JPH0355448A - エアシャワー室 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体や精密機械の製造工程に用いるクリー
ンルームの入室構造に利用する。

本発明は、特にその接する外部空間の雰囲気と比較して
、極めて高度の清浄度を必要とするクリーンルームに利
用するに適する。

〔概要〕

本発明は、クリーンルームに入室する人が歩行中に、こ
の人に向けて清浄空気流を噴出する手段を備えたエアシ
ャワー室において、 その歩行する通路が天井、床および両壁面で囲まれた長
い廊下状に形戊され、この通路が互いの区画の塵埃拡散
がないようにエアカーテン手段で区切られた２つまたは
それ以上の区画で構戊され、各区画内に設けられた清浄
空気流の噴出速度がクリーンルームに接近するほど小さ
くなるように設定することにより、 入室者は単に歩行通行するだけで、その外部環境に比し
て極めて高度の清浄空間に支障なく入室できるようにす
るものである。

〔従来の技術〕

半導体や精密機械の製造工場にはクリーンルームが設け
られ、その入室者が外部から衣類などに付着した塵埃を
持ち込むことがないように、入室者が通過するエアーシ
ャワー室が設けられている。

従来のエアーシャワー室は、想定される入室者の汚れの
条件のうち最も悪い条件に基づいて、エアーシャワーの
強さおよびエアーシャワーを浴びる時間を設定していた
。

すなわち、作業者の着衣から種々の塵埃を除去するため
に、空気噴流の速度を３３＋ｎ／ｓｅｃ程度の高い値に
設定し、エアーシャワー室の滞留時間も数十秒以上とな
るように設定していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

このような強い噴流を長時間浴びることは入室者に苦痛
となる。また隠蔽部の塵埃の除去のための動作は各人室
者の意志にまかされているため確定せず、必ずしも十分
でない場合がある。

さらに１つのエアシャワー室に一時に多量の塵埃が飛敗
するので、数１０ｍ程度のエアシャワー室では、飛散し
た塵埃の十分な排出が困難であり、入室者に再付着して
清浄区室に持ち込まれたり、あるいはエアーシャワー室
内に舞い上がった塵埃の一部がクリーンルーム内に流入
するようなことがあった。

本発明は、これらの欠点を解決して、清浄度が極めて高
い清浄区室であるクリーンルームに汚染度の大きい環境
から直接入室する入室者に精神的な圧迫を与えることな
く、かつ、入室者とともに舞い上がった塵埃が流入する
ことのないエアシャワー室を提供することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、クリーンルームの入口に開閉扉を介して設け
られ、そのクリーンルームに開閉扉から入室する人が歩
行して通過する構造であり、その通過する人に向けて清
浄空気流を噴出する手段を備えたエアシャワー室におい
て、天井、床および両壁面に囲まれ、１人が歩行して通
行できる長い廊下の形状に構成され、その廊下は、通行
方向に対してほぼ直交する平面状の相互に塵埃拡散がな
いように設けられたエアカーテン手段により２つまたは
それ以上の区画に区切られ、その各区画毎に清浄空気流
を噴出する手段を設け、その各区画毎の空気流の速度は
クリーンルームに近づくほど小さくなるように設定され
たことを特徴とする。

各区画毎に通行する人の有無を検知するセンサが設けら
れ、このセンサにより通行する人があることが検知され
た区画の空気流を噴出する手段を自動的に作動させる制
御手段を備えることがのぞましい。

〔作用〕

エアシャワー室は、クリーンルーム入口の開閉扉まで周
囲を囲まれた廊下の形状に構戊されているので、入室者
は特別な動作をすることなくこの廊下を歩行することで
、その隠蔽部を清浄空気流に必然的にさらされる。

廊下は２つまたはそれ以上の区画に区切られ、この各区
画で噴出する清浄空気流の速度はクＩＪ　一ンルームに
近づくほど小さくなるので、入室者ははじめの区画で強
いインパクトをもって着衣に付着した塵埃が除去される
。つぎの区画では、着衣にゆるやかに付着した塵埃すな
わち再付着した塵埃および前区画の強いインパクトによ
り着衣の内部より表面に浮上した塵埃が除去される。こ
の区画の空気流の中での塵埃の舞い上がりもその前の区
画より小さいので、塵埃の再付着は少くなる。

このように、区画の数が増加すれば、人体の表面に付着
している塵埃は次第に低減して、最終的にクリーンルー
ムに入室する時点では殆んど問題がなくなる。この相互
の区画はエアカーテン手段で区切られているので、飛散
した塵埃の区画間での相互拡散がない。

各区画毎に入室者の有無を除去するセンサと、このセン
サによりそれぞれの区画の空気流の噴出を自動的に作動
させる場合は、エアシャワー室の動作を自動的に制御す
ることができ、浄化能力を所定のレベルに保持するとと
もに、運転コストを低減することができる。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明一実施例の概要を示す斜視図であり、第
２図は同実施例の横断面模式図である。

図において、エアシャワー室１はクリーンルーム１１の
入口の開閉扉ｌＩＡに接して設けられる。このエアシャ
ワー室ｌはその開閉扉ＩＡを介して矢印Ｐの方向よりク
リーンルーム１１に入室する入室者１２が破線の矢印の
ように歩行して通過する構造であり、この人室者１２に
付着した塵埃を除去するようこれに向けて清浄空気流を
噴出する手段を備え、この除去された塵埃を排出するよ
うになっている。

ここに本発明の特徴とするところは、天井２、床３およ
び両壁面４で囲まれ、入室者１２が１人で歩行して通行
できる一例として全長約１５ｍの符号ＡからＨまでの区
画があり、かつ区画ＣＳＥＳＧ，■では屈曲する長い廊
下の形状に構成され、この区画Ｄ，ＨＳＫには進行方向
に対してほぼ直交する平面に空気流を形或して区画Ｃと
Ｅ、区画ＧとＩおよび区画および区画Ｊの塵埃が相互に
他に拡散しないようにエアカーテン手段５Ｄ，５Ｈ，５
Ｋにより区切られ、各区画Ａ，ＢＳＣＳＥ，Ｆ，Ｇ，Ｉ
ＳＪごとに天井２から清浄空気流を噴出する天井噴流手
段６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｅ，６Ｆ、６Ｇ，６　Ｉ，６Ｊ
と、両壁面または一方の壁面から清浄空気流を噴出する
側壁噴流手段７Ａ、７Ｂ，７Ｃ，７Ｅ，７Ｆ，７Ｇ，７
　１，７Ｊとを備え、この各噴流手段の空気流の速度お
よび通過する人に対する噴流方向が異なるように設定さ
れたことにある。また区画Ａ，Ｄ，ＨＳＪおよびＫを通
行する人の有無を検知するセンサ８Ａ，８Ｄ，８Ｈ，８
Ｊおよび８Ｋが設けられ、これら各センサにより通行す
る人があることを検知された区画の前記天井噴流手段お
よび側壁噴流手段を自動的に作動させる制御手段を備え
る。

すなわち、本実施例のエアシャワー室では区画ＡからＫ
まで１１の区画に区切られ、その区画０１Ｅ，Ｇ，Ｉで
は入室者を右折するよう屈曲した廊下状になっている。

この廊下の内幅は１人の入室者ｌ２が歩行し通行できる
ようほぼ９０ｃｍである。エアシャワー室の全体は一辺
が約５ｍの方形状のものとなる。

前述のような右折する屈曲区画では、例えば区画Ｃでは
側壁噴流手段７Ｃは入室者に対して最初は正面から空気
流を噴出し、右折すると人体の左側面に向けて噴出する
。区画Ｅでは最初左側面に噴出され、ついで背面に噴出
される。入室者の右側面に対しては区画ＧとＪとで噴出
される。また区画Ｂ．．ＦＳＪは歩行区画である。入室
者は工具などを持参している場合でも歩行動作のため腋
の下の部分も開くようになる。従って隠蔽部に対して特
別な運動を行うことなく、この部分に付着した塵埃が分
離される。さらにこれらの区画はエアカーテン手段によ
り区切られていて、各噴流手段の噴流速度は入室者が進
行するにしたがって小さくする。例えば区画Ａでは３０
〜２３　ｍ／ｓｅｃの範囲内のものとし、区画Ｆでは同
じ＜２８〜２０ｍ／ｓｅｃとし、区画Ｊでは１５〜３　
ｍ／ｓｅｃとする。このように入室者に当てる清浄空気
流の速度を逐次小さくすることによって、風速の大きい
領域で一旦入室者の表面から除去されるが、再び付着し
た塵埃および着衣の内部より浮上した塵埃も完全に除去
され、着衣面の清浄化が達或される。入室者がクリーン
ルームに入室する際には空気流の速度は小さく、かりに
塵埃が舞い上がっていたとしてもそれはごくわずかであ
り、入室操作がクリーンルームの清浄度に影響すること
は殆んどなくなる。

複数の入室者が連続して入室する場合は、各区画のそれ
ぞれの手段は全て運転されているが、入室者が単独に入
室する場合には、その人室者の通行に応じて各区画の各
手段を運転すればよい。このために前記のセンサにより
通過する入室者の有無を検出し、第３図に示すタイミン
グ図に従って、各区画の各手段を運転するよう制御を行
う。

第３図および第２図を参照すると、入室者１２は区画Ａ
のセンサ８Ａで検知されると、区画Ａ，Ｂ，ＣおよびＤ
の各天井噴流手段６Ａ〜６Ｄと側壁噴流手段７Ａ〜７Ｄ
とが作動する。入室者１２が区画Ｂに移動すると区画八
の天井噴流手段６Ａおよび側壁噴流手段７Ａはセンサ８
Ａで検知されなくなるので運転を停止するが、区画Ｂお
よびＣの天井噴流手段６Ｂ，６Ｃおよび側壁噴流手段７
Ｂ１７Ｃは入室者が区画Ｄに移ってセンサ８Ｄで検知さ
れかつ検出されなくなるまで運転を継続する。また区画
Ｄの各噴流手段は、入室者が区画Ｈに入り、センサ８Ｈ
により検知され、検知されなくなるまで継続する。この
ように、全ての噴流手役などを一斉に運転することなく
、入室者が通過する区画を中心に十分なエアシャワー効
果が得られるように自動的にその運転が制御されるので
、消費するエネルギが節約される。

区画Ａの天井噴流手段６Ａはエアカーテンの作用を併せ
て行うので、エアシャワー室１の開閉扉ＩＡの前に設け
られたセンサ８Ｐにより、入室者の入室に先立ってエア
カーテンを形或する。また先行する入室者が区画工、Ｊ
ＸＫのいずれかにあるとき、次位の入室者が区画Ｉに立
入らぬように区画Ｈにはその表示器９Ｈが設けられる。

上記例では通路をコ字型が繰り返される形としたが、こ
れは建設される敷地の形状に合わせて、シャワー効果を
失わない範囲内でどのような形状にも設計することがで
きる。他の例を挙げると、Ｌ字型、Ｚ字型あるいは一直
線の工字型に構戊することができる。

さらに前記例では、廊下状の通路の途中にエアカーテン
手役を２個設けて、通路を３つの区画に区切るものであ
るが、３つ以上の区画に区切る場合はさらに有効である
。また地形の制約があるときには、通路を２つの区画に
区切ることにしても本発明を実施することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、外部に比較して
極めて清浄度の高いクリーンルームに連続的に入室でき
るような十分の除塵能力があるエアシャワー室が得られ
る。本発明では、入室者に効果的にエアシャワーが当て
られ、かつエアシャワー室内で舞い上がった塵埃がクリ
ーンルームに搬入されたり流入することを避けることが
できる。

本発明の装置は全体として小さいエネルギ消費で実現で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明一実施例の概要を示す斜視図。 第２図は、同実施例の横断面模式図。 第３図は、同実施例の制御手段のタイミング図。 ｌ・・・エアシャワー室、ＩＡ，ＩＩＡ・・・開閉扉、
２、３、４・・・それぞれエアシャワー室の天井、床お
よび両壁面、５Ｄ，５Ｈ、５Ｋ・・・エアカーテン手段
、６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｅ，６Ｆ，６Ｇ，６　１，６Ｊ
・・・天井噴流手段、？Ａ，７Ｂ，７Ｃ、７Ｅ１７Ｆ，
７Ｇ，７ Ｄ，’８Ｈ，８ 示器、１ｌ・・・ク ・・・区画、Ｐ、 Ｉ，７Ｊ・・・側壁噴流手段、８Ａ１８Ｊ、８Ｋ，８Ｐ
・・・センサ、９Ｈ・・・表リーンルーム、ｌ２・・・
入室者、Ａ−ＫＱ・・・矢印。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、クリーンルームの入口に開閉扉を介して設けられ、
   そのクリーンルームに前記開閉扉から入室する人が歩行
   して通過する構造であり、その通過する人に向けて清浄
   空気流を噴出する手段を備えたエアシャワー室において
   、 天井、床および両壁面に囲まれ、１人が歩行して通行で
   きる長い廊下の形状に構成され、 その廊下は、通行方向にほぼ直交するようなエアカーテ
   ン手段により２つまたはそれ以上の区画に区切られ、 その各区画毎に前記清浄空気流を噴出する手段を設け、 その各区画の空気流の速度は前記クリーンルームに近づ
   くほど小さくなるように設定されたことを特徴とするエ
   アシャワー室。 ２、各区画毎に通行する人の有無を検知するセンサが設
   けられ、このセンサにより通行する人があることが検知
   された区画の空気流を噴出する手段を自動的に作動させ
   る制御手段を備えた請求項１記載のエアシャワー室。