JPH0441263B2

JPH0441263B2 -

Info

Publication number: JPH0441263B2
Application number: JP6599686A
Authority: JP
Inventors: Sho Yoshiki; Akihiro Imon
Original assignee: Japan Air Curtain Co Ltd
Current assignee: Japan Air Curtain Co Ltd
Priority date: 1986-03-26
Filing date: 1986-03-26
Publication date: 1992-07-07
Also published as: JPS62225838A

Description

【発明の詳細な説明】（発明の目的）この発明は、半導体生産やバイオ技術の現場に
入室する際における着衣の除塵処理に使用される
エアーシヤワー装置に関するもので、高能率かつ
所要動力の小さいものを提供するのがその目的で
ある。

半導体製品の生産現場やバイオ技術の開発には
可能な限りの無塵環境が必要であり、そのため、
クリーンルームへの入場の直前に無塵衣を着用の
うえ、強風を吹き付けて着衣の塵を払うエアーシ
ヤワーを浴びることが広く実行されている。

第３図および第４図に示したのは従来のエアー
シヤワー装置で、扉Ｆを設けたカプセルＫにおけ
る狭い通路の両側に多数のノズルａが設けてあ
り、送風機ｂで発生した強風を集塵用のフイルタ
ーｃを介してノズルａから噴出させて着衣に吹付
け、舞上がる塵は送風機ｂの取入口ｄから吸引す
るようになつている。

このような従来のエアーシヤワー装置におい
て、ノズルａから吹出す噴流は短距離で急激に風
速が減衰するため噴流が着衣に射突して充分に除
塵するのに必要な噴流を発生するには、ノズルの
吹出風速が20〜30m／秒になるように装置を設計
する必要がある。そしてこのような強風をノズル
に発生させるには非常に大きい静圧が必要なの
で、その発生源としての送風機には大出力のもの
が必要であり、従つて装置の所要動力はきわめて
大きい。また、除塵処理を受ける人員の両側の位
置にノズルを設ける関係上、送風機やフイルター
も装置全体の設計上図示のように設けることとな
り、従つてエアーシヤワー装置のカプセルは不可
避的に大型になる。さらに、個々のノズルからの
噴流は着衣の一部にしか射突しないので、被処理
者は自ら回転するなどの動作をして着衣が万べん
なく除塵されるように努めなければならない。

この発明は上記したような従来のエアーシヤワ
ー装置の欠点を一挙に解消することができたもの
である。

（発明の構成）以下、図示の実施例につきこの発明を説明すれ
ば、１はカプセルで、上下一対で余裕をもつて人
の背丈に対応する距離を隔てた水平壁および周壁
によつて取囲まれている。前記水平壁はどのよう
な態様のものでも差支えないが、通常は図示のよ
うに天井壁２ａと床壁２ｂとからなつている。図
示の実施例によれば、前記した周壁は４個の面壁
３３をもつて形成され、断面が正方形であるが、
このほか多角筒状や円筒状等自由に設計できる。
前記した周壁には出入口３１を設けるが、その
数、位置は所要に従えばよい。図示の例によれば
出入口３１に扉３２が設けてあるが、この発明に
よれば、扉３２の設置は必須ではない。

この発明によれば、カプセル１には人の背丈に
対応する吹出し幅をもつ複数、横流のエアーカー
テン流を吹出すための複数の吹出口４１が設けら
れている。そして、この発明によれば、このよう
な複数の吹出口４１を設けたことにより、カプセ
ル１内にエアーカーテン流の囲壁（サークル）を
形成させるのであるが、この囲壁を形成する各エ
アーカーテン流の吹出口４１は、そのエアーカー
テン流の風上側に位置する他のエアーカーテン流
の風下にこれを位置させることが必要である。さ
らに、この発明によれば、前記した一対の水平壁
の一方には、各吹出口４１に接続する送風ダクト
５１の取入口５２を設けるとともに、適当なフイ
ルターや電気集塵器のような集塵装置５３および
送風扇５４を送風ダクト５１に介装してある。図
示例によれば、一の吹出口４１１は周壁３の一の
面壁３３１と断面がカプセル１の中心を中心とす
る円弧状の一の案内壁３４１の一方の側縁部に形
成されるスリツト状のものである。なお、上記し
た図示例の説明は第２図に横断面を示したカプセ
ルの左上の角部１１に対応する吹出口４１１、面
壁３３１、および案内壁３４１についての説明で
あるが、図示からわかるようにカプセルのその他
の角部に対応する各吹出口４１、面壁３３、およ
び案内壁３４の形状、構造も左上の角部１１に対
応するものと全く同様である。案内壁３４は周壁
内の各角部に設けてある。吹出口４１の奥方に位
置する縦筒４２に穿たれている多数の孔４３から
供給される送風が吹出口４１から吹出すようにな
つているが、後述するエアーカーテン形成の条件
が充たされる限り、前記した縦筒４２の孔４３を
そのまま吹出口とし、案内壁３４を廃止すること
も可能である。また、その反対に、縦筒４２を設
けることなく、周壁の一部と前記した案内壁３４
とによつて形成される縦通路を送風ダクトの一部
とすることも可能である。

図示例によれば、前記した取入口５２はカプセ
ル１の天井壁２ａを形成する水平壁に穿たれてい
るが、この取入口５２は床壁２ｂを形成する他方
の水平壁に設けることもできる。その場合、図示
されてはいないが、装置全体が第１図を上下転倒
した形態となることは充分に理解されるであろ
う。さて、この発明は前記のようにしてなるの
で、送風ダクト５１に介装した送風扇５４を運転
することにより、カプセル１内に設けた複数の吹
出口４１から複数で横流のエアーカーテン流４４
が吹出してカプセル１内にエアーカーテン流４４
の囲壁を形成させるのであるが、前記したように
各エアーカーテン流の吹出口４１は、そのエアー
カーテン流の風上側に位置する他のエアーカーテ
ン流の風下に位置するので、各エアーカーテン流
をそれぞれその風上側に位置する他のエアーカー
テン流が追尾することになり、そのため前記した
エアーカーテン流の囲壁は旋回気流に転化する。
一方、上下一対の水平壁のうちの一方には吹出口
４１に接続されている送風ダクト５１の取入口５
２が設けてあるので、カプセル１内において取入
口５２の付近に負圧が発生する。かくして、この
負圧に起因し、旋回気流は他方の水平壁から取入
口５２に向う旋回進行気流７に転化するのである
が、この旋回進行気流７は、第１図のように取入
口５２を天蓋８の下面である天井壁２ａに設けた
場合、まさに地表から昇天する竜巻様である。

第５図は上記した旋回進行気流７の旋回風速の
特性を示すもので、第１図および第２図に示すカ
プセル１の間口W₁および奥行きW₂をそれぞれ
1m、カプセル室内の高さｈを2m、吹出口４１に
おけるエアーカーテン流４４の吹出風速5m／秒、
吹出風量65m³／分としたとき、カプセル１の中央
部の風速は20〜30m／秒に達する。このように、
旋回進行気流７の旋回風速はきわめて高速である
のみならず、被処理者の着衣は上下の全周にわた
つて一様にこのような高速風によつて除塵処理を
受けるので、被処理者が自ら除塵のための動作を
行わなくとも除塵処理はきわめて迅速かつ確実に
行われる。除塵処理後、無数の塵を伴つた旋回進
行気流７は送風ダクト５１の取入口５２に至り、
吸引移送される際、送風ダクト５１に介装されて
いる集塵装置５３を通過して脱塵清浄化され、再
び吹出口４１へと還流する。

前記したように、旋回進行気流７は竜巻状で、
細紐状に中心部に集束され、その断面積は非常に
小さい。従つて、取入口５２から吸引排出すべき
風量は低速のエアーカーテン流４４を形成するの
に所要な程度の少量でよいので、吹出口４１から
旋回進行気流７をへて取入口５２に至り、送風ダ
クト５１をへて吹出口４１へと還流する循環風発
生用の送風機の所要エネルギーは著しく小さい。
なお、図示例では送風ダクト５１、集塵装置５
３、送風扇５４等を天蓋８に設けてあるが、これ
らはすべて床壁２ｂの側に設けることもできる。
この場合は旋回進行気流７は天井面から床面に向
けて進行する。

（発明の効果）かくして、この発明によれば、従来のエアーシ
ヤワー装置と較べ、被処理者からみればきわめて
手軽、短時間の処理を受けるだけで確実に除塵さ
れるのみならず、装置全体が著しく小型化し、し
かも除塵処理の所要エネルギーがきわめて小さい
エアーシヤワー装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかるエアーシヤワー装置
の一実施例の立体概念図、第２図は同じく拡大横
断面図、第３図は従来のエアーシヤワー装置の立
面概念図、第４図は同じく天蓋を除いた平面図、
第５図はこの発明における旋回進行気流の風速特
性線図である。ａはノズル、ｂは送風機、ｃはフイルター、ｄ
は取入口、Ｆは扉、Ｋはカプセル、１はカプセ
ル、１１は角部、２ａは天井壁、２ｂは床壁、３
１は出入口、３２は扉、３３，３３１，３３２は
面壁、３４，３４１は案内壁、４１，４１１は吹
出口、４２は縦筒、４３は孔、４４，４４１，４
４２はエアーカーテン流、５１は送風ダクト、５
２は取入口、５３は集塵装置、５４は送風扇、７
は旋回進行気流、８は天蓋である。

Claims

【特許請求の範囲】１余裕をもつて人の背丈に対応できる距離を隔
てた上下一対の水平壁と所要の出入口を設けた周
壁とにより囲まれたカプセル内に、複数でそれぞ
れが人の背丈に対応する吹出し幅をもつ横流エア
ーカーテン流を吹出すための複数の吹出口を設
け、かつ前記各エアーカーテン流の吹出口を、そ
のエアーカーテン流の風上側に位置する他のエア
ーカーテン流の風下側に位置させるとともに、前
記水平壁の一方に前記した各吹出口に接続する送
風ダクトの取入口を設け、かつ前記送風ダクトに
集塵装置および送風扇を介装したことにより、前
記カプセル内にエアーカーテン流の囲壁を形成し
てなるエアーシヤワー装置。２ほぼ正方形の断面をもつ前記カプセルの周壁
を４個の面壁をもつて形成するとともに、それぞ
れが前記カプセルの中心を中心とする円弧状断面
をもつ案内壁を前記周壁内の各角部に設け、かつ
各前記吹出口を、前記案内壁の一側縁と最寄りの
前記壁間の間隙により形成してなる特許請求の範
囲１記載のエアーシヤワー装置。