JPH01212849A - 部位別ブロー型エアシャワーとその製制方法 - Google Patents
部位別ブロー型エアシャワーとその製制方法Info
- Publication number
- JPH01212849A JPH01212849A JP3924288A JP3924288A JPH01212849A JP H01212849 A JPH01212849 A JP H01212849A JP 3924288 A JP3924288 A JP 3924288A JP 3924288 A JP3924288 A JP 3924288A JP H01212849 A JPH01212849 A JP H01212849A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- room
- air jet
- blow
- ports
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 12
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、部位別ブロー型エアシャワーとその制御方法
に関するものである。
に関するものである。
「従来の技術と発明が解決しようとする問題点」従来、
クリーンルームでは、出入口にエアシャワーが設けられ
、クリーンルームへの入室者は、そのエアシャワーにて
エアジェツトを浴び、身体に付着している塵埃を除去し
て後、入室するようになっている。
クリーンルームでは、出入口にエアシャワーが設けられ
、クリーンルームへの入室者は、そのエアシャワーにて
エアジェツトを浴び、身体に付着している塵埃を除去し
て後、入室するようになっている。
このエアシャワーは、通常、第3図に示すように、人I
名乃至数名が入り得る小さなエアシャワー室1において
、天井及び内壁面に複数のエアジェツト吹出口2,3・
・・が配され、これらのエアジェツト吹出口の背後にフ
ィルター4・・・が配され、更にその周りに送風路5が
設けられており、また、床にグレーチング等による吸込
口6が設けられ、床下にリターン空間7が設けられ、該
リターン空間と上記送風路5との間にファン8が設けら
れている。
名乃至数名が入り得る小さなエアシャワー室1において
、天井及び内壁面に複数のエアジェツト吹出口2,3・
・・が配され、これらのエアジェツト吹出口の背後にフ
ィルター4・・・が配され、更にその周りに送風路5が
設けられており、また、床にグレーチング等による吸込
口6が設けられ、床下にリターン空間7が設けられ、該
リターン空間と上記送風路5との間にファン8が設けら
れている。
而して、ファン8が作動すると、天井及び内壁面の全て
のエアジェツト吹出口2,3・・・から−斉に清浄空気
が噴出する。また、室内の塵埃に汚れた空気は、床の吸
込口6に吸入され、リターン空間7から送風路5へ供給
され、フィルター4・・・で浄化されて、再びエアジェ
ツト吹出口2.3川から噴出する。
のエアジェツト吹出口2,3・・・から−斉に清浄空気
が噴出する。また、室内の塵埃に汚れた空気は、床の吸
込口6に吸入され、リターン空間7から送風路5へ供給
され、フィルター4・・・で浄化されて、再びエアジェ
ツト吹出口2.3川から噴出する。
しかし、このエアシャワーの場合、
O浮遊する塵埃を播き回す結果となり、排塵効率が悪い
。
。
0フアンが大容量となり、コスト高となる。
0メカニカルスペースが大きくなる。
等の欠点がある。
本発明は、斯る従来の問題点を解決しようとするもので
ある。
ある。
「問題点を解決するための手段」
本発明の第1の特徴は、室内にて、複数のエアジェツト
吹出口を配列すると共に、これらのエアジェy)吹出口
に吹出し切換え手段を講じ、適所に吸込口を設けた部位
別ブロー型エアシャワーにある。
吹出口を配列すると共に、これらのエアジェy)吹出口
に吹出し切換え手段を講じ、適所に吸込口を設けた部位
別ブロー型エアシャワーにある。
また、第2の特徴は、室内に適宜に配列した複数のエア
ジェツト吹出口を、吸込口に遠い側から近い側へと順次
に切換え作動させる部位別ブロー型エアシャワーの制御
方法にある。
ジェツト吹出口を、吸込口に遠い側から近い側へと順次
に切換え作動させる部位別ブロー型エアシャワーの制御
方法にある。
「作用」
如上の構成であり、入室者が室内に入った際に、吹出し
切換え手段を(動かせ、エアジェツト吹出口を吸込口に
遠い側から近い側へと順次に切換え作動させ、エアジェ
ツトを吸込口の側へと次第に移動させる。
切換え手段を(動かせ、エアジェツト吹出口を吸込口に
遠い側から近い側へと順次に切換え作動させ、エアジェ
ツトを吸込口の側へと次第に移動させる。
「実施例」
以下、第1図、第2図に示す実施例について説明する。
第1図は、ダンパ一方式の実施例を示しており、人1名
乃至数名が入り得る小さなエアシャワー室11において
、天井及び内壁面に複数のノズル型のエアジェツト吹出
口12・・・、13・・・をそれぞれやや下方へ向けて
配列し、天井のエアジェツト吹出口12・・・の上に天
井チャンバー15を設け、また、内壁面の同じ高さのエ
アジェツト吹出口I3・・・の背後にそれぞれエアチャ
ンバー16・・・を設け、これらのチャンバー15.1
6・・・の周りに一連の送風路17を設けて、各チャン
バー15.16・・・と送風路17との間にそれぞれ開
閉自在なダンパー18・・・を設け、これらのダンパー
を上位のものから下位のものへと順次に切換え開放させ
る制御手段19を設け、床にグレーチングによる吸込口
20を設け、床下にリターン空間21を設け、該リター
ン空間と上記送風路17との間にファン22とエアフィ
ルター23を設けて成る。
乃至数名が入り得る小さなエアシャワー室11において
、天井及び内壁面に複数のノズル型のエアジェツト吹出
口12・・・、13・・・をそれぞれやや下方へ向けて
配列し、天井のエアジェツト吹出口12・・・の上に天
井チャンバー15を設け、また、内壁面の同じ高さのエ
アジェツト吹出口I3・・・の背後にそれぞれエアチャ
ンバー16・・・を設け、これらのチャンバー15.1
6・・・の周りに一連の送風路17を設けて、各チャン
バー15.16・・・と送風路17との間にそれぞれ開
閉自在なダンパー18・・・を設け、これらのダンパー
を上位のものから下位のものへと順次に切換え開放させ
る制御手段19を設け、床にグレーチングによる吸込口
20を設け、床下にリターン空間21を設け、該リター
ン空間と上記送風路17との間にファン22とエアフィ
ルター23を設けて成る。
なお、制御手段19は、ダンパー18・・・に適合すれ
ば、電気的、機械的、その他通貨である。
ば、電気的、機械的、その他通貨である。
而して、入室者が室内に入ったところで、ファン22を
作動させると共に、制御手段19を働かせて、ダンパー
18・・・を上位のものから下位のものへと順次に切換
え開放させる。
作動させると共に、制御手段19を働かせて、ダンパー
18・・・を上位のものから下位のものへと順次に切換
え開放させる。
この開放に伴い、エアジェツト吹出口12・・・313
・・・から清浄空気のエアジェツトが順次に噴出するが
、このエアジェツトは、上から下へ、つまり、吸込口2
0へと次第に移動する。
・・・から清浄空気のエアジェツトが順次に噴出するが
、このエアジェツトは、上から下へ、つまり、吸込口2
0へと次第に移動する。
その一方、室内の塵埃に汚れた空気は、ファン22の働
きにより、床の吸込口20からリターン空間21に吸入
され、次いで、フィルター23を通って塵埃が除去され
、送風路17に入り、ダンパー18・・・を経て、天井
チャンバー15及びエアチャンバー16・・・へともた
らされる。
きにより、床の吸込口20からリターン空間21に吸入
され、次いで、フィルター23を通って塵埃が除去され
、送風路17に入り、ダンパー18・・・を経て、天井
チャンバー15及びエアチャンバー16・・・へともた
らされる。
第2図は、個別ファン方式の実施例を示しており、この
場合は、前例のものにおいて、ダンパー18・・・をそ
れぞれ小型ファン24・・・に代え、また、1つのエア
フィルター23を排して天井チャンバー15に1つのエ
アフィルター14を、各エアチャンバー16・・・に小
型エアフィルター25をそれぞれ装備させている。
場合は、前例のものにおいて、ダンパー18・・・をそ
れぞれ小型ファン24・・・に代え、また、1つのエア
フィルター23を排して天井チャンバー15に1つのエ
アフィルター14を、各エアチャンバー16・・・に小
型エアフィルター25をそれぞれ装備させている。
この場合も、前例のものと実質的に同じである。
「発明の効果」
本発明によれば、清浄空気のエアジェツトを吸込口に遠
い側から近い側へと次第に移動させることができ、した
がって、入室者の身体に付着する塵埃をたたき落しかつ
抑え込んで排除でき、従来のように、塵埃を室内で掻き
回すようなことがなく、−微塵たりとも残すことなく排
除することが可能となる。
い側から近い側へと次第に移動させることができ、した
がって、入室者の身体に付着する塵埃をたたき落しかつ
抑え込んで排除でき、従来のように、塵埃を室内で掻き
回すようなことがなく、−微塵たりとも残すことなく排
除することが可能となる。
また、エアジェツトを切換えて部位別に噴出させるので
、ファンの容量が小さくてよく、コストダウンでき、メ
カニカルスペースを縮少できる。
、ファンの容量が小さくてよく、コストダウンでき、メ
カニカルスペースを縮少できる。
第1図、第2図は、それぞれ本発明の実施例を示す截断
したtX成要領側面図、第3図は、従来例を示す截置し
た構成要領側面図である。 11・・・エアシャワー室 12.13・・・エアジェツト吹出口 14・・・天井フィルター 15・・・天井チャンバ
ー16・・・エアチャンバー 17・・・送風路1日
・・・ダンパー 19・・・制御手段20・・
・吸込口 21・・・リターン空間22・・
・ファン 23・・・フィルター24・・・
小型ファン 25・・・小型エアフィルター ト・・エアシャワー室 2.3・・・エアジェツト吹出口 4・・・フィルター 5・・・送風路6・・・吸込
口 7・・・リターン空間8・・・ファン 出願人 株式会社 竹 中 工 務 店第1図 第2図
したtX成要領側面図、第3図は、従来例を示す截置し
た構成要領側面図である。 11・・・エアシャワー室 12.13・・・エアジェツト吹出口 14・・・天井フィルター 15・・・天井チャンバ
ー16・・・エアチャンバー 17・・・送風路1日
・・・ダンパー 19・・・制御手段20・・
・吸込口 21・・・リターン空間22・・
・ファン 23・・・フィルター24・・・
小型ファン 25・・・小型エアフィルター ト・・エアシャワー室 2.3・・・エアジェツト吹出口 4・・・フィルター 5・・・送風路6・・・吸込
口 7・・・リターン空間8・・・ファン 出願人 株式会社 竹 中 工 務 店第1図 第2図
Claims (2)
- (1)室内にて、複数のエアジェット吹出口を配列する
と共に、これらのエアジェット吹出口に吹出し切換え手
段を講じ、適所に吸込口を設けたことを特徴とする部位
別ブロー型エアシャワー。 - (2)室内に適宜に配列した複数のエアジェット吹出口
を、吸込口に遠い側から近い側へと順次に切換え作動さ
せることを特徴とする部位別ブロー型エアシャワーの制
御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3924288A JPH01212849A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 部位別ブロー型エアシャワーとその製制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3924288A JPH01212849A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 部位別ブロー型エアシャワーとその製制方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01212849A true JPH01212849A (ja) | 1989-08-25 |
Family
ID=12547661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3924288A Pending JPH01212849A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 部位別ブロー型エアシャワーとその製制方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01212849A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599464A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-20 | Nec Corp | エアシヤワー装置 |
US5692954A (en) * | 1994-05-09 | 1997-12-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Air-shower system for a clean room |
JP2008281328A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-11-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | エアシャワー装置 |
WO2013051530A1 (ja) * | 2011-10-06 | 2013-04-11 | 株式会社日立製作所 | 付着物検査装置及び検査方法 |
JP2014025617A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
JP2020176767A (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
JP6974644B1 (ja) * | 2021-05-06 | 2021-12-01 | 功憲 末次 | エアシャワー装置 |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP3924288A patent/JPH01212849A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599464A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-20 | Nec Corp | エアシヤワー装置 |
US5692954A (en) * | 1994-05-09 | 1997-12-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Air-shower system for a clean room |
JP2008281328A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-11-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | エアシャワー装置 |
WO2013051530A1 (ja) * | 2011-10-06 | 2013-04-11 | 株式会社日立製作所 | 付着物検査装置及び検査方法 |
JP2013083472A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Hitachi Ltd | 付着物検査装置及び検査方法 |
US9696288B2 (en) | 2011-10-06 | 2017-07-04 | Hitachi, Ltd. | Attached matter testing device and testing method |
JP2014025617A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
JP2020176767A (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
JP6974644B1 (ja) * | 2021-05-06 | 2021-12-01 | 功憲 末次 | エアシャワー装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5264015A (en) | Screen having an air cleaning function | |
JPH01212849A (ja) | 部位別ブロー型エアシャワーとその製制方法 | |
JP3208642B2 (ja) | 吸引装置及びその装置を備えた空気清浄機 | |
JPH11344243A (ja) | エアーシャワー装置 | |
JP3483470B2 (ja) | エアーシャワー装置 | |
JPS62147249A (ja) | クリ−ンル−ム | |
JP3308098B2 (ja) | エアシャワー装置 | |
JP3144961B2 (ja) | 空気清浄システム及び空気清浄装置 | |
JPS62280530A (ja) | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム | |
JPS6311536Y2 (ja) | ||
JP2000189915A (ja) | エアシャワ装置 | |
JPH0311649Y2 (ja) | ||
JPH0240417Y2 (ja) | ||
JPH0429316Y2 (ja) | ||
JP2004069204A (ja) | エアーシャワー装置 | |
JP2567917B2 (ja) | 物品用エアシャワー | |
JPH058417Y2 (ja) | ||
JPH0615074B2 (ja) | エアシャワー装置 | |
JPS62182541A (ja) | クリ−ンル−ム | |
JPH02116794A (ja) | 開口部の遮蔽装置 | |
JPH0240418Y2 (ja) | ||
JPH0233549A (ja) | 渦流型エアシャワー | |
JPH01208637A (ja) | 全方位ブロー型エアシャワー | |
JPH0724817B2 (ja) | エア−シヤワ−装置 | |
JPH112447A (ja) | エアシャワー装置 |