JP5685134B2 - クリーンルームの除塵装置 - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルームに入る前の歩行者に対して除塵を行うクリーンルームの除塵装置に関する。

一般に、クリーンルーム入室時は、更衣室で一般服からクリーンスーツに着替え、次いでエアーシャワーを浴びて除塵してから入場するようにしている。
このような従来技術として、例えば、外部に通じる入口とクリーンルームに通じる出口とを有する室内に、入口から出口に至る順路を設け、該順路に、少なくとも、一般着用ロッカー、手洗い器、無塵着用ロッカー、その他付帯設備及びエアーシャワーを当該順位で配置し、入口及び出口のそれぞれにドアを配置したクリーンルーム用更衣室が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

また、クリーンルームの入室者の着用物、及び搬入物にクリーンエアーを吹き付け、付着した塵埃を除去する際に、塵埃量を測定する測定手段と、その測定塵埃量によりクリーンエアーの風速、風量を制御する制御手段と、測定塵埃量を表示する表示手段とを備え、クリーンルームに開閉ドアを介して連接するエアーシャワー室が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開平１−１６７５４８号公報 特開平７−１０３５３５号公報

しかしながら、上記特許文献１及び２に記載の従来例にあっては、少なくともクリーンルームの入口に開閉ドアが設けられている。このクリーンルーム開閉ドアは、一般的にクリーンルーム圧力と気密性の維持、又は隣接室間のクリーンエアーの流れ込み・洗浄度変化を抑制する意味で設けられる。このドアはクリーンルームに向かう入室者１人又は数名が通過する毎に開閉されるので、例えば出勤時のようにクリーンルームへの入場者が多数いる場合には、一定区人数毎に区画・処理することと更にドアを開閉することで渋滞が発生し、スムーズな入場を行うことができないという未解決の課題がある。また、クリーンルームへの入場者がエアーシャワーを浴びる際に、所定時間立ち止まる必要があり、ここでも渋滞が生じるという未解決の課題がある。さらに、上記特許文献２に記載の従来例にあっては、エアーシャワーの後段にエアーシャワーを浴びるクリーンアップ室が設けられているので、塵埃除去率を高めることができるものであるが、エアーシャワー室及びクリーンアップ室間にもドアを配置するようにしており、クリーンルーム入場者のスムーズな入場を行うことができない。特に、多くの入場者を有する生産工場等では、クリーンルームへの全入室時間が非常に長くなるのが通例である。また、ドアの開閉により室間の圧力変動・オーバーシュートによる突発流等の外乱発生のリスクが高い。

そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、クリーンルームへの入室者が長い時間立ち止まる必要がなく、渋滞を生じることを防止して、クリーンルームへのスムーズに入室することができるクリーンルームの除塵装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明の一の態様に係るクリーンルームの除塵装置は、通過する歩行者に対して側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、該ジェット除塵部と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機を備えたエアーシャワー部とを備え、前記エアーシャワー部をクリーンルームの入口に連通させて配置し、前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床面に歩行速度、滞在時間及び前進誘導を教示する表示灯を歩行路に沿って複数配置したことを特徴としている。

また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床をエアーが通過可能な床構造とし、該床構造の下部側からエアーを回収して前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部のエアー吹き出し部に個別に還流することを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記エアーシャワー部は、前記クリーンルームとの隣接部にエアーカーテン形成部が配置されていることを特徴としている。

また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記表示灯の周囲に着地位置と体の向きを表す表示部を形成したことを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記ジェット除塵部が、複数のジェット気流噴射領域を有し、隣接するジェット気流噴射領域間にイオナイザが配置されていることを特徴としている。

本発明によれば、通過する歩行者に側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部とこのジェット除塵部と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機を備えたエアーシャワー部とを備え、エアーシャワー部をクリーンルームの入口に連通させて配置したので、互いに隣接するクリーンルーム及びエアーシャワー部とエアーシャワー部及びジェット除塵部との間に開閉ドアを設ける必要がないとともに、クリーンルームの入室者が長く立ち止まることなく、歩行状態で通過するだけで、必要な除塵効果を得ることができ、渋滞が発生することを確実に防止することができるという効果が得られる。

本発明に係るクリーンルームの除塵装置を示す全体構成図である。 除塵装置の具体的構成を示す縦断面図である。 図２の平面図である。 図２のＡ−Ａ線上の断面図である。 図２のＢ−Ｂ線上の断面図である。 ジェット除塵部のパンカルーバー配置の問題点を説明する模式図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の一実施形態を示す全体構成図である。
図中、１はクリーンルームであって、このクリーンルーム１の入口２に入室管理室３が配置されている。この入室管理室３は、クリーンルーム１とドアを介在させることなく連通している。
入室管理室３には、クリーンルーム１とは反対側における外部の更衣前室との間に開閉ドア４が配置され、この開閉ドア４の上部と天井との間に入室管理室３内の圧力を調整する差圧ダンパー５が配置されている。

また、入室管理室３には開閉ドア４とクリーンルーム１の入口２との間に、クリーンスーツを清浄な状態で保管する開閉自在なクリーンスーツ保管室６を有する更衣室７と、靴の履き替えを行う靴履替領域８と除塵装置９とがこれらの順に配置されている。
この入退室管理室３では、クリーンルーム１との間にドアが介在しないので、クリーンルーム１内を＋１５Ｐａ〜＋３０Ｐａに加圧する加圧エアーがそのまま導入充填されて加圧状態となり、この加圧状態の圧力が差圧ダンパー５によって調整される。このため、クリーンルーム１からの加圧エアーが除塵装置９、靴履替領域８及び更衣室７を、この順に通って差圧ダンパー５から排気されることになり、入退室管理室３で浮遊する塵埃がクリーンルーム１に侵入することが防止されている。

除塵装置９は、図２及び図３に示すように、靴履替領域８側に配置されたジェット除塵部１０と、このジェット除塵部１０に一端が連通し、他端がクリーンルーム１の入口２に連通するエアーシャワー部３０とを備えている。
ジェット除塵部１０は、図２〜図４に示すように、クリーンルーム１への入室者が通過する歩行通路１１に沿って３つのジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃが形成されている。各ジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃのそれぞれは、図４に示すように、歩行通路１１を挟む左右両側にジェット気流噴射機構１３が左右対称的に設けられている。このジェット気流噴射機構１３は、図２に示すように、前後２列で上下方向に４個のジェット気流を噴射するパンカルーバー１４ａ〜１４ｄが前後方向に所定間隔を保って２列配列されている。これらパンカルーバー１４ａ〜１４ｄのうち最上部のパンカルーバー１４ａは、図４に示すように、歩行者の腕部から腰部にかけてジェット気流を吹き付けるように垂直面から例えば４５°の噴射角でジェット気流を噴射する。

残りの３つのパンカルーバー１４ｂ〜１４ｄは、最上部のパンカルーバー１４ａから下方に離れた位置に上下方向の距離を短くして配置され、図４に示すように、噴射するジェット気流が互いに重なって歩行者の下肢に集中的に噴射されるように例えば垂直面から４５°の角度でジェット気流を噴射する。
また、ジェット気流噴射機構１３は、シロッコファン等で構成される加圧気体を送風する送風機１５を有する。この送風機１５の送風出口側に、塵埃除去率の高い高性能フィルタ（ＨＥＰＡ：Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）１６を介して加圧気体を２列のパンカルーバー１４ａ〜１４ｄに分配する圧力室１７が配置されている。

さらに、ジェット除塵部１０の床には、パンカルーバー１４ａ〜１４ｄによって吹き付けられたジェット気流を通過させるグレーチング床１８が配置されている。そして、グレーチング床１８の下端側から送風機１５の入口までの間にジェット気流を還流させるエアー還流路１９が形成されている。
また、ジェット除塵部１０は、図２に示すように、隣接するジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃにおけるジェット気流噴射機構１３のクリーンルーム１側に静電気を除電するイオナイザ２０が上下方向に延長して配置されている。

一方、エアーシャワー部３０は、図２及び図３に示すように、歩行者通路３１の天井側に４台のフィルタ付送風機としてのファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄが歩行者通路３１に沿って配設されている。これらファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄのそれぞれは、上部側に吸引口が配設された送風ファン部３３と、この送風ファン部３３の下方側のエアー吹出し口に配置された高性能フィルタ（ＨＥＰＡ）で構成されるフィルタ部３４とで構成されている。

そして、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃについてはフィルタ部３４が歩行者通路３１側に設置されて、フィルタ部３４を通じて除塵されたクリーンエアーが下方に向けて層流状態で送風される。これに対して、ファンフィルタユニット３２ｄについてはフィルタ部３４の下方にエアーカーテンを形成するエアーカーテン用カバー３５が配設され、このエアーカーテン用カバー３５のクリーンルーム１の入口２とは反対側の吐出口３５ａから送風されるクリーンエアーが床方向へのダウンフローを形成し、且つグレーチング床３７の下側からこのダウンフローを吸引する構成となっている。

これにより上方向から下方向への一方向性流、つまりプッシュ＆プル方式の気流を形成することが出来る。
言い換えると、外乱に強いエアーバリア的流線を得たエアーカーテン３６が形成される。
また、エアーシャワー部３０でも、ジェット除塵部１０と同様に、床に、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄから吹き出されたクリーンエアーを通過させるグレーチング床３７が配置されている。そして、図５に示すように、グレーチング床３７の下端側から天井のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄの送風ファンの吸気口までの間に左右の側壁内を通ってエアーを還流させるエアー還流路３８が形成されている。

そして、前述したジェット除塵部１０のジェット気流噴射機構１３及びエアーシャワー部３０のファンフィルタユニット３２ｄを除く３つのファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃは、図１に示すように、例えば靴履替領域８の除塵装置９側に配置された通過センサ３９の検出信号が制御盤４０に供給されて動作する。この制御盤４０では、通過センサ３９によって入室者の通過が検出されたときにジェット気流噴射機構１３及びファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃを作動状態に制御し、通過センサ３９で入室者の通過を検知しなくなって所定時間が経過したときにジェット気流噴射機構１３及びファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃを非作動状態に制御する。ここで、通過センサ３９としては、歩行者通路を挟んで対向する発光素子及び受光素子で構成され、発光素子の発光が通過者に遮られることにより、通過者の検知を行う。

さらに、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０のグレーチング床３７の下面には、図３に示すようにクリーンルーム１への入室者の歩行速度に応じた点滅を行う表示灯４１が入室者を歩行させたい歩行経路に合わせて所定数配置されている。そして、各表示灯４１の近傍には、歩行者の靴先が着地する位置及び歩行者の体の向きを表す表示部４２が形成されている。ここで、表示部４２は、先頭から第２番目のジェット気流噴射領域１２ａ及び１２ｂまでは入室者の歩行に合わせた片足分の足型表示４２ａとされ、第３番目のジェット気流噴射領域では、表示灯４１を挟む位置に両足分の足型表示４２ｂとされている。両足分の足型表示４２ｂは、例えば手前側では背中を左側のジェット気流噴射機構１３に向ける姿勢となる足型表示とされ、クリーンルーム１側の奥側の表示灯４１を挟む位置では、背中側を右側のジェット気流噴射機構１３側に向ける姿勢となる足型表示とされている。

さらに、エアーシャワー部３０では、１つ置きの表示灯４１に対してそれぞれ左右交互の足型表示４２ｃが描かれている。
表示灯４１は、ランプの点灯速度を変えることで、入室者の歩行速度を指示することができる。また、特定のランプを所望の時間だけ点灯もしくは消灯することで、歩行者へ特定のランプがある場所に所望の時間だけ滞在するよう指示することができる。
表示灯４１の取り付け位置により、入室者の歩行経路を指示してもよい。たとえば、表示灯４１を蛇行して取り付けることで、入室者を蛇行して歩行させられ、ジェット除塵部１０およびエアーシャワー部３０での入室者の滞在時間をコントロールできる。

表示部４２は、足型表示に限定されるものではなく、たとえば矢印表示としてもよく、この矢印の向きを使って、歩行者の身体の向きをコントロールしてもよい。
以上のような表示灯４１または表示部４２を、単独もしくは組み合わせて使うことで、入室者の歩行速度や歩行経路、身体の向き、滞在時間を制御でき、入室待ち渋滞を解消するよう制御したり、入室者の付着塵埃を低減し、清浄度を高めたりすることができる。

次に、上記実施形態の動作について説明する。
今、入室管理室３内にクリーンルーム１に入室する入室者や退室者が存在しないものとすると、この状態では、エアーシャワー部３０におけるファンフィルタユニット３２ｄを除くジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０の動作が停止されて省エネルギー化されている。この状態では、クリーンルーム１内の加圧エアーがエアーカーテン３６を通じてエアーシャワー部３０に入り、その後ジェット除塵部１０を通り、靴履替え領域８及び更衣室７を通って差圧ダンパー５から外部に排気される。このため、除塵装置９に塵埃が浮遊していたとしても、この塵埃がクリーンルーム１内に侵入することは確実に阻止される。しかも、ファンフィルタユニット３２ｄによって常時エアーカーテン３６が形成されているので、このエアーカーテン３６によって塵埃のクリーンルーム１側への侵入が確実に阻止される。

なお、ファンフィルタユニット３２ｄによって形成されるエアーカーテン３６は、他のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃと同じタイミング、すなわち入室者がいない場合は動作を停止し、入室者がいる場合は作動状態に制御されることで、さらに省エネルギー化を図ることもできる。入室者が通過したあと、ジェット除塵部１０およびエアーシャワー部３０での空気置換が終われば、ジェット除塵部１０およびエアーシャワー部３０は清浄化されているので、ファンフィルタユニット３２ｄは常時エアーカーテン３６を形成しなくてもよいためである。また、クリーンルーム１を加圧制御しているので、入室者がいない場合にファンフィルタユニット３２ｄの作動を停止しても、更衣室７側からクリーンルーム１側へ塵埃が流れ込む恐れが小さいためである。

クリーンルーム１への入室者は、開閉ドア４から入室管理室３内に入り、更衣室７で外着を脱いてクリーンスーツ保管室６からクリーンスーツを取り出して着用する。次いで、靴履替え領域８で靴を履き替えてから除塵装置９に入る。このとき、通過センサ３９で入室者の通過が検出されるので、その検出信号が制御盤４０に送られてジェット除塵部１０のジェット気流噴射機構１３及びエアーシャワー部３０のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃが作動状態に制御される。

このため、入室者がジェット除塵部１０に入ると、図４に示すように、左右のジェット気流噴射機構１３のパンカルーバー１４ａ〜１４ｄからジェット気流が通過者の体側に噴射される。このとき、パンカルーバー１４ａによって通過者の腕部及び腰部の塵埃が吹き飛ばされ、パンカルーバー１４ｂ〜１４ｄによって通過者の下肢部の塵埃が吹き飛ばされる。

吹き飛ばされた塵埃はジェット気流とともにグレーチング床１８を通過し、その下部に設けられたエアー還流路１９を通じて左右側部のジェット気流噴射機構１３の送風機１５の吸気口に還流され、この送風機１５から吹き出されるジェット気流が高性能フィルタ（ＨＥＰＡ）１６を通過することにより、除塵されてクリーンエアーとして通過者にジェット噴射される。

このように、ジェット除塵部１０では、ジェット気流によって通過者のクリーンスーツに付着している塵埃を下方のグレーチング床１８に向かって吹き飛ばし、このグレーチング床１８の下方に設けられたエアー還流路１９を通じてジェット気流噴射機構１３に還流されるので、吹き飛ばされた塵埃がジェット除塵部１０で浮遊することがなく、確実に回収される。

そして、このジェット除塵部１０では、図３に示すように、通過者は床がグレーチング床１８であるので、このグレーチング床１８を視認しながら歩行することになる。このグレーチング床１８の下面に表示灯４１が配設され、この表示灯４１が歩行速度及び前進誘導を教示するように点滅している。このため、通過者は表示灯４１で教示される歩行速度（例えば９０ｃｍ／ｓｅｃ程度）で歩行する。また、通過者は、表示灯４１の近傍に足型表示４２ａ及び４２ｂが描かれているので、この足型表示４２ａ及び４２ｂにしたがって歩行する。このため、ジェット気流噴射領域１２ａ及び１２ｂでは、歩行通路１１の略中央部を、前を向いて歩行する。これに対してジェット気流噴射領域１２ｃでは、一瞬両足を揃えて背中を進行方向左側のジェット気流噴射機構１３に向け、次いで一歩進んでから一瞬両足を揃えて背中を進行方向右側のジェット気流噴射機構１３に向けることにより、クリーンスーツの前後の塵埃を吹き飛ばす。このように、通過者を表示灯４１及び足型表示４２ａ，４２ｂで誘導することにより、適正な速度で歩行し、且つクリーンスーツの各部に隈なくジェット気流を浴びることにより、確実に除塵することができる。しかも、ジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃの隣接位置にはイオナイザ２０が配置されているので、このイオナイザ２０によってクリーンスーツの静電気の除電が行われ、浮遊する塵埃がクリーンスーツに再付着することを確実に防止することができる。

その後、入室者がジェット除塵部１０を通過すると、エアーシャワー部３０に入る。このエアーシャワー部３０では、同様に、表示灯４１及び足型表示４２ｃによって案内されて所定速度で歩行し、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃから下方に向けて吹き出される層流状態のクリーンエアーによって再度塵埃の払い落としが行われる。この場合も、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃから吹き出される層流状態のクリーンエアーはグレーチング床３７を通過して、その下部に配設されたエアー還流路３８によって上方のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃの送風ファン部３３に還流され、この送風ファン部３３の吹き出し側に設けたフィルタ部３４によって除塵されてクリーンエアーとして吹き出される。

そして、入室者は最後にファンフィルタユニット３２ｄで形成されるエアーカーテン３６を通過してクリーンルーム１の入口２からクリーンルーム１内に入る。
このように、上記実施形態によると、クリーンルーム１の入室者に対して、ジェット除塵部１０でジェット気流によって塵埃を確実に吹き飛ばし、エアーシャワー部３０で残留する塵埃を払い落とし、最後にエアーカーテン３６によって最終的な払い落としを行うことができ、所謂洗濯機に例えると、ジェット除塵部１０が洗いに相当し、エアーシャワー部３０が濯ぎに相当し、エアーカーテン３６が仕上げに相当し、３段階でクリーンスーツから塵埃を確実に払い落とすことができる。しかも、入室者が歩きながら除塵を行うことができ、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー室３０がクリーンルーム１にドアを介することなく連通しているので、ドアの開閉による渋滞が生じることがなく、クリーンルーム１への入室をスムーズに行うことができる。

加えて、ジェット除塵部１０では、ジェット気流で塵埃をグレーチング床１８に向かって吹き飛ばし、エアー還流路１９を通じてジェット気流噴射機構に還流されるので、歩行により塵埃が誘引・再付着することを低減できる。そして、エアーシャワー室３０では、層流で塵埃をグレーチング床３７に向かって移動させ、エアー還流路３８を通じて送風ファン部３３に還流されるので、歩行により塵埃が誘引・再付着することを低減できる。

しかも、ジェット除塵部１０では、下部側にパンカルーバー１２ｂ〜１２ｄを集中的に配置し、さらに約４５°の角度で斜め下方向にジェット気流を噴射するので、更衣時に更衣室床との接触を招き易く、付着塵埃が残り易い傾向にあるクリーンスーツの膝下部を含め確実に除塵することが出来る。クリーンスーツ保管室６では保管時を利用して塵埃を払い落とす目的から、その上方からクリーンエアーを吹き付ける方式を採用したので、前述のクリーンスーツ下部への噴射処置と併せて、クリーンスーツ上部と下部の集中除塵が容易となる。

因みに、図６に示すように、通過者の身長に合わせて、パンカルーバー１４ａ〜１４ｄを肩から腰下にかけて均等配置した場合には、通過者の下肢部に対する一番下側のパンカルーバー１４ｄからの距離が一番遠くなり、下肢部に到達するジェット気流の流速が遅くなって効果的な除塵を行うことができない。しかしながら、本実施形態では、上述したように通過者の下肢部に集中的にジェット気流を噴射するので、下肢部での除塵を効果的に行うことができる。

また、エアーシャワー部３０のクリーンルーム１の入口２に近い位置に、エアーカーテン３６を形成するようにしたので、除塵装置９とクリーンルーム１とをエアーカーテン３６で遮断することができ、浮遊する塵埃がクリーンルーム１に達することを確実に防止することができる。この場合、エアーカーテン３６の形成位置は、クリーンルーム１の入口２の直前に設けるよりは、入口２から離した位置に形成した方が、エアーカーテン３６を形成する気流がクリーンルーム１内に影響することを抑制することができる。さらに、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０に通過者を誘導する表示灯４１を配置し、この表示灯で歩行速度を教示するようにしたので、通過者の歩行速度を最適速度に誘導することができる。このとき、表示灯４１をグレーチング床１８，３７の下面側に配置しているので、通過者の視認範囲内とすることができ、表示灯４１を見ながら歩行することができる。

また、表示灯４１の周囲に足型表示４２ａ〜４２ｃを形成したので、着地位置と体の向きとを通過者に報知することができ、除塵効果を向上させることができる。
さらに、ジェット除塵部１０のジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃの境界位置にイオナイザ２０を配置したので、このイオナイザ２０でクリーンスーツに帯電する静電気の除電を行うことができ、ジェット気流で吹き飛ばした塵埃がクリーンスーツに静電気によって再付着することを確実に防止することができる。

なお、上記実施形態においては、除塵装置９のジェット除塵部１０に３つのジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃを形成した場合について説明したが、ジェット気流噴射領域の配置数はクリーンスーツへの塵埃付着量に応じて任意の配置数に設定することができる。
同様に、エアーシャワー部３０に設けるファンフィルタユニットの配置数もジェット除塵部１０での残留塵埃量に応じて任意の配置数とすることができる。
また、上記実施形態においては、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０を直線状に形成した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、平面から見てＣ字状やＵ字状等の任意の形状に形成することができる。

１…クリーンルーム、２…入口、３…入室管理室、４…開閉ドア、５…差圧ダンパー、６…クリーンスーツ保管室、７…更衣室、８…靴履替領域、９…除塵装置、１０…ジェット除塵部、１１…歩行通路、１２ａ〜１２ｃ…ジェット気流噴射領域、１３…ジェット気流噴射機構、１４ａ〜１４ｄ…パンカルーバー、１５…送風機、１６…高性能フィルタ、１７…圧力室、１８…グレーチング床、１９…エアー還流路、２０…イオナイザ、３０…エアーシャワー部、３１…歩行者通路、３２ａ〜３２ｄ…ファンフィルタユニット、３３…送風ファン部、３４…フィルタ部、３５…エアーカーテン用カバー、３５ａ…吐出口、３６…エアーカーテン、３７…グレーチング床、３８…エアー還流路

Claims (5)

1. 通過する歩行者に対して側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、
   該ジェット除塵部と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機を備えたエアーシャワー部とを備え、
   前記エアーシャワー部をクリーンルームの入口に連通させて配置し、
   前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床面に歩行速度、滞在時間及び前進誘導を教示する表示灯を歩行路に沿って複数配置した
   ことを特徴とするクリーンルームの除塵装置。
2. 前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床をエアーが通過可能な床構造とし、該床構造の下部側からエアーを回収して前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部のエアー吹き出し部に個別に還流することを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの除塵装置。
3. 前記エアーシャワー部は、前記クリーンルームとの隣接部にエアーカーテン形成部が配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルームの除塵装置。
4. 前記表示灯の周囲に着地位置と体の向きを表す表示部を形成したことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のクリーンルームの除塵装置。
5. 前記ジェット除塵部は、複数のジェット気流噴射領域を有し、隣接するジェット気流噴射領域間にイオナイザが配置されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のクリーンルームの除塵装置。

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