JP4236446B2 - 手洗い機付きエアーシャワー装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームに入室する前に、作業者等の身体又は防塵服に付着している塵芥や油脂を清浄する手洗い機付きエアーシャワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ等の半導体装置等の精密装置を製造あるいは検査する工場では、作業するクリーンルームの入口にエアーシャワー装置を設け、作業者等がクリーンルームに入室する前にエアーシャワー装置で作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥や油脂を除去している。
【０００３】
図４は従来のエアーシャワー装置の断面図である。作業者等がエアーシャワー装置の清浄室１に入ると、送風機２、２が動作して側壁３の噴出口４、４から清浄室１内にエアー５、５が噴出される。噴出されたエアー５、５が作業者の身体及び防塵服にあたり、作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥及び油脂を除去する。
【０００４】
塵芥及び油脂を除去したエアー５、５は送風機２、２で吸引されグレーチング６よりプレフィルター７を通ってダクト８に入り、ヘパーフィルター９、９で清浄される。ヘパーフィルター９、９で清浄されたエアー５、５は再び噴出口４、４から清浄室１に噴出され、前述したように作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥や油脂を除去する。係る動作を数１０秒間続け、作業者等の身体及び防塵服等に付着している塵芥及び油脂を清浄する。
【０００５】
ところで、エアーシャワー装置では作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥や油脂を除去できるが、作業者等の手に付着している塵芥や油脂は除去できないため、作業者等はエアーシャワー装置に入る前に別に設けた手洗い機で手を洗っている。従って手洗いスペースを余分に必要とし、かつ手洗いした後乾燥させるのに時間を要した。
【０００６】
そこで清浄室内に作業者等の手を洗う手洗い機を設けたエアーシャワー装置がある（例えば特許文献１参照。）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平６−１１７６７２号公報（第1−２頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
エアーシャワー装置の清浄室内に手洗い機を設けるものはある。しかし単に手洗い機を付けただけでは、手を洗浄するときあるいは洗浄した水が清浄室内に飛散することがある。また洗った手を直ぐに手洗い機から出すと清浄室内に手に付着した水が飛散することとなる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は手を洗浄するに用いた水分が洗浄室内に飛散しないようにした手洗い機付きエアーシャワー装置に関するもので、
噴出されるエアーで身体又は衣服に付着している塵芥を清浄する清浄室と、該清浄室内に設けられた手洗い機とよりなり、前記手洗い機は筒状の容器と、該容器の上部開口周囲に設けられた噴水口と、前記噴水口に近接する上方に設けられた乾燥用エアー噴出口とを備え、前記噴水口から噴水される手洗い用の水を前記乾燥用エアー噴出口から噴出されるエアーで前記清浄室に飛散するのを防止した手洗い機付きエアーシャワー装置を提供する。
【００１０】
また本発明は手洗いしている時、前記手洗い機の噴水口から水を噴水すると同時に乾燥用エアー噴出口からエアーを排出し、手洗いの終了後は噴水口からの噴水を停止するが、乾燥用エアー噴出口から乾燥用エアーを噴出し続け、手を乾燥することにより、手の洗浄から身体又は防塵服に付着している塵芥を清浄する時間を短くできるようにした手洗い機付きエアーシャワー装置を提供する。
【００１１】
本発明は手洗い機の上部に設けた乾燥用エアー噴出口に連なりブロアーと清浄用フィルターを有する送風管と、手洗い機の下部に設けた排水口に連なりミストトラップを有する排気ダクトとで乾燥用エアー循環路を形成し、洗浄に用いた水分を排気ダクト中で除去するようにした手洗い機付きエアーシャワー装置を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置を図１〜図３に従って説明する。
【００１３】
図１は本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置の断面図である。
【００１４】
清浄室１０の側壁１１、１１には清浄されたエアー１２、１２を噴出す多数の噴出口１３、１３を有する。また清浄室１０の天井には蛍光灯Ｋが設けられ、清浄室１０の床にはエアー１２、１２を吸込むグレーチング１４及びプレフィルタ１５が設けられている。
【００１５】
また清浄室１０の側方のダクト１６、１６には送風機１７、１７及びヘパーフィルター１８、１８が設けられている。
【００１６】
図２に示すように、本発明の特徴は清浄室１０内に手洗い機１９を設けたことである。手洗い機１９は上下面が開口する筒状の容器２０と、容器２０の上部開口周辺に設けられた噴水口２１、２１及び噴水口２１、２１の上側に接して設けられた乾燥用エアー噴出口２２を有する。
【００１７】
乾燥用エアー噴出口２２は容器２０の下方に向けて乾燥用エアーが噴出されるように下向きに取付けられている。また容器２０の下面の開口には排水口２３が形成されている。
【００１８】
排水口２３はミストトラップ２４が設けられた排気ダクト２５に連なり、排気ダクト２５の下部は排水管２６に接続されている。また手洗い機１９の噴水口２１、２１に近接して設けられた乾燥用エアー噴出口２２、２２は送風管２７に連なる。
【００１９】
図３は手洗い機１９の乾燥用エアー噴出口２２、２２に送風される乾燥用エアー２８、２８のエアー循環路のメカニズムを示す断面図である。エアー循環路は排気ダクト２５からの空気を予め清浄するプレフィルター３１、プレフィルター３１を通過したエアーを吸引するブロワー３２、ブロワー３２で吸引されたエアーを清浄するヘパーフィルター３３を有する。
【００２０】
ヘパーフィルター３３で清浄された乾燥用エアー２８は送風管２７から乾燥用エアー噴出口２２、２２に送風され、乾燥用エアー噴出口２２、２２から容器２０内の下方に向かって噴出される。
【００２１】
次に本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置の使用法を説明する。作業者等が手洗い機付きエアーシャワー装置の清浄室１０内に入ると、自動的に送風機１７、１７が高速回転動作する。送風機１７、１７が高速回転すると側壁１１の噴出口１３、１３からエアー１２、１２が強く噴出され、作業者等の身体及び防塵服に付着されている塵芥及び油脂を清浄する。
【００２２】
作業者等の身体及び防塵服に付着されている塵芥及び油脂を清浄すると同時に「手を洗って下さい」とのアナウサがされるので、作業者等はそれに従って手洗い機１９に手を差し込むと噴水口２１、２１から水２９が噴出され、手を約８秒間洗浄する。
【００２３】
このときブロアー３２が回転してヘパーフィルター３３で清浄されたエアー２８、２８が送風管２７を通って乾燥用エアー噴出口２２、２２から容器２０の下方に向かって噴出される。従って手洗いに使用した水２９、２９は乾燥用エアー２８、２８で下方に押され、清浄室１０に飛散されるのを防止する。
【００２４】
洗浄に使用された水２９、２９は排水口２３から排水管２６に入り排水される。また容器２０内の乾燥用エアー２８、２８も排水口２３から排気ダクト２５に入る。排気ダクト２５に入った空気には水分が含むが、水分はミストトラップ２４、２４で除去される。
【００２５】
水分が除去された空気はブロアー３２で吸引され、ヘパーフィルター３３で清浄されて送風管２７に送られる。８秒を経過すると、噴水口２１、２１からの水の噴水が停止するが、乾燥エアー用噴出口２２、２２からは乾燥用エアー２８、２８が噴出され続け、手を１５秒間乾燥する。
【００２６】
１５秒間乾燥すると乾燥用エアー２８、２８の噴出を停止するが、清浄室１０内のエアー１２、１２は噴出し続ける。このとき「身体を回しながら衣服を軽くたたいて下さい」とのアナウスをするので、作業者等は手洗い機１９から手を抜いて身体を回しながら衣服を叩く。乾燥が終了してから１３秒間後に、送風機１７、１７は回転を落とし、排気口１１、１１から噴出されるエアー１２、１２は強風から弱風に切換え清浄を続ける。
【００２７】
清浄が終わると、「終了しました。４秒お待ち下さい。４ ３ ２ １退出してください。」とのアナウンスがあるので、そのアナウンスに従って作業者等は清浄室１０から退出する。
【００２８】
本発明はこのように清浄室１０内で身体及び衣服を清浄しながら手を洗浄するので、洗浄室１０に入室してから退出するまでの時間は約４５秒である。それに対して従来のように外で手を洗浄してからエアーシャワー装置の清浄室で身体及び衣服を清浄するものでは、手の洗浄と身体の清浄で合計約８１秒掛かっており、清浄室に手洗い機を付けることにより、手の洗浄と身体の清浄する時間を大幅に短縮することができた。
【００２９】
【発明の効果】
本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置は清浄されたエアーで身体又は衣服に付着している塵芥を清浄する清浄室と、該清浄室内に設けられた手洗い機とを設けた。したがって清浄室で身体又は衣服に付着した塵芥及び油脂を清浄している間に手の洗浄ができるので、従来のようにエアーシャワーの清浄室の外で手の洗浄を行うものに比して、手の洗浄と身体及び衣服の清浄をする時間を大幅に短縮できる。
【００３０】
しかも手洗い機は容器の上部開口周囲に設けた噴水口に近接して乾燥用エアー噴出口を設けられたので、噴水口から噴水される手洗い用の水が清浄室に飛散するのを乾燥用噴出口から下方に噴出されるエアーで飛散するのを防止することも出来る。
【００３１】
更に手洗いの終了後は乾燥用エアー噴出口から噴出される乾燥用エアーで手を乾燥できるので清潔であり、また手に付いた水分が清浄室に飛散するのを防止することができる。
【００３２】
さらに本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置は手洗い機の下部に設けた排水口に連なる排気ダクトにミストトラップを設けたので、排気ダクトのエアーに手を洗浄した水分が混ざってもミストトラップで除去される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置の断面図である。
【図２】本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置に設けられた手洗い機の拡大断面図である。
【図３】本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置に設けられた手洗い機のエアー循環路の模型図である。
【図４】従来のエアーシャワー装置の断面図である。
【符号の説明】
１０ 清浄室
１２ エアー
１３ 噴出口
１９ 手洗い機
２０ 容器
２１ 噴水口
２２ 乾燥用エアー噴出口
２３ 排水口
２４ ミーストトラップ
２５ 排気ダクト
２６ 排水管
２７ 送風管
２８ 乾燥用エアー
２９ 水
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームに入室する前に、作業者等の身体又は防塵服に付着している塵芥や油脂を清浄する手洗い機付きエアーシャワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ等の半導体装置等の精密装置を製造あるいは検査する工場では、作業するクリーンルームの入口にエアーシャワー装置を設け、作業者等がクリーンルームに入室する前にエアーシャワー装置で作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥や油脂を除去している。
【０００３】
図４は従来のエアーシャワー装置の断面図である。作業者等がエアーシャワー装置の清浄室１に入ると、送風機２、２が動作して側壁３の噴出口４、４から清浄室１内にエアー５、５が噴出される。噴出されたエアー５、５が作業者の身体及び防塵服にあたり、作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥及び油脂を除去する。
【０００４】
塵芥及び油脂を除去したエアー５、５は送風機２、２で吸引されグレーチング６よりプレフィルター７を通ってダクト８に入り、ヘパーフィルター９、９で清浄される。ヘパーフィルター９、９で清浄されたエアー５、５は再び噴出口４、４から清浄室１に噴出され、前述したように作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥や油脂を除去する。係る動作を数１０秒間続け、作業者等の身体及び防塵服等に付着している塵芥及び油脂を清浄する。
【０００５】
ところで、エアーシャワー装置では作業者等の身体及び防塵服に付着している塵芥や油脂を除去できるが、作業者等の手に付着している塵芥や油脂は除去できないため、作業者等はエアーシャワー装置に入る前に別に設けた手洗い機で手を洗っている。従って手洗いスペースを余分に必要とし、かつ手洗いした後乾燥させるのに時間を要した。
【０００６】
そこで清浄室内に作業者等の手を洗う手洗い機を設けたエアーシャワー装置がある（例えば特許文献１参照。）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平６−１１７６７２号公報（第1−２頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
エアーシャワー装置の清浄室内に手洗い機を設けるものはある。しかし単に手洗い機を付けただけでは、手を洗浄するときあるいは洗浄した水が清浄室内に飛散することがある。また洗った手を直ぐに手洗い機から出すと清浄室内に手に付着した水が飛散することとなる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は手を洗浄するに用いた水分が洗浄室内に飛散しないようにした手洗い機付きエアーシャワー装置に関するもので、
噴出されるエアーで身体又は衣服に付着している塵芥を清浄する清浄室と、該清浄室内に設けられた手洗い機とよりなり、前記手洗い機は筒状の容器と、該容器の上部開口周囲に設けられた噴水口と、前記噴水口に近接する上方に設けられた乾燥用エアー噴出口とを備え、前記噴水口から噴水される手洗い用の水を前記乾燥用エアー噴出口から噴出されるエアーで前記清浄室に飛散するのを防止した手洗い機付きエアーシャワー装置を提供する。
【００１０】
また本発明は手洗いしている時、前記手洗い機の噴水口から水を噴水すると同時に乾燥用エアー噴出口からエアーを排出し、手洗いの終了後は噴水口からの噴水を停止するが、乾燥用エアー噴出口から乾燥用エアーを噴出し続け、手を乾燥することにより、手の洗浄から身体又は防塵服に付着している塵芥を清浄する時間を短くできるようにした手洗い機付きエアーシャワー装置を提供する。
【００１１】
本発明は手洗い機の上部に設けた乾燥用エアー噴出口に連なりブロアーと清浄用フィルターを有する送風管と、手洗い機の下部に設けた排水口に連なりミストトラップを有する排気ダクトとで乾燥用エアー循環路を形成し、洗浄に用いた水分を排気ダクト中で除去するようにした手洗い機付きエアーシャワー装置を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置を図１〜図３に従って説明する。
【００１３】
図１は本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置の断面図である。
【００１４】
清浄室１０の側壁１１、１１には清浄されたエアー１２、１２を噴出す多数の噴出口１３、１３を有する。また清浄室１０の天井には蛍光灯Ｋが設けられ、清浄室１０の床にはエアー１２、１２を吸込むグレーチング１４及びプレフィルタ１５が設けられている。
【００１５】
また清浄室１０の側方のダクト１６、１６には送風機１７、１７及びヘパーフィルター１８、１８が設けられている。
【００１６】
図２に示すように、本発明の特徴は清浄室１０内に手洗い機１９を設けたことである。手洗い機１９は上下面が開口する筒状の容器２０と、容器２０の上部開口周辺に設けられた噴水口２１、２１及び噴水口２１、２１の上側に接して設けられた乾燥用エアー噴出口２２を有する。
【００１７】
乾燥用エアー噴出口２２は容器２０の下方に向けて乾燥用エアーが噴出されるように下向きに取付けられている。また容器２０の下面の開口には排水口２３が形成されている。
【００１８】
排水口２３はミストトラップ２４が設けられた排気ダクト２５に連なり、排気ダクト２５の下部は排水管２６に接続されている。また手洗い機１９の噴水口２１、２１に近接して設けられた乾燥用エアー噴出口２２、２２は送風管２７に連なる。
【００１９】
図３は手洗い機１９の乾燥用エアー噴出口２２、２２に送風される乾燥用エアー２８、２８のエアー循環路のメカニズムを示す断面図である。エアー循環路は排気ダクト２５からの空気を予め清浄するプレフィルター３１、プレフィルター３１を通過したエアーを吸引するブロワー３２、ブロワー３２で吸引されたエアーを清浄するヘパーフィルター３３を有する。
【００２０】
ヘパーフィルター３３で清浄された乾燥用エアー２８は送風管２７から乾燥用エアー噴出口２２、２２に送風され、乾燥用エアー噴出口２２、２２から容器２０内の下方に向かって噴出される。
【００２１】
次に本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置の使用法を説明する。作業者等が手洗い機付きエアーシャワー装置の清浄室１０内に入ると、自動的に送風機１７、１７が高速回転動作する。送風機１７、１７が高速回転すると側壁１１の噴出口１３、１３からエアー１２、１２が強く噴出され、作業者等の身体及び防塵服に付着されている塵芥及び油脂を清浄する。
【００２２】
作業者等の身体及び防塵服に付着されている塵芥及び油脂を清浄すると同時に「手を洗って下さい」とのアナウサがされるので、作業者等はそれに従って手洗い機１９に手を差し込むと噴水口２１、２１から水２９が噴出され、手を約８秒間洗浄する。
【００２３】
このときブロアー３２が回転してヘパーフィルター３３で清浄されたエアー２８、２８が送風管２７を通って乾燥用エアー噴出口２２、２２から容器２０の下方に向かって噴出される。従って手洗いに使用した水２９、２９は乾燥用エアー２８、２８で下方に押され、清浄室１０に飛散されるのを防止する。
【００２４】
洗浄に使用された水２９、２９は排水口２３から排水管２６に入り排水される。また容器２０内の乾燥用エアー２８、２８も排水口２３から排気ダクト２５に入る。排気ダクト２５に入った空気には水分が含むが、水分はミストトラップ２４、２４で除去される。
【００２５】
水分が除去された空気はブロアー３２で吸引され、ヘパーフィルター３３で清浄されて送風管２７に送られる。８秒を経過すると、噴水口２１、２１からの水の噴水が停止するが、乾燥エアー用噴出口２２、２２からは乾燥用エアー２８、２８が噴出され続け、手を１５秒間乾燥する。
【００２６】
１５秒間乾燥すると乾燥用エアー２８、２８の噴出を停止するが、清浄室１０内のエアー１２、１２は噴出し続ける。このとき「身体を回しながら衣服を軽くたたいて下さい」とのアナウスをするので、作業者等は手洗い機１９から手を抜いて身体を回しながら衣服を叩く。乾燥が終了してから１３秒間後に、送風機１７、１７は回転を落とし、排気口１１、１１から噴出されるエアー１２、１２は強風から弱風に切換え清浄を続ける。
【００２７】
清浄が終わると、「終了しました。４秒お待ち下さい。４ ３ ２ １退出してください。」とのアナウンスがあるので、そのアナウンスに従って作業者等は清浄室１０から退出する。
【００２８】
本発明はこのように清浄室１０内で身体及び衣服を清浄しながら手を洗浄するので、洗浄室１０に入室してから退出するまでの時間は約４５秒である。それに対して従来のように外で手を洗浄してからエアーシャワー装置の清浄室で身体及び衣服を清浄するものでは、手の洗浄と身体の清浄で合計約８１秒掛かっており、清浄室に手洗い機を付けることにより、手の洗浄と身体の清浄する時間を大幅に短縮することができた。
【００２９】
【発明の効果】
本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置は清浄されたエアーで身体又は衣服に付着している塵芥を清浄する清浄室と、該清浄室内に設けられた手洗い機とを設けた。したがって清浄室で身体又は衣服に付着した塵芥及び油脂を清浄している間に手の洗浄ができるので、従来のようにエアーシャワーの清浄室の外で手の洗浄を行うものに比して、手の洗浄と身体及び衣服の清浄をする時間を大幅に短縮できる。
【００３０】
しかも手洗い機は容器の上部開口周囲に設けた噴水口に近接して乾燥用エアー噴出口を設けられたので、噴水口から噴水される手洗い用の水が清浄室に飛散するのを乾燥用噴出口から下方に噴出されるエアーで飛散するのを防止することも出来る。
【００３１】
更に手洗いの終了後は乾燥用エアー噴出口から噴出される乾燥用エアーで手を乾燥できるので清潔であり、また手に付いた水分が清浄室に飛散するのを防止することができる。
【００３２】
さらに本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置は手洗い機の下部に設けた排水口に連なる排気ダクトにミストトラップを設けたので、排気ダクトのエアーに手を洗浄した水分が混ざってもミストトラップで除去される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置の断面図である。
【図２】本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置に設けられた手洗い機の拡大断面図である。
【図３】本発明の手洗い機付きエアーシャワー装置に設けられた手洗い機のエアー循環路の模型図である。
【図４】従来のエアーシャワー装置の断面図である。
【符号の説明】
１０ 清浄室
１２ エアー
１３ 噴出口
１９ 手洗い機
２０ 容器
２１ 噴水口
２２ 乾燥用エアー噴出口
２３ 排水口
２４ ミーストトラップ
２５ 排気ダクト
２６ 排水管
２７ 送風管
２８ 乾燥用エアー
２９ 水
Claims (3)
- 噴出されるエアーで身体又は衣服に付着している塵芥を清浄する清浄室と、該清浄室内に設けられた手洗い機とよりなり、
前記手洗い機は筒状の容器と、該容器の上部開口周囲に設けられた噴水口と、前記噴水口の上側に設けられ、前記容器の下方に向けてエアーが噴出される乾燥用エアー噴出口と、前記エアー噴出口と連なる送風管と、前記容器の下面に接続された排気ダクトと、前記排気ダクトと前記送風管との間に設けられたプロワーを備え、
前記ブロワーと前記送風管との間には、プロワーで吸引されたエアーを清浄するフィルターとから成ることを特徴とするクリーンルームの入室する前に用いられる手洗い機付きエアーシャワー装置。 - 前記排気ダクトには、ミストトラップが設けられる請求項１に記載の手洗い機付きエアーシャワー装置。
- 前記エアー噴出口に連なりブロアーと前記フィルターを有する前記送付管と、前記手洗い機の下部に設けられた前記ミストトラップを有し、前記ブロアー側にプレフィルタを備え、前記排気ダクトとで乾燥用エアー循環路を形成したことを特徴とする請求項２記載の手洗い機付きエアーシャワー装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002316485A JP4236446B2 (ja) | 2002-10-30 | 2002-10-30 | 手洗い機付きエアーシャワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002316485A JP4236446B2 (ja) | 2002-10-30 | 2002-10-30 | 手洗い機付きエアーシャワー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004150709A JP2004150709A (ja) | 2004-05-27 |
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Family
ID=32460179
Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP5724965B2 (ja) * | 2012-08-06 | 2015-05-27 | 新菱冷熱工業株式会社 | ナノマテリアル取扱施設用エアシャワー室及びナノマテリアルの取扱施設 |
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2002
- 2002-10-30 JP JP2002316485A patent/JP4236446B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JP2004150709A (ja) | 2004-05-27 |
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