JPH10238834A - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルームの出入口に設けられるエアシャ
ワー装置において、取り難い塵埃でも完全に除去する。 【解決手段】付着力の弱い塵埃を除去する定常速度の風
速のノズル３の他に、付着力の強い塵埃を脱離させるの
に十分な風圧で吹き付けるノズル２の複数をエアシャワ
ー室１７の両壁に適宜に設け、強力な風圧で衣服を叩
き、しかる後、剥離した塵埃を定常速度の空気で押し流
すことによって、作業者の衣服あるいは人体に付着した
塵埃が完全に除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスを
製造する清浄度の高いクリーンルームに入室口に配設さ
れ、人体または防塵衣などに付着した異物を除去するエ
アシャワー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のエアシャワー室は、クリ
ーンルームの入出口に配置され、作業者が入室すると、
自動的にセンサが検知し、強制循環された清浄な空気が
室内の壁に設けられたエアノズルより吹き出され、作業
者の人体や防塵衣などに付着した異物を除去していた。
しかしながら、吹き出された空気が作業者の人体あるい
は衣服の全てに行き渡らず、しばしば、塵埃が除去され
ないままクリーンルームに入室することがある。これを
解消しようと、作業者が衣服を叩いたりエアシャワー室
内を回ったりしても、この煩わしい動作が必ず行なうこ
とが守れなく塵埃の付着の問題は解消するには至らなか
った。

【０００３】この問題を解消するエアシャワー装置が特
開平５一９９４６４号公報に開示されている。このエア
シャワー室は、図４に示すように、コンプレッサ２２か
らの圧縮空気をフィルタ２３で清浄化し、バルブ２４を
介して配管２７およびプラスチックチューブ２５を経由
し複数のノズル２０に清浄な圧縮空気を供給し、回転機
構２１により向きを変えながらノズル２０から高速かつ
高圧のジェット気流を吹き出させ人体あるいは衣服の全
体の塵埃を除去し除塵高率を高め小型化を図ったことを
特徴としている。勿論、作業者が入室することを検知す
る赤外線検知装置２６や自動ドア１５の閉により動作す
るタイマ２８なども備えられている。

【０００４】また、もう一つの例は、特開平６一２９１
００３号公報に開示されている。このエアシャワー装置
は、エアシャワー室に回転可能に支持された複数のエア
噴出口を有するエア噴射ノズルユニットと、エア噴射ノ
ズルユニット内に設けた回転翼と、エア噴射ノズルユニ
ットの軸方向に往復動可能に装着された脈動気流発生ユ
ニットとを設け、エアーを吹き付ける際に、回転・脈動
気流を噴射することにより被清浄体に付着した異物を効
率よく除去することを特徴としている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、半導体装置の高
集積化に伴いクリーンルームの清浄度をより高く要求さ
れるように至った。しかしながら、従来のエアシャワー
装置で、衣服に付着する付着力の弱い通常の塵埃は、除
去できるが衣服の縫目など僅に表面が円滑でない部分に
停留する異物は、付着力が強く取り切れず付着したまま
クリーンルームに持ち込まれることが多々あった。そし
て、持込まれた異物が作業者の動作により剥離し仕掛品
に品質に重大な欠陥をもたらすという問題があった。

【０００６】上述した高圧かつ高速のジェットを噴出さ
せ着衣の除塵を行なうエアシャワー装置では、空気圧が
高く高速であり付着力の強い塵埃に対しては、ある程度
の除去効果が見られるものの、吹出し用のノズルの径が
細く、空気が当る面積が小さく着衣全体に一様に吹き付
けることが困難である。

【０００７】また、後者の脈動気流を浴せる装置では、
空気の流れを脈動化させるのに、回転翼や軸方向に移動
する脈動気流発生ユニットなどの摺動部をもつ機械駆動
機構を設けなければならず、発塵の原因ともなりかねな
い。さらに、脈動状の気流では、付着力の強い塵埃を除
去するのに風圧が足りず完全に塵埃が取り切れないとい
う問題がある。

【０００８】従って、本発明の目的は、付着力の強い塵
埃でも除去できるエアシャワー装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、クリー
ンルームの出入口に設けられ入室しようとする作業者の
衣服あるいは人体に付着する塵埃を除去するエアシャワ
ー装置において、出入方向に交叉するエアシャワー室の
両側の壁面に設けられるとともに定常速度の清浄な空気
を噴出する複数の第１のノズルと、隣接する前記第１の
ノズルの間に適宜配置される複数の第２のノズルと、こ
の第２のノズルに風速が速い清浄な空気を断続的に供給
する断続送風ユニットと、前記第２のノズルに供給する
前記風速の速い清浄な空気の供給および遮断を制御する
シーケンス制御部を備えるエアシャワー装置である。ま
た、前記作業者が乗る台を昇降させる昇降機構を備える
ことが望ましい。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。

【００１１】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態におけるエアシャワー装置の全体の構成を示す図
である。このエアシャワー装置は、図１に示すように、
一方向に入出口に配設される自動ドア１５，１６を具備
し天井に照明具１２が設けられるエアシャワー室１７
と、このエアシャワー室１７の出入口の方向に対して垂
直方向の両壁に適宜に配置される定常の風速の空気を噴
出する複数のノズル３と、このノズル３間に適宜に配置
されるとともに強風を断続的に噴出させるノズル２と、
エアシャワー室１７に放出された空気をプレフィルタ１
１を介して吸引しＨＥＰＡフィルタ９を通してノズル３
に定常の風速の空気を供給するファン８と、コンプレッ
サ７およびタンク６ならびにバルブ５で構成されフィル
タ１４を介してノズル２に断続的に強風を供給する断続
送風ユニット１と、この断続送風ユニットのバルブ５の
開閉を制御するシーケンサ４とを備えている。

【００１２】断続送風ユニット１は、例えば、０．５〜
１秒毎に、１０ｍ／ｓ以上の強風が得られるような十分
容量のあるタンク６とコンプレッサ７で構成されてい
る。そして、上段、中段および下段の順にバルブ５が開
閉するようにシーケンサ４で制御される。ノズル３から
の定常流の風速は、例えば、４乃至５ｍ／ｓ程度であ
り、ノズル２からの強風で着衣を叩き埃を離脱させてか
ら、定常の風速で、例えば、１５秒程度着衣に吹き付
け、浮遊する埃を下方に流し出す。

【００１３】図２は図１のエアシャワー装置の動作を説
明するためのフローチャートである。次に、このエアシ
ャワー装置の動作を図１および図２を参照して説明す
る。まず、図２のステップＡで、図１の断続送風ユニッ
ト１のタンクの圧力が所定の圧力以上あるか否か確認す
る。圧力が規程以上あれば、入室可のランプが表示され
る。次に、ステップＢで、作業者は自動ドア１５からエ
アシャワー室１７に入室する。自動ドア１５は閉じ、ス
テップＥでセンサ１３が作業者がエアシャワー室１７に
入室したことを確認し、その信号をシーケンサ４が検知
し、バルブ５が開く、ステップＪで０．５秒間、上段の
ノズル２より高圧の空気が衣服を叩き塵埃を剥離する。

【００１４】以下、同様にして、ステップＬからステッ
プＱまで、中段のノズル２、下段のノズル２の順に、ノ
ズル２からの高圧の空気が衣服を叩き塵埃を剥離する。
このような動作を繰返して行ない、ステップＲで所定の
回数の吹き付けが達したら、ステップＳに進む。ステッ
プＳでは、図１のファン８が回転しエアシャワー室１７
の空気を吸込み、プレフィルタ１１で離脱した塵埃を捕
捉し、ＨＥＰＡフィルタ９を介してノズル３より定常速
度の空気を噴出させる。このことによりエアシャワー室
１７に停留する塵埃や衣服に付着した残りの異物が下方
に流される。次に、ステップＴで、タイマが所定の時間
を経過すると、ステップＵで、ファン８が停止しクリー
ニングが終了する。

【００１５】クリーニングが終了すると、ステップＶ
で、出口の自動ドア１６が開き、ステップＷで作業者が
エアシャワー室１７を退出する。そして、ステップＸで
自動ドア１６が閉じる。なお、入出の際に、入室可のラ
ンプが表示されていないとき、すなわち、ステップＡ
で、タンク６の圧力が規程値以上示していないとき、ス
テップＦで、コンプレッサ７が動作し、ステップＧの規
程圧力に到達するまで運転を続ける。そして、規程圧力
に達すると、ステップＨでコンプレッサ７が停止し、入
室可のランプが点灯する。

【００１６】図３（ａ）および（ｂ）は図１のエアシャ
ワー装置の変形例における全体の構成を示す図である。
このエアシャワー装置は、図３に示すように、作業者が
乗る台１８を昇降させる昇降機構１９を設けたことであ
る。それ以外は前述の実施の形態におけるエアシャワー
装置と同じである。

【００１７】この昇降機構１９は、台１８を支え上下動
する送りねじと、この送りねじと噛み合うナットを回転
させるモータで構成され、低速で台１８を昇降できる。
また、台１８とエアシャワー室１７の底部とは気密を保
ちながら伸縮可能なベローで接続され、エアシャワー室
１７に塵埃が侵入しないようになっている。

【００１８】このエアシャワー装置の動作は、図２のス
テップＩからステップＱまでの間に、台１８が一度上昇
し下降するサイクルを行なう。このことにより、ノズル
２から噴出する高圧な空気が人体の衣服に一様に当り剥
離し難い異物を脱離させるという利点がある。その後の
定常の風速の空気の吹き付けは、前述のエアシャワー装
置と同じであるので、説明を省略する。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、付着力の
弱い塵埃を除去する定常速度の風速のノズルの他に、付
着力の強い塵埃を脱離させるのに十分な風圧で吹き付け
るノズルの複数をエアシャワー室の両壁に適宜に設け、
強力な風圧で衣服を叩き、しかる後、剥離した塵埃を定
常速度の空気で押し流すことによって、作業者の衣服あ
るいは人体に付着した塵埃が完全に除去され、クリーニ
ング室に入室しても、塵埃の汚染による品質の欠陥が皆
無となるという効果がある。

【００２０】また、作業者をエアシャワー室内で上下さ
せる機構を設けることによって、空気の吹き付けが人体
に一様となり、さらに、塵埃の除去高率が上がるという
利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態におけるエアシャワー装
置の全体の構成を示す図である。

【図２】図１のエアシャワー装置の動作を説明するため
のフローチャートである。

【図３】図１のエアシャワー装置の変形例における全体
の構成を示す図である。

【図４】従来の一例におけるエアシャワー装置の全体の
構成を示す図である。

【符号の説明】

１ 断続送風ユニット ２，３，２０ ノズル ４ シーケンサ ５，２４ バルブ ６ タンク ７，２２ コンプレッサ ８ ファン ９ ＨＥＰＡフィルタ １０，２７ 配管 １１ プレフィルタ １２ 照明具 １３ センサ １４，２３ フィルタ １５，１６ 自動ドア １７ エアシャワー室 １８ 台 １９ 昇降機構 ２１ 回転機構 ２５ プラスチックチューブ ２６ 赤外線検知装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの出入口に設けられ入室
   しようとする作業者の衣服あるいは人体に付着する塵埃
   を除去するエアシャワー装置において、出入方向に交叉
   するエアシャワー室の両側の壁面に設けられるとともに
   定常速度の清浄な空気を噴出する複数の第１のノズル
   と、隣接する前記第１のノズルの間に適宜配置される複
   数の第２のノズルと、この第２のノズルに風速が速い清
   浄な空気を断続的に供給する断続送風ユニットと、前記
   第２のノズルに供給する前記風速の速い清浄な空気の供
   給および遮断を制御するシーケンス制御部を備えること
   を特徴とするエアシャワー装置。
2. 【請求項２】 前記作業者が乗る台を昇降させる昇降機
   構を備えることを特徴とする請求項１記載のエアシャワ
   ー装置。