JPS6159131A - エアシャワー装置 - Google Patents
エアシャワー装置Info
- Publication number
- JPS6159131A JPS6159131A JP59180202A JP18020284A JPS6159131A JP S6159131 A JPS6159131 A JP S6159131A JP 59180202 A JP59180202 A JP 59180202A JP 18020284 A JP18020284 A JP 18020284A JP S6159131 A JPS6159131 A JP S6159131A
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- JP
- Japan
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- air
- compartment
- room
- jet
- laminar
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- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
- F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
゛１産業上の利用分野
本発明は、クリンルームの出入口におけるエアシャワー
方式に関するものである。
方式に関するものである。
１１従来の技術
半導体工場等では、塵埃や雑菌（以下ダストと云う）を
嫌うことから、室内の空気を高度に浄化するタリンルー
ムが用いらｎる。そして、そのクリンルームには、出入
口に、作業員の身体や衣服に付着しているダストを取り
除くエアシャワーが設けられる。
嫌うことから、室内の空気を高度に浄化するタリンルー
ムが用いらｎる。そして、そのクリンルームには、出入
口に、作業員の身体や衣服に付着しているダストを取り
除くエアシャワーが設けられる。
このエアシャワーは、一般に、第９図に示すように、人
体が通過し得る小部屋１を設け、該小部屋に突気浄化兼
用のエアサイクルＡ、Ａとエアジエッ）Ｂ、Ｂとを設け
て成り、そのエアサイクルＡ、Ａは、室内へ循環ファン
２，２を以て清浄空気ｔＬ速１．０〜１．２１ｎ／ｓ
”１ ｆｃｌｒｉ換気ＯＤ数１２０回／ｈ程度で常時供
給し、室内からの排出空気をプレフィルタ３，３及び超
高性能フィルタ４，４で浄化し循環させるものであり、
また、エアジェツトＢ。
体が通過し得る小部屋１を設け、該小部屋に突気浄化兼
用のエアサイクルＡ、Ａとエアジエッ）Ｂ、Ｂとを設け
て成り、そのエアサイクルＡ、Ａは、室内へ循環ファン
２，２を以て清浄空気ｔＬ速１．０〜１．２１ｎ／ｓ
”１ ｆｃｌｒｉ換気ＯＤ数１２０回／ｈ程度で常時供
給し、室内からの排出空気をプレフィルタ３，３及び超
高性能フィルタ４，４で浄化し循環させるものであり、
また、エアジェツトＢ。
Ｂは、人の入室時に小部屋ｌ内へメインファン５゜５を
以て空気を左右から風速２０１１／ｓ以上で数秒間強力
に噴射するものである。
以て空気を左右から風速２０１１／ｓ以上で数秒間強力
に噴射するものである。
しかし、この場合、エアジェツトの噴射と同時にダスト
が小部屋１内に充満して、これが強力に攪拌された状態
になり、清浄になるまでには３〜５分の時間が必要であ
る。従って、そのダストが作業員と共にクリ／ルームへ
入り込むことが多く、改善が要望されている０ １１１発明が解決しようとする問題点 そこで、本発明は、小部屋に充満するダストヲ速かに排
除して、クリ／ルームへの侵入を阻止し、上記要望を満
足させようとするものである。
が小部屋１内に充満して、これが強力に攪拌された状態
になり、清浄になるまでには３〜５分の時間が必要であ
る。従って、そのダストが作業員と共にクリ／ルームへ
入り込むことが多く、改善が要望されている０ １１１発明が解決しようとする問題点 そこで、本発明は、小部屋に充満するダストヲ速かに排
除して、クリ／ルームへの侵入を阻止し、上記要望を満
足させようとするものである。
１問題点を解決するための手段と作用
本発明は、前後にそれぞれドアを備えて人体が通過し得
る小部屋の室内へ、平常時、清浄空気を風速Ｏｓｉ”／
ｓ程度以下で緩やかに供給し、且つ、室内からの排出空
気をフィルタで浄化し循環させる微風エアサイクルを設
け、また、その室内へ、） 人の入室時に左右から
清浄空気を風速２５ ”／ｓ円内外数秒乃至数拾秒間強
力に噴射するエアジェツトを設け、更に、そのエアジェ
ツトの噴射終了直後に（ｆｒ浄空気を風速０．５〜ｌｒ
ｎ／／８程度の適度な風力で数秒間垂直または水平の層
流として供給し、且つ、室内からの排出空気をフィルタ
で浄化し循環させるラミナーエアフローを設けて成る。
る小部屋の室内へ、平常時、清浄空気を風速Ｏｓｉ”／
ｓ程度以下で緩やかに供給し、且つ、室内からの排出空
気をフィルタで浄化し循環させる微風エアサイクルを設
け、また、その室内へ、） 人の入室時に左右から
清浄空気を風速２５ ”／ｓ円内外数秒乃至数拾秒間強
力に噴射するエアジェツトを設け、更に、そのエアジェ
ツトの噴射終了直後に（ｆｒ浄空気を風速０．５〜ｌｒ
ｎ／／８程度の適度な風力で数秒間垂直または水平の層
流として供給し、且つ、室内からの排出空気をフィルタ
で浄化し循環させるラミナーエアフローを設けて成る。
而して、第１図は、垂直層流型の構成要領を示しており
、内容は次の通りである。
、内容は次の通りである。
前後にそれぞれドアを備えて人体が通過し得る小部屋１
１において、通風床Ｉｌｌと床下チャンバｌ１２、通風
天井１１３と天井チャンバ１１４、左右両側の通風側壁
１１５ 、１１５と側壁チャンバ１１６．１１６を設け
ている。
１において、通風床Ｉｌｌと床下チャンバｌ１２、通風
天井１１３と天井チャンバ１１４、左右両側の通風側壁
１１５ 、１１５と側壁チャンバ１１６．１１６を設け
ている。
微風エアサイクル（Ｉ）は、微風ファン１２ 、１２に
より、小部屋ｌｌ内の空気上床下チャ／バ１１２から引
き出し、プレフィルタ１３ 、１３を通し、超高性能フ
ィルタ１４ 、１４及びモータダンパ１５ 、１５ （
または１７）を通して、両側壁チャンバ１１６ 、１１
６ （または天井チャンバ１１４）へ送り、更に、両通
風側壁１１５ 、１１５ （または通風天井１１３ ）
から小部屋ＩＩ内へ風速０．０５〜０．１ Ｉ／ｓ
で送風し、平常時、この循環運転を持続する。
より、小部屋ｌｌ内の空気上床下チャ／バ１１２から引
き出し、プレフィルタ１３ 、１３を通し、超高性能フ
ィルタ１４ 、１４及びモータダンパ１５ 、１５ （
または１７）を通して、両側壁チャンバ１１６ 、１１
６ （または天井チャンバ１１４）へ送り、更に、両通
風側壁１１５ 、１１５ （または通風天井１１３ ）
から小部屋ＩＩ内へ風速０．０５〜０．１ Ｉ／ｓ
で送風し、平常時、この循環運転を持続する。
エアジェツト（ＩＩ）は、メインファン１６ 、１６に
より、小部屋１１内の空気を床下チャンバ１１２から引
き出し、プレフィルタ１３ 、１３を通し、超高性能フ
ィルタ１４ 、１４及びモータダンパ１５．１５’ｚ通
して、両側壁チャンバ１１６ 、１１６へ送り、更に、
両通風側壁１１５ 、１１５のエアジェツトノズルから
小部屋内へ風速約２５′′／／ｅで噴射させ、そして、
人が小部屋１１内Ｖこ入ったときにのみ、１０〜２０秒
間、この循環運転を行う。
より、小部屋１１内の空気を床下チャンバ１１２から引
き出し、プレフィルタ１３ 、１３を通し、超高性能フ
ィルタ１４ 、１４及びモータダンパ１５．１５’ｚ通
して、両側壁チャンバ１１６ 、１１６へ送り、更に、
両通風側壁１１５ 、１１５のエアジェツトノズルから
小部屋内へ風速約２５′′／／ｅで噴射させ、そして、
人が小部屋１１内Ｖこ入ったときにのみ、１０〜２０秒
間、この循環運転を行う。
ラミナーエアフロー（ＩＩＩ）は、メインファン１６゜
１６により、小部屋１１内の空気を床下チャンバ１１２
から引き出し、プレフィルタ１３ 、１３を通し、超高
性能フィルタ１４ 、１４及び他のモータダンパ１７
、１７を通して、天井チャンバ１１４へ送り、通風天井
１１３から小部屋内へ風速０．５〜１ｍ／日の風力で垂
直層流として供給し、そして、エアジェツトの噴射終了
直後からドアを開けるまでの５〜ＩＯ秒間、更には、小
部屋内の人が退室するまでの数秒間、この循環運転を行
う。
１６により、小部屋１１内の空気を床下チャンバ１１２
から引き出し、プレフィルタ１３ 、１３を通し、超高
性能フィルタ１４ 、１４及び他のモータダンパ１７
、１７を通して、天井チャンバ１１４へ送り、通風天井
１１３から小部屋内へ風速０．５〜１ｍ／日の風力で垂
直層流として供給し、そして、エアジェツトの噴射終了
直後からドアを開けるまでの５〜ＩＯ秒間、更には、小
部屋内の人が退室するまでの数秒間、この循環運転を行
う。
なお、微風エアサイクル（Ｉ）及びエアジェツト（［）
とラミナーエアフロー（ＩＩＩ）との流路の切換えハ、
モータダンパ１５ 、１５．１７ 、１７の切換えで行
う。
とラミナーエアフロー（ＩＩＩ）との流路の切換えハ、
モータダンパ１５ 、１５．１７ 、１７の切換えで行
う。
次に、第２図は、水平層流型の構成要領を示しており、
内容は次の通りである。
内容は次の通りである。
前後にそれぞれドアを備えて人体が通過し得る小部屋２
１において、両側に通風側壁２１１ 、２１１と側壁チ
ャンバ２１２ 、２１２ ｔ−設けている。
１において、両側に通風側壁２１１ 、２１１と側壁チ
ャンバ２１２ 、２１２ ｔ−設けている。
微風エアサイクル（Ｉ）は、微風ファン２２ 、２２に
より、小部屋２１内の空気を床付近の下位点から引き出
し、プレフィルタｎ、２３を通し、超高性能フィルタ２
４ 、２４ Ｑ通して、両側の側壁チャツバ２１２゜２
１２へ送り、更に、両側の通風側壁２１１ 、２１１か
ら小部屋２１内へ風速０．０５〜０．１”／Ｓで供給し
、平常時、この循環運転６を持続する。
より、小部屋２１内の空気を床付近の下位点から引き出
し、プレフィルタｎ、２３を通し、超高性能フィルタ２
４ 、２４ Ｑ通して、両側の側壁チャツバ２１２゜２
１２へ送り、更に、両側の通風側壁２１１ 、２１１か
ら小部屋２１内へ風速０．０５〜０．１”／Ｓで供給し
、平常時、この循環運転６を持続する。
エアジェツト（■）は、メインファン５，７５により、
小部屋２１内の空気を床付近の下位点から引き出し、プ
レフィルモ ２７全通し、超高性能フィルタｕ、２４を通して、両■
１１［の側壁チャンバ２１２ 、２１２へ送り、更に、
両側の通ｊ虱側壁２１１ 、２１１から小部屋２１内へ
風速約２５Ｉ／ｓで噴射させ、そして、人が小部屋１１
内に入ったときにのみ、１０〜２０秒間、この循環運転
を行う。
小部屋２１内の空気を床付近の下位点から引き出し、プ
レフィルモ ２７全通し、超高性能フィルタｕ、２４を通して、両■
１１［の側壁チャンバ２１２ 、２１２へ送り、更に、
両側の通ｊ虱側壁２１１ 、２１１から小部屋２１内へ
風速約２５Ｉ／ｓで噴射させ、そして、人が小部屋１１
内に入ったときにのみ、１０〜２０秒間、この循環運転
を行う。
ラミナーエアフロー（ＩＩＩ）は、メインファン５゜２
５により、小部を２１内の空気を一側の通風側壁２１１
、側壁チャンバ２１２から引き出し、モータダンパ２８
、２９を通し、超高性能フィルタ２４全通して、他方
の側壁チャンバ２１２へ送り、更に、他方の通風側壁２
１１から小部屋２１内へ風速０．５〜１′／日で水平層
流として供給し、そして、エアジェツトの噴射終了直後
からドアを開けるまでの５〜１０秒間、更には、小部屋
内の人が退室するまでの数秒間、この循環運転を行う。
５により、小部を２１内の空気を一側の通風側壁２１１
、側壁チャンバ２１２から引き出し、モータダンパ２８
、２９を通し、超高性能フィルタ２４全通して、他方
の側壁チャンバ２１２へ送り、更に、他方の通風側壁２
１１から小部屋２１内へ風速０．５〜１′／日で水平層
流として供給し、そして、エアジェツトの噴射終了直後
からドアを開けるまでの５〜１０秒間、更には、小部屋
内の人が退室するまでの数秒間、この循環運転を行う。
なお、微風エアサイクル（Ｉ）及びエアジェツト（ＥＩ
）とラミナーエアフロー（…）との流路の切換えは、モ
ータダンパ２６ 、２６．２７、公、２９の切換えで行
う。
）とラミナーエアフロー（…）との流路の切換えは、モ
ータダンパ２６ 、２６．２７、公、２９の切換えで行
う。
上記第１図の垂亘層゛流型と、上記第２図の水平層流型
の運転状況を、第３図で説明すると、平常時は、微風エ
アサイクルＣＩ）の運転が持続されており、この状態に
おいて、作業員が一方のドアを開けて小部屋１１に入室
し、ドアを閉じると、エアジェツト（ＩＩ）が開始され
、１０〜２０秒後、このエアジェツトが終了する。この
終了と共にラミナーエアフロー（ｍ）が開始さ；ル、５
〜１０秒後、作業員は他方のドアを開いてタリンルーム
に入り、ドアを閉じる。この閉じと共てラミナーエアフ
ロー（ｍ）が終了し、微風エアサイクル（Ｉ）の運転に
戻る。
の運転状況を、第３図で説明すると、平常時は、微風エ
アサイクルＣＩ）の運転が持続されており、この状態に
おいて、作業員が一方のドアを開けて小部屋１１に入室
し、ドアを閉じると、エアジェツト（ＩＩ）が開始され
、１０〜２０秒後、このエアジェツトが終了する。この
終了と共にラミナーエアフロー（ｍ）が開始さ；ル、５
〜１０秒後、作業員は他方のドアを開いてタリンルーム
に入り、ドアを閉じる。この閉じと共てラミナーエアフ
ロー（ｍ）が終了し、微風エアサイクル（Ｉ）の運転に
戻る。
１１実施例１゜
第４図は、垂直層流型の実施例であり、この場合は、基
本的には第１図の構成要領に従がい、同一符号は同一部
分を示している。但し、この場合は、モータダンパｔｓ
、 １７を両側壁チャ７ハ１１６ 。
本的には第１図の構成要領に従がい、同一符号は同一部
分を示している。但し、この場合は、モータダンパｔｓ
、 １７を両側壁チャ７ハ１１６ 。
１１６中に納め、メインファン１６ 、１６と微風７ア
ン１２．１２とを兼用させている。
ン１２．１２とを兼用させている。
１１［実施例２゜
第５図は、垂直層流型の他の実施例であり、この場合も
、基本的には第１図の構成要領に従がい、同一符号は同
一部分を示している。但し、この場合は、超高性能フィ
ルタ１４ 、１４を側壁チャンバ１１６ 、１１６と天
井チャンバ１１４とで個別に設け、従って、モータダン
パ１５ 、１５．１７ 、１７を超高性能フィルタの前
段で設けている。また、メイ／ファン１６．１６と微風
ファ／１２．Ｌ２とを兼用させている。
、基本的には第１図の構成要領に従がい、同一符号は同
一部分を示している。但し、この場合は、超高性能フィ
ルタ１４ 、１４を側壁チャンバ１１６ 、１１６と天
井チャンバ１１４とで個別に設け、従って、モータダン
パ１５ 、１５．１７ 、１７を超高性能フィルタの前
段で設けている。また、メイ／ファン１６．１６と微風
ファ／１２．Ｌ２とを兼用させている。
■実施例３゜
、篤６図乃至第８図は、垂直層流型の更に曲の実施例で
あり、この場合も、基本的には、第１図の構成要領に従
がい、同一符号は同一部分を示している。但し、この場
合は、超高性能フィルタ１４゜１４を側壁チャンバ１１
６ 、１１６と天井チャンバ１１４とで制別に設け、流
路を適宜に区分しており、モータダンパ１５ 、１５．
１７ 、１７は、それぞれファンの吹出口に設けて、簡
素化している。
あり、この場合も、基本的には、第１図の構成要領に従
がい、同一符号は同一部分を示している。但し、この場
合は、超高性能フィルタ１４゜１４を側壁チャンバ１１
６ 、１１６と天井チャンバ１１４とで制別に設け、流
路を適宜に区分しており、モータダンパ１５ 、１５．
１７ 、１７は、それぞれファンの吹出口に設けて、簡
素化している。
本発明によれば、通過する人の身体及び衣服に付着する
ダストを強力なエアジェツトにより速かに離脱させるこ
とができるばかりでなく、小部屋に充満したダストを２
ミナー二７７０−により速かに且つ十分に排除でき、人
と共にタリンルームへ入り込むダストを皆無にできる。
ダストを強力なエアジェツトにより速かに離脱させるこ
とができるばかりでなく、小部屋に充満したダストを２
ミナー二７７０−により速かに且つ十分に排除でき、人
と共にタリンルームへ入り込むダストを皆無にできる。
また、平常時の準備態勢は、緩やかな送風による微風エ
アサイクルによって万全であるばかりでなく、ラミナー
エアフローのサイクルによるクリンアツプがなさｎるた
め、その風速も０．０５〜０．１ ｍ／ｓ程度と、従来
のシステムと比較して非常に小さく設定でき、ときには
、無しとすることも可能であるというように、無駄なエ
ネルギーを使わず、頗る経済的である。
アサイクルによって万全であるばかりでなく、ラミナー
エアフローのサイクルによるクリンアツプがなさｎるた
め、その風速も０．０５〜０．１ ｍ／ｓ程度と、従来
のシステムと比較して非常に小さく設定でき、ときには
、無しとすることも可能であるというように、無駄なエ
ネルギーを使わず、頗る経済的である。
第１図、第２図は、それぞれ本発明の構成要領を示す図
、第３図は、説明図、第４図は、実施例１、を示す裁断
正面図、第５図は、実施例２．を示す裁断正面図、第６
図は、実施例３．を示す裁断正面図、第７図は、同例の
裁断側面図、第８図は、同例の裁断平面図、第９図は、
従来例の構成要領図である。 （Ｉ）・・・微風エアサイクル、（■）・・・エアジェ
ツト、（ＩＩＩ）・・・ラミナーエフ７０−．１１ 、
２１・・・小部屋、１２゜２２°゛微風フアン、１３．
２３・・・プレフィルタ、１６．２５・・・メインファ
ン、１４ 、２４・・・超茜性能フィルタ第１図 第２図 第３図 １０〜２０３ ６〜１０ｇ タイマ府居即 第６図 第７図 第９図
、第３図は、説明図、第４図は、実施例１、を示す裁断
正面図、第５図は、実施例２．を示す裁断正面図、第６
図は、実施例３．を示す裁断正面図、第７図は、同例の
裁断側面図、第８図は、同例の裁断平面図、第９図は、
従来例の構成要領図である。 （Ｉ）・・・微風エアサイクル、（■）・・・エアジェ
ツト、（ＩＩＩ）・・・ラミナーエフ７０−．１１ 、
２１・・・小部屋、１２゜２２°゛微風フアン、１３．
２３・・・プレフィルタ、１６．２５・・・メインファ
ン、１４ 、２４・・・超茜性能フィルタ第１図 第２図 第３図 １０〜２０３ ６〜１０ｇ タイマ府居即 第６図 第７図 第９図
Claims (1)
- 人体が通過できる小部屋の室内へ、平常時、清浄空気を
風速０．１ｍ／ｓ程度以下で緩やかに供給し、且つ、室
内からの排出空気をフイルタで浄化し循環させる微風エ
アサイクルを設け、また、その室内へ、人の入室時に左
右から清浄空気を風速２５ｍ／ｓ内外で数秒乃至数拾秒
間強力に噴射するエアジエツトを設け、更に、そのエア
ジエツトの噴射終了直後に清浄空気を風速０．５〜１ｍ
／ｓ程度の適度な風力で数秒間垂直または水平の層流と
して供給し、且つ、室内からの排出空気をフイルタで浄
化し循環させるラミナーエアフローを設けたことを特徴
とするエアシャワー方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180202A JPS6159131A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | エアシャワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180202A JPS6159131A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | エアシャワー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159131A true JPS6159131A (ja) | 1986-03-26 |
| JPH0425452B2 JPH0425452B2 (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=16079181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180202A Granted JPS6159131A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | エアシャワー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159131A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62127437U (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-12 | ||
| JPS63161335A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-05 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気清浄室 |
| US5692954A (en) * | 1994-05-09 | 1997-12-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Air-shower system for a clean room |
| US8217339B2 (en) | 2005-03-14 | 2012-07-10 | Hitachi, Ltd. | Adhering matter inspection equipment and method for inspecting adhering method |
| JP2013167387A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
| FR2990143A1 (fr) * | 2012-05-07 | 2013-11-08 | Paul Brunon | Buse de soufflage a jets multiples |
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| CN109127586A (zh) * | 2018-10-12 | 2019-01-04 | 安徽优诺净化科技有限公司 | 一种风淋室 |
| CN113757797A (zh) * | 2020-06-05 | 2021-12-07 | 株式会社希力卡·装备Nq | 空气调节装置及空气调节管理方法 |
-
1984
- 1984-08-28 JP JP59180202A patent/JPS6159131A/ja active Granted
Cited By (13)
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|---|---|---|---|---|
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