clean
- floor
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- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000009194 climbing Effects 0.000 description 1
- 230000002493 climbing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、クリーンルームの出入り口に隣接して設備さ
れるエアシャワー室に関するものである。
れるエアシャワー室に関するものである。
一般に、クリーンルームの出入り口には入室者の着衣（
クリーンスーツ）に付着している塵を除去し、入室者の
出入りに伴うクリーンルーム内の清浄度を確保するため
にエアシャワー室が設けられている。 従来のエアシャワー室５は、第２図に示すように、クリ
ーンルームｌに対して平面的に隣接しているのが通例で
ある。ここで第２図を簡単に説明すると、クリーンルー
ム１内の各種模様分けされた各部は、それぞれ空気清浄
度による区分と作業用機器とを表している。図中１１ａ
は一次更衣室、１１ｂは二次更衣室であり、他の各部屋
は管理室、トイレ、補助的作業室等である。 また、エアシャワー室５の構造は、−人用絞るいは数人
用と大きさにおいて差異はあるものの、はぼ第３図に示
すように構成されている。すなわち、エアシャワー室５
の上下両横の外側にはエアシャワー用の空気流路となる
空間部が形成され、この空間部は仕切り壁２０とファン
２１とによって給気側流路２２と還気側流路２３とに仕
切られている。ここに図示したのは乱流型エアシャワー
であるが、エアシャワー室５の両側壁２４．２５には給
気側流路２２から室内側へ清浄空気を吹き出すためのバ
ンカーノズル（噴出流用吹出口）１４が取り付けられ、
一方、床面には、室内側から還気側流路２３へ汚濁空気
を吸い込むための吸込口を床面とかねてグレーチング１
７が敷き詰められている。この図示例では、バンカーノ
ズル１４が両側壁２４．２５に取り付けられて互いの吹
出し方向に対向しており、且つ吸込口は吹出し方向に対
してほぼ９０°ずれて設けられているので、エアシャワ
ーとしての噴流は乱流となる。そして、給気側流路２２
にはファン２１の吹出口からＨＥＰＡフィルタ（ｈｉｇ
ｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ
ａｉｒｆｉｌｔｅｒ） ２６を介して清浄空気が供給さ
れ、還気側流路２３にはグレーチング１７の下面に取り
付けられたプレフィルタ２７を介して汚濁空気から幾分
か清浄度の高くなった空気が吸い込まれ、その空気はさ
らに還気側流路２３を介してファン２１の岐込ロヘ流入
する。このようにして空気が循環を繰り返すことにより
、エアシャワー室５の除塵が機能する。なお、ここには
図示してはいないが、垂直層流型エアシャワーでは、バ
ンカーノズルに比べて吹出面積のやや大きい吹出口が天
井面に取り付けられ、また吸込口はこの吹出口に対向す
るように、乱流型エアシャワーの場合と同様のグレーチ
ングが床面に設けられており、その他の構成は乱流型エ
アシャワーとほぼ同様である。
クリーンスーツ）に付着している塵を除去し、入室者の
出入りに伴うクリーンルーム内の清浄度を確保するため
にエアシャワー室が設けられている。 従来のエアシャワー室５は、第２図に示すように、クリ
ーンルームｌに対して平面的に隣接しているのが通例で
ある。ここで第２図を簡単に説明すると、クリーンルー
ム１内の各種模様分けされた各部は、それぞれ空気清浄
度による区分と作業用機器とを表している。図中１１ａ
は一次更衣室、１１ｂは二次更衣室であり、他の各部屋
は管理室、トイレ、補助的作業室等である。 また、エアシャワー室５の構造は、−人用絞るいは数人
用と大きさにおいて差異はあるものの、はぼ第３図に示
すように構成されている。すなわち、エアシャワー室５
の上下両横の外側にはエアシャワー用の空気流路となる
空間部が形成され、この空間部は仕切り壁２０とファン
２１とによって給気側流路２２と還気側流路２３とに仕
切られている。ここに図示したのは乱流型エアシャワー
であるが、エアシャワー室５の両側壁２４．２５には給
気側流路２２から室内側へ清浄空気を吹き出すためのバ
ンカーノズル（噴出流用吹出口）１４が取り付けられ、
一方、床面には、室内側から還気側流路２３へ汚濁空気
を吸い込むための吸込口を床面とかねてグレーチング１
７が敷き詰められている。この図示例では、バンカーノ
ズル１４が両側壁２４．２５に取り付けられて互いの吹
出し方向に対向しており、且つ吸込口は吹出し方向に対
してほぼ９０°ずれて設けられているので、エアシャワ
ーとしての噴流は乱流となる。そして、給気側流路２２
にはファン２１の吹出口からＨＥＰＡフィルタ（ｈｉｇ
ｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ
ａｉｒｆｉｌｔｅｒ） ２６を介して清浄空気が供給さ
れ、還気側流路２３にはグレーチング１７の下面に取り
付けられたプレフィルタ２７を介して汚濁空気から幾分
か清浄度の高くなった空気が吸い込まれ、その空気はさ
らに還気側流路２３を介してファン２１の岐込ロヘ流入
する。このようにして空気が循環を繰り返すことにより
、エアシャワー室５の除塵が機能する。なお、ここには
図示してはいないが、垂直層流型エアシャワーでは、バ
ンカーノズルに比べて吹出面積のやや大きい吹出口が天
井面に取り付けられ、また吸込口はこの吹出口に対向す
るように、乱流型エアシャワーの場合と同様のグレーチ
ングが床面に設けられており、その他の構成は乱流型エ
アシャワーとほぼ同様である。
ところで、上述のごとく構成されたエアシャワー室にあ
っては、本体たるクリーンルームに対して付帯設備たる
エアシャワー室が平面的に隣接した状態に配置されてい
るため、他の一般的建築物よりも建築コストの高いクリ
ーンルーム建屋には、コスト的に非常に無駄のある配置
となっていた。 また、エアシャワー室内でエア浴をする際にも、室内で
のエア浴中の動作が比較的静か（室内はさほど広くない
ため、人の回転程度の動作しかできない）なため、エア
浴をする者の完全に除塵を行おうとする意識が低い場合
には十分な除塵効果が得られない恐れがあった。 本発明は上述のごとき問題点に鑑み、これらを有効に解
決すべく創案されたものである。したがってその目的は
、クリーンルーム建屋内のスペースを有効利用でき、し
かもエア浴中の運動動作を半強制的に要求して除塵効果
を高めることのできるエアシャワー室を提供することに
ある。
っては、本体たるクリーンルームに対して付帯設備たる
エアシャワー室が平面的に隣接した状態に配置されてい
るため、他の一般的建築物よりも建築コストの高いクリ
ーンルーム建屋には、コスト的に非常に無駄のある配置
となっていた。 また、エアシャワー室内でエア浴をする際にも、室内で
のエア浴中の動作が比較的静か（室内はさほど広くない
ため、人の回転程度の動作しかできない）なため、エア
浴をする者の完全に除塵を行おうとする意識が低い場合
には十分な除塵効果が得られない恐れがあった。 本発明は上述のごとき問題点に鑑み、これらを有効に解
決すべく創案されたものである。したがってその目的は
、クリーンルーム建屋内のスペースを有効利用でき、し
かもエア浴中の運動動作を半強制的に要求して除塵効果
を高めることのできるエアシャワー室を提供することに
ある。
本発明に係るエアシャワー室は、クリーンルームに隣接
させて外気と隔離可能な階段室が設けられている。この
階段室内の、クリーンルームに隣接するフロア踊り場に
は、その天井面に第１の吹出口を有し且つ床面に第１の
吸込口を有する垂直層流型エアシャワーが設けられてい
る。また、フロア踊り場以外の部分でフロア踊り場につ
ながる階段部には、その天井面および壁面のうち少なく
とも壁面に第２の吹出口を有し且つ床面ないし階段踏面
に第２の吸込口を有する乱流型エアシャワーが設けられ
ている。そして上記第１および第２の吹出口はそれぞれ
清浄空気を噴流にして吹き出す。
させて外気と隔離可能な階段室が設けられている。この
階段室内の、クリーンルームに隣接するフロア踊り場に
は、その天井面に第１の吹出口を有し且つ床面に第１の
吸込口を有する垂直層流型エアシャワーが設けられてい
る。また、フロア踊り場以外の部分でフロア踊り場につ
ながる階段部には、その天井面および壁面のうち少なく
とも壁面に第２の吹出口を有し且つ床面ないし階段踏面
に第２の吸込口を有する乱流型エアシャワーが設けられ
ている。そして上記第１および第２の吹出口はそれぞれ
清浄空気を噴流にして吹き出す。
本発明に係るエアシャワー室によれば、階段室をエアシ
ャワー室と兼用できるので、建屋内のスペースを有効利
用でき、また、乱流型エアシャワーを浴びる人が階段を
昇降運動することによって除塵効果を高めることができ
る。クリーンルームの入り口では、乱流型エアシャワー
によって巻き上げられた粉塵を垂直層流型エアシャワー
によって床面下に押し付け、フロア踊り場は清浄度がク
リーンルームにほぼ近い準クリーンルームとして機能す
る。
ャワー室と兼用できるので、建屋内のスペースを有効利
用でき、また、乱流型エアシャワーを浴びる人が階段を
昇降運動することによって除塵効果を高めることができ
る。クリーンルームの入り口では、乱流型エアシャワー
によって巻き上げられた粉塵を垂直層流型エアシャワー
によって床面下に押し付け、フロア踊り場は清浄度がク
リーンルームにほぼ近い準クリーンルームとして機能す
る。
以下に本発明の好適一実施例について第１図を参照して
説明する。 第１図は、本発明に係るエアシャワー室を示す概略構成
図である。本実施例では、下から地下１階、１階、中２
階、２階と各フロアを有する建屋内の１階および２階に
クリーンルーム１，２が設けられている。また、クリー
ンスーツに着替えるための更衣室１１は地下１階に設け
られている。 各クリーンルーム１，２にはドア３，４を隔てて階段室
５が隣接しており、この階段室５がエアシャワー室とし
て構成されることになる。階段室５によるエアシャワー
室は、各クリーンルーム１，２に隣接するフロア踊り場
６．７と、その他の階段部８および中間階の踊り場９、
さらに最下階のフロア踊り場１２とに分けられ、フロア
踊り場６゜７には垂直層流型エアシャワーが設備され、
階段部８には乱流型エアシャワーが設備されている。 また、中間階の踊り場９および最下階のフロア踊り場１
２には、エアシャワーはどの流速を持った噴流は吹き出
されないが、吹田口１０から清浄空気が吹き出されてお
り、エアシャワー室内の清浄度が保たれている。なお、
図中１３は垂直層流型エアシャワーの第１の吹出口であ
り、１４は乱流型エアシャワーの第２の吹出口としての
バンカーノズルである。各吹出口１０および第１の吹出
口１３、第２の吹出口１４から清浄空気を吹き出すため
のファンは、図示されていないがそれぞれの運転系統に
応じて個々の系統毎に設けられている。 本実施例に用いられるエアシャワーは、清浄空気を噴流
にして吹き出すための基本的構成において従来技術と同
様であり、したかって同様の構成については第３図の参
照番号を援用する。 上述のごとく構成された階段室５のエアシャワー室は、
地下１階の更衣室１１から図示されていないドアを経て
地下１階のフロア踊り場１２へ出られる。このフロア踊
り場１２には、赤外線感知器等のセンサー（図示せず）
が設置されており、クリーンルーム１もしくは２への入
室者がエアシャワー室内に入ったことを検知して階段部
８の乱流型エアシャワーの運転をオン状態（ファンスイ
ッチがオンとなる）にする。もちろん中間階の踊り場９
等の吹出口ＩＯから清浄空気を送風するファンもオン状
態となる。クリーンルームｌもしくは２への入室者は階
段を昇ることにより乱流型のエアシャワーを浴び、クリ
ーンスーツに付着した塵は昇段動作も加わってより効果
的に除去される。 各吹出口１０から吹き出される清浄空気は、除塵後それ
ぞれのフロア踊り場９，１２の床面に設けられたグレー
チングによる吸込口１５に吸い込まれ、同様に第１の吹
出口１３から吹き出される清浄空気はフロア踊り場６．
７の床面に設けられたグレーチングによる第１の吸込口
１６に吸い込まれる。また、第２の吹出口１４から吹き
出される清浄空気は階段の踏面に設けられたグレーチン
グによる第２の吸込口１７に吸い込まれる。 さらに、例えばクリーンルームｌへの入室者がフロア踊
り場６に到達すると、階段部８での除去塵埃および噴流
を垂直層流エアシャワ一部へ侵入させないように、階段
部８のエアシャワーおよびその他のフロア踊り場９．１
２の清浄空気流を停止させ、フロア踊り場６の垂直層流
によるエアシャワーのみを規定の時間だけタイマー運転
する。入室者はこの垂直層流によるエアシャワーを規定
時間浴びた後クリーンルーム１へ入室することかできる
。また、さらに２階のクリーンルーム２へ至る場合にも
、１階以上の階段室の各エアシャワーが上述の説明と同
様に切り替え運転される。各フロア踊り場６．７におけ
る垂直層流型エアシャワーにより階段部８等で巻き上が
った塵埃が床面に押し付けられるので、そのフロア踊り
場６．７は準クリーンルームとしての機能を発揮する。 このように、各エアシャワーの運転は赤外線感知器また
は扉開閉センサー等のセンサーによる自動運転となる。 なお、各階段部８の乱流型エアシャワー、客フロア踊り
場６，７の垂直層流型エアシャワーおよびその他の踊り
場９．１２の清浄空気吹出し装置は、従来型においても
そうであったように、工場生産・現場据付のユニット型
とすることも可能である。
説明する。 第１図は、本発明に係るエアシャワー室を示す概略構成
図である。本実施例では、下から地下１階、１階、中２
階、２階と各フロアを有する建屋内の１階および２階に
クリーンルーム１，２が設けられている。また、クリー
ンスーツに着替えるための更衣室１１は地下１階に設け
られている。 各クリーンルーム１，２にはドア３，４を隔てて階段室
５が隣接しており、この階段室５がエアシャワー室とし
て構成されることになる。階段室５によるエアシャワー
室は、各クリーンルーム１，２に隣接するフロア踊り場
６．７と、その他の階段部８および中間階の踊り場９、
さらに最下階のフロア踊り場１２とに分けられ、フロア
踊り場６゜７には垂直層流型エアシャワーが設備され、
階段部８には乱流型エアシャワーが設備されている。 また、中間階の踊り場９および最下階のフロア踊り場１
２には、エアシャワーはどの流速を持った噴流は吹き出
されないが、吹田口１０から清浄空気が吹き出されてお
り、エアシャワー室内の清浄度が保たれている。なお、
図中１３は垂直層流型エアシャワーの第１の吹出口であ
り、１４は乱流型エアシャワーの第２の吹出口としての
バンカーノズルである。各吹出口１０および第１の吹出
口１３、第２の吹出口１４から清浄空気を吹き出すため
のファンは、図示されていないがそれぞれの運転系統に
応じて個々の系統毎に設けられている。 本実施例に用いられるエアシャワーは、清浄空気を噴流
にして吹き出すための基本的構成において従来技術と同
様であり、したかって同様の構成については第３図の参
照番号を援用する。 上述のごとく構成された階段室５のエアシャワー室は、
地下１階の更衣室１１から図示されていないドアを経て
地下１階のフロア踊り場１２へ出られる。このフロア踊
り場１２には、赤外線感知器等のセンサー（図示せず）
が設置されており、クリーンルーム１もしくは２への入
室者がエアシャワー室内に入ったことを検知して階段部
８の乱流型エアシャワーの運転をオン状態（ファンスイ
ッチがオンとなる）にする。もちろん中間階の踊り場９
等の吹出口ＩＯから清浄空気を送風するファンもオン状
態となる。クリーンルームｌもしくは２への入室者は階
段を昇ることにより乱流型のエアシャワーを浴び、クリ
ーンスーツに付着した塵は昇段動作も加わってより効果
的に除去される。 各吹出口１０から吹き出される清浄空気は、除塵後それ
ぞれのフロア踊り場９，１２の床面に設けられたグレー
チングによる吸込口１５に吸い込まれ、同様に第１の吹
出口１３から吹き出される清浄空気はフロア踊り場６．
７の床面に設けられたグレーチングによる第１の吸込口
１６に吸い込まれる。また、第２の吹出口１４から吹き
出される清浄空気は階段の踏面に設けられたグレーチン
グによる第２の吸込口１７に吸い込まれる。 さらに、例えばクリーンルームｌへの入室者がフロア踊
り場６に到達すると、階段部８での除去塵埃および噴流
を垂直層流エアシャワ一部へ侵入させないように、階段
部８のエアシャワーおよびその他のフロア踊り場９．１
２の清浄空気流を停止させ、フロア踊り場６の垂直層流
によるエアシャワーのみを規定の時間だけタイマー運転
する。入室者はこの垂直層流によるエアシャワーを規定
時間浴びた後クリーンルーム１へ入室することかできる
。また、さらに２階のクリーンルーム２へ至る場合にも
、１階以上の階段室の各エアシャワーが上述の説明と同
様に切り替え運転される。各フロア踊り場６．７におけ
る垂直層流型エアシャワーにより階段部８等で巻き上が
った塵埃が床面に押し付けられるので、そのフロア踊り
場６．７は準クリーンルームとしての機能を発揮する。 このように、各エアシャワーの運転は赤外線感知器また
は扉開閉センサー等のセンサーによる自動運転となる。 なお、各階段部８の乱流型エアシャワー、客フロア踊り
場６，７の垂直層流型エアシャワーおよびその他の踊り
場９．１２の清浄空気吹出し装置は、従来型においても
そうであったように、工場生産・現場据付のユニット型
とすることも可能である。
第１図は本発明に係るエアシャワーの一実施例を示す概
略構成図、第２図は従来技術におけるクリーンルーム設
備の平面配置図、第３図は従来技術および本実施例に用
いられるエアシャワーの概略構成図である。 １．２・・・クリーンルーム、５・・・階段室、６．７
・・・クリーンルームに隣接するフロア踊り場、８・・
・階、段部、１３・・・第１の吹出口、１４・・・第２
の吹出口、１６・・・第１の吸込口、１７・・・第２の
吸込口特許出願人 新晃工業株式会社 代理人弁理士 青白 葆（ほか２名）第２ｇ
略構成図、第２図は従来技術におけるクリーンルーム設
備の平面配置図、第３図は従来技術および本実施例に用
いられるエアシャワーの概略構成図である。 １．２・・・クリーンルーム、５・・・階段室、６．７
・・・クリーンルームに隣接するフロア踊り場、８・・
・階、段部、１３・・・第１の吹出口、１４・・・第２
の吹出口、１６・・・第１の吸込口、１７・・・第２の
吸込口特許出願人 新晃工業株式会社 代理人弁理士 青白 葆（ほか２名）第２ｇ
Claims (2)
- （１）、クリーンルーム（１、２）に隣接させて外気と
隔離可能な階段室（５）を設け、 該階段室（５）内の前記クリーンルーム（１、２）に隣
接するフロア踊り場（６、７）に、その天井面には清浄
空気を噴流にして吹き出す第１の吹出口（１３）を有し
且つ床面に第１の吸込口（１６）を有する垂直層流型エ
アシャワーを設け、 前記フロア踊り場（６、７）につながる階段部（８）に
、その天井面および壁面のうち少なくとも壁面には清浄
空気を噴流にして吹き出す第２の吹出口（１４）を有し
且つ階段踏面に第２の吸込口（１７）を有する乱流型エ
アシャワーを設けたことを特徴とするエアシャワー室 - （２）、前記クリーンルーム（１、２）への入室者が前
記階段部（８）を通過する場合には前記乱流型エアシャ
ワーが、該入室者が前記フロア踊り場（６、７）に到着
した場合には前記垂直層流型エアシャワーがそれぞれの
場合に応じて切り替え運転される特許請求の範囲第１項
記載のエアシャワー室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4755086A JPS62206333A (ja) | 1986-03-04 | 1986-03-04 | エアシヤワ−室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4755086A JPS62206333A (ja) | 1986-03-04 | 1986-03-04 | エアシヤワ−室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62206333A true JPS62206333A (ja) | 1987-09-10 |
Family
ID=12778266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4755086A Pending JPS62206333A (ja) | 1986-03-04 | 1986-03-04 | エアシヤワ−室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62206333A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02101339A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-13 | Kajima Corp | クリーンルーム前室の空気洗浄方式 |
| JPH02101338A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-13 | Kajima Corp | クリーンルーム前室 |
| JP2002213785A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム階段の空調方式 |
| US6705450B2 (en) * | 2000-07-19 | 2004-03-16 | Renesas Technology Corp. | Clean room having an escalator, and method of transporting a semiconductor device therein |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567926A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-27 | Sanko Kuki Sochi Kk | Method of settling particle by providing settling room in front of clean room |
| JPS60218546A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-01 | Hitachi Ltd | クリ−ンル−ム |
-
1986
- 1986-03-04 JP JP4755086A patent/JPS62206333A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567926A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-27 | Sanko Kuki Sochi Kk | Method of settling particle by providing settling room in front of clean room |
| JPS60218546A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-01 | Hitachi Ltd | クリ−ンル−ム |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02101339A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-13 | Kajima Corp | クリーンルーム前室の空気洗浄方式 |
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| US6705450B2 (en) * | 2000-07-19 | 2004-03-16 | Renesas Technology Corp. | Clean room having an escalator, and method of transporting a semiconductor device therein |
| JP2002213785A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム階段の空調方式 |
| JP4707242B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-06-22 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
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