JPH0725536Y2 - クリーンルーム前室 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体装置，精密機
器，医薬品等の製造に際して利用されるクリーンルーム
への入室の準備に使用される室に関し、具体的には身
体，持込み機器等の付着塵埃を予め除去する為に利用す
るエアシャワー機構を備えたクリーンルーム前室に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルームの付帯設備として、クリ
ーンルームへ外部から塵埃等を持ち込まないようにする
除塵の為の前室がある。このクリーンルーム前室は、比
較的狭い区画室にいわゆるエアシャワー機構（システ
ム）を備えたものである。エアシャワー機構は、清浄な
空気を所要の吹出しノズルから入室者等に吹き付け、そ
の風速，脈動作用等でブラッシングして入室者の衣服，
持込み機構等に付着している塵埃を除去するものであ
る。この衣服等の除塵を効果的に行なう為に、入室者は
手を上げる等の各種の姿勢をとるようにしている。この
クリーンルーム前室は、除塵効果を上げる為に一般的に
は一人用のスペースとした寸法のものが多用されてお
り、多人数用としてもせいぜい４〜５人程度のスペース
のものが提供されているにすぎない。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】上記のようなクリーン
ルーム前室においては、エアシャワー使用中のとき、次
の入室者は外部で待機しなければならない。エアシャワ
ーの使用時間には通常２０秒程度を要する。従って、多
人数がクリーンルームに入る際には混雑し、多大の待機
ロス時間が生じることになる。以上のような従来の問題
点を解決すべく提供しようとするのが本考案である。本
考案の目的は、クリーンルーム前室内に歩行通路を形成
し、通路歩行者の自然的動作を利用して除塵しようとす
るもので、いわゆる流れ作業的に順次連続して入室でき
るようにして、前記待機ロス時間を解消するとともに除
塵効果をも向上させるクリーンルーム前室を得るところ
にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する為
本考案は、クリーンルームへの入室前に身体等の付着塵
埃を除去する為に利用するエアシャワー機構を備えた室
であって、側壁にエアシャワー用のエア吹出しノズルを
設けた歩行通路を形成し、この歩行通路に折れ曲り路を
設けるとともに、歩行通路の出口エリアにダウンフロー
による層流エアゾーンを設けて、クリーンルームに接続
するように構成したものである。しかも、順次点滅して
歩行速度を案内するランプを上記歩行通路の側壁，床面
又は天井面等に適宜数並設したので、必要とする清浄度
に応じた歩行速度を指定できる。

【０００５】

【作用】クリーンルーム前室に入室し、エアシャワー機
構を作動させて歩行通路に沿って歩行すると、通路側壁
からのエアシャワーが入室者（歩行者）に吹き付けられ
る。その際、エアシャワーの脈動とか歩行者の手足動作
等の自然の歩行姿勢形態により、エアシャワーは歩行者
の衣服等に対し不規則に当ってブラッシング作用を起
し、衣服に付着している塵埃等を除去する。又、歩行通
路は途中で折れ曲がっているので、歩行向きを変えるこ
とによりエアシャワーの吹き付け位置が変化する。歩行
による姿勢変化で浴びるエアシャワーは、同一位置での
姿勢変更による従来のエアシャワーよりもその吹き付け
位置及び吹き付け力が変化する。従ってブラッシング作
用を変化させるので除塵効果を一層向上させる。そし
て、出口エリアに設けたダウンフローによる層流エアゾ
ーンにより、エアシャワーで除去した浮遊塵埃が歩行者
とともにクリーンルームに流入することを防止する。
又、この歩行通路に適宜数並設したランプを順次点滅さ
せて歩行速度を案内することで、個人差のない、言い換
えれば歩行者によりバラツキのない除塵を行なうことが
できる。

【０００６】

【実施例】以下、本考案の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。第１図は本考案の実施例に係るクリーンル
ーム前室の平面構成図であり、第２図は要部の配置構成
を説明する断面側面図、第３図はクリーンルーム前室の
歩行通路側壁の構成形態を示す説明図である。図におい
て、クリーンルーム前室１は、一方に入口２、他方に、
図示しないクリーンルームに接続する出口３を設けて所
要スペースで区画している。入口２には、入室検知セン
サ４ａにより自動的に開閉する入口ドア４を設け、出口
３にはクリーンルーム前室１の出口直前に設けた退室検
知センサ５ａにより自動的に開閉する出口ドア５を設け
ている。

【０００７】６は、クリーンルーム前室１内の入口２と
出口３間に形成した歩行通路である。この歩行通路６
は、クリーンルーム前室１内の中間部に間仕切り的に側
壁７を立設して略Ｕ字状に形成している。そして、この
側壁７内には歩行通路６の入口側通路６ａと出口側通路
６ｂに対面して清浄空気を側壁７面から吹き出すエアシ
ャワー機構７１と、エアシャワー機構７１より風力的に
低く設定して入口側通路６ａ及び出口側通路６ｂに対面
した天井８（第２図参照）から清浄空気を吹き出すエア
カーテン機構７２を設けている。

【０００８】エアシャワー機構７１は、主要素を後述す
るエアシャワー用ブロア，高性能フィルタ，エア吹き出
しノズル等からユニット的に構成してなり、第１図は三
ユニット７１ａ，７１ｂ，７１ｃとして概要的に示して
いる。エアカーテン機構７２は、主要素を後述するエア
カーテン用ブロア，高性能フィルタ，吹き出しガラリ等
からユニット的に構成してなり、第１図は五ユニット７
２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ，７２ｅとして概要的に
示している。そして、配置形態として、入口側通路６ａ
側ではエアシャワーユニット７１ａ，７１ｂとエアカー
テンユニット７２ａ，７２ｂを交互に配置し、出口側通
路６ｂ側では出口３に近い側にエアカーテンユニット７
２ｃ，７２ｄ，７２ｅを位置させ、遠い側にエアシャワ
ーユニット７１ｃを配置している。 ーユニット７１ｃを配置している。

【０００９】９は、クリーンルーム前室１の歩行通路６
を形成する外周の側壁であり、この側壁９内にも前記側
壁７内と同様にエアシャワー機構９１とエアカーテン機
構９２を設けている。そして、前記側壁７内のエアシャ
ワー機構７１，エアカーテン機構７２と略対向した配置
として、入口側通路６ａ側ではエアシャワーユニット９
１ａ，９１ｂとエアカーテンユニット９２ａを交互に配
置し、出口側通路６ｂ側ではエアシャワーユニット９１
ｃを配置している。又、上記入口側通路６ａと出口側通
路６ｂを接続する折れ曲り路６ｃに対面してエアシャワ
ーユニット９１ｄ，９１ｅ，９１ｆ，９１ｇを配置して
いる。これにより、歩行者が折れ曲り路６ｃを歩行する
ときは、右側面のエアシャワーユニット９１ｅ，９１ｆ
からのエアシャワーのほか、コーナ部で前方からエアシ
ャワーユニット９１ｇの、又背面からエアシャワーユニ
ット９１ｄのエアシャワーを吹き付けられることにな
る。尚、１ａはクリーンルーム前室１内を視認できるよ
うに設けた窓である。

【００１０】次に、エアシャワー機構７１，９１、エア
カーテン機構７２，９２等の具体的配置構成を第２図に
より説明する。エアシャワー機構７１，９１は、側壁
７，９の上下の中間面にエア吹き出しノズル１０を適宜
数設け、このエア吹き出しノズル１０の下方にリタンガ
内にフィルタ１２，エアシャワー用ブロア１３を配置し
て構成している。

【００１１】第３図は上記エア吹き出しノズル１０とリ
タンガラリ１１の構成形態を示す説明図であり、エアカ
ーテン機構７２，９２に対応する側壁７，９にはリタン
ガラリ１１を設けるだけになる。又、天井８には、エア
吹き出しガラリ１４とフィルタ１５，加圧ブロア１６を
配置し、床面のグレーチング１７を通過した空気がエア
シャワー機構７１，９１の側方に形成した循環路（図示
せず）を介して加圧ブロア１６に戻るようにしている。
１７ａはグレーチング１７の下面に設けたプレフィルタ
である。次に、エアカーテン機構７２，９２は、歩行通
路６の天井８にエア吹き出しガラリ１８とフィルタ１
９、エアカーテン用ブロア２０を配置し、床面のグレー
チング１７を通過した空気が側壁７，９の循環流路２１
を介してエアカーテン用ブロア２０に戻るようにしてい
る。尚、エアシャワー機構７１，９１とエアカーテン機
構７２，９２の隣接部分では、加圧ブロア１６による循
環空気がエアカーテン機構７２，９２の循環流路２１を
利用して戻るようにすることもできる。

【００１２】２２（２２ａ〜２２ｈ）は歩行速度案内ラ
ンプ（以下「案内ランプ」という）であり、側壁７，９
に適宜の高さで一列状に所要数だけ並設している。この
案内ランプ２２は、クリーンルーム前室１への入室者に
対し、クリーンルームに要求される清浄度に応じた除塵
効果を上げる為に歩行通路６での歩行速度を案内（指
定）するものである。案内は、案内ランプ２２の順次点
滅により報知する。この順次点滅には、例えば案内ラン
プ２２ａから２２ｈ（実際には出口エリア３ａまでの所
要数）までにおいて、案内ランプ２２ａが点灯し、次い
で消灯時に案内ランプ２２ｂが点灯し、その消灯時に案
内ランプ２２ｃが点灯するといった具合に、順次所定時
間（例えば数秒〜１秒以下）で歩行速度を報知する繰り
返しの点滅と、歩行現在位置を指定する現位置点滅等が
利用できる。現位置点滅方式においては、歩行速度案内
ランプ２２の並設間隔を、例えば平均的歩幅に合わせた
間隔として、指定現位置の案内ランプ、例えば案内ラン
プ２２ａを点灯（点滅）させ、所定時間で消灯した際に
次の位置として案内ランプ２２ｂを点灯（点滅）させて
指示するといった形態にすればよい。２３はクリーンル
ーム前室１内のルームランプである。

【００１３】以上のような構成からなるクリーンルーム
前室１に入室する場合、入口２に立つと入室検知センサ
４ａが検知して入口ドア４を開成し、入室後閉成する。
尚、クリーンルーム前室１のエアシャワー機構７１，９
１とエアカーテン機構７２，９２の作動制御は、例えば
入室検知センサ４ａ，退室検知センサ５ａに連動させた
り、適宜の操作盤で操作したりすることにより行なう。
又、図例のように入口エリア２ａに起動センサ２４を設
けることも考えられる。何れにしても、入室者が入口エ
リア２ａに至るときには、外部から同時に流入する清浄
度の低い空気及び入室者の付着塵埃を少なからず排除し
ておく方が好ましい。従って入口エリア２ａ部分に対応
したエアカーテンユニット７２ａは作動させておく。こ
れにより入口エリア２ａ部分にダウンフローによる層流
エアゾーンが形成されるので、所要の塵埃はグレーチン
グ１７から直ちに排出することができる。

【００１４】入室者が歩行通路６を歩行する場合、入口
側通路６ａにおいては、まずエアシャワーユニット７１
ａ，９１ａによるエアシャワー洗浄を受ける。これによ
り、入室者の衣服等から除去された塵埃は、エアシャワ
ー空間に浮遊するが、リタンガラリ１１により排気循環
作用を受けて歩行通路６ａ外に排出される。この場合、
エアシャワー側壁７，９から略横方向に吹き出すので、
一部の塵埃が上方にも浮遊する。しかしながら、天井８
面から加圧ブロア１６でエアを吹き出しているので、上
記浮遊塵埃はそのまま留まることなく循環流により速や
かにグレーチング１７，リタンガラリ１１等から排出さ
れる。エアシャワーの吹き出し速度を、例えば毎秒２５
ｍ程度とすれば、加圧ブロア１６によるエアは毎秒０．
５ｍ程度の吹き出し速度でよい。

【００１５】上記洗浄ゾーンを通過すると、次にはエア
カーテンユニット７２ｂ，９２ａのダウンフローによる
層流エアゾーンに至る。ここでは洗浄空気が層流となっ
て下方に流れているので、上記洗浄ゾーンを通過する際
の人の移動とともに移動する一部の塵埃混合エアは、こ
の層流エアゾーンで直ちにグレーチング１７から歩行通
路６外に排出される。次いで、更に歩行すると新たなエ
アシャワーユニット７１ｂ，９１ｂによる洗浄ゾーンに
至り、前記同様の洗浄作用を受ける。このようにして歩
行通路６を進み、折れ曲り路６ｃに至りそして通過する
際にはエアシャワーユニット９１ｅ，９１ｆによる前面
及び側面洗浄のほか、コーナ部でエアシャワーユニット
９１ｄ，９１ｇによる前後面からの洗浄作用も受けるこ
とになる。即ち、入口側通路６ａにおいては、歩行姿勢
上から主として側面部を集中的に洗浄したが、折れ曲り
路６ｃで向きを変えることで自然な歩行姿勢のまま前後
面も集中的に洗浄することになる。これにより、エアシ
ャワーの吹き付け位置が変化するので、歩行動作とも相
まってエアシャワーのブラッシング効果を上げることが
できる。

【００１６】出口側通路６ｂでは、前記と同様にエアシ
ャワーユニット７１ｃ，９１ｃによる洗浄ゾーンとエア
カーテンユニット７２ｃ，７２ｄによる層流エアゾーン
を通過し、出口エリア３ａの層流エアゾーンに至る。第
１図例では、出口エリア３ａのほかその直前の位置もダ
ウンフローでの層流エアゾーンを形成している。従っ
て、折れ曲り路６ｃ通過までに除去できなかった塵埃が
この直前のエアシャワーにより除去され浮遊したとして
も、上記層流エアゾーンで排出されるので、エアカーテ
ン作用による遮蔽効果で、出口３からクリーンルームに
移動するときにはクリーンルーム前室１内での汚染空気
をクリーンルームに流出させることはない。

【００１７】このように、歩行通路方式によれば、自然
的姿勢のまま効果的な除塵を行なうことができる。そし
て又、少なくとも出口エリア３ａ部分をエアカーテン作
用を利用したダウンフローによる層流エアゾーンとする
ことで、エアシャワーで除去された浮遊する塵埃がクリ
ーンルームに流出することを防止することができる。こ
の歩行通路６による除塵の際、歩行者を歩行速度案内ラ
ンプ２２で誘導するようにすれば、クリーンルームの清
浄度に応じた除塵に対応することができる。これによれ
ば、歩行速度の個人差を均等化できるので、除塵効果を
定性的に得ることが可能となる。

【００１８】尚、上記実施例においては、歩行通路にエ
アシャワー機構とエアカーテン機構を交互に設けること
で説明した。しかしながら、少なくとも出口エリアにエ
アカーテン機構による層流エアゾーンを設ければ、他は
エアシャワー機構でもよいものである。エアシャワー利
用位置は歩行移動により変わるので、浮遊塵埃の再付着
を防止でき、所期目的を十分に達成することができる。
又、歩行通路においても、実施例では略Ｕ字状に形成し
たものを説明したが、これに限るものではない。例えば
略Ｌ字状等のように、歩行向きが一旦変わる折れ曲り路
を設けた通路形式であればよい。この通路形式は、クリ
ーンルームの間取りとか設置場所の形態等により決定す
ればよい。

【００１９】

【考案の効果】以上詳細に述べてきた通り、本考案によ
れば、クリーンルーム前室における除塵は自然的歩行動
作のなかで移動しながら行なうので、順次所要間隔で連
続して入室することができる。これにより従来の如き待
機ロス時間を解消して、効率のよい利用ができる。又、
歩行通路は単純な直線路ではなく、途中に折れ曲り路を
設けたので、歩行向きを変えた際に、エアシャワーの吹
き付け位置を変化させることができる。これにより、歩
行通路を歩行するだけで、歩行動作による姿勢変化とも
相まってエアシャワーの吹き付け位置が変化し、即ち人
体等に対し万遍なく且つ効果的に除塵を行うことができ
る。更に又、本考案においては歩行通路の出口エリアに
ダウンフローによる層流エアゾーンを設けている。従っ
て、クリーンルーム前室からクリーンルームに移る際
に、エアシャワーで除去され浮遊している塵埃はこのエ
アカーテン作用で遮断し、又グレーチング部を介して出
口エリア外に排出することができる。これにより、クリ
ーンルーム前室の空気をクリーンルームに流出させるこ
とがなく、クリーンルームの清浄管理を一層容易にする
ことができる。この歩行通路方式においては、歩行通路
に歩行速度案内ランプを設けて、入室者の歩行速度を案
内するようにすれば、クリーンルームの清浄度に応じた
除塵を一層確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案クリーンルーム前室の平面構成図であ
る。

【図２】本考案クリーンルーム前室の配置構成を説明す
る断面側面図である。

【図３】本考案クリーンルーム前室の歩行通路側壁の構
成形態を示す説明図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム前室 ２ 入口 ３ 出口 ３ａ 出口エリア ６ 歩行通路 ６ａ 入口側通路 ６ｂ 出口側通路 ６ｃ 折れ曲り路 ７，９ 側壁 １０ エア吹き出
しノズル １３ エアシャワー用ブロア １６ 加圧ブロア １７ グレーチング ２０ エアカーテ
ン用ブロア ２２ 歩行速度案内ランプ ７１，９１ エア
シャワー機構 ７１ａ〜７１ｃ，９１ａ〜９１ｇ エアシャワーユニッ
ト ７２，９２ エアカーテン機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 金子 元英 東京都港区六本木６丁目３番18号 第一地 所麻布ビル内 近藤工業株式会社内 (72)考案者 中島 孝幸 東京都港区六本木６丁目３番18号 第一地 所麻布ビル内 近藤工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−20633（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−140630（ＪＰ，Ａ) 特公 昭63−10336（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭61−31379（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭38−11628（ＪＰ，Ｙ１)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームへの入室前に身体等の付
   着塵埃を除去する為に利用するエアシャワー機構を備え
   た室であって、 側壁にエアシャワー用のエア吹き出しノズルを設けた歩
   行通路を形成し、 この歩行通路を折れ曲り状に形成すると共に、 歩行通路の出口エリアにダウンフローによる層流エアゾ
   ーンを設けてなるクリーンルーム前室において、 前記歩行通路には、順次点滅して歩行速度を案内する為
   のランプが該通路に沿って一列状に適宜数設けられたこ
   とを特徴とするクリーンルーム前室。