JPH04327743A - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はエアシャワー装置に関し
、特に垂直層流型クリーンルームに設置するエアシャワ
ー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエアシャワー装置の横断面図及び
縦断面図を図６，図７に示す。図に示すように、筐体１
の内部に人間の通行が可能な通路２を設け、この両端に
扉１３，１６を設けている。クリーンルームへ入室する
際に、人間が通路２に入ると、ファン４によって加圧さ
れた空気が高性能フィルター５を通過することにより除
塵され、通路２の壁面に設けたエアチャンバー８の吹出
ノズル９から高速で人体に吹き付けられることにより、
衣服に付着した塵埃が取り除かれる。クリーンルームか
ら退場する際には、入場時と同様にクリーンルーム側扉
１５を開いて通路２を通るか、もしくは退場専用扉６を
エアシャワー装置と別個に設け、これを通る。

【０００３】従来方式のエアシャワーではクリーンルー
ム側扉１５を自動扉にし、前室側扉１６を持たないもの
もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来のエアシャワ
ー装置では、人間の通過できる通路が１本であるため、
複数の人間が同時に入退場を行う際には、何れか一方が
通過を待たねばならず、クリーンルーム内の作業者が一
斉に入替わる際等においては、長時間を要することにな
る。また、これを避けるため、エアシャワー装置をクリ
ーンルーム内への入場専用とし、退場専用に別個の扉を
設けた場合、特に垂直層流型クリーンルームにおいては
、扉の開閉により層流が大きく撹乱され、クリーンルー
ム外の塵埃量の多い空気がクリーンルーム内へ巻き込ま
れることにより、室内が汚染される危険性がある。

【０００５】本発明の目的は、前記課題を解決したエア
シャワー装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係るエアシャワー装置においては、クリーン
ルームと前室との間に入場専用通路と退場専用通路とを
有するエアシャワー装置であって、入場専用通路は、フ
ァン及び高性能フィルタにより清浄化した空気を高速で
吹付けて作業者の衣類等の塵埃を除去する機能を有する
ものであり、退場専用通路は、ファン及び高性能フィル
タにより清浄化した空気を低速で天井から垂直層流とし
て吹出すエアカーテン機能を有するものである。

【０００７】また、前記入場専用通路は、クリーンルー
ム側の出口に横方向にスライドして開閉する自動扉を有
し、前記退場専用通路は、前室側の出口に手動式の退場
専用扉を有するものである。

【０００８】また、前記入場専用通路と退場専用通路と
の設置間隔を広げて、前記退場専用扉を自動扉により構
成したものである。

【０００９】

【作用】本発明のエアシャワー装置は、クリーンルーム
への入場専用口としてファン及び高性能フィルターによ
り除塵された空気の高速吹出しによる除塵通路と、クリ
ーンルームからの退場専用口として、ファン及び高性能
フィルターにより除塵された空気の垂直層流吹出を行う
通路とを備えることにより、クリーンルームに対する入
退出を容易にしたものである。

【００１０】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。

【００１１】（実施例１）図１は、本発明の実施例１に
係るエアシャワー装置を示す横断面図、図２は、同縦断
面図、図３は、図２の左側方から見た縦断面図である。

【００１２】図において、一筐体１内に２つの通路２，
１１を設け、２つの通路２，１１の間はエアチャンバー
８と１４とに仕切られている。クリーンルームＣ１への
入場専用口としての通路２（図１，図２に示す右側の通
路）は、ファン４と高性能フィルター５とを持ち、これ
らによって加圧・除塵された空気がエアチャンバー８へ
送られ、吹出ノズル９から高速で通路内へ吹き付けられ
る。この空気は通路床面に設けた排気口１０から再びフ
ァン４に戻る。また、クリーンルーム側に面する側には
、自動扉３を設けることによりクリーンルームＣ１と前
室Ｃ２との間を仕切る。

【００１３】クリーンルームＣ１からの退場専用口とし
ての通路１１（図１，図２に示す左側の通路）は、ファ
ン７と高性能フィルター１２を持ち、これらによって加
圧・除塵された空気が通路天井面から低速で通路内に垂
直層流として吹下され、通路床面に設けた排気口１３か
らエアチャンバー１４を通り再びファン７に戻る。また
、通路１１の中程に手動式の退場専用扉６を設け、クリ
ーンルームＣ１とこの前室Ｃ２とを仕切っている。

【００１４】さて、本発明を実際に運用する際の流れを
次に示す。クリーンルームＣ１へ入室する作業者は、入
場専用口としての通路２へ入る。図示しない光電スイッ
チ，機械式スイッチ等の手段により、作業者が通路２内
に入ったことを検知し、ファン４を起動して排気口１０
から吸引した空気を加圧し、高性能フィルター５を通し
て除塵した空気を吹出ノズル９から人体に吹き付け、衣
服に付着した塵埃を除去する。図示しないタイマーによ
り一定時間ファン４を運転した後、これを停止し、自動
扉３を開き、作業者をクリーンルームＣ１側へ通過させ
る。ここで、自動扉３は横方向へスライドする型式のも
のを用い、クリーンルームＣ１内の気流に対する影響を
最小限とする。

【００１５】クリーンルームから退出する作業者は退場
専用口としての通路１１へ入り、ファン７から高性能フ
ィルター１２を通して除塵された空気が垂直層流として
吹き下される中を通過して、退場専用扉６を開き、前室
Ｃ２へ出る。通路１１内の吹出風速は、クリーンルーム
Ｃ１内の垂直層流の吹出風速と同等以上とすることによ
り、エアカーテン効果を持たせることができ、クリーン
ルームの気流風速を０．２５ｍ／ｓｅｃとしたとき、扉
の開閉によって約１ｍの巾で乱流が発生するが、これを
エアシャワー装置のみの乱流に止めることができる。

【００１６】（実施例２）図４は、本発明の実施例２を
示す横断面図、図５は、同縦断面図である。本実施例は
、上述した実施例１におけるファン４と高性能フイルタ
ー５とを通路２と通路１１の間に設け、この間の距離を
大きくすることによって退場専用口６を自動扉としてい
る。入退場の両自動扉を同時に開かないように、片側が
開いているときには、もう一方の自動扉の開放信号が入
ってもこれを待機させることによって、クリーンルーム
Ｃ１と、前室Ｃ２との間の開放面積を必要最小限に制御
できる利点をもつ。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のエアシャ
ワー装置は、クリーンルームからの退場時における通路
をエアシャワー装置内に組込み、この通路をファン及び
高性能フィルターによる垂直層流型のミニクリーンルー
ムとして退場専用口を設けることにより、扉の開閉によ
るクリーンルームの気流撹乱及び汚染の防止ができると
いう効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す横断面図である。

【図２】図１に示した実施例１の縦断面図である。

【図３】図２の左側から見た縦断面図である。

【図４】本発明の実施例１を示す横断面図である。

【図５】図４に示した実施例２の縦断面図である。

【図６】従来のエアシャワー装置を示す横断面図である
。

【図７】図６の縦断面図である。

【符号の説明】

１　　筐体 ２　　通路 ３　　自動扉 ４　　ファン ５　　高性能フィルター ６　　退場専用扉 ７　　ファン ８　　エアチャンバー ９　　吹出ノズル １０　　排気口 １１　　通路 １２　　高性能フィルター １３　　排気口 １４　　エアチャンバー １５　　クリーンルーム側扉

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　クリーンルームと前室との間に入場専
   用通路と退場専用通路とを有するエアシャワー装置であ
   って、入場専用通路は、ファン及び高性能フィルタによ
   り清浄化した空気を高速で吹付けて作業者の衣類等の塵
   埃を除去する機能を有するものであり、退場専用通路は
   、ファン及び高性能フィルタにより清浄化した空気を低
   速で天井から垂直層流として吹出すエアカーテン機能を
   有するものであることを特徴とするエアシャワー装置。
2. 【請求項２】　　前記入場専用通路は、クリーンルーム
   側の出口に横方向にスライドして開閉する自動扉を有し
   、前記退場専用通路は、前室側の出口に手動式の退場専
   用扉を有することを特徴とする請求項１に記載のエアシ
   ャワー装置。
3. 【請求項３】　　前記入場専用通路と退場専用通路との
   設置間隔を広げて、前記退場専用扉を自動扉により構成
   したことを特徴とする請求項１，２に記載のエアシャワ
   ー装置。