JP2002364895A - エアーシャワー装置 - Google Patents
エアーシャワー装置Info
- Publication number
- JP2002364895A JP2002364895A JP2001169773A JP2001169773A JP2002364895A JP 2002364895 A JP2002364895 A JP 2002364895A JP 2001169773 A JP2001169773 A JP 2001169773A JP 2001169773 A JP2001169773 A JP 2001169773A JP 2002364895 A JP2002364895 A JP 2002364895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- room
- air shower
- floor surface
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】衣服等から塵埃粒子を確実に離脱させ、効率良
くエアーシャワー室内から排出させ、衣服等への再付着
を防止したエアーシャワー装置の提供を目的とする。 【解決手段】清浄度の高いクリーンルームへの出口と、
清浄度の低い室からの入口を有するエアーシャワー室に
おいて、上部から床面に向けて旋回気流が発生するよう
に複数のエアー吹出手段を側部に備え、エアーシャワー
室上部に床面に向けてのエアー吹出手段を設け、床面又
は床面近傍の側部から上記旋回気流を吸い込むエアー吸
込口を備えた。エアーシャワー室の骨組を構成する四隅
の柱を利用して、この柱にエアー吹出口を取り付け、中
空断面形状の柱の中空部を介してこのエアー吹出口から
旋回気流が発生するようにエアーを吹出させると、エア
ーシャワー室の大きさをコンパクトに出来、旋回気流の
調整が容易になる。
くエアーシャワー室内から排出させ、衣服等への再付着
を防止したエアーシャワー装置の提供を目的とする。 【解決手段】清浄度の高いクリーンルームへの出口と、
清浄度の低い室からの入口を有するエアーシャワー室に
おいて、上部から床面に向けて旋回気流が発生するよう
に複数のエアー吹出手段を側部に備え、エアーシャワー
室上部に床面に向けてのエアー吹出手段を設け、床面又
は床面近傍の側部から上記旋回気流を吸い込むエアー吸
込口を備えた。エアーシャワー室の骨組を構成する四隅
の柱を利用して、この柱にエアー吹出口を取り付け、中
空断面形状の柱の中空部を介してこのエアー吹出口から
旋回気流が発生するようにエアーを吹出させると、エア
ーシャワー室の大きさをコンパクトに出来、旋回気流の
調整が容易になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
立入る前に、作業員等の人体あるいは衣服等に付着して
いる塵埃粒子等を除去するエアーシャワー装置に関す
る。
立入る前に、作業員等の人体あるいは衣服等に付着して
いる塵埃粒子等を除去するエアーシャワー装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高い清浄度が要求される半導体装置の製
造、食品及び医薬品製造等においてはクリーンルーム内
にて作業等が行われている。従って、クリーンルームに
作業員等が立入る前に、人体あるいは衣服等に付着して
いる塵埃粒子等を除去する必要があり、従来からクリー
ンルームに立入る前に隔離されたエアーシャワー室が設
けられている。しかし、従来のエアーシャワー装置は、
送風機の前に設けたフィルターを介して複数のエアー吹
出口からジェット状に吹き出される清浄なエアーを作業
員等の両側から浴びせているものが一般的であり、作業
員の衣服等にエアーがスポット的に当たり、エアーシャ
ワー室内は乱気流状態になっていた。その為に、せっか
くエアーが衣服等から塵埃粒子を離脱させても、塵埃粒
子がエアーシャワー室内をこの乱気流に合わせて舞い上
がることになり、エアーシャワーを止めてクリーンルー
ムに立入ろうとする際に、この舞い上がっていた塵埃粒
子が落下して来て衣服等に再付着するという技術的課題
があった。また、エアーシャワー時間を長くしても乱気
流状態になっている下では、塵埃粒子がエアーシャワー
室外に排出され難く、エアーを循環させてフィルターに
て除塵させる方法も知られているが、乱気流状態では実
質的な循環回数を充分に上げることができなかった。
造、食品及び医薬品製造等においてはクリーンルーム内
にて作業等が行われている。従って、クリーンルームに
作業員等が立入る前に、人体あるいは衣服等に付着して
いる塵埃粒子等を除去する必要があり、従来からクリー
ンルームに立入る前に隔離されたエアーシャワー室が設
けられている。しかし、従来のエアーシャワー装置は、
送風機の前に設けたフィルターを介して複数のエアー吹
出口からジェット状に吹き出される清浄なエアーを作業
員等の両側から浴びせているものが一般的であり、作業
員の衣服等にエアーがスポット的に当たり、エアーシャ
ワー室内は乱気流状態になっていた。その為に、せっか
くエアーが衣服等から塵埃粒子を離脱させても、塵埃粒
子がエアーシャワー室内をこの乱気流に合わせて舞い上
がることになり、エアーシャワーを止めてクリーンルー
ムに立入ろうとする際に、この舞い上がっていた塵埃粒
子が落下して来て衣服等に再付着するという技術的課題
があった。また、エアーシャワー時間を長くしても乱気
流状態になっている下では、塵埃粒子がエアーシャワー
室外に排出され難く、エアーを循環させてフィルターに
て除塵させる方法も知られているが、乱気流状態では実
質的な循環回数を充分に上げることができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、衣服等から
塵埃粒子を確実に離脱させ、効率良くエアーシャワー室
内から排出させ、衣服等への再付着を防止したエアーシ
ャワー装置の提供を目的とする。
塵埃粒子を確実に離脱させ、効率良くエアーシャワー室
内から排出させ、衣服等への再付着を防止したエアーシ
ャワー装置の提供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、エアーシャワ
ー室に立っている作業員等の周囲を旋回するように、上
部から床面に向けて清浄度の高いエアーを吹き出すこと
により、人体あるいは衣服等から確実に塵埃粒子を離す
とともに、上部から床面に向けて旋回する人工のトルネ
ードの流れに沿って塵埃粒子をエアーシャワー室外に速
やかに排出させることをねらいになされたものである。
ー室に立っている作業員等の周囲を旋回するように、上
部から床面に向けて清浄度の高いエアーを吹き出すこと
により、人体あるいは衣服等から確実に塵埃粒子を離す
とともに、上部から床面に向けて旋回する人工のトルネ
ードの流れに沿って塵埃粒子をエアーシャワー室外に速
やかに排出させることをねらいになされたものである。
【０００５】請求項１記載に係る発明は、清浄度の高い
クリーンルームへの出口と、清浄度の低い室からの入口
を有するエアーシャワー室において、上部から床面に向
けて旋回気流が発生するように複数のエアー吹出手段を
エアーシャワー室の側部に備えるとともに、天井面より
床面に向けて吹き出すエアー吹出手段をエアーシャワー
室上部に設けて当該旋回気流を下部へ押し出すように
し、床面又は床面近傍の側部から上記旋回気流を吸い込
むエアー吸込口を備えた。ここで、旋回気流を発生させ
るための複数のエアー吹出手段とは例えば、エアー吹出
口の先端部を左回り又は右回りに回転するように吹き出
させて、エアーシャワー室の上部から下部に向けて複数
配置する等、上部から下部の床面に向けて旋回気流が発
生するものであれば特に限定されるものでない。また、
天井面より床面に向けて吹き出すエアー吹出手段をエア
ーシャワー室上部に設けたのは、エアーシャワー室側部
のエアー吹出手段にて上部から床面に向けた方向に発生
させた旋回気流を下部の床面側に押し出すのをアシスト
するためであり、これにより人体あるいは衣服から離れ
た塵埃粒子が、より速やかに下部に設けたエアー吹込口
からエアーシャワー室外に排出されるように作用する。
クリーンルームへの出口と、清浄度の低い室からの入口
を有するエアーシャワー室において、上部から床面に向
けて旋回気流が発生するように複数のエアー吹出手段を
エアーシャワー室の側部に備えるとともに、天井面より
床面に向けて吹き出すエアー吹出手段をエアーシャワー
室上部に設けて当該旋回気流を下部へ押し出すように
し、床面又は床面近傍の側部から上記旋回気流を吸い込
むエアー吸込口を備えた。ここで、旋回気流を発生させ
るための複数のエアー吹出手段とは例えば、エアー吹出
口の先端部を左回り又は右回りに回転するように吹き出
させて、エアーシャワー室の上部から下部に向けて複数
配置する等、上部から下部の床面に向けて旋回気流が発
生するものであれば特に限定されるものでない。また、
天井面より床面に向けて吹き出すエアー吹出手段をエア
ーシャワー室上部に設けたのは、エアーシャワー室側部
のエアー吹出手段にて上部から床面に向けた方向に発生
させた旋回気流を下部の床面側に押し出すのをアシスト
するためであり、これにより人体あるいは衣服から離れ
た塵埃粒子が、より速やかに下部に設けたエアー吹込口
からエアーシャワー室外に排出されるように作用する。
【０００６】請求項２記載に係る発明は、エアーシャワ
ー室の骨組を構成する四隅の柱を利用して、この柱にエ
アー吹出口を取り付け、中空断面形状の柱の中空部を介
してこのエアー吹出口から旋回気流が発生するようにエ
アーを吹出させることにより、エアーシャワー室の大き
さをコンパクトに出来、旋回気流の調整を容易にしたも
ので、具体的には上部から床面に向けての旋回気流を発
生させる複数のエアー吹出手段をエアーシャワー室の四
隅に設けた４本の中空断面からなる柱部に配置した。
ー室の骨組を構成する四隅の柱を利用して、この柱にエ
アー吹出口を取り付け、中空断面形状の柱の中空部を介
してこのエアー吹出口から旋回気流が発生するようにエ
アーを吹出させることにより、エアーシャワー室の大き
さをコンパクトに出来、旋回気流の調整を容易にしたも
ので、具体的には上部から床面に向けての旋回気流を発
生させる複数のエアー吹出手段をエアーシャワー室の四
隅に設けた４本の中空断面からなる柱部に配置した。
【０００７】請求項３記載に係る発明は、除塵効率を高
め省エネルギー化をねらいに、床面又は床面近傍の側部
に設けたエアー吸込口から吸込まれたエアーを、上部の
エアー吹出手段側にリターンさせた。
め省エネルギー化をねらいに、床面又は床面近傍の側部
に設けたエアー吸込口から吸込まれたエアーを、上部の
エアー吹出手段側にリターンさせた。
【０００８】本発明の望ましい実施の形態を以下添付図
面に基づいて説明する。図１（イ）に本発明に係るエア
ーシャワー装置の側面図を示し、図１（ロ）にエアーシ
ャワー室の天井から見た上面図を示し、図２（ハ）にエ
アーシャワー室の入口扉から見た側面図を示す。エアー
シャワー室は、四隅の柱１〜４を骨組とし、ポリカーボ
ネート等の側面パネル５０及び出入口扉５１にて四方を
囲み、天井８及び床面９にて構成され、天井面の上部に
は送風機６が配置され、プレフィルター７０を通して吸
気され、フィルター７１を通過させてエアーシャワー室
に給気される。フィルター７１を通過し、清浄化された
エアーは、４本の柱の中空部（１ａ、２ａ、３ａ、４
ａ）と天井面８に設けた天井エアー吹き出し穴８１に分
配される。柱の側部に設けたエアー吹出口（１１〜１
４、２１〜２４、３１〜３４、４１〜４４）から旋回気
流が発生するようにエアーシャワー室内に吹出され、天
井エアー吹出穴からも床面に向けてエアーが吹出され
る。また、エアーシャワー室の床面９にグレーチング等
を敷いて設けられたエアー吸込口９１より排出される。
面に基づいて説明する。図１（イ）に本発明に係るエア
ーシャワー装置の側面図を示し、図１（ロ）にエアーシ
ャワー室の天井から見た上面図を示し、図２（ハ）にエ
アーシャワー室の入口扉から見た側面図を示す。エアー
シャワー室は、四隅の柱１〜４を骨組とし、ポリカーボ
ネート等の側面パネル５０及び出入口扉５１にて四方を
囲み、天井８及び床面９にて構成され、天井面の上部に
は送風機６が配置され、プレフィルター７０を通して吸
気され、フィルター７１を通過させてエアーシャワー室
に給気される。フィルター７１を通過し、清浄化された
エアーは、４本の柱の中空部（１ａ、２ａ、３ａ、４
ａ）と天井面８に設けた天井エアー吹き出し穴８１に分
配される。柱の側部に設けたエアー吹出口（１１〜１
４、２１〜２４、３１〜３４、４１〜４４）から旋回気
流が発生するようにエアーシャワー室内に吹出され、天
井エアー吹出穴からも床面に向けてエアーが吹出され
る。また、エアーシャワー室の床面９にグレーチング等
を敷いて設けられたエアー吸込口９１より排出される。
【０００９】４本の柱に設けたエアー吹出口の配置例を
図３に示すように、柱１と柱３のエアー吹出口（１１〜
１４、３１〜３４）を柱２と柱４のエアー吹出口（２１
〜２４、４１〜４４）より少し上部に対応するように
し、エアー吹出口の方向は上下及び左右に自由調整出来
るようになっていて、回旋気流の速さや方向を可変する
ことができる。
図３に示すように、柱１と柱３のエアー吹出口（１１〜
１４、３１〜３４）を柱２と柱４のエアー吹出口（２１
〜２４、４１〜４４）より少し上部に対応するように
し、エアー吹出口の方向は上下及び左右に自由調整出来
るようになっていて、回旋気流の速さや方向を可変する
ことができる。
【００１０】このような構成からなるエアーシャワー装
置のエアーの流れを図４に模式的に示す。送風機に給気
された清浄エアーは、４本の柱の中空部を通過し、これ
らの４本の柱の側部に所定数を所定の高さに配置したエ
アー吹出口（１１〜１４、２１〜２４、３１〜３４、４
１〜４４）が吹出されることにより、エアーシャワー室
内に上部から床面に向けて旋回気流Ａ２を発生させる。
一方、天井エアー吹出口からも床面に向けてエアーＡ１
が吹出していて、旋回気流が床面の方向に押し出される
のをアシストしている。エアーＡ２及びＡ１は、床面に
設けたグレーチング等のエアー吸込口からエアーシャワ
ー室外へ排気Ａ３される。このエアー吸込口は、必ずし
も床面に限定する必要はなく、エアーシャワー室下部の
側面からでもよく、また外気としてそのまま放出しても
よいが、給気側にリターンさせるのが望ましい。
置のエアーの流れを図４に模式的に示す。送風機に給気
された清浄エアーは、４本の柱の中空部を通過し、これ
らの４本の柱の側部に所定数を所定の高さに配置したエ
アー吹出口（１１〜１４、２１〜２４、３１〜３４、４
１〜４４）が吹出されることにより、エアーシャワー室
内に上部から床面に向けて旋回気流Ａ２を発生させる。
一方、天井エアー吹出口からも床面に向けてエアーＡ１
が吹出していて、旋回気流が床面の方向に押し出される
のをアシストしている。エアーＡ２及びＡ１は、床面に
設けたグレーチング等のエアー吸込口からエアーシャワ
ー室外へ排気Ａ３される。このエアー吸込口は、必ずし
も床面に限定する必要はなく、エアーシャワー室下部の
側面からでもよく、また外気としてそのまま放出しても
よいが、給気側にリターンさせるのが望ましい。
【００１１】次に、本発明に係るエアーシャワー装置を
用いた清浄度測定結果を図５（グラフ１）及び図６（グ
ラフ２）に基づいて説明する。グラフ１は、本発明に係
るエアーシャワー装置によるエアーシャワー室に入室し
て、約３０秒間衣服を軽くたたき、その後静止している
状態を保った場合のパーテクルカウンターを用いて測定
レンジ塵埃粒子径０．３μｍ以上、床面から１００ｍｍ
の高さにて測定した結果Ｔ１、と比較例として従来の側
壁からエアーを吹出すタイプのエアーシャワー室にて同
様に測定した結果Ｔ０を片対数グラフに表わしたもので
ある。横軸は、経過時間（秒）を表わし、縦軸は、一辺
が３０．４８ｃｍの立方体中当たりに測定される塵埃粒
子数を示す。この測定結果は、１０回測定調査した場合
の平均値をプロットしたものであり、明らかに本発明に
係るエアーシャワー装置によれば、従来の側壁からエア
ーを吹出すエアーシャワー装置に比較して、速やかに塵
埃粒子が室外に排出されているのが分かる。例えば一般
に、Ｃｌａｓｓ １００といわれている粒子数１００個
以下に到達するまでの時間を比較すると、本発明による
エアーシャワー装置の場合、約５８秒間なのに対して従
来のエアーシャワー装置では約７０秒間も要していた。
特にグラフ２に示すように、同様の条件にて塵埃粒子径
０．１μｍ以上レンジにて測定調査すると、粒子数１０
０個以下に到達する時間は、本発明に係るエアーシャワ
ー装置の場合に約７４秒間なのに、従来のエアーシャワ
ー装置の場合には約１２０秒間も要し、本発明に係る装
置の方が明らかに速やかにしかも、安定して塵埃粒子を
排出していることが分かる。
用いた清浄度測定結果を図５（グラフ１）及び図６（グ
ラフ２）に基づいて説明する。グラフ１は、本発明に係
るエアーシャワー装置によるエアーシャワー室に入室し
て、約３０秒間衣服を軽くたたき、その後静止している
状態を保った場合のパーテクルカウンターを用いて測定
レンジ塵埃粒子径０．３μｍ以上、床面から１００ｍｍ
の高さにて測定した結果Ｔ１、と比較例として従来の側
壁からエアーを吹出すタイプのエアーシャワー室にて同
様に測定した結果Ｔ０を片対数グラフに表わしたもので
ある。横軸は、経過時間（秒）を表わし、縦軸は、一辺
が３０．４８ｃｍの立方体中当たりに測定される塵埃粒
子数を示す。この測定結果は、１０回測定調査した場合
の平均値をプロットしたものであり、明らかに本発明に
係るエアーシャワー装置によれば、従来の側壁からエア
ーを吹出すエアーシャワー装置に比較して、速やかに塵
埃粒子が室外に排出されているのが分かる。例えば一般
に、Ｃｌａｓｓ １００といわれている粒子数１００個
以下に到達するまでの時間を比較すると、本発明による
エアーシャワー装置の場合、約５８秒間なのに対して従
来のエアーシャワー装置では約７０秒間も要していた。
特にグラフ２に示すように、同様の条件にて塵埃粒子径
０．１μｍ以上レンジにて測定調査すると、粒子数１０
０個以下に到達する時間は、本発明に係るエアーシャワ
ー装置の場合に約７４秒間なのに、従来のエアーシャワ
ー装置の場合には約１２０秒間も要し、本発明に係る装
置の方が明らかに速やかにしかも、安定して塵埃粒子を
排出していることが分かる。
【００１２】
【発明の効果】本発明においては、上部から床面に向け
ての旋回気流を発生させたので、作業員等を包み込むよ
うに清浄エアーが当たり、人体あるいは衣服に付着して
いた塵埃粒子を離脱させ、その後速やかに上部から床面
に向けての下方向のトルネードに沿って室外に排出する
ことができる。また天井からも床面に向けてエアーを吹
出すことにより、旋回気流がより速やかに下部方向に押
し出される。この旋回気流を発生させるためのエアー吹
出口を四隅の柱の中空部を利用して取り付けたので、旋
回気流の速さや方向の調整が容易になるとともにエアー
シャワー室がよりコンパクトになる。
ての旋回気流を発生させたので、作業員等を包み込むよ
うに清浄エアーが当たり、人体あるいは衣服に付着して
いた塵埃粒子を離脱させ、その後速やかに上部から床面
に向けての下方向のトルネードに沿って室外に排出する
ことができる。また天井からも床面に向けてエアーを吹
出すことにより、旋回気流がより速やかに下部方向に押
し出される。この旋回気流を発生させるためのエアー吹
出口を四隅の柱の中空部を利用して取り付けたので、旋
回気流の速さや方向の調整が容易になるとともにエアー
シャワー室がよりコンパクトになる。
【図１】本発明に係るエアーシャワー装置を示す。
【図２】本発明に係るエアーシャワー装置を入口扉側か
ら見た側面図を示す。
ら見た側面図を示す。
【図３】柱に設けたエアー吹出口の配置例を示す。
【図４】本発明におけるエアーの流れの模式図を示す。
【図５】粒子径０．３μｍ以上レンジにて測定したデー
タのグラフを示す。
タのグラフを示す。
【図６】粒子径０．１μｍ以上レンジにて測定したデー
タのグラフを示す。
タのグラフを示す。
１ 柱１ １１、１２、１３、１４ 柱１に取り付けたエアー吹
出口 ２ 柱２ ２１、２２、２３、２４ 柱２に取り付けたエアー吹
出口 ３ 柱３ ３１、３２、３３、３４ 柱３に取り付けたエアー吹
出口 ４ 柱４ ４１、４２、４３、４４ 柱４に取り付けたエアー吹
出口 １ａ、２ａ、３ａ、４ａ 柱の中空部 ５０ 側面パネル ５１ 出入口扉 ６ 送風機 ７０ プレフィルター ７１ フィルター ８ 天井 ８１ 天井エアー吹出穴 ９ 床面 ９１ 床エアー吸込口 Ａ１ 天井エアー吹出口エアーの流れ Ａ２ 旋回気流 Ａ３ 排出エアーの流れ Ｔ１ 本発明に係るエアーシャワー装置を用いた場合
の測定データのグラフを示す。 Ｔ０ 従来のエアーシャワー装置を用いた場合の測定
データのグラフを示す。
出口 ２ 柱２ ２１、２２、２３、２４ 柱２に取り付けたエアー吹
出口 ３ 柱３ ３１、３２、３３、３４ 柱３に取り付けたエアー吹
出口 ４ 柱４ ４１、４２、４３、４４ 柱４に取り付けたエアー吹
出口 １ａ、２ａ、３ａ、４ａ 柱の中空部 ５０ 側面パネル ５１ 出入口扉 ６ 送風機 ７０ プレフィルター ７１ フィルター ８ 天井 ８１ 天井エアー吹出穴 ９ 床面 ９１ 床エアー吸込口 Ａ１ 天井エアー吹出口エアーの流れ Ａ２ 旋回気流 Ａ３ 排出エアーの流れ Ｔ１ 本発明に係るエアーシャワー装置を用いた場合
の測定データのグラフを示す。 Ｔ０ 従来のエアーシャワー装置を用いた場合の測定
データのグラフを示す。
Claims (3)
- 【請求項１】清浄度の高いクリーンルームへの出口と、
清浄度の低い室からの入口を有するエアーシャワー室に
おいて、上部から床面に向けて旋回気流が発生するよう
に複数のエアー吹出手段をエアーシャワー室の側部に備
えるとともに、天井面より床面に向けて吹き出すエアー
吹出手段をエアーシャワー室上部に設けて当該旋回気流
を下部へ押し出すようにし、床面又は床面近傍の側部か
ら上記旋回気流を吸い込むエアー吸込口を備えたことを
特徴とするエアーシャワー装置。 - 【請求項２】上部から床面に向けての旋回気流を発生さ
せる複数のエアー吹出手段をエアーシャワー室の四隅に
設けた４本の中空断面からなる柱部に配置したことを特
徴とする請求項１記載のエアーシャワー装置。 - 【請求項３】床面又は床面近傍の側部に設けたエアー吸
込口から吸込まれたエアーを、上部のエアー吹出手段側
にリターンさせる手段を設けたことを特徴とする請求項
１又は請求項２記載のエアーシャワー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169773A JP2002364895A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | エアーシャワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169773A JP2002364895A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | エアーシャワー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002364895A true JP2002364895A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19011807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001169773A Pending JP2002364895A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | エアーシャワー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002364895A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106839037A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-06-13 | 滑铁卢计算流体力学工程咨询公司 | 抽油烟机的油烟旋集装置 |
| WO2022074267A1 (es) | 2020-10-05 | 2022-04-14 | Fundiciones Fumbarri Durango, S.A. | Cabina de soplado |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62225838A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-03 | Nippon Air Curtain Kk | エア−シヤワ−装置 |
| JPS62261842A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Nippon Air Curtain Kk | 人工竜巻発生機構とその利用法 |
| JPH0414943A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 会議通信システムの通信リンク構成方法 |
| JPH0462347A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Kokuyo Co Ltd | 喫煙装置 |
| JPH04309734A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-02 | Japan Air Curtain Corp | 人工竜巻式局所排気装置 |
| JPH07293956A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JPH08166151A (ja) * | 1994-12-13 | 1996-06-25 | Kumagai Gumi Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JPH11351628A (ja) * | 1998-06-15 | 1999-12-24 | Penta Ocean Constr Co Ltd | エアーシャワー装置 |
-
2001
- 2001-06-05 JP JP2001169773A patent/JP2002364895A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62225838A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-03 | Nippon Air Curtain Kk | エア−シヤワ−装置 |
| JPS62261842A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Nippon Air Curtain Kk | 人工竜巻発生機構とその利用法 |
| JPH0414943A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 会議通信システムの通信リンク構成方法 |
| JPH0462347A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Kokuyo Co Ltd | 喫煙装置 |
| JPH04309734A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-02 | Japan Air Curtain Corp | 人工竜巻式局所排気装置 |
| JPH07293956A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JPH08166151A (ja) * | 1994-12-13 | 1996-06-25 | Kumagai Gumi Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JPH11351628A (ja) * | 1998-06-15 | 1999-12-24 | Penta Ocean Constr Co Ltd | エアーシャワー装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106839037A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-06-13 | 滑铁卢计算流体力学工程咨询公司 | 抽油烟机的油烟旋集装置 |
| WO2022074267A1 (es) | 2020-10-05 | 2022-04-14 | Fundiciones Fumbarri Durango, S.A. | Cabina de soplado |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4776584B2 (ja) | 手乾燥装置 | |
| JP2008064403A (ja) | エアシャワー装置 | |
| KR100626091B1 (ko) | 에어샤워장치 | |
| JP2002364895A (ja) | エアーシャワー装置 | |
| JP7153040B2 (ja) | エアー洗浄装置およびエアーカーテン機能付きエアー洗浄装置 | |
| JP4629282B2 (ja) | クリーンルーム出入口用の防塵装置 | |
| JP6531700B2 (ja) | 異物除去装置 | |
| JP4824885B2 (ja) | エアシャワー装置，清浄装置の配置構造及び運転方法 | |
| JPH05116863A (ja) | エレベータのかご内清浄装置 | |
| JP6647598B2 (ja) | クリーンブース | |
| JPH10238834A (ja) | エアシャワー装置 | |
| KR20220046222A (ko) | 에어샤워와 집진 및 살균 기능을 가진 클린 룸 및 이를 적용한 다자 독립 출입형 클린 부스 | |
| JPS62225838A (ja) | エア−シヤワ−装置 | |
| JPH0225652A (ja) | クリーンエリア形成装置 | |
| JPH08166151A (ja) | エアシャワー装置 | |
| JP3483470B2 (ja) | エアーシャワー装置 | |
| JPS62299641A (ja) | クリ−ンル−ムの気流方式 | |
| KR200393149Y1 (ko) | 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치 | |
| JP2014025617A (ja) | エアシャワー装置 | |
| JP2662207B2 (ja) | エアシャワ−装置 | |
| JPH024145A (ja) | クリーンブース | |
| KR102194033B1 (ko) | 인체 및 물품의 크린룸 이동을 위한 패스박스 | |
| JP2002001240A (ja) | スピン処理装置 | |
| KR100500428B1 (ko) | 에어 샤워 장치 | |
| JP2003090575A (ja) | エアシャワ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080522 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101104 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101228 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110706 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110831 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120116 |