JPH06159752A - クリーンルーム用ファンフィルターユニット - Google Patents
クリーンルーム用ファンフィルターユニットInfo
- Publication number
- JPH06159752A JPH06159752A JP34167092A JP34167092A JPH06159752A JP H06159752 A JPH06159752 A JP H06159752A JP 34167092 A JP34167092 A JP 34167092A JP 34167092 A JP34167092 A JP 34167092A JP H06159752 A JPH06159752 A JP H06159752A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- shielding plate
- clean room
- attached
- fixed
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- Withdrawn
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャンバー内に吸音材を貼着した遮蔽板を取
り付けることにより吹出空気の風速分布を均一化ならし
めると共に、発生騒音の低いクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットを提供すること。 【構成】 下部が開口したチャンバー内部の天板中央部
側にインレットコーンと水平回転するランナーから成る
送風機を取り付け、下部開口部にフィルターを取り付け
たクリーンルーム用ファンフィルターユニットにおい
て、送風機とフィルターの間の空間部にランナーを囲む
ように傾斜したフランジを有する吸音材を貼着した第一
遮蔽板を取り付けると共に、チャンバー側板には第一遮
蔽板のランジに一定の間隔をおいて水平乃至傾斜した吸
音材を貼着した第二遮蔽板を取り付けたことを特徴とす
る。 【効果】 吹出空気の風速分布を均一化することがで
き、吸音効果を高め、発生騒音を低減することができ
る。
り付けることにより吹出空気の風速分布を均一化ならし
めると共に、発生騒音の低いクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットを提供すること。 【構成】 下部が開口したチャンバー内部の天板中央部
側にインレットコーンと水平回転するランナーから成る
送風機を取り付け、下部開口部にフィルターを取り付け
たクリーンルーム用ファンフィルターユニットにおい
て、送風機とフィルターの間の空間部にランナーを囲む
ように傾斜したフランジを有する吸音材を貼着した第一
遮蔽板を取り付けると共に、チャンバー側板には第一遮
蔽板のランジに一定の間隔をおいて水平乃至傾斜した吸
音材を貼着した第二遮蔽板を取り付けたことを特徴とす
る。 【効果】 吹出空気の風速分布を均一化することがで
き、吸音効果を高め、発生騒音を低減することができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム用ファ
ンフィルターユニットに関するものである。
ンフィルターユニットに関するものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】従来公知のクリーンルーム
用ファンフィルターユニットとして、図３に示される構
造をしたものがあるが、これは下部が開口したチャンバ
ー１内部の天板中央部側にインレットコーン２１と水平
回転するランナー２２から成る送風機２を取り付け、下
部開口部にフィルター３を取り付けたもので、送風機２
を駆動してランナー２２を水平回転させると、インレッ
トコーン２１を通過し、ランナー２２によって加圧され
た空気はランナーの円周方向即ち水平方向に吐出され、
チャンバー１の側壁面に衝突してその儘壁面に沿ってチ
ャンバー外へ吹出される所謂チャンバーの壁面効果によ
ってフィルター周囲の吹出風速が速く、フィルター中央
部側の吹出風速が遅い風速分布となり、風速分布が不均
一であるだけでなく、チャンバーの内壁面しか吸音材を
貼ることができないので、吸音効果が低いという問題点
があった。
用ファンフィルターユニットとして、図３に示される構
造をしたものがあるが、これは下部が開口したチャンバ
ー１内部の天板中央部側にインレットコーン２１と水平
回転するランナー２２から成る送風機２を取り付け、下
部開口部にフィルター３を取り付けたもので、送風機２
を駆動してランナー２２を水平回転させると、インレッ
トコーン２１を通過し、ランナー２２によって加圧され
た空気はランナーの円周方向即ち水平方向に吐出され、
チャンバー１の側壁面に衝突してその儘壁面に沿ってチ
ャンバー外へ吹出される所謂チャンバーの壁面効果によ
ってフィルター周囲の吹出風速が速く、フィルター中央
部側の吹出風速が遅い風速分布となり、風速分布が不均
一であるだけでなく、チャンバーの内壁面しか吸音材を
貼ることができないので、吸音効果が低いという問題点
があった。
【０００３】
【発明の目的】本発明は、上記従来技術の問題点を解決
するために、チャンバー内に吸音材を貼着した遮蔽板を
取り付けることにより吹出空気の風速分布を均一化なら
しめると共に、発生騒音の低いクリーンルーム用ファン
フィルターユニットを提供するものである。
するために、チャンバー内に吸音材を貼着した遮蔽板を
取り付けることにより吹出空気の風速分布を均一化なら
しめると共に、発生騒音の低いクリーンルーム用ファン
フィルターユニットを提供するものである。
【０００４】
【発明の開示】本発明に係るユニットは、下部が開口し
たチャンバー内部の天板中央部側にインレットコーンと
水平回転するランナーから成る送風機を取り付け、下部
開口部にフィルターを取り付けたクリーンルーム用ファ
ンフィルターユニットにおいて、送風機とフィルターの
間の空間部にランナーを囲むように傾斜したフランジを
有する吸音材を貼着した第一遮蔽板を取り付けると共
に、チャンバー側板には第一遮蔽板のフランジに一定の
間隔をおいて水平乃至傾斜した吸音材を貼着した第二遮
蔽板を取り付けたことを特徴とするものである。
たチャンバー内部の天板中央部側にインレットコーンと
水平回転するランナーから成る送風機を取り付け、下部
開口部にフィルターを取り付けたクリーンルーム用ファ
ンフィルターユニットにおいて、送風機とフィルターの
間の空間部にランナーを囲むように傾斜したフランジを
有する吸音材を貼着した第一遮蔽板を取り付けると共
に、チャンバー側板には第一遮蔽板のフランジに一定の
間隔をおいて水平乃至傾斜した吸音材を貼着した第二遮
蔽板を取り付けたことを特徴とするものである。
【０００５】
【発明の作用】第一遮蔽板でランナーからの吐出空気の
気流方向を変えてチャンバー側板との直角方向の衝突に
よるエネルギー損失を減少させ、第二遮蔽板で気流方向
をフィルター中央部側に変えて吹出空気の風速分布を均
一化すると共に、気流の迂回による吸音効果並びに遮蔽
板に貼着された吸音材による吸音効果の増大によって発
生騒音を低減する。
気流方向を変えてチャンバー側板との直角方向の衝突に
よるエネルギー損失を減少させ、第二遮蔽板で気流方向
をフィルター中央部側に変えて吹出空気の風速分布を均
一化すると共に、気流の迂回による吸音効果並びに遮蔽
板に貼着された吸音材による吸音効果の増大によって発
生騒音を低減する。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明ユニットの平面図、図２は、
図１の縦断側面図であって、１は下部が開口した空気吹
出用のチャンバー、２は空気吸引用のインレットコーン
２１と複数のブレードで構成されたランナー２２とから
成る送風機で、チャンバー１の天板１１の中央部側に取
り付けられている。３はチャンバーの下部開口部に取り
付けられたＨＥＰＡフィルターである。４は、水平片４
１と傾斜したフランジ４２及びこれに連続する水平のフ
ランジ４３を有する皿型の第１遮蔽板で、チャンバーの
一部に吊り金具を介して取り付けられ、その全面には吸
音材４４が貼着してある。５、５は、前記第一遮蔽板４
の水平のフランジ４３との間に一定の間隔ａをおいてチ
ャンバー１の側板（側壁）１２に取り付けられる第二遮
蔽板で、その全面には吸音材５１が貼着してある。図
中、６は、チャンバー１の内壁面に貼着された吸音材で
ある。
図１の縦断側面図であって、１は下部が開口した空気吹
出用のチャンバー、２は空気吸引用のインレットコーン
２１と複数のブレードで構成されたランナー２２とから
成る送風機で、チャンバー１の天板１１の中央部側に取
り付けられている。３はチャンバーの下部開口部に取り
付けられたＨＥＰＡフィルターである。４は、水平片４
１と傾斜したフランジ４２及びこれに連続する水平のフ
ランジ４３を有する皿型の第１遮蔽板で、チャンバーの
一部に吊り金具を介して取り付けられ、その全面には吸
音材４４が貼着してある。５、５は、前記第一遮蔽板４
の水平のフランジ４３との間に一定の間隔ａをおいてチ
ャンバー１の側板（側壁）１２に取り付けられる第二遮
蔽板で、その全面には吸音材５１が貼着してある。図
中、６は、チャンバー１の内壁面に貼着された吸音材で
ある。
【０００７】クリーンルームへ調和空気を供給すべく送
風機２を駆動させると、ランナー２２が回転し、インレ
ットコーン２１から吸引された空気がランナーのブレー
ドによって水平方向に吐出されるが、この空気は第一遮
蔽板４の傾斜したフランジ４３に当たって気流方向が変
えられ、チャンバー１の内壁面との衝突角度が小さくな
ってエネルギー損失が減少する。チャンバー１の内壁面
に当たって気流方向が変えられた空気は、第一遮蔽板４
のフランジ４３と第二遮蔽板５との隙間を通って傾斜し
たフランジ４２に沿ってフィルター３中央部側に流れる
が、フィルター３には通過抵抗があるので、遮蔽板４、
５とフィルター３との間の空間部において圧力が均一化
され、フィルター全面から調和空気が均一の風速で吹出
される。
風機２を駆動させると、ランナー２２が回転し、インレ
ットコーン２１から吸引された空気がランナーのブレー
ドによって水平方向に吐出されるが、この空気は第一遮
蔽板４の傾斜したフランジ４３に当たって気流方向が変
えられ、チャンバー１の内壁面との衝突角度が小さくな
ってエネルギー損失が減少する。チャンバー１の内壁面
に当たって気流方向が変えられた空気は、第一遮蔽板４
のフランジ４３と第二遮蔽板５との隙間を通って傾斜し
たフランジ４２に沿ってフィルター３中央部側に流れる
が、フィルター３には通過抵抗があるので、遮蔽板４、
５とフィルター３との間の空間部において圧力が均一化
され、フィルター全面から調和空気が均一の風速で吹出
される。
【０００８】尚、第一遮蔽板４のフランジ４３と天板１
１との間隔をｂ、フランジ４３の端部と側板１２との間
隔をｃ、傾斜したフランジ４２と第二遮蔽板５の端部と
の間隔をｄとしたとき、ａ：ｂ：ｃ：ｄ＝１：２：２：
２で、各部分での風速を４〜６ｍ／ｓとしたときに構造
上の圧力損失は最小に抑えられた。
１との間隔をｂ、フランジ４３の端部と側板１２との間
隔をｃ、傾斜したフランジ４２と第二遮蔽板５の端部と
の間隔をｄとしたとき、ａ：ｂ：ｃ：ｄ＝１：２：２：
２で、各部分での風速を４〜６ｍ／ｓとしたときに構造
上の圧力損失は最小に抑えられた。
【０００９】本実施例では平面形状が長方形のチャンバ
ーを使用したので、第一遮蔽板の長尺部分の両端部とチ
ャンバーの側板との間に間隔を設けたが、平面形状が正
方形のチャンバーの場合は第一遮蔽板の四方とチャンバ
ーの四方の側板との間に間隔を設ける必要がある。
ーを使用したので、第一遮蔽板の長尺部分の両端部とチ
ャンバーの側板との間に間隔を設けたが、平面形状が正
方形のチャンバーの場合は第一遮蔽板の四方とチャンバ
ーの四方の側板との間に間隔を設ける必要がある。
【００１０】
【発明の効果】本発明に係るクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットによれば、チャンバー内の送風機とフ
ィルターの間の空間部に吸音材を貼着した遮蔽板を取り
付けたことにより、送風機からの吐出空気の気流方向を
変えてフィルターから吹出される空気の風速分布を均一
化することができ、気流方向の変更によって騒音の原因
となるエネルギー損失を減少させ、空気の急縮小、急拡
大による吸音効果並びに遮蔽板に貼着された吸音材によ
る吸音効果と相まって従来ユニットに比べて発生騒音を
極めて低減することができた。
ィルターユニットによれば、チャンバー内の送風機とフ
ィルターの間の空間部に吸音材を貼着した遮蔽板を取り
付けたことにより、送風機からの吐出空気の気流方向を
変えてフィルターから吹出される空気の風速分布を均一
化することができ、気流方向の変更によって騒音の原因
となるエネルギー損失を減少させ、空気の急縮小、急拡
大による吸音効果並びに遮蔽板に貼着された吸音材によ
る吸音効果と相まって従来ユニットに比べて発生騒音を
極めて低減することができた。
【図１】本発明ユニットの平面図である。
【図２】本発明ユニットの縦断側面図である。
【図３】従来ユニットの縦断側面図である。
１ チャンバー ２ 送風機 ３ フィルター ４ 第一遮蔽板 ５ 第二遮蔽板
Claims (1)
- 【請求項１】 下部が開口したチャンバー内部の天板中
央部側にインレットコーンと水平回転するランナーから
成る送風機を取り付け、下部開口部にフィルターを取り
付けたクリーンルーム用ファンフィルターユニットにお
いて、送風機とフィルターの間の空間部にランナーを囲
むように傾斜したフランジを有する吸音材を貼着した第
一遮蔽板を取り付けると共に、チャンバー側壁には第一
遮蔽板のフランジに一定の間隔をおいて水平乃至傾斜す
る吸音材を貼着した第二遮蔽板を取り付けたことを特徴
とするクリーンルーム用ファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34167092A JPH06159752A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34167092A JPH06159752A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159752A true JPH06159752A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18347881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34167092A Withdrawn JPH06159752A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06159752A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004023046A1 (ja) * | 2002-09-03 | 2004-03-18 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理システム用の気体清浄化装置 |
| KR100485000B1 (ko) * | 2005-01-08 | 2005-04-25 | 수공아이엔씨(주) | 청정실 천정 설치용 공조관 연결형 송풍 장치 |
| WO2006078102A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Su Gong Industrial Co., Ltd. | Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room |
| JP2006263688A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | ファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブース |
| KR100735952B1 (ko) * | 2006-04-05 | 2007-07-06 | 엘지전자 주식회사 | 후드용 정화기 |
| JP2007203252A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Nippon Muki Co Ltd | 換気口用フィルタ |
| JP2012026696A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Nippon Muki Co Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2014047659A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Topre Corp | 送風ユニット |
| JP2014091056A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Shimizu Corp | ファンフィルタユニット |
| CN105066416A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-11-18 | 致果环境科技（天津）有限公司 | 一种立式空气净化器的降噪结构 |
| CN111043744A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-04-21 | 来剑锋 | 一种工业用空气过滤消音设备及其工作方法 |
| US11549703B2 (en) | 2016-07-13 | 2023-01-10 | Framery Oy | Ventilation system and method |
-
1992
- 1992-11-27 JP JP34167092A patent/JPH06159752A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004023046A1 (ja) * | 2002-09-03 | 2004-03-18 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理システム用の気体清浄化装置 |
| KR100485000B1 (ko) * | 2005-01-08 | 2005-04-25 | 수공아이엔씨(주) | 청정실 천정 설치용 공조관 연결형 송풍 장치 |
| WO2006078102A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Su Gong Industrial Co., Ltd. | Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room |
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| JP2007203252A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Nippon Muki Co Ltd | 換気口用フィルタ |
| KR100735952B1 (ko) * | 2006-04-05 | 2007-07-06 | 엘지전자 주식회사 | 후드용 정화기 |
| JP2012026696A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Nippon Muki Co Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2014047659A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Topre Corp | 送風ユニット |
| CN103671268A (zh) * | 2012-08-30 | 2014-03-26 | 东普雷股份有限公司 | 送风单元 |
| TWI636193B (zh) * | 2012-08-30 | 2018-09-21 | 東普雷股份有限公司 | Air supply unit |
| JP2014091056A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Shimizu Corp | ファンフィルタユニット |
| CN105066416A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-11-18 | 致果环境科技（天津）有限公司 | 一种立式空气净化器的降噪结构 |
| CN105066416B (zh) * | 2015-08-28 | 2018-03-23 | 致果环境科技（天津）有限公司 | 一种立式空气净化器的降噪结构 |
| US11549703B2 (en) | 2016-07-13 | 2023-01-10 | Framery Oy | Ventilation system and method |
| CN111043744A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-04-21 | 来剑锋 | 一种工业用空气过滤消音设备及其工作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |