JPS62280530A - クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ムInfo
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- JPS62280530A JPS62280530A JP61122160A JP12216086A JPS62280530A JP S62280530 A JPS62280530 A JP S62280530A JP 61122160 A JP61122160 A JP 61122160A JP 12216086 A JP12216086 A JP 12216086A JP S62280530 A JPS62280530 A JP S62280530A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルーム用空気吹出装置およびこれを
利用した高天井室内の任意の区域にクリーンゾーンを形
成する技術に関する。
利用した高天井室内の任意の区域にクリーンゾーンを形
成する技術に関する。
従来のクリーンルームは、天井高さが高々３ｍ程度であ
り５５〜２０ｍもしくはそれ以上の天井高さのクリーン
ルームはあまり例を見ない。これは床面に作業用設備を
設置する関係上、必要以上の天井高さは不要であること
と、天井が高ければ高いほど気流の制御が困難になり、
また空調負荷が必要以上に過大になることによる。また
、天井の高低にはかかわらず、大空間の場合には、更に
囲われた小ルームを作りこれをクリーンルームに構築す
るのが通常であり、大きな工場全体の空間をそのままク
リーンルームに形成するようなことも前記と同様の理由
から通常は行われていない。
り５５〜２０ｍもしくはそれ以上の天井高さのクリーン
ルームはあまり例を見ない。これは床面に作業用設備を
設置する関係上、必要以上の天井高さは不要であること
と、天井が高ければ高いほど気流の制御が困難になり、
また空調負荷が必要以上に過大になることによる。また
、天井の高低にはかかわらず、大空間の場合には、更に
囲われた小ルームを作りこれをクリーンルームに構築す
るのが通常であり、大きな工場全体の空間をそのままク
リーンルームに形成するようなことも前記と同様の理由
から通常は行われていない。
高い天井の大空間をクリーンルームに構成することが要
求されることがある。これは、大型作業機械が設置され
る場合や、製造ラインが上下に組まれて物流が室内を昇
降するような設備、さらには既存の高天井室（普通の工
場空間などの非クリーンルーム）を大きな改変をするこ
となくそのままクリーンルームに利用したい場合などで
ある。
求されることがある。これは、大型作業機械が設置され
る場合や、製造ラインが上下に組まれて物流が室内を昇
降するような設備、さらには既存の高天井室（普通の工
場空間などの非クリーンルーム）を大きな改変をするこ
となくそのままクリーンルームに利用したい場合などで
ある。
しかし、このような大空間の室全体を層流式クリーンル
ームに構成するには極めて多大の設備費用と運転費用を
必要とする。そして、多大の費用をかけても必ずしも室
内全体を高い清浄域に維持することは困難であるし、ま
た高い清浄度を必要とする作業域が限られた区域だけで
ある場合には多大の無駄が生ずる。
ームに構成するには極めて多大の設備費用と運転費用を
必要とする。そして、多大の費用をかけても必ずしも室
内全体を高い清浄域に維持することは困難であるし、ま
た高い清浄度を必要とする作業域が限られた区域だけで
ある場合には多大の無駄が生ずる。
本発明はこのような問題の解決を目的としてなされたも
のである。
のである。
本発明は、かような大空間高天井室をクリーンルームに
構成するのに好適な空気吹出装置を案出したもので、長
手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した第一風道
と、長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノズルを連
設した第二風道とを背合わにした複合ダクトからなり、
かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から第二風道
の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共にこの空気
連通路にファンと１（ＥＰＡフィルタを装着してなるク
リーンルーム用空気吹出装置を提供するものである。
構成するのに好適な空気吹出装置を案出したもので、長
手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した第一風道
と、長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノズルを連
設した第二風道とを背合わにした複合ダクトからなり、
かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から第二風道
の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共にこの空気
連通路にファンと１（ＥＰＡフィルタを装着してなるク
リーンルーム用空気吹出装置を提供するものである。
そして、このクリーンルーム用空気吹出装置を使用した
高天井クリーンルームとして、この装置を高天井室の各
コーナー部に長手方向を垂直にして設置するか、または
高天井室の一方の壁面近くとこれに対向する他方の壁面
近くに長手方向を実質上水平にして設置し、この装置の
空気噴射ノズルからの噴射流によって高天井室内の任意
高さの空間位置に一方向性の渦流を形成するようにした
高天井クリーンルームを提供するものである。
高天井クリーンルームとして、この装置を高天井室の各
コーナー部に長手方向を垂直にして設置するか、または
高天井室の一方の壁面近くとこれに対向する他方の壁面
近くに長手方向を実質上水平にして設置し、この装置の
空気噴射ノズルからの噴射流によって高天井室内の任意
高さの空間位置に一方向性の渦流を形成するようにした
高天井クリーンルームを提供するものである。
以下に図面に従って本発明の内容を具体的に説明する。
第１図は本発明に従うクリーンルーム形成用空気吹出装
置の例を示したもので、上部を切り欠いた外観の一部を
示している。本発明装置は全体として細長いボックス形
状（両端が閉じたダクト形状）を有している。そして、
この細長いボックスの内部には長手方向に沿って第一風
道１と第二風道２が費合わせに形成されている。本例で
は、長手方向に延びる仕切り板３を、ボックス内のコー
ナーを対角線上に横切るように取付けることによって、
共に横断面三角形状の第一風道１と第二風道２が形成さ
れている。この第一風道１と第二風道２とからなる複合
ダクトはその下端は第１図のａで示すところまでであり
、このａの位置まで仕切り板３が存在している。そして
、この下端に後述のファンフィルターユニット７が接続
されている。一方、第１図には示されていないが、この
複合ダクトの上端は閉塞しており、仕切り仮３はその上
端まで延びている。つまり第一風道１と第二風道２の上
端はそれぞれ閉塞している。
置の例を示したもので、上部を切り欠いた外観の一部を
示している。本発明装置は全体として細長いボックス形
状（両端が閉じたダクト形状）を有している。そして、
この細長いボックスの内部には長手方向に沿って第一風
道１と第二風道２が費合わせに形成されている。本例で
は、長手方向に延びる仕切り板３を、ボックス内のコー
ナーを対角線上に横切るように取付けることによって、
共に横断面三角形状の第一風道１と第二風道２が形成さ
れている。この第一風道１と第二風道２とからなる複合
ダクトはその下端は第１図のａで示すところまでであり
、このａの位置まで仕切り板３が存在している。そして
、この下端に後述のファンフィルターユニット７が接続
されている。一方、第１図には示されていないが、この
複合ダクトの上端は閉塞しており、仕切り仮３はその上
端まで延びている。つまり第一風道１と第二風道２の上
端はそれぞれ閉塞している。
第一風道１の壁面には空気取入用開口４が長手方向に連
設されている。図示の例では円形の空気取入用開口４が
長手方向に所定の間隔をあけて設けられている。図示は
しないが、各空気取入用開口４にはそれぞれ開口を開成
と開成を自由に行うことができる開口開閉手段例えば手
動ブラインドなどを取付けられる。なお、この空気取入
用開口４は第一風道１の壁面に長手方向に沿うスリ７）
を設けることによって形成してもよい、この場合にもス
リットの開口長さを任意の位置で自由に調整できる開閉
板を設けておくのがよい。
設されている。図示の例では円形の空気取入用開口４が
長手方向に所定の間隔をあけて設けられている。図示は
しないが、各空気取入用開口４にはそれぞれ開口を開成
と開成を自由に行うことができる開口開閉手段例えば手
動ブラインドなどを取付けられる。なお、この空気取入
用開口４は第一風道１の壁面に長手方向に沿うスリ７）
を設けることによって形成してもよい、この場合にもス
リットの開口長さを任意の位置で自由に調整できる開閉
板を設けておくのがよい。
第二風道２には空気噴射ノズル５が長手方向に所定の間
隔で連設される。図示の例では第一風道１の円形の空気
取入用開口４に対応する数の空気取入用開口４が第二風
道２の対応位置の壁面に連設されている。この空気噴射
ノズル５にはそれぞれダンパが取付けられ、その吹出稼
動数が任意に調整できるようにしである。６はそのダン
パの開閉ハンドルを示している。また各空気噴射ノズル
５は空気吹出角度を成る程度自由に変えられる構成とし
ておくのがよい。
隔で連設される。図示の例では第一風道１の円形の空気
取入用開口４に対応する数の空気取入用開口４が第二風
道２の対応位置の壁面に連設されている。この空気噴射
ノズル５にはそれぞれダンパが取付けられ、その吹出稼
動数が任意に調整できるようにしである。６はそのダン
パの開閉ハンドルを示している。また各空気噴射ノズル
５は空気吹出角度を成る程度自由に変えられる構成とし
ておくのがよい。
そして、この複合ダクトにおける第一風道の一方の端か
ら第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設け、この
空気連通路にファンとＨＥＰＡフィルタを介装させる。
ら第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設け、この
空気連通路にファンとＨＥＰＡフィルタを介装させる。
第１図ではこの空気連通路が複合ダクトの下端に設けら
れており、この部分でファンフィルターユニット７を構
成している。
れており、この部分でファンフィルターユニット７を構
成している。
第２図はこの空気連通路部分を形成するファンフィルタ
ーユニット７を図解して示したものである。図示のよう
に、このファンフィルターユニット７は複合ダクトと実
質上同径のボックス状ケーシング内にファン８とＨＥＰ
Ａフィルタ９を装着したものであり、このボックス状ケ
ーシングの上板１３には第一風道１に通ずる開口１０と
第二風道２に通ずる開口１１が設けてある。複合ダクト
の仕切り板３の下縁は核上板１３に当接しており１ こ
の仕切り板３によって区分される第一風道１の側の上板
１３に開口１１が、そして、第二風道２の側の上板１３
に開口１１が設けられることによって、第一風道１の下
端と第二風道２の下端がファンフィルターユニット７を
通じて連通ずることになる。図示のファンフィルターユ
ニット７ではケーシング内を仕切り板Ｉ４によってファ
ンボックス１５と ＨＥＰＡフィルタボックス１６とに
区分し、ファンボックス１５の上板に開口１０を、そし
てＨＥＰＡフィルタボックス１６の上板に開口１１を設
けると共に、ファンボックス１５内に設置したファン８
の吐出口を仕切り板１４からＨＥＰＡフィルタボックス
１６に開放することによって、第一風道１内の空気をフ
ァンフィルターユニット７内に取入れてＩＴ Ｅ Ｐ
Ａフィルタ９で浄化したあと第二風道２に送気するよう
にしである。
ーユニット７を図解して示したものである。図示のよう
に、このファンフィルターユニット７は複合ダクトと実
質上同径のボックス状ケーシング内にファン８とＨＥＰ
Ａフィルタ９を装着したものであり、このボックス状ケ
ーシングの上板１３には第一風道１に通ずる開口１０と
第二風道２に通ずる開口１１が設けてある。複合ダクト
の仕切り板３の下縁は核上板１３に当接しており１ こ
の仕切り板３によって区分される第一風道１の側の上板
１３に開口１１が、そして、第二風道２の側の上板１３
に開口１１が設けられることによって、第一風道１の下
端と第二風道２の下端がファンフィルターユニット７を
通じて連通ずることになる。図示のファンフィルターユ
ニット７ではケーシング内を仕切り板Ｉ４によってファ
ンボックス１５と ＨＥＰＡフィルタボックス１６とに
区分し、ファンボックス１５の上板に開口１０を、そし
てＨＥＰＡフィルタボックス１６の上板に開口１１を設
けると共に、ファンボックス１５内に設置したファン８
の吐出口を仕切り板１４からＨＥＰＡフィルタボックス
１６に開放することによって、第一風道１内の空気をフ
ァンフィルターユニット７内に取入れてＩＴ Ｅ Ｐ
Ａフィルタ９で浄化したあと第二風道２に送気するよう
にしである。
したがってファン８を駆動すると、複合ダクトの周辺の
空気が空気取入用開口４から第一風道１内に取入れられ
、 ＨＥＰＡフィルタ９によって浄化されたあと第二
風道２の空気噴射ノズル５から噴射されることになる。
空気が空気取入用開口４から第一風道１内に取入れられ
、 ＨＥＰＡフィルタ９によって浄化されたあと第二
風道２の空気噴射ノズル５から噴射されることになる。
そのさい、空気取入用開口４と空気噴射ノズル５の開口
数を調整すれば、 ？ｊ１合ダクトの長手方向の任意の
位置から空気を吸い込み任意の位置から吹き出すことが
できる。
数を調整すれば、 ？ｊ１合ダクトの長手方向の任意の
位置から空気を吸い込み任意の位置から吹き出すことが
できる。
第３図は第１図〜第２図で説明した本発明のクリーンル
ーム用空気吹出装置を使用した高天井クリーンルームを
示している。高天井室２０には空調機２１で調和した空
気をＨＥＰＡフィルタユニット２２を経て吹き出すこと
によって一応の清浄調和空間に形成する。なお、高天井
室２０からは空調機２１に還気を取入れると共に外気（
０，Ａ、）を空調機２１に取り入れる。図示の例では天
井高さに相当する長さをもつ本発明に従うクリーンルー
ム用空気吹出装置２４を高天井室２０の四隅に縦にして
設置した例を示しており、各装置の空気噴射ノズルの方
向を一様に次の装置の方向かこれより若干室内側に向け
て設置しである。この場合１各装置の空気取入用開口を
設けた面が隣の装置から吹き出されてくる空気を取り入
れる方向に向けておく。
ーム用空気吹出装置を使用した高天井クリーンルームを
示している。高天井室２０には空調機２１で調和した空
気をＨＥＰＡフィルタユニット２２を経て吹き出すこと
によって一応の清浄調和空間に形成する。なお、高天井
室２０からは空調機２１に還気を取入れると共に外気（
０，Ａ、）を空調機２１に取り入れる。図示の例では天
井高さに相当する長さをもつ本発明に従うクリーンルー
ム用空気吹出装置２４を高天井室２０の四隅に縦にして
設置した例を示しており、各装置の空気噴射ノズルの方
向を一様に次の装置の方向かこれより若干室内側に向け
て設置しである。この場合１各装置の空気取入用開口を
設けた面が隣の装置から吹き出されてくる空気を取り入
れる方向に向けておく。
そして、各装置の稼動する空気噴射ノズル数を調整し１
例えば図示のように中腹部の空気噴射ノズルの数個が稼
動するように調整し且つこの稼動する空気噴射ノズルの
位置する冑さの空気取入用開口だけを開口するように調
整して、これらの空気噴射ノズルから空気を噴射すると
、その高さにおいて一方向性の旋回流が室内に形成され
、この旋回流によって室内中央部には一方向性の渦流が
発生してこの中空部分にクリーンゾーンを形成すること
ができる。すなわち、この渦流が生じている中空部分で
は各装置のＨＥＰＡフィルタで浄化された空気が流れる
と共に、この中空部分が塵埃発生源が存在する作業域で
あってもその塵埃が渦流によって吹き飛ばされて拡散す
るので、この旋回流の上下の区域に比べて高い清浄度に
維持されることになる。
例えば図示のように中腹部の空気噴射ノズルの数個が稼
動するように調整し且つこの稼動する空気噴射ノズルの
位置する冑さの空気取入用開口だけを開口するように調
整して、これらの空気噴射ノズルから空気を噴射すると
、その高さにおいて一方向性の旋回流が室内に形成され
、この旋回流によって室内中央部には一方向性の渦流が
発生してこの中空部分にクリーンゾーンを形成すること
ができる。すなわち、この渦流が生じている中空部分で
は各装置のＨＥＰＡフィルタで浄化された空気が流れる
と共に、この中空部分が塵埃発生源が存在する作業域で
あってもその塵埃が渦流によって吹き飛ばされて拡散す
るので、この旋回流の上下の区域に比べて高い清浄度に
維持されることになる。
同様に、空気噴射ノズルの稼動位置を天井近くの高い位
置に調整した場合や、逆に床面に近い低い位置に調整し
た場合にも、その旋回流に囲われる内部では渦流の発注
により高い清浄度のゾーンを形成することができる。し
たがって１本発明装置によると、高天井室２０内の任意
高さのゾーンにおいてクリーンゾーンを自由に形成する
ことができる。
置に調整した場合や、逆に床面に近い低い位置に調整し
た場合にも、その旋回流に囲われる内部では渦流の発注
により高い清浄度のゾーンを形成することができる。し
たがって１本発明装置によると、高天井室２０内の任意
高さのゾーンにおいてクリーンゾーンを自由に形成する
ことができる。
第４図は第１〜２図のクリーンルーム用空気吹出装置を
横にして配置することによって構成した高天井クリーン
ルームを示している。第４図において第３図と同じ数字
で示した部材は第３図で説明したものと実質上同じ部材
である。本例では各クリーンルーム形成用装置２４を横
にして使用するものであるが、第４図の場合には、高天
井室２０の一方の壁面近くにおいて、空気噴射ノズルを
上向きにした装置２４ａを股！すると共にこの装置２４
３からの上向き噴流が到達する位置に空気噴射ノズルを
対向する壁面に向けた装置２４ｂを設置し、他方、対向
する他方の壁面においては、空気噴射ノズルを下向きに
した装置２４Ｃを前記の装置２４ｂと実質上同じ高さに
設置すると共にこの装置２４Ｃからの下向き噴流が到達
する位置に空気噴射ノズルを装！２４ａの方向に向けた
装置２４ｄを装置２４ａと実質上同じ高さに設置したも
のである。この場合各装置の空気取入用開口は、その装
置に向がって流れてくる噴流が衝突する面に設けておく
のがよい。このような設置の仕方によっても各装置を順
に経る空気の循環流を形成させることができ、この循環
流で囲われるゾーン内には一方向性の渦流が生しる。
横にして配置することによって構成した高天井クリーン
ルームを示している。第４図において第３図と同じ数字
で示した部材は第３図で説明したものと実質上同じ部材
である。本例では各クリーンルーム形成用装置２４を横
にして使用するものであるが、第４図の場合には、高天
井室２０の一方の壁面近くにおいて、空気噴射ノズルを
上向きにした装置２４ａを股！すると共にこの装置２４
３からの上向き噴流が到達する位置に空気噴射ノズルを
対向する壁面に向けた装置２４ｂを設置し、他方、対向
する他方の壁面においては、空気噴射ノズルを下向きに
した装置２４Ｃを前記の装置２４ｂと実質上同じ高さに
設置すると共にこの装置２４Ｃからの下向き噴流が到達
する位置に空気噴射ノズルを装！２４ａの方向に向けた
装置２４ｄを装置２４ａと実質上同じ高さに設置したも
のである。この場合各装置の空気取入用開口は、その装
置に向がって流れてくる噴流が衝突する面に設けておく
のがよい。このような設置の仕方によっても各装置を順
に経る空気の循環流を形成させることができ、この循環
流で囲われるゾーン内には一方向性の渦流が生しる。
この状態を第５図に示した。この第５図に示されるよう
に、四本の装置２４によって囲われる渦流が生じている
中空の位置においては、第３図で説明したのと同じ理由
によって、これより下または上の空間よりも清浄なゾー
ンが形成される。なお各装置の空気噴射ノズルと空気取
入用開口４の開口数を調整することによって、形成しよ
うとするクリーンゾーンの位置を横方向に自由にずらす
ことができる。
に、四本の装置２４によって囲われる渦流が生じている
中空の位置においては、第３図で説明したのと同じ理由
によって、これより下または上の空間よりも清浄なゾー
ンが形成される。なお各装置の空気噴射ノズルと空気取
入用開口４の開口数を調整することによって、形成しよ
うとするクリーンゾーンの位置を横方向に自由にずらす
ことができる。
第６図は四本の装置の全体を床面近くに下げた以外は第
５図と同じ高天井クリーンルームを示している。この場
合には、床面近（に作業域を形成する場合に適用される
。同様に天井近くに作業域を形成する場合には、同様の
関係をもってクリーンルーム形成用装置を天井部近くに
設置すればよい。
５図と同じ高天井クリーンルームを示している。この場
合には、床面近（に作業域を形成する場合に適用される
。同様に天井近くに作業域を形成する場合には、同様の
関係をもってクリーンルーム形成用装置を天井部近くに
設置すればよい。
以上のように９本発明によ屈と、高天井室大空間におい
てもその中の特定域だけをクリーンゾーンに自由に形成
することができることになり、既述の問題を効果的に解
決することができる。
てもその中の特定域だけをクリーンゾーンに自由に形成
することができることになり、既述の問題を効果的に解
決することができる。
第１図は本発明に従うクリーンルーム形成用装置の例を
示す一部切り欠き斜視図、第２図は第１図のクリーンル
ーム形成用装置の空気連通路部分に設置されるファンフ
ィルターユニットの例を示す透視斜視図、第３図は本発
明に従うクリーンルーム形成用装置を使用した高天井ク
リーンルームの例を示す斜視図、第４図は本発明に従う
クリーンルーム形成用装置を使用した他の高天井クリー
ンルームを示す斜視図、第５図は第４図のクリーンルー
ムの気流の流れを立面的に示した図２第６図は第５図と
同様の気流の流れを床面近くに形成した状態を立面的に
示した図である。 １・・第−ｌｉｔ道、 ２・・第二風道。 ３・・仕切り板、 ４・・空気取入用開口。 ５・・空気噴射ノズル、 ６・・ダンパ調節用ハンド
ル、 ７・・ファンフィルターユニ、ト。 ８・・ファン、 ９・ ・ ＨＥＰＡフィルタ。 ２０・・高天井室、２１・・空調機。 ２２・ ・ ＩＩ Ｅ Ｐ Ａフィルタユニ・７ト。 ２４・・クリーンルーム形成用装置。
示す一部切り欠き斜視図、第２図は第１図のクリーンル
ーム形成用装置の空気連通路部分に設置されるファンフ
ィルターユニットの例を示す透視斜視図、第３図は本発
明に従うクリーンルーム形成用装置を使用した高天井ク
リーンルームの例を示す斜視図、第４図は本発明に従う
クリーンルーム形成用装置を使用した他の高天井クリー
ンルームを示す斜視図、第５図は第４図のクリーンルー
ムの気流の流れを立面的に示した図２第６図は第５図と
同様の気流の流れを床面近くに形成した状態を立面的に
示した図である。 １・・第−ｌｉｔ道、 ２・・第二風道。 ３・・仕切り板、 ４・・空気取入用開口。 ５・・空気噴射ノズル、 ６・・ダンパ調節用ハンド
ル、 ７・・ファンフィルターユニ、ト。 ８・・ファン、 ９・ ・ ＨＥＰＡフィルタ。 ２０・・高天井室、２１・・空調機。 ２２・ ・ ＩＩ Ｅ Ｐ Ａフィルタユニ・７ト。 ２４・・クリーンルーム形成用装置。
Claims (4)
- （１）長手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した
第一風道と、長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノ
ズルを連設した第二風道とを背合わにした複合ダクトか
らなり、かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から
第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共に
この空気連通路にファンとＨＥＰＡフィルタを装着して
なるクリーンルーム用空気吹出装置。 - （２）第二風道に取付けられる複数個の空気噴射ノズル
にはその稼動個数の制御手段が設けてある特許請求の範
囲第１項記載のクリーンルーム用空気吹出装置。 - （３）長手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した
第一風道と、長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノ
ズルを連設した第二風道とを背合わにした複合ダクトか
らなり、かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から
第一風道の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共に
この空気連通路にファンと ＨＥＰＡフィルタを装着し
てなるクリーンルーム用空気吹出装置を、高天井室の各
コーナー部に長手方向を実質上垂直にして設置し、この
装置の空気噴射ノズルからの噴射流によって高天井室内
の任意高さの空間位置に一方向性の渦流を形成するよう
にした高天井クリーンルーム。 - （４）長手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した
第一風道と、長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノ
ズルを連設した第二風道とを背合わにした複合ダクトか
らなり、かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から
第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共に
この空気連通路にファンとＨＥＰＡフィルタを装着して
なるクリーンルーム用空気吹出装置を、高天井室の一方
の壁面近くとこれに対向する他方の壁面近くに長手方向
を実質上水平にして設置し、この装置の空気噴射ノズル
からの噴射流によって高天井室内の任意高さの空間位置
に一方向性の渦流を形成するようにした高天井クリーン
ルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61122160A JPH0668408B2 (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61122160A JPH0668408B2 (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62280530A true JPS62280530A (ja) | 1987-12-05 |
| JPH0668408B2 JPH0668408B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=14829076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61122160A Expired - Fee Related JPH0668408B2 (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668408B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0225652A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-29 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンエリア形成装置 |
| JP4755307B1 (ja) * | 2010-10-28 | 2011-08-24 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム |
| JP2017161167A (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 空調システム |
| JP2018194265A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | 清水建設株式会社 | 手術室の空調システム |
| CN110228424A (zh) * | 2018-03-06 | 2019-09-13 | 郑州宇通客车股份有限公司 | 用于车辆顶部的装饰板 |
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| KR101859593B1 (ko) * | 2018-01-31 | 2018-05-18 | 오영근 | 크린룸용 기류제어 시스템 |
-
1986
- 1986-05-29 JP JP61122160A patent/JPH0668408B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2012056592A1 (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム |
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| CN110228424B (zh) * | 2018-03-06 | 2024-04-26 | 宇通客车股份有限公司 | 用于车辆顶部的装饰板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0668408B2 (ja) | 1994-08-31 |
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