JPS62225838A - エア−シヤワ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の目的） この発明は、半導体生産やバイオ技術の現場に入室する
際における着衣の除塵処理に使用されるエアーシャワー
装置に関するもので、高能率かつ所要動力の小さいもの
を提供するのがその目的である。

半導体製品の生産現場やバイオ技術の開発には可能な限
りの無塵環境が必要であり、そのため、クリーンルーム
への入場の直前に無塵衣を善用のうえ、強風を吹付けて
着衣の題を払うエアーシャワーを溶ひることが広く実行
されている。

第３図および第４図に示したのは従来のエアーシャワー
装置で、扉Ｆを設けたカプセルＫにおける狭い通路の両
側に多数のノズルａが設けてあり、送風機すで発生した
強風を集塵用のフィルターＣを介してノズルａから噴出
させて着衣に吹付け、舞上る塵は送風機すの取入口ｄか
ら吸引するようになっている。

このような従来のエアーシャワー装置において、ノズル
ａから吹出す噴流は短距離で急激に風速が減衰するため
、噴流が着衣に射突して充分に除塵するのに必要な噴流
を発生するには、ノズルの吹出風速が２０〜３０　ｍ／
秒になるように装置を設計する必要がある。そしてこの
ような強嵐をノズルに発生させるには非常に大きい静圧
が必要なので、その発生源としての送風機には大出力の
ものであることを要し、従って装置の所要励力はきわめ
て大きい。また、除塵処理を受ける人員の両側の位置に
ノズルを設ける関係上、送風機やフィルターも装置全体
の設計上図示のように設けることとなり、従ってエアー
シャワー装置のカプセルは不可避的に大型になる。さら
に、個々のノズルからの噴流は着衣の一部にしか射突し
ないので、被処理者は自ら回転するなどの動作をして着
衣が万べんなく除塵されるように努めなければならない
。

この発明は上記したような従来のエアーシャワー装置の
欠点を一挙に解消することができたものである。

（発明の構成） 以下、図示の実施例につきこの発明を説明すれば、１は
カプセルで、上下一対の水平Ｗ　２　ａ、　２　ｂおよ
び周壁３によって取囲まれている。水平壁２ａ＋２ｂは
どのような態様のものでも差支えないが、通常は図示の
ように天井壁と床壁とからなっている。周壁３の形態は
、図示のように平面形が正方形であるほか、多角筒状や
円筒状等向゛由に設計できる。周壁３には出入口３１を
設けるが、その数、位置は所要に従えばよい。図示の例
によれば出入口３１に扉３２が設けであるが、この発明
によれば、扉３２の設置は必須ではない。

カプセル１には横流エアーカーテン形成用の相数の吹出
口４１が設けられている。図示例の各吹出口４１は周壁
３１の一つの面壁３３の一部七平面形が弧状の案内壁３
４間に形成されるスリット状のものであり、吹出口４１
の奥方に位置する縦筒４２に穿たれている多数の孔４３
から供給される送風が吹出口４１から吹出すようになっ
ているが、後述するエアーカーテン形成の条件が充たさ
れる限り、前記した縦筒４２の孔４３をそのまま吹出口
とし、案内壁３４を廃止することも可能である。また、
その反対に、縦筒４２を設けることなく、周壁３の一部
と前記した案内壁３４とによって形成される縦通路を送
風ダクトの一部とすることも可能である。

前記した一対の水平壁２　ａ　＋　２　ｂの一方には送
風ダクト５１の取入口５２を設けるとともに適当なフィ
ルターや電気集塵器のような集塵装置！１５３を送風ダ
クト５１に介装する。送風ダクト５１には当然送気扇５
４−が介装されている。図示例によれば、前記した取入
口５２はカプセル１の天井壁を形成する水平ｍ２ａに穿
たれているが、この取入口５２は床壁を形成する他方の
水平壁２６に設けることもできる。

その場合、図示されてはいないが、装置全体が第３図を
上下転倒した形態となることは充分に理解されるであ７
？１ろ− この発明については、つぎにカブ七ル１内の中央部に想
像線で描いたような仮想回転柱６を設定し、各吹出口４
１にかかる横流エアーカーテン４４を仮想回転柱６に切
させる。そしてこのエアーカーテン４４を切点（本来は
切点が連続した「切線」というべきであるが、「切線」
は普通側の意味で使用されるので、誤解を避けるためあ
えて「切点」なる用語を用いた。）６１において仮想回
転＃１６の回転方向と同一方向に形成させる。このよう
にして前記した他方の水平壁２ｂから取入口５２に向か
う旋回進行気流７を形成させるとともに、被処理者の直
立位置を仮想回転柱６の中心部′に設定する。

かくして、この発明によれば上下一対の水平壁のうちの
一方から、他方の水平壁に穿たれている取入口に向う旋
回進行気流７が形成されるのであるが、この旋回進行気
流７は、第１図のように取入口５２を天蓋８の下面であ
る上位の水平！！！２ａに設けた場合、まさに地表から
昇天する竜巻様である。

第５図は上記した旋回進行気流７の旋回風速の特性を示
すもので、第１図および第２図に示すカプセル１の間口
Ｗ１および奥行Ｗ２をそれぞれ１　ｍ。

カプセルの室内の高さｈを２ｍ１吠出口４１におけるエ
アーカーテン４４の吹出風速５　ｍ／秒、吹出風ｆｆ１
６５ｍ３／分としたとき、カプセル１の中央部の風速は
２０〜３０　Ｉ１１／秒に達する。このように、旋回進
行気流７の旋回風速はきわめて高速であるのみならず、
被処理者の着衣は上下の全周にわたって一様にこのよう
な高速風によって除塵処理を受けるので、被処理者が自
ら除塵のための動作を行わなくとも除塵処理はきわめて
迅速かつ確実に行われる。除塵処理後、無数の塵を伴っ
た旋回進行気流７はエアーカーテン４１にかかる送ｍダ
クト５１の取入口５２に至り、吸引移送される際、送風
ダクトに介装されている集塵装置を通過することにより
脱ＶＭ清浄化され、再び吹出口４１へと還流する。

前記したように、旋回進行気流７は竜巻状で、細紐状に
中心部に集束され、その断面積は非常に小さい。従って
、取入口５２から吸引排出すべき風量は低速のエアーカ
ーテン４４を形成するのに所要な程度の少量でよいので
、吹出口４１から旋回進行気流７をへて取入口５２に至
り、送風グクト５１をへて吹出口４１へと還流する循環
風発生用の送風機の所要エネルギーは著しく小さい。な
お、図示例では送風ダクト５１、集塵袋ｒｆ！ｉ５３、
送風扇５４等を天蓋８に設けであるが、これらはすべて
床壁に相当する水平壁２ｂの側に設けることもできる。

この場合は旋回進行気流７は天井面から床面に向けて進
行する。

（発明の効果） かくして、この発明によれば、従来のエアーシャワー装
置と較べ、非処理者からみ゛ればきわめて手軽、短時間
の処理を受けるだけで確実に除塵されるのみならず、装
置全体が著しく小型化し、しかも除塵処理の所要エネル
ギーがきわめて小さいエアーシャワー装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかるエアーシャワー装置の一実施
例の立面概念図、第２図は同じく横断面図、第３図は従
来のエアーシャワー装置の立面概念図、第４図は同じく
天蓋を除いた平面図、第５図はこの発明における旋回進
行気流の風速特性線図である。 ａはノズル、ｂは送風機、Ｃはフィルター、ｄは取入口
、Ｆは扉、Ｋはカプセル、ｌはカプセル、２ａ＋２ｂは
水平壁、３は周壁、３１は出入口、３２は扉、３３は面
壁、３４は案内壁、４１は吹出口、４２は縦筒、４３は
孔、４４はエアーカーテン、５１は送風ダクｌ−１５２
は取入口、５３は集塵装置、５４は送風扇、６は仮想回
転柱、６１は切点、７は旋回進行気流、８は天蓋である
。 特許出願人　日本エアーカーテン株式会社第５図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）上下一対の水平壁、および所要の開閉できる出入
   口を設けた周壁で取囲んだカプセル内に横流エアーカー
   テン形成用の複数の吹出口を設け、一方の前記水平壁に
   前記横流エアーカーテンにかかる送風ダクトの取入口を
   設けるとともに前記送風ダクトに集塵装置を介装し、前
   記カプセル内の中央部に仮想回転柱を設定し、各前記横
   流エアーカーテンを前記仮想回転柱に切させ、かつその
   切点における前記仮想回転柱の回転方向と同一方向に形
   成させることにより他方の前記水平壁の壁面から前記取
   入口に向かう旋回進行気流を形成させるとともに、被処
   理者の直立位置を前記仮想回転柱の中心部に設定してな
   るエアーシャワー装置。
2. （２）前記した周壁はほぼ正方形の平面形を有し、前記
   した吹出口をそれぞれ前記周壁の角部に設けて各吹出口
   にかかる前記横流カーテンをそれぞれ対応する一つの面
   壁にそって形成させ、かつその面壁における前記横流エ
   アーカーテンの風下の位置からその風下側の角部におい
   て接続する他の面壁に対応する前記吹出口に至る平面形
   が円弧状の案内壁を設けてなる特許請求の範囲（１）記
   載のエアーシャワー装置。