JPH0425452B2 - - Google Patents
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- JPH0425452B2 JPH0425452B2 JP59180202A JP18020284A JPH0425452B2 JP H0425452 B2 JPH0425452 B2 JP H0425452B2 JP 59180202 A JP59180202 A JP 59180202A JP 18020284 A JP18020284 A JP 18020284A JP H0425452 B2 JPH0425452 B2 JP H0425452B2
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- JP
- Japan
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- air
- room
- wind speed
- seconds
- small room
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- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 11
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 244000052616 bacterial pathogen Species 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006884 silylation reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
- F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
産業上の利用分野
本発明は、クリンルームの出入口におけるエア
シヤワー装置に関するものである。
シヤワー装置に関するものである。
従来の技術
半導体工場等では、塵埃や雑菌（以下ダストと
云う）を嫌うことから、室内の空気を高度に浄化
するクリンルームが用いられる。そして、そのク
リンルームには、出入口に、作業員の身体や衣服
に付着しているダストを取り除くエアシヤワーが
設けられる。
云う）を嫌うことから、室内の空気を高度に浄化
するクリンルームが用いられる。そして、そのク
リンルームには、出入口に、作業員の身体や衣服
に付着しているダストを取り除くエアシヤワーが
設けられる。
このエアシヤワーは、一般に、第９図に示すよ
うに、人体が通過し得る小部屋１を設け、該小部
屋に空気浄化兼用のエアサイクルＡ，Ａとエアジ
エツトＢ，Ｂとを設けて成り、そのエアサイクル
Ａ，Ａは、室内へ循環フアン２，２を以て清浄空
気を風速1.0〜1.2ｍ／ｓまたは換気回数120回／
ｈ程度で常時供給し、室内からの排出空気をプレ
フイルタ３，３及び超高性能フイルタ４，４で浄
化し循環させるものであり、また、エアジエツト
Ｂ，Ｂは、人の入室時に小部屋１内へメインフア
ン５，５を以て空気を左右から風速20ｍ／ｓ以上
で数秒間強力に噴射するものである。
うに、人体が通過し得る小部屋１を設け、該小部
屋に空気浄化兼用のエアサイクルＡ，Ａとエアジ
エツトＢ，Ｂとを設けて成り、そのエアサイクル
Ａ，Ａは、室内へ循環フアン２，２を以て清浄空
気を風速1.0〜1.2ｍ／ｓまたは換気回数120回／
ｈ程度で常時供給し、室内からの排出空気をプレ
フイルタ３，３及び超高性能フイルタ４，４で浄
化し循環させるものであり、また、エアジエツト
Ｂ，Ｂは、人の入室時に小部屋１内へメインフア
ン５，５を以て空気を左右から風速20ｍ／ｓ以上
で数秒間強力に噴射するものである。
しかし、この場合、エアジエツトの噴射と同時
にダストが小部屋１内に充満して、これが強力に
撹拌された状態になり、清浄になるまでには３〜
５分の時間が必要である。従つて、そのダストが
作業員と共にクリンルームへ入り込むことが多
く、改善が要望されている。
にダストが小部屋１内に充満して、これが強力に
撹拌された状態になり、清浄になるまでには３〜
５分の時間が必要である。従つて、そのダストが
作業員と共にクリンルームへ入り込むことが多
く、改善が要望されている。
発明が解決しようとする問題点
そこで、本発明は、小部屋に充満するダストを
速かに排除して、クリンルームへの侵入を阻止
し、上記要望を満足させようとするものである。
速かに排除して、クリンルームへの侵入を阻止
し、上記要望を満足させようとするものである。
〔発明の構成〕
問題点を解決するための手段と作用
本発明は、前後にそれぞれドアを備えて人体が
通過し得る小部屋の室内へ、平常時、清浄空気を
風速0.1ｍ／ｓ程度以下で緩やかに供給し、且つ、
室内からの排出空気をフイルタで浄化し循環させ
る微風エアサイクルを設け、また、その室内へ、
人の入室時に左右から清浄空気を風速25ｍ／ｓ内
外で数秒乃至数拾秒間強力に噴射するエアジエツ
トを設け、更に、そのエアジエツトの噴射終了直
後に清浄空気を風速0.5〜１ｍ／ｓ程度の適度な
風力で数秒間垂直または水平の層流として供給
し、且つ、室内からの排出空気をフイルタで浄化
し循環させるラミナーエアフローを設けて成る。
通過し得る小部屋の室内へ、平常時、清浄空気を
風速0.1ｍ／ｓ程度以下で緩やかに供給し、且つ、
室内からの排出空気をフイルタで浄化し循環させ
る微風エアサイクルを設け、また、その室内へ、
人の入室時に左右から清浄空気を風速25ｍ／ｓ内
外で数秒乃至数拾秒間強力に噴射するエアジエツ
トを設け、更に、そのエアジエツトの噴射終了直
後に清浄空気を風速0.5〜１ｍ／ｓ程度の適度な
風力で数秒間垂直または水平の層流として供給
し、且つ、室内からの排出空気をフイルタで浄化
し循環させるラミナーエアフローを設けて成る。
而して、第１図は、垂直層流型の構成要領を示
しており、内容は次の通りである。
しており、内容は次の通りである。
前後にそれぞれドアを備えて人体が通過し得る
小部屋１１において、通風床１１１１と床下チヤ
ンバ１１２、通風天井１１３と天井チヤンバ１１
４、左右両側の通風側壁１１５，１１５と側壁チ
ヤンバ１１６，１１６を設けている。
小部屋１１において、通風床１１１１と床下チヤ
ンバ１１２、通風天井１１３と天井チヤンバ１１
４、左右両側の通風側壁１１５，１１５と側壁チ
ヤンバ１１６，１１６を設けている。
微風エアサイクルは、微風フアン１２，１２
により、小部屋１１内の空気を床下チヤンバ１１
２から引き出し、プレフイルタ１３，１３を通
し、超高性能フイルタ１４，１４及びモータダン
パ１５，１５（または１７）を通して、両側壁チ
ヤンバ１１６，１１６（または天井チヤンバ１１
４）へ送り、更に、両通風側壁１１５，１１５
（または通風天井１１３）から小部屋１１内へ風
速0.05〜0.1ｍ／ｓで送風し、平常時、この循環
運転を持続する。
により、小部屋１１内の空気を床下チヤンバ１１
２から引き出し、プレフイルタ１３，１３を通
し、超高性能フイルタ１４，１４及びモータダン
パ１５，１５（または１７）を通して、両側壁チ
ヤンバ１１６，１１６（または天井チヤンバ１１
４）へ送り、更に、両通風側壁１１５，１１５
（または通風天井１１３）から小部屋１１内へ風
速0.05〜0.1ｍ／ｓで送風し、平常時、この循環
運転を持続する。
エアジエツトは、メインフアン１６，１６に
より、小部屋１１内の空気を床下チヤンバ１１２
から引き出し、プレフイルタ１３，１３を通し、
超高性能フイルタ１４，１４及びモータダンパ１
５，１５を通して、両側壁チヤンバ１１６，１１
６へ送り、更に、両通風側壁１１５，１１５のエ
アジエツトノズルから小部屋内へ風速約25ｍ／ｓ
で噴射させ、そして、人が小部屋１１内に入つた
ときにのみ、10〜20秒間、この循環運転を行う。
より、小部屋１１内の空気を床下チヤンバ１１２
から引き出し、プレフイルタ１３，１３を通し、
超高性能フイルタ１４，１４及びモータダンパ１
５，１５を通して、両側壁チヤンバ１１６，１１
６へ送り、更に、両通風側壁１１５，１１５のエ
アジエツトノズルから小部屋内へ風速約25ｍ／ｓ
で噴射させ、そして、人が小部屋１１内に入つた
ときにのみ、10〜20秒間、この循環運転を行う。
ラミナーエアフローは、メインフアン１６，
１６により、小部屋１１内の空気を床下チヤンバ
１１２から引き出し、プレフイルタ１３，１３を
通し、超高性能フイルタ１４，１４及び他のモー
タダンパ１７，１７を通して、天井チヤンバ１１
４へ送り、通風天井１１３から小部屋内へ風速
0.5〜１ｍ／ｓの風力で垂直層流として供給し、
そして、エアジエツトの噴射終了直後からドアを
開けるまでの５〜10秒間、更には、小部屋内の人
が退室するまでの数秒間、この循環運転を行う。
１６により、小部屋１１内の空気を床下チヤンバ
１１２から引き出し、プレフイルタ１３，１３を
通し、超高性能フイルタ１４，１４及び他のモー
タダンパ１７，１７を通して、天井チヤンバ１１
４へ送り、通風天井１１３から小部屋内へ風速
0.5〜１ｍ／ｓの風力で垂直層流として供給し、
そして、エアジエツトの噴射終了直後からドアを
開けるまでの５〜10秒間、更には、小部屋内の人
が退室するまでの数秒間、この循環運転を行う。
なお、微風エアサイクル及びエアジエツト
とラミナーエアフロー（）との流路の切換え
は、モータダンパ１５，１５、１７，１７の切換
えで行う。
とラミナーエアフロー（）との流路の切換え
は、モータダンパ１５，１５、１７，１７の切換
えで行う。
次に、第２図は、水平層流型の構成要領を示し
ており、内容は次の通りである。
ており、内容は次の通りである。
前後にそれぞれドアを備えて人体が通過し得る
小部屋２１において、両側に通風側壁２１１，２
１１と側壁チヤンバ２１２，２１２を設けてい
る。
小部屋２１において、両側に通風側壁２１１，２
１１と側壁チヤンバ２１２，２１２を設けてい
る。
微風エアサイクルは、微風フアン２２，２２
により、小部屋２１内の空気を床付近の下位点か
ら引き出し、プレフイルタ２３，２３を通し、超
高性能フイルタ２４，２４を通して、両側の側壁
チヤンバ２１２，２１２へ送り、更に、両側の通
風側壁２１１，２１１から小部屋２１内へ風速
0.05〜0.1ｍ／ｓで供給し、平常時、この循環運
転を持続する。
により、小部屋２１内の空気を床付近の下位点か
ら引き出し、プレフイルタ２３，２３を通し、超
高性能フイルタ２４，２４を通して、両側の側壁
チヤンバ２１２，２１２へ送り、更に、両側の通
風側壁２１１，２１１から小部屋２１内へ風速
0.05〜0.1ｍ／ｓで供給し、平常時、この循環運
転を持続する。
エアジエツトは、メインフアン２５，２５に
より、小部屋２１内の空気を床付近の下位点から
引き出し、プレフイルタ２３，２３、モータダン
パ２６，２６、２７を通し、超高性能フイルタ２
４，２４を通して、両側の側壁チヤンバ２１２，
２１２へ送り、更に、両側の通風側壁２１１，２
１１から小部屋２１内へ風速約25ｍ／ｓで噴射さ
せ、そして、人が小部屋１１内に入つたときにの
み、10〜20秒間、この循環運転を行う。
より、小部屋２１内の空気を床付近の下位点から
引き出し、プレフイルタ２３，２３、モータダン
パ２６，２６、２７を通し、超高性能フイルタ２
４，２４を通して、両側の側壁チヤンバ２１２，
２１２へ送り、更に、両側の通風側壁２１１，２
１１から小部屋２１内へ風速約25ｍ／ｓで噴射さ
せ、そして、人が小部屋１１内に入つたときにの
み、10〜20秒間、この循環運転を行う。
ラミナーエアフローは、メインフアン２５，
２５により、小部屋２１内の空気を一側の通風側
壁２１１、側壁チヤンバ２１２から引き出し、モ
ータダンパ２８，２９を通し、超高性能フイルタ
２４を通して、他方の側壁チヤンバ２１２へ送
り、更に、他方の通風側壁２１１から小部屋２１
内へ風速0.5〜１ｍ／ｓで水平層流として供給し、
そして、エアジエツトの噴射終了直後からドアを
開けるまでの５〜10秒間、更には、小部屋内の人
が退室するまでの数秒間、この循環運転を行う。
２５により、小部屋２１内の空気を一側の通風側
壁２１１、側壁チヤンバ２１２から引き出し、モ
ータダンパ２８，２９を通し、超高性能フイルタ
２４を通して、他方の側壁チヤンバ２１２へ送
り、更に、他方の通風側壁２１１から小部屋２１
内へ風速0.5〜１ｍ／ｓで水平層流として供給し、
そして、エアジエツトの噴射終了直後からドアを
開けるまでの５〜10秒間、更には、小部屋内の人
が退室するまでの数秒間、この循環運転を行う。
なお、微風エアサイクル及びエアジエツト
とラミナーエアフローとの流路の切換えは、モ
ータダンパ２６，２６、２７，２８，２９の切換
えで行う。
とラミナーエアフローとの流路の切換えは、モ
ータダンパ２６，２６、２７，２８，２９の切換
えで行う。
上記第１図の垂直層流型と、上記第２図の水平
層流型の運転状況を、第３図で説明すると、平常
時は、微風エアサイクルの運転が持続されてお
り、この状態において、作業員が一方のドアを開
けて小部屋１１に入室し、ドアを閉じると、エア
ジエツトが開始され、10〜20秒後、このエアジ
エツトが終了する。この終了と共にラミナーエア
フローが開始され、５〜10秒後、作業員は他方
のドアを開いてクリンルームに入り、ドアを閉じ
る。この閉じと共にラミナーエアフローが終了
し、微風エアサイクルの運転に戻る。
層流型の運転状況を、第３図で説明すると、平常
時は、微風エアサイクルの運転が持続されてお
り、この状態において、作業員が一方のドアを開
けて小部屋１１に入室し、ドアを閉じると、エア
ジエツトが開始され、10〜20秒後、このエアジ
エツトが終了する。この終了と共にラミナーエア
フローが開始され、５〜10秒後、作業員は他方
のドアを開いてクリンルームに入り、ドアを閉じ
る。この閉じと共にラミナーエアフローが終了
し、微風エアサイクルの運転に戻る。
実施例１
第４図は、垂直層流型の実施例であり、この場
合は、基本的には第１図の構成要領に従がい、同
一符号は同一部分を示している。但し、この場合
は、モータダンパ１５，１７を両側壁チヤンバ１
１６，１１６中に納め、メインフアン１６，１６
と微風フアン１２，１２とを兼用させている。
合は、基本的には第１図の構成要領に従がい、同
一符号は同一部分を示している。但し、この場合
は、モータダンパ１５，１７を両側壁チヤンバ１
１６，１１６中に納め、メインフアン１６，１６
と微風フアン１２，１２とを兼用させている。
実施例２
第５図は、垂直層流型の他の実施例であり、こ
の場合も、基本的には第１図の構成要領に従が
い、同一符号は同一部分を示している。但し、こ
の場合は、超高性能フイルタ１４，１４を側壁チ
ヤンバ１１６，１１６と天井チヤンバ１１４とで
個別に設け、従つて、モータダンパ１５，１５、
１７，１７を超高性能フイルタの前段で設けてい
る。また、メインフアン１６，１６と微風フアン
１２，１２とを兼用させている。
の場合も、基本的には第１図の構成要領に従が
い、同一符号は同一部分を示している。但し、こ
の場合は、超高性能フイルタ１４，１４を側壁チ
ヤンバ１１６，１１６と天井チヤンバ１１４とで
個別に設け、従つて、モータダンパ１５，１５、
１７，１７を超高性能フイルタの前段で設けてい
る。また、メインフアン１６，１６と微風フアン
１２，１２とを兼用させている。
実施例３
第６図乃至第８図は、垂直層流型の更に他の実
施例であり、この場合も、基本的には、第１図の
構成要領に従がい、同一符号は同一部分を示して
いる。但し、この場合は、超高性能フイルタ１
４，１４を側壁チヤンバ１１６，１１６と天井チ
ヤンバ１１４とで個別に設け、流路を適宜に区分
しており、モータダンパ１５，１５、１７，１７
は、それぞれフアンの吹出口に設けて、簡素化し
ている。
施例であり、この場合も、基本的には、第１図の
構成要領に従がい、同一符号は同一部分を示して
いる。但し、この場合は、超高性能フイルタ１
４，１４を側壁チヤンバ１１６，１１６と天井チ
ヤンバ１１４とで個別に設け、流路を適宜に区分
しており、モータダンパ１５，１５、１７，１７
は、それぞれフアンの吹出口に設けて、簡素化し
ている。
本発明によれば、通過する人の身体及び衣服に
付着するダストを強力なエアジエツトにより速か
に離脱させることができるばかりでなく、小部屋
に充満したダストをラミナーエアフローにより速
かに且つ十分に排除でき、人と共にクリンルーム
へ入り込むダストを皆無にできる。
付着するダストを強力なエアジエツトにより速か
に離脱させることができるばかりでなく、小部屋
に充満したダストをラミナーエアフローにより速
かに且つ十分に排除でき、人と共にクリンルーム
へ入り込むダストを皆無にできる。
また、平常時の準備態勢は、緩やかな送風によ
る微風エアサイクルによつて万全であるばかりで
なく、ラミナーエアフローのサイクルによるクリ
ンアツプがなされるため、その風速も0.05〜0.1
ｍ／ｓ程度と、従来のシステムと比較して非常に
小さく設定でき、ときには、無しとすることも可
能であるというように、無駄なエネルギーを使わ
ず、頗る経済的である。
る微風エアサイクルによつて万全であるばかりで
なく、ラミナーエアフローのサイクルによるクリ
ンアツプがなされるため、その風速も0.05〜0.1
ｍ／ｓ程度と、従来のシステムと比較して非常に
小さく設定でき、ときには、無しとすることも可
能であるというように、無駄なエネルギーを使わ
ず、頗る経済的である。
第１図，第２図は、それぞれ本発明の構成要領
を示す図、第３図は、説明図、第４図は、実施例
１を示す截断正面図、第５図は、実施例２を示す
截断正面図、第６図は、実施例３を示す截断正面
図、第７図は、同例の截断側面図、第８図は、同
例の截断平面図、第９図は、従来例の構成要領図
である。 …微風エアサイクル、…エアジエツト、
…ラミナーエアフロー、１１，２１…小部屋、１
２，２２…微風フアン、１３，２３…プレフイル
タ、１６，２５…メインフアン、１４，２４…超
高性能フイルタ。
を示す図、第３図は、説明図、第４図は、実施例
１を示す截断正面図、第５図は、実施例２を示す
截断正面図、第６図は、実施例３を示す截断正面
図、第７図は、同例の截断側面図、第８図は、同
例の截断平面図、第９図は、従来例の構成要領図
である。 …微風エアサイクル、…エアジエツト、
…ラミナーエアフロー、１１，２１…小部屋、１
２，２２…微風フアン、１３，２３…プレフイル
タ、１６，２５…メインフアン、１４，２４…超
高性能フイルタ。
Claims (1)
- １ 人体が通過できる小部屋の室内へ、平常時、
清浄空気を風速0.1ｍ／ｓ程度以下で緩やかに供
給し、且つ、室内からの排出空気をフイルタで浄
化し循環させる微風エアサイクルを設け、また、
その室内へ、人の入室時に左右から清浄空気を風
速25ｍ／ｓ内外で数秒乃至数十秒間強力に噴射す
るエアジエツトを設け、更に、そのエアジエツト
の噴射終了直後に清浄空気を風速0.5〜１ｍ／ｓ
程度の適度な風力で数秒間垂直または水平の層流
として供給し、且つ、室内からの排出空気をフイ
ルタで浄化し循環させるラミナーエアフローを設
けたことを特徴とするエアシヤワー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180202A JPS6159131A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | エアシャワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180202A JPS6159131A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | エアシャワー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159131A JPS6159131A (ja) | 1986-03-26 |
| JPH0425452B2 true JPH0425452B2 (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=16079181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180202A Granted JPS6159131A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | エアシャワー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159131A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0531467Y2 (ja) * | 1986-02-05 | 1993-08-12 | ||
| JPS63161335A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-05 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気清浄室 |
| KR970007648B1 (ko) * | 1994-05-09 | 1997-05-15 | 삼성전자 주식회사 | 클린룸용 개방형 에어샤워장치 |
| WO2006097990A1 (ja) | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Hitachi, Ltd. | 付着物検査装置及び付着物検査方法 |
| JP2013167387A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
| FR2990143B1 (fr) * | 2012-05-07 | 2015-01-30 | Paul Brunon | Buse de soufflage a jets multiples |
| JP5724965B2 (ja) * | 2012-08-06 | 2015-05-27 | 新菱冷熱工業株式会社 | ナノマテリアル取扱施設用エアシャワー室及びナノマテリアルの取扱施設 |
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| JP6789587B1 (ja) * | 2020-06-05 | 2020-11-25 | 株式会社シンカ・アウトフィットＮｑ | 空調装置および空調管理方法 |
-
1984
- 1984-08-28 JP JP59180202A patent/JPS6159131A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6159131A (ja) | 1986-03-26 |
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