JP2514503Y2 - クリ−ンル−ム圧力調整装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はクリーンルーム圧力調整装置に係り、特にク
リーンルームと非クリーンルーム間を仕切っている仕切
壁にクリーンルーム内圧力を調整するために設けられ、
クリーンルーム内外の圧力差によって機能するクリーン
ルーム圧力調整装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、クリーンルームでは室内空気の清浄化を図る
ために、ルーム内外の差圧をコントロールする必要があ
り、このため差圧調整手段として重力式ダンパを設け、
クリーンルーム内の圧力と隣接する非クリーンルームの
圧力の差圧を一定に保持するよう、クリーンルーム室の
内圧が一定圧力以上となったときクリーンルームの室内
空気を外部に排気するようにしている。従来の差圧調整
用ダンパは、第２図に示されるように、クリーンルーム
１と非クリーンルーム２とを仕切っている仕切壁３に取
付けられており、天井４の近傍位置にて仕切壁３に貫通
枠５を取付け、貫通枠５のクリーンルーム１側の開口に
吸込口６を、非クリーンルーム２側の開口にダンパ羽根
７を設けたものである。ダンパ羽根７にはスライドウエ
イト８が取付けられ、両ルーム1,2間に一定の差圧（ク
リーンルーム＞非クリーンルーム）が生じたとき、差圧
によりダンパ羽根７が開かれることによってクリーンル
ーム１の圧力が調整される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところで、クリーンルーム１では内部空気を清浄化す
るため、天井４側からフィルタユニット９を通じて浄化
空気を取入れるようにしているが、この浄化空気の吹出
口10は前記ダンパの吸込口６に近い位置にあるため、清
浄空気が短絡してダンパ吸込口から非クリーンルーム２
に流出してしまい、クリーンルーム１の下部に塵埃の滞
留部11が発生してしまう問題があった。このため、クリ
ーンルーム１内の清浄度が差圧調整用のダンパ装置によ
って阻害される弊害があった。

一方、上述のダンパ装置を仕切壁３の下部に設置する
ことにより、クリーンルーム１内の気流条件を良好に
し、塵埃滞留部11が生じないようにすることも考えられ
る。しかし、非クリーンルーム２側の下部にダンパ羽根
７が位置することになり、開閉動作仕様のダンパ羽根７
が人の通行や物の搬送上の障害になってしまうので採用
できない。

本考案は、上記従来の問題点に着目し、クリーンルー
ム等のような空気溜りが生じることによる不都合のある
部屋の気流条件を良好にし、かつ外部においてダンパの
開閉に伴う支障が生じないようにしたクリーンルーム圧
力調整装置を提供することを目的とする。

〔問題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本考案に係るクリーンル
ーム圧力調整装置は、清浄空気を天井側から下方に向け
て吹き出すようにしたクリーンルームと、このクリーン
ルームに壁体を介して隣接し天井を有する屋内非クリー
ンルームとを備え、前記クリーンルーム内の圧力を隣接
する前記非クリーンルームとの間で調整する装置におい
て、前記クリーンルームと非クリーンルームとを仕切る
前記壁体内に上下方向の風道を形成するとともに、前記
クリーンルーム側の壁面下部に前記風道と通じる吸込み
口を設け、前記非クリーンルーム側にて通行障害となら
ない高さ以上でその天井部に近接された壁面上部に前記
風道と通じる吹出し開口を設け、当該開口には非クリー
ンルーム側に位置して開閉可能とされるダンパ羽根を設
け、このダンパ羽根は前記非クリーンルームに対して陽
圧に維持されるクリーンルームとの間の差圧により非ク
リーンルーム側に突出して開閉されるようにした。

〔作用〕

上記構成により、部屋の圧力が高くなると差圧により
ダンパ羽根が開放されるが、吸込口は仕切り壁の下部に
あたるため。吸込口に至る室内空気は床面近くから吸い
込まれることになる。したがって、塵埃の滞留しがちな
床面近傍空気が効果的に吸い込まれ、良好な室内気流条
件をつくることができる。一方、吸込口から流入した空
気は壁体内の風道を通り、ダンパ羽根によって開けられ
た開口部から流出するが、羽根自体は天井寄りの上部で
開口されるため、ダンパ羽根の動作が仕切壁外における
人の通行や物の搬送には支障とならない。

〔実施例〕

以下に、本考案に係る圧力調整装置の実施例を図面を
参照して詳細に説明する。

第１図はクリーンルーム20と非クリーンルーム22との
間の仕切壁24に実施例の圧力調整装置を設けた例であ
る。まず、クリーンルーム20には天井26とその上部にあ
るスラブ28との間に設置されたフィルタユニット30によ
り給気ダクト32を通じて供給された空気を浄化してその
吹出口34から清浄空気が導入される。このようなクリー
ンルーム20と隣接する非クリーンルーム22と仕切壁24に
より区切られているが、この仕切壁24に対し、クリーン
ルーム20内の圧力が非クリーンルーム22より大きくなっ
た場合に、クリーンルーム20の圧力を逃がすための圧力
調整装置が構成されている。

前記圧力調整装置は、仕切壁24の壁体内に上下方向に
沿って形成された風道36を構成要素としている。この風
道36は仕切壁24の各ルーム20、22に対面する一対の仕切
パネル24A、24Bの間に形成すればよく、パネル24A、24B
自身の内壁面を風道36の壁面としてもよく、あるいは別
途に製作した風道筒をパネル24A、24B間に介装させても
よい。一方、仕切壁24のクリーンルーム20側の壁面とな
る仕切パネル24Aには、クリーンルーム20の床面38の近
傍に位置する下部に前記風道36の下端部に連通する空気
吸込口40を設けている。したがって、クリーンルーム20
内の特に床面近傍の空気がこの吸込口40を通じて壁体内
風道36に吸い込まれるようになっている。一方非クリー
ンルーム22側に対面する仕切パネル24Bには、天井26の
近傍に位置する上部に前記風道36の上端部に連通する開
口42を設け、この開口42を開閉し得る重力式のダンパ羽
根44を取付けている。ダンパ羽根44はその取付開口42の
上縁にヒンジ結合されており、クリーンルーム20の内圧
が非クリーンルーム22のそれより一定の圧力差より大き
くなった場合に、その圧力差で開放されるようになって
いる。特に、差圧が微小であっても開動作が行われるよ
うに、ダンパ羽根44にはスライドウエイト46が取付けら
れている。

なお、前記仕切壁24の内部に形成した風道36は、空気
の吸込口40における吸込風道と近似した風速が得られる
大きさに設定しておくものとする。

このように構成された実施例のクリーンルームの圧力
調整装置によれば、クリーンルーム20内の圧力が高くな
って非クリーンルーム22との差圧が生じた場合、その差
圧によってダンパ羽根44が開かれ、クリーンルーム20か
ら内部空気を下部吸込口40を通じて吸い込み、壁体内風
道36を上昇して非クリーンルーム22の天井26近傍の開口
42から排出される。

このようなことから、本実施例では、クリーンルーム
20内においてフィルタユニット30から吹き出される浄化
空気の気流の流下する床面38近傍に設けた吸込口40から
排気できるので、浄化空気を短絡排気することがなく、
しかも塵埃の滞留も発生しないものとなる。一方、非ク
リーンルーム22側においても、ダンパ羽根44が天井26付
近に位置することになり、その開閉動作が人の通行や物
の搬送の障害となることが無くなる。また、クリーンル
ーム20内の気圧制御を重力式ダンパ構成で実現でき、簡
易構造で高い効果を得ることができる。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案によれば、清浄空気を天
井側から下方に向けて吹き出すようにしたクリーンルー
ムと、このクリーンルームに壁体を介して隣接し天井を
有する屋内非クリーンルームとを備え、前記クリーンル
ーム内の圧力を隣接する前記非クリーンルームとの間で
調整する装置において、前記クリーンルームと非クリー
ンルームとを仕切る前記壁体内に上下方向の風道を形成
するとともに、前記クリーンルーム側の壁面下部に前記
風道と通じる吸込み口を設け、前記非クリーンルーム側
にて通行障害とならない高さ以上でその天井部に近接さ
れた壁面上部に前記風道と通じる吹出し開口を設け、当
該開口には非クリーンルーム側に位置して開閉可能とさ
れるダンパ羽根を設け、このダンパ羽根は前記非クリー
ンルームに対して陽圧に維持されるクリーンルームとの
間の差圧により非クリーンルーム側に突出して開閉され
るように構成したので、空気溜まりによる不都合がな
く、かつダンパ開閉に伴う不都合もないクリーンルーム
圧力調整装置とすることができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例に係るクリーンルーム圧力調整装置の断
面図、第２図は従来装置の断面図である。 20……クリーンルーム、22……非クリーンルーム、24…
…仕切壁、36……風道、40……吸込口、44……ダンパ羽
根。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭59−49127（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−37429（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−167833（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭44−25183（ＪＰ，Ｂ１)

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】清浄空気を天井側から下方に向けて吹き出
   すようにしたクリーンルームと、このクリーンルームに
   壁体を介して隣接し天井を有する屋内非クリーンルーム
   とを備え、前記クリーンルーム内の圧力を隣接する前記
   非クリーンルームとの間で調整する装置において、前記
   クリーンルームと非クリーンルームとを仕切る前記壁体
   内に上下方向の風道を形成するとともに、前記クリーン
   ルーム側の壁面下部に前記風道と通じる吸込み口を設
   け、前記非クリーンルーム側にて通行障害とならない高
   さ以上でその天井部に近接された壁面上部に前記風道と
   通じる吹出し開口を設け、当該開口には非クリーンルー
   ム側に位置して開閉可能とされるダンパ羽根を設け、こ
   のダンパ羽根は前記非クリーンルームに対して陽圧に維
   持されるクリーンルームとの間の差圧により非クリーン
   ルーム側に突出して開閉されるようにしたことを特徴と
   するクリーンルーム圧力調整装置。