JP2509883Y2 - エア―シャワ―装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、クリーンルーム入室口
に設けられるエアーシャワー装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルーム入室口には、入室者及び
搬入物に付いた塵を除去し、クリーンルーム内への塵の
侵入を防止するエアーシャワー装置が設けられている。
このエアーシャワー装置は、クリーンルームの前室とな
るべく外部、及びクリーンルーム内と遮蔽でき、独立し
た空間となる。

【０００３】図５、図６に基づいて、従来のエアーシャ
ワー装置を説明する。図５はエアーシャワー装置を入室
口側から見る一部を透視した正面図、図６はエアーシャ
ワー装置内の壁面を表した正面図を示す。

【０００４】図５に示すように、一体となった箱状の本
体１の壁にはエアーシャワー装置内への入室用のアルミ
サッシドア３が取り付けられている。また、アルミサッ
シドア３に対向する本体１の他方の壁にはクリーンルー
ム内への入室用のアルミサッシドア５が取り付けられて
いる（図６参照）。従って、アルミサッシドア３、アル
ミサッシドア５を閉め切ることで、本体１内は独立した
空間となる。本体１は壁上端面に天板が当接される構造
となっているため、内壁と天板との接続部は直交する二
面に挟まれた隅部７となっている。アルミサッシドア
３、５はアルミドア枠９を介して本体１の壁に取り付け
られ、本体１とアルミサッシドア３、５とは一体となっ
ている（取り外し不可能）。アルミサッシドア３、５は
市販品が用いられ、色、シリンダ錠、蝶番、ドアクロー
ザ等が所定の仕様となっている。また、本体１内の底に
は床板１１が敷設され、床板１１にはマットスイッチ１
２等が設けられている。従って、本体１の床面と外部の
床面とには段差が生じるようになっている。

【０００５】図６に示すように、アルミサッシドア３、
５が取り付けられた壁に隣接する左右の壁の内壁面には
複数個のジェット気流吹出手段であるエアージェットノ
ズル１３が設けられている。エアージェットノズル１３
からはターボファン１５から送られたエアーがメインフ
ィルター１７を介して吐出されるようになっている（図
５参照）。エアージェットノズル１３が設けられた内壁
面の下部には内壁面と同一平面状となったプレフィルタ
ー１９が設けられ、プレフィルター１９からはターボフ
ァン１５の吸気エアーが吸い込まれるようになってい
る。つまり、エアージェットノズル１３から吐出された
エアーはプレフィルター１９から吸気され、本体１内を
循環するとともに、その際、循環エアーに混入した塵が
プレフィルター１９、メインフィルター１７によって除
去されるようになっている。

【０００６】従って、エアーシャワー装置内へ入った入
室者及び搬入物は、塵がジェットエアー（ジェット気
流）により吹き飛ばされ、クリーン度が向上した後、ク
リーンルーム側のアルミサッシドア５のみが開かれてク
リーンルーム内へ入室することで、クリーンルーム内へ
の塵の持ち込みが防止されているのである。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エアーシャワー装置では本体１が一体構造となっている
ため、搬入経路の所要スペースが大きく、据え付けるこ
とのできる場所が制約されることがあり、また、製品重
量も大きくなるため、搬入据え付け工事が人手を要する
ものとなっていた。更に、本体１の底には床板１１が敷
設されているので、エアーシャワー装置内の入室時に違
和感が生じるとともに、手押台車、或いは、ＦＡ化に伴
う自動搬送台車の通行に支障をきたす場合もあった。そ
して、床板１１が設けられていることは、清掃がしにく
くなる理由ともなっていた。また、アルミサッシドア
３、５は市販品が用いられているため、他の建築ドアと
意匠的に調和がとれず違和感が生じるとともに、遮音性
が劣り、ターボファン１５の運転音が外部への騒音とな
る虞れがあり、更には、気密性を充分に確保することも
できなかった。また、本体１内における内壁と天板との
接続部は、隅部７となっているため、ジェットエアーの
死角が生じるとともに、プレフィルター１９が内壁面と
同一平面状で設けられているため、吸い込み時のエアー
が乱れるという問題があった。

【０００８】更に、ドアーの種類、通過有効巾を変える
場合、入室人数を増やしたい場合、自動扉を取り付けた
い場合などの特注時には、いずれも本体１の構造を大き
く変更しなければならず、製造費用の増大は必至であっ
た。

【０００９】本考案は上記状況に鑑みてなされたもの
で、搬入時の所要スペースが小さく、、気密性、遮音性
が確保でき、ジェットエアーの死角が生じないととも
に、エアーの乱れも少なく、しかも、特注時にも安価に
対応できるエアーシャワー装置の提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本考案に係るエアーシャワー装置の構成は、据え付け
場所の床に対峙して立設され対向するそれぞれの内壁面
にジェット気流吹出手段が設けられるとともに、該ジェ
ット気流吹出手段の吸込口が前記内壁面の下部に凹設さ
れる一対の壁ユニットと、該一対の壁ユニットの上部同
士に亘って取り付けられ内壁面との接続部が曲面状の隅
部となる天板ユニットと、前記一対の壁ユニットの両側
端面同士に亘って取り付けられ該一対の壁ユニットと前
記天板ユニットとで箱状の密閉空間を形成する入室用ド
アユニット、及びクリーンルーム用ドアユニットとから
なることを特徴とする。

【００１１】

【作用】本体が壁ユニット、天板ユニット、及び入室用
ドアユニット、クリーンルーム用ドアユニットの分割状
態で搬入され、搬入経路として必要な所要スペースが小
さくなる。据え付け場所の床が兼用され、本体内と外部
との床に段差があってもエアタイト装置によりクリーン
ルームとの間は気密に保たれる。又本体内での気流が隅
部の曲面に沿って流れ、隅部での気流の滞留がなくな
る。さらにジェット気流吹出手段の吸気が内壁面直前ま
で整流状態で流れ、内壁面下部の蹴込部でも吹込口の傾
斜に沿って気流は流れる。よって本体内での吸気気流に
乱れが生じない。

【００１２】

【実施例】以下、本考案に係るエアーシャワー装置の好
適な一実施例を図面を参照して詳細に説明する。図１は
本考案に係るエアーシャワー装置の分解斜視図、図２は
本考案に係るエアーシャワー装置を入室口側から見る一
部を透視した正面図、図３はエアータイトユニットを表
す断面図、図４は本考案に係るエアーシャワー装置内の
壁面を表した正面図を示す。尚、図５、図６に示した部
材と同一の部材には同一の符号を付し、重複する説明は
省略する。

【００１３】図１に示すように、一方の側壁を形成する
壁ユニット３１の内壁面にはジェット気流吹出手段であ
るエアージェットノズル１３が設けられ、エアージェッ
トノズル１３からは壁ユニット３１に内設されたターボ
ファン１５からメインフィルター１７を介しジェットエ
アー（ジェット気流）が吐出されるようになっている
（図２参照）。壁ユニット３１には対峙して他方の側壁
を形成する壁ユニット３３が設置されるようになってお
り、壁ユニット３３にも同様にエアージェットノズル１
３、ターボファン１５、メインフィルター１７が設けら
れ、同様の作用を奏するようになっている。壁ユニット
３１、３３の下部には内壁面の全幅に亘りかつそれより
内方に傾斜した吸込口３４ａを有する蹴込部３４がそれ
ぞれ設けられており（図２参照）、ターボファン１５の
吸気はこの吸込口３４ａから吸い込まれるようになって
いる。内壁面より引っ込んだ蹴込部３４（吸込口３４
ａ）から吸い込まれる吸気は、内壁面直前まで整流状態
で流れ、気流に乱れが生じないようになっている。壁ユ
ニット３１、３３は遮音性を高めるため、鋼製建具を使
用して構成されている。また、壁ユニット３１、３３の
下部は据え付け場所の床に直接設置されることで、壁ユ
ニット３１、３３の床は据え付け場所の床と同一となる
ようになっている。従って、壁ユニット３１、３３間へ
の手押台車等の通行は段差を経ることなく、スムーズに
行えるようになっている。尚、壁ユニット３１、３３の
下部と、据え付け場所の床との間はシール材等により当
然に密閉処理が施される。

【００１４】対峙して設置された壁ユニット３１、３３
の上部には現場施工により天板ユニット３５が取り付け
られるようになっており（図２参照）、天板ユニット３
５は天板下面と内壁面とに挟まれる隅部４０が曲面状に
形成されている。つまり、懐が浅くなり、ジェットエア
ーの死角が生じにくい構造となっているのである。天板
ユニット３５は遮音性を高めるため、鋼製建具を使用し
て構成されている。天板ユニット３５が取り付けられる
ことで、壁ユニット３１、３３は門型の一体構造とな
り、内部に空間が形成されるようになっている。

【００１５】図１に示すように、天板ユニット３５によ
り一体となった門型の壁ユニット３１、３３の開口側に
は、入室用ドアユニット３６と、クリーンルーム用ドア
ユニット３７とが現場施工により取り付けられるように
なっている。入室用ドアユニット３６、クリーンルーム
用ドアユニット３７は、鋼製建具を使用し他の建築意匠
に調和したものとなっており、気密性の高いいわゆるセ
ミタイト構造になっている。また、クリーンルーム用ド
アユニット３７の下部には、図３に示すように、スイン
グエアタイトユニット３９が設けられている。スイング
エアタイトユニット３９には可動シール片４１が設けら
れ、可動シール片４１はクリーンルーム用ドアユニット
３７の開閉動作に応じて常時床面との密接状態が保持で
きるようになっている。そして、図４に示すように、入
室用ドアユニット３６は軽量間仕切り壁４３に連結可能
となっており、クリーンルーム用ドアユニット３７はク
リーンルームの入室口に取り付けられるようになってい
る。

【００１６】壁ユニット３１、３３、天板ユニット３
５、入室用ドアユニット３６、クリーンルーム用ドアユ
ニット３７を主な部材として本考案に係るエアーシャワ
ー装置４５が構成されている。

【００１７】本実施例に係るエアーシャワー装置４５に
よれば、本体にそれぞれ鋼製建具が使用されているの
で、遮音性に優れ、ターボファン１５の運転音が外部に
洩れることがなく、騒音の防止を図ることができる。ま
た、入室用ドアユニット３６、クリーンルーム用ドアユ
ニット３７は、セミタイト構造になっているので、気密
性を高く保持でき、エアーシャワー装置４５内をいわゆ
るエアーロックルームとすることができる。また、入室
用ドアユニット３６が鋼製建具を使用しているので、他
の建築扉との調和が図れ、建築意匠にもかなったものと
することができる。

【００１８】更に、本実施例に係るエアーシャワー装置
４５を特注品として製作したい場合には、以下の優れた
点を有する。即ち、ドアの種類を変えたい場合、或い
は、自動ドアを組み合わせたい場合には、本体は変更不
要でドアのみの変更で済む。通過有効巾を変えたい場合
には、天板ユニット３５と、ドアのみの変更で済む。入
室人数を増やしたい場合には、壁ユニット３１、３３、
天板ユニット３５の基本本体を人数分増設することで、
安定した品質で容易に、しかも、安価に増やすことがで
きる。床付タイプとしたい場合には、床部分のみ製作取
り付けすることができる。エアタイト性及び遮音性を高
めたい場合には、入室用ドアユニット３６にもスイング
エアタイトユニット３９を設けることで容易に実現する
ことができるなどである。

【００１９】

【考案の効果】以上詳細に説明したように、本考案に係
るエアーシャワー装置は、分割された壁ユニット、天板
ユニット、入室用ドアユニット、及びクリーンルーム用
ドアユニットの五つの構成部材から組み立てられるの
で、搬入時の占有スペースが小さくて済み、搬入経路の
制約による据え付け制限を皆無にすることができる。ま
た、本体内と外部との床に段差が生じないので、手押台
車等の通行が極めてスムーズに行える。更に、隅部での
気流の死角がなくなるため、気流が滞留しなくなり、ク
リーン度を向上させることができる。また、ジェット気
流吹出手段の吸気が内壁面直前まで整流状態で流れ、吸
気気流に乱れが生じないため、ジェット気流の循環効率
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るエアーシャワー装置の分解斜視図
である。

【図２】本考案に係るエアーシャワー装置を入室口側か
ら見る一部を透視した正面図である。

【図３】エアータイトユニットを表す断面図である。

【図４】本考案に係るエアーシャワー装置内の壁面を表
した正面図である。

【図５】従来のエアーシャワー装置を入室口側から見る
一部を透視した正面図である。

【図６】従来のエアーシャワー装置内の壁面を表した正
面図である。

【符号の説明】

１３ エアージェットノズル（ジェット気流吹出手段） ３１ 壁ユニット ３３ 壁ユニット ３４ 蹴込部（吸込口） ３５ 天板ユニッ
ト ３６ 入室用ドアユニット ３７ クリーンル
ーム用ドアユニット ４０ 隅部 ４５ エアーシャ
ワー装置

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 内壁面にジェット気流吹出手段を設けた
   一対の壁ユニットを、該内壁面を対向させて対峙させる
   とともに、両端ユニットの上部間に亘って天板ユニット
   を架設して門型状を成すエアーシャワー装置において、 前記壁ユニットの内壁面と天板ユニットの内面とがなす
   隅部は曲面状に形成されたものであって、 各壁ユニットの内壁面側下部に設けた蹴込部は、壁ユニ
   ットの全幅に亘り、内壁面より内方へ次第に傾斜した吹
   込口からなるとともに、 前記門型状エアーシャワー装置内の通路空間は入室用ド
   アユニットとクリーンルーム用ドアユニットにて仕切ら
   れ、 クリーンルーム用ドアユニットの下部にエアタイトユニ
   ットが配設されていることを特徴とするエアーシャワー
   装置。