JPH08166151A - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアシャワー装置の除塵効率を高め、クリー
ンルームへの塵埃等の侵入を防止する。 【構成】 エアシャワー装置１１の左側壁１６および右
側壁１７に複数個のノズル２８，２８…および２９，２
９…を略均一に配設する。該ノズル２８，２８…および
２９，２９…は左右側壁１６，１７に対して略一定方向
に斜設され、且つ、風上側のノズル２８ａ，２８ａ，２
８ａおよび２９ａ，２９ａ，２９ａは夫々ブース１８の
中央に位置する作業者１９の左肩および右肩方向に斜設
されている。更に、天井１２の中央にエア吸込口３０を
介して吸込ファン３２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はエアシャワー装置に関
するものであり、特に、エア吹出口を一定方向に斜設
し、且つ、天井または床にエア吸込口を設けることによ
って旋回流を発生させて除塵効率を高めたエアシャワー
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】集積回路等の生産においては、微量の塵
埃が歩留りに影響する。また、バイオテクノロジーの分
野では極力無菌状態を保たなければならない場合があ
る。そこで、所謂クリーンルーム内で生産や研究が行わ
れるだけでなく、クリーンルームの入口にエアシャワー
装置を設置して、作業者等がクリーンルームに入室する
際は該エアシャワー装置によって着衣の塵埃や菌を除去
することにより、クリーンルームへの塵埃等の侵入を防
止している。

【０００３】図４に図示せる如く、従来此種エアシャワ
ー装置は、人一人分のスペースを有するブース１の左右
側壁２，３に複数個の吹出口４，４…が略均一に配設さ
れている。そして、該吹出口４，４…は左右側壁２，３
に対して垂直方向に洗浄空気を噴射するように形成され
ている（図中実線矢印）。また、図５に図示せる如く、
左右側壁２，３の吹出口４，４…下方には排気口５が設
けられ、該排気口５の奥方向に送風機６が内設されてい
る。尚、排気口５にはプレフィルタが取り付けられてい
る。

【０００４】而して、図６において実線矢印で示した如
く、吹出口４，４…からジェットエアとして噴射された
洗浄空気は作業者の着衣等に付着している塵埃等を吹き
飛ばしながらブース１内に乱流となって拡散した後、送
風機６，６によって排気口５，５から左右側壁２，３内
部に吸い込まれる。そして、フィルタ７，７を介して除
塵された後、送風機６，６の風圧によって再び吹出口
４，４…からジェットエアとなって噴射される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のエアシャワー装
置においては、ブース内に噴射される洗浄空気の流速に
比べ、排気口から吸い込まれる空気の流速が遅いため、
作業者の着衣等から塵埃や菌を除去した後、排気口に達
するまで相当の時間を要する。従って、折角除去した塵
埃等が再び作業者の着衣等に付着する場合があり効率が
悪い。また、噴射を終了してもブース内には噴射終了直
前に除去した塵埃等が残留しており、ブースに隣接して
いるクリーンルームに入室しようとすると、それらの塵
埃等がクリーンルーム内に侵入してしまう虞れがある。

【０００６】また、ジェットエアを直接受ける部分は除
塵され易いが、ジェットエアの影になる部分は除塵され
にくい。従って、作業者は自ら向きを変えてまんべんな
く除塵されるようにしなければならない。

【０００７】そこで、エアシャワー装置の除塵効率を高
め、また、クリーンルームへの塵埃等の侵入を防止する
ために解決せらるべき技術的課題が生じてくるのであ
り、本発明は該課題を解決することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために提案されたものであり、天井と床と前後左右
の側壁とから成るブースの内壁に吹出口を設け、該吹出
口に送風機を延設することにより、ブース内に導入され
た除塵対象体を除塵するエアシャワー装置において、少
なくとも前後または左右の側壁に複数個のジェットエア
吹出口を略均一に配設し、且つ、該吹出口は該吹出口が
配設された側壁に対して略一定方向へ斜設され、且つ、
各側壁における風上側の吹出口はブース中央に導入され
た除塵対象体の該側壁寄りの略接線方向に斜設され、更
に、天井または床の中央に吸込口を介して吸込ファンを
設けたエアシャワー装置を提供するものである。

【０００９】

【作用】ブースの側壁に配設された吹出口からブース内
に噴射されるジェットエアは略一定方向に偏り、除塵対
象体がブース中央に位置するとき、該除塵対象体の略接
線方向に吹きつけて該除塵対象体を包絡するようにな
る。また、天井または床に設けられた吸込口からブース
内の空気が吸い込まれることによって縦方向の負圧が発
生するため、前記ジェットエアは除塵対象体を囲繞する
竜巻状の旋回噴流になる。そして、除塵対象体の表面に
付着していた塵埃や菌は該旋回噴流によって除塵対象体
から剥離され、該旋回噴流に乗って螺旋状に上昇または
下降し、吸込口から取り込まれてフィルタに捕えられる
ことによって除去される。斯くして、フィルタを通過し
て洗浄された空気は送風機によって再び吹出口からジェ
ットエアとなってブース内に噴射される。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３に従
って詳述する。図１はエアシャワー装置１１を示し、略
正方形で人一人分のスペースを有する天井１２（紙面手
前方向）および床１３（紙面奥方向）と人が余裕をもっ
て立つことのできる高さの前後左右の側壁１４，１５，
１６，１７とにより形成されたブース１８の中央には、
除塵対象体として防塵服を全身にまとった作業者１９が
前側壁１４に向かって立っている。該前側壁１４にはブ
ース１８からの出口であり、かつ、クリーンルームへの
入口であるドア２０が設けられ、また、後側壁１５には
ブース１８の入室用ドア２１が設けられている。

【００１１】左右側壁１６，１７の外側には送風機２
２，２３が設けられ、該送風機２２，２３によって作ら
れた圧縮空気は左右側壁１６，１７の外壁面に植設され
たフィルタ２４，２５を介して洗浄された後、該左右側
壁１６，１７内部のエアチャンバ２６，２７に送られ
る。該エアチャンバ２６，２７は左右側壁１６，１７の
内壁面に設けられた複数個のノズル２８，２８…および
２９，２９…に配管されている。

【００１２】図２に図示せる如く、該ノズル２８，２８
…および２９，２９…は左側壁１６または右側壁１７に
略均一に配設され、全てのノズル２８，２８…および２
９，２９…が水平方向を向くとともに、左側壁１６に配
設されたノズル２８，２８…は前側壁１４方向に略一定
角度だけ斜設され、右側壁１７に配設されたノズル２
９，２９…は後側壁１５方向に同じく略一定角度だけ斜
設されている。また、左側壁１６に配設されたノズル２
８，２８…からジェットエアが噴射された場合に風上側
に位置するノズル２８ａ，２８ａ，２８ａは、図１に図
示した如く、作業者１９のほぼ左肩方向を向くように形
成されている。同様に右側壁１７の風上側に位置するノ
ズル２９ａ，２９ａ，２９ａは作業者１９のほぼ右肩方
向を向くように形成されている。

【００１３】而して、図１において実線矢印で示した如
く、ノズル２８ａ，２８ａ，２８ａから噴射されたジェ
ットエアは作業者１９の左肩に当たって胸方向に回り込
み、また、他の風下側に位置するノズル２８，２８…か
ら噴射されたジェットエアは前側壁１４によって進路を
曲げられ、該前側壁１４と作業者１９とに挟まれた空間
を右側壁１７のノズル２９，２９…から噴射されるジェ
ットエアの風上側へ流れる。一方、該右側壁１７の風上
側のノズル２９ａ，２９ａ，２９ａから噴射されたジェ
ットエアは作業者１９の右肩に当って背中方向に回り込
み、また他の風下側に位置するノズル２９，２９…から
噴射されたジェットエアは後側壁１５によって進路を曲
げられ、該後側壁１５と作業者１９とに挟まれた空間を
左側壁１６の風上側ノズル２８ａ，２８ａ，２８ａ方向
へ流れる。斯くして、ノズル２８，２８…および２９，
２９…から噴射されたジェットエアは作業者１９を時計
回りに包絡しながら防塵服に付着した塵埃や菌を吹き飛
ばしてブース１８内部空間に放出する。

【００１４】更に、図３に図示せる如く、天井１２の中
央にはエア吸込口３０が開穿され、該エア吸込口３０に
フィルタ３１が植設されている。そして、該エア吸込口
３０上方にはエア吸込ファン３２が載設されることによ
ってブース１８内の空気が吸い込まれ、フィルタ３１に
よって該空気に混入している塵埃等が除去される。ま
た、エア吸込ファン３２の左右には送風管３３，３４が
延設され、送風機２２，２３に配管されている。斯くし
て、前記エア吸込ファン３２によって吸い込まれた空気
は該送風管３３，３４に案内されて送風機２２，２３に
至り、再びブース１８内へジェットエアとなって噴射さ
れる。

【００１５】而して、エア吸込口３０近傍のブース１８
内空間には、エア吸込ファン３２による吸引の効果によ
って縦方向の負圧が発生する。一方、ブース１８内には
前述した如く、ジェットエアが作業者１９を時計回りに
包絡する流れを形成しているので、両者の相乗作用によ
って前記ジェットエアは作業者１９を囲繞する竜巻状の
旋回噴流になり、益々流速を増大していく。従って、作
業者に吹き付けられた後乱流となって拡散する従来のエ
アシャワー装置に比べ、ジェットエアを効果的に利用し
て作業者１９に付着している塵埃等を剥離することがで
きるばかりでなく、該剥離されてブース１８内の空間に
吹き飛ばされた塵埃等は、旋回噴流に乗って極めて短時
間にエア吸込口３０へ達し、ブース１８内に滞留して浮
遊する量が少なくなるので、作業者１９に再付着するお
それが小さくなり、除塵効率が飛躍的に向上する。ま
た、作業者１９を囲繞する旋回噴流が形成されているの
で、作業者１９は自ら向きを変えてその全身が除塵され
るようにする必要がない。更に、洗浄終了後に作業者１
９がドア２０よりクリーンルームへ入室する際、ブース
１８内に塵埃等が残留していた場合にも、ブース１８内
の空気は慣性力でしばらく旋回し続けており、また、前
述の如く、短時間で吸い込まれるため洗浄終了時におけ
る塵埃等の残留量自体が少ないので、クリーンルームへ
侵入する塵埃等を減少させることができる。更に、未使
用時に行うブース１８内のクリーンアップ作業も前記旋
回噴流の作用によって効率的に行うことができる。

【００１６】尚、本実施例においては天井１２にエア吸
込口３０を設けているが、床１３に設けた場合にも同様
の旋回噴流が発生する。また、本実施例においてはノズ
ル２８，２８…および２９，２９…を水平方向に向けて
あるが、上方または下方に傾斜させてもよい。上方に傾
斜させるときはエア吸込口が天井に設けられている場合
が好ましく、下方に傾斜させるときはエア吸込口が床に
設けられている場合が好ましい。また、除塵対象体は作
業者等の人に限定されるものではなく、マシンエアシャ
ワーにおける機械類や、自動搬送用エアシャワーにおけ
る貨物類をも対象とすることができ、各除塵対象体にあ
わせてノズルの斜設角度等が設定される。更に、本実施
例においては送風機と吸込ファンとが別体に構成されて
いるが、両者を一体に構成してジェットエアを噴出する
作用とブース内の空気を吸い込んで負圧を形成する作用
とを兼任させてもよい。而して、本実施例の如く、送風
機とは別体に吸込ファンを設けた場合にはより強力な負
圧を形成することができ、また、洗浄終了後もしばらく
吸込ファンを作動させることによって作業者がクリーン
ルームへ入室する際に該クリーンルームへ塵埃等が侵入
するのを可及的に防止することができる。

【００１７】尚、ブース内に旋回流を発生させて除塵す
る他の手段として、特公平４−４１２６３の如く、水平
方向のエアカーテン流を発生させる複数個の吹出口を夫
々後方の吹出口の風下に位置するように連鎖的に配置し
てブース内に円環状のエアカーテンを形成させ、更に天
井または床に吸込口を設ける手段が提案されている。該
他の手段は吹出口から噴射されたエアカーテンによって
直接的に除塵するのではなく、該エアカーテンによって
間接的に形成した旋回流によって除塵しようとするもの
であり、前掲特許公報第５図において、該旋回流の外縁
を形成するエアカーテンの吹出風速に対して旋回流の中
心に行く程風速が増大し、十分な除塵処理がなされる旨
を述べている。しかし、斯かる現象はブース内が空室の
場合に生じるものであり、該空室時の中心に生じる風速
と同程度の高速旋回流が、ブース内に作業者等の障害物
が存在する場合に該作業者等の周囲に発生するわけでは
ない。従って、送風機の容量を大きくして相当高速のエ
アカーテン流を発生させなければ十分な除塵効果を得る
ことはできない。それに対して、本発明は作業者の略接
線方向にジェットエアを吹きつけることによってノズル
からの直接的な風圧で塵埃が吹き飛ばされるだけでな
く、更に該作業者の周囲に高速の旋回噴流を形成するこ
とによって除塵効率を高めたものであり、前記他の手段
とは発明の概念、構成および作用効果ともに著しく相違
するものである。

【００１８】而して、本発明は、本発明の精神を逸脱し
ない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明
が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【００１９】

【発明の効果】本発明は上記実施例にて詳述せる如く、
ブース中央に導入された除塵対象体のまわりに竜巻状の
旋回噴流を発生させることによって、ジェットエアを効
果的に利用して除塵できるばかりでなく、塵埃等を短時
間で吸込口から排出することができるので除塵対象体に
再付着する虞れが小さくなり、除塵効率が向上する。ま
た、ブース開放時に該ブースに残留している塵埃等がク
リーンルームへ侵入するのを可及的に防止することがで
きる等、正に諸種の効果を奏する発明である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、天井近傍から下方を
見た平面断面図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図またはＢ−Ｂ線断
面図であり、かっこ書符号はＢ−Ｂ線断面図による符号
を示す。

【図３】図１におけるＣ−Ｃ線断面図である。

【図４】従来例を示し、天井近傍から下方を見た平面断
面図である。

【図５】図４における左または右内側壁の正面図。

【図６】図４におけるＤ−Ｄ線断面図。

【符号の説明】

１１ エアシャワー装置 １２ 天井 １３ 床 １４ 前側壁 １５ 後側壁 １６ 左側壁 １７ 右側壁 １８ ブース １９ 作業者 ２２，２３ 送風機 ２８，２９ ノズル ２８ａ，２９ａ 風上側のノズル ３０ エア吸込口 ３２ エア吸込ファン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 天井と床と前後左右の側壁とから成るブ
   ースの内壁に吹出口を設け、該吹出口に送風機を延設す
   ることにより、ブース内に導入された除塵対象体を除塵
   するエアシャワー装置において、少なくとも前後または
   左右の側壁に複数個のジェットエア吹出口を略均一に配
   設し、且つ、該吹出口は該吹出口が配設された側壁に対
   して略一定方向へ斜設され、且つ、各側壁における風上
   側の吹出口はブース中央に導入された除塵対象体の該側
   壁寄りの略接線方向に斜設され、更に、天井または床の
   中央に吸込口を介して吸込ファンを設けたことを特徴と
   するエアシャワー装置。