JPH11344243A - エアーシャワー装置 - Google Patents
エアーシャワー装置Info
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- JPH11344243A JPH11344243A JP10154999A JP15499998A JPH11344243A JP H11344243 A JPH11344243 A JP H11344243A JP 10154999 A JP10154999 A JP 10154999A JP 15499998 A JP15499998 A JP 15499998A JP H11344243 A JPH11344243 A JP H11344243A
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- Japan
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- air shower
- dust
- chamber
- shower device
- Prior art date
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Abstract
(57)【要約】
【課題】 塵挨除去効率の向上、塵挨の再付着防止、及
び塵挨の混入したエアーのクリーンルーム内への漏れ防
止等を図ることができるエアーシャワー装置を提供する
することを課題とする。 【解決手段】 エアーシャワー室Ｓ内の入室者８に向け
てクリーンエアーを吹き出すように配置する複数のエア
ー吹き出し口３を、入室者の周囲を囲む形態で環状に配
置すると共に、各エアー吹き出し口から吹き出すエアー
が入室者の頭部から足下にかけて当たるように、それら
各エアー吹き出し口を上下に移動させるための上下動手
段４を設けた構成とした。
び塵挨の混入したエアーのクリーンルーム内への漏れ防
止等を図ることができるエアーシャワー装置を提供する
することを課題とする。 【解決手段】 エアーシャワー室Ｓ内の入室者８に向け
てクリーンエアーを吹き出すように配置する複数のエア
ー吹き出し口３を、入室者の周囲を囲む形態で環状に配
置すると共に、各エアー吹き出し口から吹き出すエアー
が入室者の頭部から足下にかけて当たるように、それら
各エアー吹き出し口を上下に移動させるための上下動手
段４を設けた構成とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場等
におけるクリーンルームへの入口部分などに設備される
エアーシャワー装置の技術に関する。
におけるクリーンルームへの入口部分などに設備される
エアーシャワー装置の技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体、電子部品等を生産するクリーン
ルームの必要なクリーン度雰囲気を保つために、そのク
リーンルームへの入口部分には、従来からエアーシャワ
ー装置が設備されている。
ルームの必要なクリーン度雰囲気を保つために、そのク
リーンルームへの入口部分には、従来からエアーシャワ
ー装置が設備されている。
【０００３】図１６（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、従来
の一般的なエアーシャワー装置の構造例を示す正面図、
側面図及び上面図である。これらの図において、１ａは
プレフィルター、２はターボファン、３はＨＥＰＡフィ
ルター等からなる高性能集塵フィルター、４はエアー吹
き出し口、５ａ、５ｂは入室用のドアをそれぞれ示して
いる。
の一般的なエアーシャワー装置の構造例を示す正面図、
側面図及び上面図である。これらの図において、１ａは
プレフィルター、２はターボファン、３はＨＥＰＡフィ
ルター等からなる高性能集塵フィルター、４はエアー吹
き出し口、５ａ、５ｂは入室用のドアをそれぞれ示して
いる。
【０００４】全ての人はクリーンルームに入室の際、衣
服等に付着した塵挨を落とすためにエアーシャワー室Ｓ
に入室する。入室すると、ターボファン２ａが作動し、
クリーンエアーがエアー吹き出し口４ａから吹き出され
る。クリーンエアーの流れは、まずプレフィルタ１ａを
通過し、ターボファン２ａによってエアーが加圧され、
高性能集塵フィルタ３ａを経由して、エアー吹き出し口
４ａから高速のクリーンエアーが吹き出てくる。そし
て、吹き出したクリーンエアーは人体の衣服等に付着し
た塵挨を除去し、再びプレフィルタ１ａに吸い込まれて
循環する。
服等に付着した塵挨を落とすためにエアーシャワー室Ｓ
に入室する。入室すると、ターボファン２ａが作動し、
クリーンエアーがエアー吹き出し口４ａから吹き出され
る。クリーンエアーの流れは、まずプレフィルタ１ａを
通過し、ターボファン２ａによってエアーが加圧され、
高性能集塵フィルタ３ａを経由して、エアー吹き出し口
４ａから高速のクリーンエアーが吹き出てくる。そし
て、吹き出したクリーンエアーは人体の衣服等に付着し
た塵挨を除去し、再びプレフィルタ１ａに吸い込まれて
循環する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来のエアーシャワー装置では、その構造上、以下に
述べるような問題がある。
た従来のエアーシャワー装置では、その構造上、以下に
述べるような問題がある。
【０００６】第１に、クリーンエアーが人体に満遍無く
当たらず塵挨除去効率が悪いという問題である。その理
由は、図示のように、エアー吹き出し口４ａが固定式で
あり、一定方向にしかクリーンエアーを吹き出すことが
できないからである。そのため、人が意識的に動くこと
によってクリーンエアーが人体に満遍無く当たるように
工夫しなければならなかった。
当たらず塵挨除去効率が悪いという問題である。その理
由は、図示のように、エアー吹き出し口４ａが固定式で
あり、一定方向にしかクリーンエアーを吹き出すことが
できないからである。そのため、人が意識的に動くこと
によってクリーンエアーが人体に満遍無く当たるように
工夫しなければならなかった。
【０００７】第２に、エアー吹き出し口４ａから吹き出
されたクリーンエアー及び除去した塵挨を含むエアーが
エアーシャワー室Ｓ内で対流し、衣服等に再付着してし
まう問題である。その理由は、左右の多数のエアー吹き
出し口４ａから吹き出すエアーは人体に向かって一定方
向にのみ吹き出すために、エアーどうしの衝突が起こ
り、上下方向に加えて特に左右方向の対流現象が発生し
やすくなるからである。
されたクリーンエアー及び除去した塵挨を含むエアーが
エアーシャワー室Ｓ内で対流し、衣服等に再付着してし
まう問題である。その理由は、左右の多数のエアー吹き
出し口４ａから吹き出すエアーは人体に向かって一定方
向にのみ吹き出すために、エアーどうしの衝突が起こ
り、上下方向に加えて特に左右方向の対流現象が発生し
やすくなるからである。
【０００８】第３に、ドア５ｂ等の隙間からクリーンル
ーム側に、塵挨の混入した汚染されたエアーが漏れ出て
しまう恐れがあることである。その理由は、エアー吹き
出し口４ａから高速のエアーが吹き出している状態で
は、エアーシャワー室Ｓ内がクリーンルーム内の雰囲気
に対して陽圧となっているためである。
ーム側に、塵挨の混入した汚染されたエアーが漏れ出て
しまう恐れがあることである。その理由は、エアー吹き
出し口４ａから高速のエアーが吹き出している状態で
は、エアーシャワー室Ｓ内がクリーンルーム内の雰囲気
に対して陽圧となっているためである。
【０００９】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、塵挨除去効率の向上、塵挨の再付着防止、
及び塵挨の混入したエアーのクリーンルーム内への漏れ
防止等を図ることができるエアーシャワー装置を提供す
ることを課題とする。
れたもので、塵挨除去効率の向上、塵挨の再付着防止、
及び塵挨の混入したエアーのクリーンルーム内への漏れ
防止等を図ることができるエアーシャワー装置を提供す
ることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明では、エアーシャワー室内の入室者に向けて
クリーンエアーを吹き出すように配置する複数のエアー
吹き出し口を、入室者の周囲を囲む形態で環状に配置す
ると共に、各エアー吹き出し口から吹き出すエアーが入
室者の頭部から足下にかけて当たるように、それら各エ
アー吹き出し口を上下に移動させるための上下動手段を
設けた構成とした。これにより、入室者に対してクリー
ンエアーを満遍無く当てて、塵挨除去効率を良くするこ
とができる。しかも、入室者の周囲を囲むように複数の
エアー吹き出し口があって上下に移動するので、入室者
が意識的に動く必要もなくなる。
に、本発明では、エアーシャワー室内の入室者に向けて
クリーンエアーを吹き出すように配置する複数のエアー
吹き出し口を、入室者の周囲を囲む形態で環状に配置す
ると共に、各エアー吹き出し口から吹き出すエアーが入
室者の頭部から足下にかけて当たるように、それら各エ
アー吹き出し口を上下に移動させるための上下動手段を
設けた構成とした。これにより、入室者に対してクリー
ンエアーを満遍無く当てて、塵挨除去効率を良くするこ
とができる。しかも、入室者の周囲を囲むように複数の
エアー吹き出し口があって上下に移動するので、入室者
が意識的に動く必要もなくなる。
【００１１】また、本発明では、エアー吹き出し口は、
入室者の周囲を囲む大きさのリング部材に対してそのリ
ング部材の周方向に間隔をおいて配置され、リング部材
は、内部にクリーンエアーの流路を有し、その流路に各
エアー吹き出し口が連通し、リング部材が上下に移動す
る構成とすることもできる。こうすることで、各エアー
吹き出し口を同時に上下移動させることができる上に、
構造の簡易化も併せて図ることができる。
入室者の周囲を囲む大きさのリング部材に対してそのリ
ング部材の周方向に間隔をおいて配置され、リング部材
は、内部にクリーンエアーの流路を有し、その流路に各
エアー吹き出し口が連通し、リング部材が上下に移動す
る構成とすることもできる。こうすることで、各エアー
吹き出し口を同時に上下移動させることができる上に、
構造の簡易化も併せて図ることができる。
【００１２】また、本発明では、各エアー吹き出し口を
斜め下方に向けた構成とすることもできる。斜め下方に
向けることで、クリーンエアーの流れを積極的に上から
下に向かせることができるからである。この流れによ
り、空気の左右方向の対流を少なくし、入室者に対する
塵挨の再付着を効果的に防止することができる。
斜め下方に向けた構成とすることもできる。斜め下方に
向けることで、クリーンエアーの流れを積極的に上から
下に向かせることができるからである。この流れによ
り、空気の左右方向の対流を少なくし、入室者に対する
塵挨の再付着を効果的に防止することができる。
【００１３】また、本発明では、エアーシャワー室の天
井側に、下方に向けてクリーンエアーを吹き出すための
ダウンフローユニットを各エアー吹き出し口とは別途に
配置するのも大変好ましい。なぜなら、空気の上下方向
の流れをさらに積極的に行わせることができるからであ
る。
井側に、下方に向けてクリーンエアーを吹き出すための
ダウンフローユニットを各エアー吹き出し口とは別途に
配置するのも大変好ましい。なぜなら、空気の上下方向
の流れをさらに積極的に行わせることができるからであ
る。
【００１４】また、本発明では、エアーシャワー室の床
下に排気バッファ室を設けると共に、その排気バッファ
室をエアーシャワー室に対して負圧にする排気ユニット
を設け、エアーシャワー室から排気バッファ室への空気
流路の途中にプレフィルタを配置した構成とするのも大
変好適である。これにより、エアーシャワー室の空気の
流れを下方へ強制的に導くことができる他、エアーシャ
ワー室内の塵挨を含む空気が隣接するクリーンルーム等
へ漏れ出るのも防止される。
下に排気バッファ室を設けると共に、その排気バッファ
室をエアーシャワー室に対して負圧にする排気ユニット
を設け、エアーシャワー室から排気バッファ室への空気
流路の途中にプレフィルタを配置した構成とするのも大
変好適である。これにより、エアーシャワー室の空気の
流れを下方へ強制的に導くことができる他、エアーシャ
ワー室内の塵挨を含む空気が隣接するクリーンルーム等
へ漏れ出るのも防止される。
【００１５】また、本発明では、リング部材をその周方
向に高速回転させるための回転駆動装置を設けた構成と
することもできる。このように構成することで、リング
部材のエアー吹き出し口から吹き出されるエアーが回転
してサイクロンとなり、塵挨除去効果が更に向上する。
向に高速回転させるための回転駆動装置を設けた構成と
することもできる。このように構成することで、リング
部材のエアー吹き出し口から吹き出されるエアーが回転
してサイクロンとなり、塵挨除去効果が更に向上する。
【００１６】また、本発明では、複数のエアー吹き出し
口を、下面開口のドーム部材の内面側に配置し、そのド
ーム部材を上下移動可能に構成することもできる。その
場合、ドーム部材は、入室者全体を上から覆う大きさに
するのが大変好適である。なぜなら、ドーム部材内から
吹き出されるエアーを全て排気バッファ室へと導くこと
が可能になるため、エアーシャワー室の外部へ汚染され
たエアーが流れないようにすることができるからであ
る。
口を、下面開口のドーム部材の内面側に配置し、そのド
ーム部材を上下移動可能に構成することもできる。その
場合、ドーム部材は、入室者全体を上から覆う大きさに
するのが大変好適である。なぜなら、ドーム部材内から
吹き出されるエアーを全て排気バッファ室へと導くこと
が可能になるため、エアーシャワー室の外部へ汚染され
たエアーが流れないようにすることができるからであ
る。
【００１７】また、本発明では、プレフィルタを、エア
ーシャワー室の床のドーム部材の直下に配置し、かつ、
プレフィルタの平面形状をドーム部材の降下時にドーム
部材の下面開口で覆われる大きさに設定してある構成と
することもできる。そうすれば、ドーム部材内のエアー
を排気バッファ室へと導く作用をより確実に行わせるこ
とができる。
ーシャワー室の床のドーム部材の直下に配置し、かつ、
プレフィルタの平面形状をドーム部材の降下時にドーム
部材の下面開口で覆われる大きさに設定してある構成と
することもできる。そうすれば、ドーム部材内のエアー
を排気バッファ室へと導く作用をより確実に行わせるこ
とができる。
【００１８】さらに、本発明では、エアーシャワー室内
の入室者に向けて塵挨除去用のクリーンエアーを吹き出
し、除去した塵挨を含むエアーをエアーシャワー室下部
のプレフィルターを経由して外部に排気するエアーシャ
ワー装置であって、エアーシャワー室を陽圧室と陰圧室
とに分けて上下に配置し、下方の陰圧室に、入室者を上
方の陽圧室に向けて移動させる鉛直昇降手段を配置し、
陽圧室の床近くに、鉛直昇降手段による陽圧室への入室
者に対してその周囲からクリーンエアーを吹き付けるた
めの複数のエアー吹き出し口を配置し、さらに陽圧室の
上部に、クリーンエアーを下方に向けて吹き出すエアー
吹き出し口を配置した。
の入室者に向けて塵挨除去用のクリーンエアーを吹き出
し、除去した塵挨を含むエアーをエアーシャワー室下部
のプレフィルターを経由して外部に排気するエアーシャ
ワー装置であって、エアーシャワー室を陽圧室と陰圧室
とに分けて上下に配置し、下方の陰圧室に、入室者を上
方の陽圧室に向けて移動させる鉛直昇降手段を配置し、
陽圧室の床近くに、鉛直昇降手段による陽圧室への入室
者に対してその周囲からクリーンエアーを吹き付けるた
めの複数のエアー吹き出し口を配置し、さらに陽圧室の
上部に、クリーンエアーを下方に向けて吹き出すエアー
吹き出し口を配置した。
【００１９】このように、エアーシャワー室を陽圧室と
陰圧室とに分け、それらの中間に配置した吹出口からク
リーンエアーを移動中の入室者に吹き付け、天井からは
常時ダウンフロー、下部から常時排気とすることによ
り、気流の乱れを小さくし、これにより塵挨の再付着防
止を効果的に図ることができる。また、このように二段
構造の縦長としたことにより、建坪率に有利な小面積の
エアーシャワー装置を構成することが可能になる。
陰圧室とに分け、それらの中間に配置した吹出口からク
リーンエアーを移動中の入室者に吹き付け、天井からは
常時ダウンフロー、下部から常時排気とすることによ
り、気流の乱れを小さくし、これにより塵挨の再付着防
止を効果的に図ることができる。また、このように二段
構造の縦長としたことにより、建坪率に有利な小面積の
エアーシャワー装置を構成することが可能になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００２１】（第１の実施形態）図１は本発明の第１の
実施形態に係るエアーシャワー装置の断面図であり、図
２はその上面図、図３はリング部材の拡大図、図４は図
３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
実施形態に係るエアーシャワー装置の断面図であり、図
２はその上面図、図３はリング部材の拡大図、図４は図
３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００２２】これらの図において、１はエアーシャワー
ユニット本体であり、その内部にエアーシャワー室Ｓが
形成されている。エアーシャワー室Ｓの天井側には、ク
リーンエアーの吹出口３を多数設けた可動式のリング部
材２が水平状態に配置されている。
ユニット本体であり、その内部にエアーシャワー室Ｓが
形成されている。エアーシャワー室Ｓの天井側には、ク
リーンエアーの吹出口３を多数設けた可動式のリング部
材２が水平状態に配置されている。
【００２３】このリング部材２は、図３及び図４に示す
ように、全体が円形のリング状で内部にクリーンエアー
の流路２Ａを有する。そして、この流路２Ａに対して各
エアー吹き出し口３が連通している。各エアー吹き出し
口３は、リング部材２の内周側に水平方向に向いて開口
しており、かつ、リング部材２の周方向に間隔をおいて
配置されている。
ように、全体が円形のリング状で内部にクリーンエアー
の流路２Ａを有する。そして、この流路２Ａに対して各
エアー吹き出し口３が連通している。各エアー吹き出し
口３は、リング部材２の内周側に水平方向に向いて開口
しており、かつ、リング部材２の周方向に間隔をおいて
配置されている。
【００２４】さらに、リング部材２は、上下駆動軸４に
支持されていて、エアーシャワー室Ｓ内を上下に移動可
能に構成されている。上下駆動軸４の内部にはエアー供
給路９があり、このエアー供給路９は、上下駆動軸４と
リング部材２との連結部９Ａを介して流路２Ａに連通し
ている。
支持されていて、エアーシャワー室Ｓ内を上下に移動可
能に構成されている。上下駆動軸４の内部にはエアー供
給路９があり、このエアー供給路９は、上下駆動軸４と
リング部材２との連結部９Ａを介して流路２Ａに連通し
ている。
【００２５】リング部材２の内径は、図２に示すように
入室者（人体）８の周囲を囲むことができる大きさであ
る。したがって、全てのエアー吹き出し口３から吹き出
されるエアーは入室者８に向かって流れる。
入室者（人体）８の周囲を囲むことができる大きさであ
る。したがって、全てのエアー吹き出し口３から吹き出
されるエアーは入室者８に向かって流れる。
【００２６】エアーシャワー室Ｓの下部には、プレフィ
ルタ５が配置され、その下に排気バッファ室６が設けら
れている。プレフィルタ５は、特に明示しないが、入室
者が立つことが可能な例えばグレーチングなどの床面を
兼ねる補強材により保護された状態で組み込まれてい
る。
ルタ５が配置され、その下に排気バッファ室６が設けら
れている。プレフィルタ５は、特に明示しないが、入室
者が立つことが可能な例えばグレーチングなどの床面を
兼ねる補強材により保護された状態で組み込まれてい
る。
【００２７】排気バッファ室６には、排気ユニット７が
接続され、排気バッファ室６を負圧に保持できるように
している。これにより、エアーシャワー室Ｓ内の空気
は、プレフィルタ５に吸い込まれ、排気バッファ室６を
経由して外部に排出される。
接続され、排気バッファ室６を負圧に保持できるように
している。これにより、エアーシャワー室Ｓ内の空気
は、プレフィルタ５に吸い込まれ、排気バッファ室６を
経由して外部に排出される。
【００２８】この実施形態によれば、エアーシャワー室
Ｓ内に人が入室し、所定の位置に直立すると、上下駆動
軸４によりリング部材２が下方に降りてくる。同時にエ
アー吹き出し口３からクリーンエアーが高速で吹き出さ
れる。リング部材２は足下近くまで順次降りてくる。こ
れにより、人体８の外周を３６０度、頭から脚まで吹き
付けて塵挨を除去する。除去した塵挨を含む汚染された
エアーは、塵挨を補足するためのプレフィルタ５を通過
し、排気バッファ室６へと流れ、排気ユニット７により
外部に排出される。
Ｓ内に人が入室し、所定の位置に直立すると、上下駆動
軸４によりリング部材２が下方に降りてくる。同時にエ
アー吹き出し口３からクリーンエアーが高速で吹き出さ
れる。リング部材２は足下近くまで順次降りてくる。こ
れにより、人体８の外周を３６０度、頭から脚まで吹き
付けて塵挨を除去する。除去した塵挨を含む汚染された
エアーは、塵挨を補足するためのプレフィルタ５を通過
し、排気バッファ室６へと流れ、排気ユニット７により
外部に排出される。
【００２９】このように、入室者８に対してクリーンエ
アーを満遍無く当てて、塵挨除去効率を極めて良好にす
ることができる。しかも、入室者８の周囲を囲むように
複数のエアー吹き出し口３があって上下に移動するの
で、入室者が意識的に動く必要もなくなる。また、入室
者８の周囲を囲む大きさのリング部材２に対してエアー
吹き出し口３を設け、内部の流路２Ａに連通させている
ので、各エアー吹き出し口３を同時に上下移動させるこ
とができる上に、各エアー吹き出し口３と流路２Ａとを
独立して設けなくて良いので、構造の簡易化も併せて図
ることができる。
アーを満遍無く当てて、塵挨除去効率を極めて良好にす
ることができる。しかも、入室者８の周囲を囲むように
複数のエアー吹き出し口３があって上下に移動するの
で、入室者が意識的に動く必要もなくなる。また、入室
者８の周囲を囲む大きさのリング部材２に対してエアー
吹き出し口３を設け、内部の流路２Ａに連通させている
ので、各エアー吹き出し口３を同時に上下移動させるこ
とができる上に、各エアー吹き出し口３と流路２Ａとを
独立して設けなくて良いので、構造の簡易化も併せて図
ることができる。
【００３０】さらに、排気バッファ室６と排気ユニット
７により、エアーシャワー室Ｓ内の空気の流れを下方へ
強制的に導くことができる。これにより、エアーシャワ
ー室Ｓ内を陰圧にし、エアーシャワー室Ｓ内の塵挨を含
む空気が、ドアｄ等の隙間から隣接するクリーンルーム
等へ漏れ出るのを防止できる。
７により、エアーシャワー室Ｓ内の空気の流れを下方へ
強制的に導くことができる。これにより、エアーシャワ
ー室Ｓ内を陰圧にし、エアーシャワー室Ｓ内の塵挨を含
む空気が、ドアｄ等の隙間から隣接するクリーンルーム
等へ漏れ出るのを防止できる。
【００３１】（第２の実施形態）図５〜図８は、本発明
の第２の実施形態を示す。図５はエアーシャワー装置の
断面図であり、図６はその上面図、図７はリング部材の
拡大図、図８は図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
の第２の実施形態を示す。図５はエアーシャワー装置の
断面図であり、図６はその上面図、図７はリング部材の
拡大図、図８は図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【００３２】この実施形態に係るエアーシャワー装置に
おいても、エアーシャワーユニット本体１０の内部にエ
アーシャワー室Ｓが形成され、その天井側にはクリーン
エアーの流路１１Ａ、エアー吹き出し口１２を有するリ
ング部材１１が配置されている。リング部材１１は、上
下駆動軸１３に支持されていて、エアーシャワー室Ｓ内
を上下に移動可能であり、その内部にはエアー供給路１
８があり、流路１１Ａに連通している。リング部材１１
の内径は、入室者（人体）１７の周囲を囲むことができ
る大きさである。
おいても、エアーシャワーユニット本体１０の内部にエ
アーシャワー室Ｓが形成され、その天井側にはクリーン
エアーの流路１１Ａ、エアー吹き出し口１２を有するリ
ング部材１１が配置されている。リング部材１１は、上
下駆動軸１３に支持されていて、エアーシャワー室Ｓ内
を上下に移動可能であり、その内部にはエアー供給路１
８があり、流路１１Ａに連通している。リング部材１１
の内径は、入室者（人体）１７の周囲を囲むことができ
る大きさである。
【００３３】エアーシャワー室Ｓの下部には、プレフィ
ルタ１４が配置され、その下に排気バッファ室１５が設
けられている。排気バッファ室１５には、排気ユニット
１６が接続され、排気バッファ室１５を負圧に保持でき
るようにしている。
ルタ１４が配置され、その下に排気バッファ室１５が設
けられている。排気バッファ室１５には、排気ユニット
１６が接続され、排気バッファ室１５を負圧に保持でき
るようにしている。
【００３４】この第２の実施形態では、エアー吹き出し
口１２を、リング部材１１の内周側に間隔をおいて複数
設けている点については第１の実施形態と同様である
が、そのエアー吹き出し口１２の向きが斜め下方に向い
ている点に大きな特徴がある。さらに、エアーシャワー
室Ｓの天井部分に、クリーンエアーを下方へ吹き出すエ
アーダウンフローユニット１９を設けている点にも特徴
がある。このエアーダウンフローユニット１９は、リン
グ部材１１よりも上方へ設けている。
口１２を、リング部材１１の内周側に間隔をおいて複数
設けている点については第１の実施形態と同様である
が、そのエアー吹き出し口１２の向きが斜め下方に向い
ている点に大きな特徴がある。さらに、エアーシャワー
室Ｓの天井部分に、クリーンエアーを下方へ吹き出すエ
アーダウンフローユニット１９を設けている点にも特徴
がある。このエアーダウンフローユニット１９は、リン
グ部材１１よりも上方へ設けている。
【００３５】エアー吹き出し口１２を、このように、斜
め下方に向けたことで、クリーンエアーの流れを積極的
に上から下に向かせて流すことができる。この流れによ
り、空気の左右方向の対流を少なくし、入室者１７に対
する塵挨の再付着を効果的に防止することができる。
め下方に向けたことで、クリーンエアーの流れを積極的
に上から下に向かせて流すことができる。この流れによ
り、空気の左右方向の対流を少なくし、入室者１７に対
する塵挨の再付着を効果的に防止することができる。
【００３６】また、エアーシャワー室Ｓの天井側に、下
方に向けてクリーンエアーを吹き出すためのダウンフロ
ーユニット１９を別途に配置したことで、空気の上下方
向の流れをさらに積極的に行わせつつ、気流の乱れを少
なくすることができる。
方に向けてクリーンエアーを吹き出すためのダウンフロ
ーユニット１９を別途に配置したことで、空気の上下方
向の流れをさらに積極的に行わせつつ、気流の乱れを少
なくすることができる。
【００３７】（第３の実施形態）図９及び図１０は、本
発明の第３の実施形態を示す。図９はエアーシャワー装
置の断面図であり、図１０はその上面図である。
発明の第３の実施形態を示す。図９はエアーシャワー装
置の断面図であり、図１０はその上面図である。
【００３８】この実施形態に係るエアーシャワー装置に
おいても、エアーシャワーユニット本体２０の内部にエ
アーシャワー室Ｓが形成され、その天井側には多数のエ
アー吹き出し口２２を有するリング部材２１が配置され
ている。リング部材２１は、その内部に各エアー吹き出
し口２２に連通する流路２１Ａを有する。リング部材２
１は、回転軸２３に支持されていて、図示しない回転駆
動装置によってエアーシャワー室Ｓ内で高速回転可能に
構成されている。
おいても、エアーシャワーユニット本体２０の内部にエ
アーシャワー室Ｓが形成され、その天井側には多数のエ
アー吹き出し口２２を有するリング部材２１が配置され
ている。リング部材２１は、その内部に各エアー吹き出
し口２２に連通する流路２１Ａを有する。リング部材２
１は、回転軸２３に支持されていて、図示しない回転駆
動装置によってエアーシャワー室Ｓ内で高速回転可能に
構成されている。
【００３９】回転軸２３の内部にはエアー供給路２５が
あり、流路２１Ａに連通している。リング部材２１の内
径は、入室者（人体）３０の周囲を囲むことができる大
きさである。エアーシャワー室Ｓの下部には、プレフィ
ルタ２７が配置され、その下に排気バッファ室２８が設
けられている。排気バッファ室２８には、排気ユニット
２９が接続され、排気バッファ室２８を負圧に保持す
る。
あり、流路２１Ａに連通している。リング部材２１の内
径は、入室者（人体）３０の周囲を囲むことができる大
きさである。エアーシャワー室Ｓの下部には、プレフィ
ルタ２７が配置され、その下に排気バッファ室２８が設
けられている。排気バッファ室２８には、排気ユニット
２９が接続され、排気バッファ室２８を負圧に保持す
る。
【００４０】この第３の実施形態の大きな特徴点は、リ
ング部材２１が上下動する代わりに回転方向２４に高速
回転することである。これにより、リング部材２１の各
エアー吹き出し口２３から吹き出されるエアーは、いわ
ゆる渦巻き状のサイクロンとなる。回転スピードとして
は、例えば５００〜５０００ｒｐｍ／ｓｅｃ程度に設定
される。
ング部材２１が上下動する代わりに回転方向２４に高速
回転することである。これにより、リング部材２１の各
エアー吹き出し口２３から吹き出されるエアーは、いわ
ゆる渦巻き状のサイクロンとなる。回転スピードとして
は、例えば５００〜５０００ｒｐｍ／ｓｅｃ程度に設定
される。
【００４１】高速回転によりサイクロンエネルギーを持
ったエアーは、人体３０の頭から足までを取り巻くよう
に吹き付ける。これと同時に、人体の衣服等から塵挨を
除去した汚染されたエアーは塵挨をトラップするための
プレフィルター２７を通過し、排気バッファ室２８へと
流れ、排気ユニット２９により外部へ排出される。
ったエアーは、人体３０の頭から足までを取り巻くよう
に吹き付ける。これと同時に、人体の衣服等から塵挨を
除去した汚染されたエアーは塵挨をトラップするための
プレフィルター２７を通過し、排気バッファ室２８へと
流れ、排気ユニット２９により外部へ排出される。
【００４２】この実施の形態によれば、リング部材２１
を回転させ、エアーにサイクロンエネルギーを持たせる
ことにより、エアーは人体を取り巻くように満遍なく当
たるため、衣服等に付着した塵挨を効率よく除去できる
効果が得られる。ここで、リング部材２１としては、回
転に加えて上下動する構成としても良い。
を回転させ、エアーにサイクロンエネルギーを持たせる
ことにより、エアーは人体を取り巻くように満遍なく当
たるため、衣服等に付着した塵挨を効率よく除去できる
効果が得られる。ここで、リング部材２１としては、回
転に加えて上下動する構成としても良い。
【００４３】（第４の実施形態）図１１及び図１２は、
本発明の第４の実施形態を示す。図１１はエアーシャワ
ー装置の断面図であり、図１２はその上面図である。
本発明の第４の実施形態を示す。図１１はエアーシャワ
ー装置の断面図であり、図１２はその上面図である。
【００４４】この実施形態に係るエアーシャワー装置で
は、エアーシャワーユニット本体４０の内部にエアーシ
ャワー室Ｓが形成され、その天井側には多数のエアー吹
き出し口４２を有するドーム部材４１が配置されてい
る。ドーム部材４１は、その内部に各エアー吹き出し口
４２に連通する流路４１Ａを有する。ドーム部材４１
は、上下移動軸４３に支持されている。上下移動軸４３
は、図示しない駆動装置によってドーム部材４１を上下
に移動させる。
は、エアーシャワーユニット本体４０の内部にエアーシ
ャワー室Ｓが形成され、その天井側には多数のエアー吹
き出し口４２を有するドーム部材４１が配置されてい
る。ドーム部材４１は、その内部に各エアー吹き出し口
４２に連通する流路４１Ａを有する。ドーム部材４１
は、上下移動軸４３に支持されている。上下移動軸４３
は、図示しない駆動装置によってドーム部材４１を上下
に移動させる。
【００４５】上下移動軸４３の内部にはエアー供給路４
４があり、流路４１Ａに連通している。ドーム部材４１
の内径は、入室者（人体）４７の周囲を囲むことができ
る大きさである。また、ドーム部材４１の天井高さは、
入室者４７の身長よりも高くしている。これにより、ド
ーム部材４１を入室者４７にすっぽりと被せることがで
きる。
４があり、流路４１Ａに連通している。ドーム部材４１
の内径は、入室者（人体）４７の周囲を囲むことができ
る大きさである。また、ドーム部材４１の天井高さは、
入室者４７の身長よりも高くしている。これにより、ド
ーム部材４１を入室者４７にすっぽりと被せることがで
きる。
【００４６】エアーシャワー室Ｓの下部には、プレフィ
ルタ４５が配置され、その下に排気バッファ室４８が設
けられている。排気バッファ室４８には、排気ユニット
４６が接続され、排気バッファ室４８を負圧に保持す
る。プレフィルタ４５については、ここでは、ドーム部
材４１を降下させてプレフィルタ４５上に位置させた状
態において、そのドーム部材４１の下面開口部で囲まれ
る範囲内にプレフィルタ４５が収まるように（同径以下
となるように）配慮している。これは、ドーム部材４１
内のエアーがエアーシャワー室Ｓ内に漏れ出ることな
く、直接プレフィルタ４５、排気バッファ室４８を経由
して排気されるようにするためである。
ルタ４５が配置され、その下に排気バッファ室４８が設
けられている。排気バッファ室４８には、排気ユニット
４６が接続され、排気バッファ室４８を負圧に保持す
る。プレフィルタ４５については、ここでは、ドーム部
材４１を降下させてプレフィルタ４５上に位置させた状
態において、そのドーム部材４１の下面開口部で囲まれ
る範囲内にプレフィルタ４５が収まるように（同径以下
となるように）配慮している。これは、ドーム部材４１
内のエアーがエアーシャワー室Ｓ内に漏れ出ることな
く、直接プレフィルタ４５、排気バッファ室４８を経由
して排気されるようにするためである。
【００４７】したがって、この点を充足できれば、プレ
フィルタ４５の平面形状や大きさは左右されない。たと
えばプレフィルタ４５への排気口をグレーチングの形状
等によって形成し、その排気口がドーム部材４１の下面
開口部で囲まれるように設計することも可能である。
フィルタ４５の平面形状や大きさは左右されない。たと
えばプレフィルタ４５への排気口をグレーチングの形状
等によって形成し、その排気口がドーム部材４１の下面
開口部で囲まれるように設計することも可能である。
【００４８】この実施形態によれば、エアーシャワー室
Ｓ内に人が入室し、所定の位置（プレフィルタ４５の領
域のグレーチング上）に直立すると、ドーム部材４１が
上下移動軸４３により下方向へ移動し、人体４７を覆
う。次に、ドーム部材４１のエアー吹き出し口４２から
クリーンエアーが高速で吹き出す。同時に人体４７の衣
服等から除去した塵挨を含む汚染されたエアーは、塵挨
をトラップするためのプレフィルター４５を通過し、排
気バッファ室４８へと流れ、排気ユニット４６により外
部へ排出される。
Ｓ内に人が入室し、所定の位置（プレフィルタ４５の領
域のグレーチング上）に直立すると、ドーム部材４１が
上下移動軸４３により下方向へ移動し、人体４７を覆
う。次に、ドーム部材４１のエアー吹き出し口４２から
クリーンエアーが高速で吹き出す。同時に人体４７の衣
服等から除去した塵挨を含む汚染されたエアーは、塵挨
をトラップするためのプレフィルター４５を通過し、排
気バッファ室４８へと流れ、排気ユニット４６により外
部へ排出される。
【００４９】このとき、排気を行うためのプレフィルタ
４５の部分（床下部分）は、ドーム部材４１の下面開口
部分と同径以下であり、しかも、下面開口部分がプレフ
ィルタ４５上に密着状態で位置する形態となるので、ド
ーム部材４１内のエアーは乱流を生じすることなく円滑
かつ強制的に排出される。これにより汚染されたエアー
が外部に漏れ出ることや塵挨が再付着することを効果的
に防止することができる。
４５の部分（床下部分）は、ドーム部材４１の下面開口
部分と同径以下であり、しかも、下面開口部分がプレフ
ィルタ４５上に密着状態で位置する形態となるので、ド
ーム部材４１内のエアーは乱流を生じすることなく円滑
かつ強制的に排出される。これにより汚染されたエアー
が外部に漏れ出ることや塵挨が再付着することを効果的
に防止することができる。
【００５０】（第５の実施形態）図１３〜図１５は、本
発明の第５の実施形態を示す。図１３はエアーシャワー
装置の断面図であり、図１４は吹き出しユニットの上面
図、図１５はその断面図である。
発明の第５の実施形態を示す。図１３はエアーシャワー
装置の断面図であり、図１４は吹き出しユニットの上面
図、図１５はその断面図である。
【００５１】この実施の形態では、縦長にしたエアーシ
ャワーユニット本体５０内のエアーシャワー室Ｓが、陰
圧室５７と陽圧室５５とに分けられて、上下に配置され
ている。まず、下方の陰圧室５７には、エレベータ（テ
ーブル）５８、そのエレベータ５８を図示しない駆動装
置で上下させるためのエレベータ軸５９を含む鉛直昇降
手段が設けられている。陰圧室５７の床下にはプレフィ
ルタ６０、排気バッファ室６３、排気ユニット６１が配
置されている。
ャワーユニット本体５０内のエアーシャワー室Ｓが、陰
圧室５７と陽圧室５５とに分けられて、上下に配置され
ている。まず、下方の陰圧室５７には、エレベータ（テ
ーブル）５８、そのエレベータ５８を図示しない駆動装
置で上下させるためのエレベータ軸５９を含む鉛直昇降
手段が設けられている。陰圧室５７の床下にはプレフィ
ルタ６０、排気バッファ室６３、排気ユニット６１が配
置されている。
【００５２】エレベータ５８の表面は、通常時は陰圧室
５７の床面とほぼ同一レベルとなるように、床６４に開
けた開口６５内に位置させている。この開口６５は、プ
レフィルタ６０へのエアー排気口としての機能も有す
る。もちろん床６４の必要な部分は排気を考慮したグレ
ーチング等により構成されている。エレベータ軸５９は
プレフィルタ６０を貫通して下方に延びている。
５７の床面とほぼ同一レベルとなるように、床６４に開
けた開口６５内に位置させている。この開口６５は、プ
レフィルタ６０へのエアー排気口としての機能も有す
る。もちろん床６４の必要な部分は排気を考慮したグレ
ーチング等により構成されている。エレベータ軸５９は
プレフィルタ６０を貫通して下方に延びている。
【００５３】一方、陽圧室５５には、その床面近くにク
リーンエアーの吹き出しユニット５２が配置されてい
る。この吹き出しユニット５２は、図１４及び図１５に
示すように、クリーンエアーの流路５２Ａ、及びそれに
連通する多数のエアー吹き出し口５３を有する環状部材
５２Ｂと、ターボファン５４とを備える。各エアー吹き
出し口５３はエレベータ５８上の入室者６２に向かって
エアーを吹き出すようにしている。環状部材５２Ｂは、
人体６２の少なくとも周囲を囲むことができる大きさに
構成される。
リーンエアーの吹き出しユニット５２が配置されてい
る。この吹き出しユニット５２は、図１４及び図１５に
示すように、クリーンエアーの流路５２Ａ、及びそれに
連通する多数のエアー吹き出し口５３を有する環状部材
５２Ｂと、ターボファン５４とを備える。各エアー吹き
出し口５３はエレベータ５８上の入室者６２に向かって
エアーを吹き出すようにしている。環状部材５２Ｂは、
人体６２の少なくとも周囲を囲むことができる大きさに
構成される。
【００５４】５１は陽圧室５５の天井側に配置された高
性能集塵フィルタであり、クリーンエアーをダウンフロ
ーの形態で吹き出す。５６はドアｄを介して配置された
クリーンルームを示している。
性能集塵フィルタであり、クリーンエアーをダウンフロ
ーの形態で吹き出す。５６はドアｄを介して配置された
クリーンルームを示している。
【００５５】この実施形態においては、陰圧室５７内
で、エレベータ５８上に直立すると、エレベータ軸５９
の作動により上方向へ移動する。これと同時にターボフ
ァン５４より送られてくるエアーがエアー吹き出し口５
３から吹き出し、人体６２に吹き付ける。その吹き付け
は、エレベータ上の人体が吹き出しユニット５２部分を
通過する際に、頭から足下まで満遍なく行われる。
で、エレベータ５８上に直立すると、エレベータ軸５９
の作動により上方向へ移動する。これと同時にターボフ
ァン５４より送られてくるエアーがエアー吹き出し口５
３から吹き出し、人体６２に吹き付ける。その吹き付け
は、エレベータ上の人体が吹き出しユニット５２部分を
通過する際に、頭から足下まで満遍なく行われる。
【００５６】一方、陽圧室５５内では、天井に設置され
た高性能集塵フィルタ５１を介してクリーンなエアーが
常時ダウンフローされている。このエアーにより気流は
陰圧室５７へと流れる。さらに、陰圧室５７へ流れ込ん
だエアーはプレフィルタ６０を介し、常時作動している
排気ユニット６１により外部へ排気される。この一連の
動作が終了した時点で、入室者はドアｄを開けてクリー
ンルーム５６へと移動する。
た高性能集塵フィルタ５１を介してクリーンなエアーが
常時ダウンフローされている。このエアーにより気流は
陰圧室５７へと流れる。さらに、陰圧室５７へ流れ込ん
だエアーはプレフィルタ６０を介し、常時作動している
排気ユニット６１により外部へ排気される。この一連の
動作が終了した時点で、入室者はドアｄを開けてクリー
ンルーム５６へと移動する。
【００５７】この実施形態によれば、エアーシャワー室
Ｓを陽圧室５５と陰圧室５７とに分け、それらの中間に
クリーンエアーの吹き出しユニット５２を配置し、常時
ダウンフロー、常時排気とすることにより、気流の乱れ
を小さくし、これにより塵挨の再付着防止を図ることが
できる。また、このように二段構造の縦長としたことに
より、建坪率に有利な小面積のエアーシャワー装置を構
成することが可能になる。
Ｓを陽圧室５５と陰圧室５７とに分け、それらの中間に
クリーンエアーの吹き出しユニット５２を配置し、常時
ダウンフロー、常時排気とすることにより、気流の乱れ
を小さくし、これにより塵挨の再付着防止を図ることが
できる。また、このように二段構造の縦長としたことに
より、建坪率に有利な小面積のエアーシャワー装置を構
成することが可能になる。
【００５８】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、塵挨除
去効率の向上、塵挨の再付着防止、及び塵挨の混入した
エアーのクリーンルーム内への漏れ防止等を図ることが
できるといった、従来技術からは得られない優れた効果
を奏する。
去効率の向上、塵挨の再付着防止、及び塵挨の混入した
エアーのクリーンルーム内への漏れ防止等を図ることが
できるといった、従来技術からは得られない優れた効果
を奏する。
【図１】本発明の第１の実施形態に係るエアーシャワー
装置の断面図である。
装置の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るエアーシャワー
装置の上面図である。
装置の上面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るリング部材の拡
大図である。
大図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るリング部材を示
す図３のＡ−Ａ断面図である。
す図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るエアーシャワー
装置の断面図である。
装置の断面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るエアーシャワー
装置の上面図である。
装置の上面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るリング部材の拡
大図である。
大図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係るリング部材を示
す図７のＢ−Ｂ断面図である。
す図７のＢ−Ｂ断面図である。
【図９】本発明の第３の実施形態に係るエアーシャワー
装置の断面図である。
装置の断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係るエアーシャワ
ー装置の上面図である。
ー装置の上面図である。
【図１１】本発明の第４の実施形態に係るエアーシャワ
ー装置の断面図である。
ー装置の断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態に係るエアーシャワ
ー装置の上面図である。
ー装置の上面図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態に係るエアーシャワ
ー装置の断面図である。
ー装置の断面図である。
【図１４】本発明の第５の実施形態に係る吹き出しユニ
ットの上面図である。
ットの上面図である。
【図１５】本発明の第５の実施形態に係る吹き出しユニ
ットの断面図である。
ットの断面図である。
【図１６】従来のエアーシャワー装置を示すもので、
（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図であ
る。
（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図であ
る。
１、１０、２０、４０、５０ エアーシャワーユニット
本体 ２、１１、２１ リング部材 ３、１２、２２、４２、５３ エアー吹き出し口 ４ 上下駆動軸 ５、１４、２７、４５、６０ プレフィルタ ６、１５、２８、４８、６３ 排気バッファ室 ７、１６、２９、４６、６１ 排気ユニット ８、１７、３０、４７、６２ 人体（入室者） ９、１８、２５、４４、エアー供給路 ２Ａ、１１Ａ、２１Ａ、４１Ａ、５２Ａ 流路 ５２Ｂ 環状部材 ６４ 床 ６５ 開口 Ｓ エアーシャワー室
本体 ２、１１、２１ リング部材 ３、１２、２２、４２、５３ エアー吹き出し口 ４ 上下駆動軸 ５、１４、２７、４５、６０ プレフィルタ ６、１５、２８、４８、６３ 排気バッファ室 ７、１６、２９、４６、６１ 排気ユニット ８、１７、３０、４７、６２ 人体（入室者） ９、１８、２５、４４、エアー供給路 ２Ａ、１１Ａ、２１Ａ、４１Ａ、５２Ａ 流路 ５２Ｂ 環状部材 ６４ 床 ６５ 開口 Ｓ エアーシャワー室
Claims (9)
- 【請求項１】 エアーシャワー室内の入室者に向けて塵
挨除去用のクリーンエアーを吹き出すように配置する複
数のエアー吹き出し口を有し、除去した塵挨を含むエア
ーをエアーシャワー室下部のプレフィルターを経由して
外部に排出するエアーシャワー装置であって、前記各エ
アー吹き出し口を、前記入室者の周囲を囲む形態で環状
に配置すると共に、各エアー吹き出し口から吹き出すエ
アーが入室者の頭部から足下にかけて当たるように、そ
れら各エアー吹き出し口を上下に移動させるための上下
動手段を設けたことを特徴とする、エアーシャワー装
置。 - 【請求項２】 前記エアー吹き出し口は、前記入室者の
周囲を囲む大きさのリング部材に対してそのリング部材
の周方向に間隔をおいて配置され、前記リング部材は、
内部にクリーンエアーの流路を有し、その流路に前記各
エアー吹き出し口が連通し、前記リング部材が上下に移
動することを特徴とする、請求項１記載のエアーシャワ
ー装置。 - 【請求項３】 前記各エアー吹き出し口を斜め下方に向
けたことを特徴とする、請求項１又は２記載のエアーシ
ャワー装置。 - 【請求項４】 前記エアーシャワー室の天井側に、下方
に向けてクリーンエアーを吹き出すためのダウンフロー
ユニットを配置したことを特徴とする、請求項１〜３の
何れかに記載のエアーシャワー装置。 - 【請求項５】 前記リング部材をその周方向に高速回転
させるための回転駆動装置を設けたことを特徴とする、
請求項２又は３記載のエアーシャワー装置。 - 【請求項６】 前記エアー吹き出し口を、下面開口のド
ーム部材に配置し、そのドーム部材を上下移動可能に構
成したことを特徴とする、請求項１記載のエアーシャワ
ー装置。 - 【請求項７】 前記エアーシャワー室の床下に排気バッ
ファ室があり、排気バッファ室は、その排気バッファ室
を前記エアーシャワー室に対して負圧にする排気ユニッ
トを備え、前記エアーシャワー室から排気バッファ室へ
の空気流路の途中にプレフィルタを配置したことを特徴
とする、請求項１〜６の何れかに記載のエアーシャワー
装置。 - 【請求項８】 前記プレフィルタを、前記エアーシャワ
ー室の床の前記ドーム部材の直下に配置し、かつ、プレ
フィルタの平面形状を前記ドーム部材の降下時にドーム
部材の下面開口で覆われる大きさに設定してあることを
特徴とする、請求項６又は８に記載のエアーシャワー装
置。 - 【請求項９】 エアーシャワー室内の入室者に向けて塵
挨除去用のクリーンエアーを吹き出し、除去した塵挨を
含むエアーをエアーシャワー室下部のプレフィルターを
経由して外部に排気するエアーシャワー装置であって、
前記エアーシャワー室を陽圧室と陰圧室とに分けて上下
に配置し、前記下方の陰圧室に、入室者を上方の陽圧室
に向けて移動させる鉛直昇降手段を配置し、前記陽圧室
の床近くに、鉛直昇降手段による陽圧室への入室者に対
してその周囲からクリーンエアーを吹き付けるための複
数のエアー吹き出し口を配置し、さらに陽圧室の上部
に、クリーンエアーを下方に向けて吹き出すエアー吹き
出し口を配置したことを特徴とする、エアーシャワー装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10154999A JPH11344243A (ja) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | エアーシャワー装置 |
| US09/280,651 US6095917A (en) | 1998-06-03 | 1999-03-29 | Air-shower apparatus and semiconductor wafer processing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10154999A JPH11344243A (ja) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | エアーシャワー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11344243A true JPH11344243A (ja) | 1999-12-14 |
Family
ID=15596496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10154999A Abandoned JPH11344243A (ja) | 1998-06-03 | 1998-06-03 | エアーシャワー装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6095917A (ja) |
| JP (1) | JPH11344243A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007255778A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Nippon Muki Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JP2020165617A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社熊谷組 | エアーシャワー装置 |
| JP2020176767A (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
| JP2021025691A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 三宝電機株式会社 | エアシャワー装置 |
| KR102432145B1 (ko) * | 2021-07-26 | 2022-08-12 | 주식회사 일성하이드로닉스 | 조립식 복합 방역 게이트 |
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|---|---|---|---|---|
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