JPH0569543U - クリーンルーム前室 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルーム前室内に歩行通路を形成して
通路歩行者から効率良く除塵を行なうもの。 【構成】 側壁にエアシャワー用のエア吹き出しノズル
１０を設けた歩行通路６を形成し、この歩行通路６を折
れ曲り状に形成するとともに、歩行通路６の出口エリア
３ａにダウンフローによる層流エアゾーンを設けてなる
クリーンルーム前室１において、前記歩行通路６には、
順次点滅して歩行速度を案内する為のランプ２２を該通
路６に沿って一列状に適宜数設けてクリーンルーム前室
１を構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体装置，精密機器，医薬品等の製造に際して利用されるクリー ンルームへの入室の準備に使用される室に関し、具体的には身体，持込み機器等 の付着塵埃を予め除去する為に利用するエアシャワー機構を備えたクリーンルー ム前室に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

クリーンルームの付帯設備として、クリーンルームへ外部から塵埃等を持ち込 まないようにする除塵の為の前室がある。このクリーンルーム前室は、比較的狭 い区画室にいわゆるエアシャワー機構（システム）を備えたものである。 エアシャワー機構は、清浄な空気を所要の吹出しノズルから入室者等に吹き付 け、その風速，脈動作用等でブラッシングして入室者の衣服，持込み機構等に付 着している塵埃を除去するものである。この衣服等の除塵を効果的に行なう為に 、入室者は手を上げる等の各種の姿勢をとるようにしている。このクリーンルー ム前室は、除塵効果を上げる為に一般的には一人用のスペースとした寸法のもの が多用されており、多人数用としてもせいぜい４〜５人程度のスペースのものが 提供されているにすぎない。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記のようなクリーンルーム前室においては、エアシャワー使用中のとき、次 の入室者は外部で待機しなければならない。エアシャワーの使用時間には通常２ ０秒程度を要する。従って、多人数がクリーンルームに入る際には混雑し、多大 の待機ロス時間が生じることになる。 以上のような従来の問題点を解決すべく提供しようとするのが本考案である。 本考案の目的は、クリーンルーム前室内に歩行通路を形成し、通路歩行者の自 然的動作を利用して除塵しようとするもので、いわゆる流れ作業的に順次連続し て入室できるようにして、前記待機ロス時間を解消するとともに除塵効果をも向 上させるクリーンルーム前室を得るところにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成する為本考案は、クリーンルームへの入室前に身体等の付着 塵埃を除去する為に利用するエアシャワー機構を備えた室であって、側壁にエア シャワー用のエア吹出しノズルを設けた歩行通路を形成し、この歩行通路に折れ 曲り路を設けるとともに、歩行通路の出口エリアにダウンフローによる層流エア ゾーンを設けて、クリーンルームに接続するように構成したものである。 しかも、順次点滅して歩行速度を案内するランプを上記歩行通路の側壁，床面 又は天井面等に適宜数並設したので、必要とする清浄度に応じた歩行速度を指定 できる。

【０００５】

【作用】

クリーンルーム前室に入室し、エアシャワー機構を作動させて歩行通路に沿っ て歩行すると、通路側壁からのエアシャワーが入室者（歩行者）に吹き付けられ る。その際、エアシャワーの脈動とか歩行者の手足動作等の自然の歩行姿勢形態 により、エアシャワーは歩行者の衣服等に対し不規則に当ってブラッシング作用 を起し、衣服に付着している塵埃等を除去する。 又、歩行通路は途中で折れ曲がっているので、歩行向きを変えることによりエ アシャワーの吹き付け位置が変化する。 歩行による姿勢変化で浴びるエアシャワーは、同一位置での姿勢変更による従 来のエアシャワーよりもその吹き付け位置及び吹き付け力が変化する。従ってブ ラッシング作用を変化させるので除塵効果を一層向上させる。 そして、出口エリアに設けたダウンフローによる層流エアゾーンにより、エア シャワーで除去した浮遊塵埃が歩行者とともにクリーンルームに流入することを 防止する。 又、この歩行通路に適宜数並設したランプを順次点滅させて歩行速度を案内す ることで、個人差のない、言い換えれば歩行者によりバラツキのない除塵を行な うことができる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の好適な実施例を図面に基づいて説明する。 第１図は本考案の実施例に係るクリーンルーム前室の平面構成図であり、第２ 図は要部の配置構成を説明する断面側面図、第３図はクリーンルーム前室の歩行 通路側壁の構成形態を示す説明図である。 図において、クリーンルーム前室１は、一方に入口２、他方に、図示しないク リーンルームに接続する出口３を設けて所要スペースで区画している。入口２に は、入室検知センサ４ａにより自動的に開閉する入口ドア４を設け、出口３には クリーンルーム前室１の出口直前に設けた退室検知センサ５ａにより自動的に開 閉する出口ドア５を設けている。

【０００７】 ６は、クリーンルーム前室１内の入口２と出口３間に形成した歩行通路である 。この歩行通路６は、クリーンルーム前室１内の中間部に間仕切り的に側壁７を 立設して略Ｕ字状に形成している。 そして、この側壁７内には歩行通路６の入口側通路６ａと出口側通路６ｂに対 面して清浄空気を側壁７面から吹き出すエアシャワー機構７１と、エアシャワー 機構７１より風力的に低く設定して入口側通路６ａ及び出口側通路６ｂに対面し た天井８（第２図参照）から清浄空気を吹き出すエアカーテン機構７２を設けて いる。

【０００８】 エアシャワー機構７１は、主要素を後述するエアシャワー用ブロア，高性能フ ィルタ，エア吹き出しノズル等からユニット的に構成してなり、第１図は三ユニ ット７１ａ，７１ｂ，７１ｃとして概要的に示している。 エアカーテン機構７２は、主要素を後述するエアカーテン用ブロア，高性能フ ィルタ，吹き出しガラリ等からユニット的に構成してなり、第１図は五ユニット ７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ，７２ｅとして概要的に示している。そして、 配置形態として、入口側通路６ａ側ではエアシャワーユニット７１ａ，７１ｂと エアカーテンユニット７２ａ，７２ｂを交互に配置し、出口側通路６ｂ側では出 口３に近い側にエアカーテンユニット７２ｃ，７２ｄ，７２ｅを位置させ、遠い 側にエアシャワーユニット７１ｃを配置している。

【０００９】 ９は、クリーンルーム前室１の歩行通路６を形成する外周の側壁であり、この 側壁９内にも前記側壁７内と同様にエアシャワー機構９１とエアカーテン機構９ ２を設けている。そして、前記側壁７内のエアシャワー機構７１，エアカーテン 機構７２と略対向した配置として、入口側通路６ａ側ではエアシャワーユニット ９２ａ，９２ｂとエアカーテンユニット９２ａを交互に配置し、出口側通路６ｂ 側ではエアシャワーユニット９１ｃを配置している。 又、上記入口側通路６ａと出口側通路６ｂを接続する折れ曲り路６ｃに対面し てエアシャワーユニット９１ｄ，９１ｅ，９１ｆ，９１ｇを配置している。これ により、歩行者が折れ曲り路６ｃを歩行するときは、右側面のエアシャワーユニ ット９１ｅ，９１ｆからのエアシャワーのほか、コーナ部で前方からエアシャワ ーユニット９１ｇの、又背面からエアシャワーユニット９１ｄのエアシャワーを 吹き付けられることになる。 尚、１ａはクリーンルーム前室１内を視認できるように設けた窓である。

【００１０】 次に、エアシャワー機構７１，９１、エアカーテン機構７２，９２等の具体的 配置構成を第２図により説明する。 エアシャワー機構７１，９１は、側壁７，９の上下の中間面にエア吹き出しノ ズル１０を適宜数設け、このエア吹き出しノズル１０の下方にリタンガラリ１１ を設けるとともに側壁７，９内にフィルタ１２，エアシャワー用ブロア１３を配 置して構成している。

【００１１】 第３図は上記エア吹き出しノズル１０とリタンガラリ１１の構成形態を示す説 明図であり、エアカーテン機構７２，９２に対応する側壁７，９にはリタンガラ リ１１を設けるだけになる。 又、天井８には、エア吹き出しガラリ１４とフィルタ１５，加圧ブロア１６を 配置し、床面のグレーチング１７を通過した空気がエアシャワー機構７１，９１ の側方に形成した循環路（図示せず）を介して加圧ブロア１６に戻るようにして いる。１７ａはグレーチング１７の下面に設けたプレフィルタである。 次に、エアカーテン機構７２，９２は、歩行通路６の天井８にエア吹き出しガ ラリ１８とフィルタ１９、エアカーテン用ブロア２０を配置し、床面のグレーチ ング１７を通過した空気が側壁７，９の循環流路２１を介してエアカーテン用ブ ロア２０に戻るようにしている。 尚、エアシャワー機構７１，９１とエアカーテン機構７２，９２の隣接部分で は、加圧ブロア１６による循環空気がエアカーテン機構７２，９２の循環流路２ １を利用して戻るようにすることもできる。

【００１２】 ２２（２２ａ〜２２ｈ）は歩行速度案内ランプ（以下「案内ランプ」という） であり、側壁７，９に適宜の高さで一列状に所要数だけ並設している。この案内 ランプ２２は、クリーンルーム前室１への入室者に対し、クリーンルームに要求 される清浄度に応じた除塵効果を上げる為に歩行通路６での歩行速度を案内（指 定）するものである。案内は、案内ランプ２２の順次点滅により報知する。この 順次点滅には、例えば案内ランプ２２ａから２２ｈ（実際には出口エリア３ａま での所要数）までにおいて、案内ランプ２２ａが点灯し、次いで消灯時に案内ラ ンプ２２ｂが点灯し、その消灯時に案内ランプ２２ｃが点灯するといった具合に 、順次所定時間（例えば数秒〜１秒以下）で歩行速度を報知する繰り返しの点滅 と、歩行現在位置を指定する現位置点滅等が利用できる。現位置点滅方式におい ては、歩行速度案内ランプ２２の並設間隔を、例えば平均的歩幅に合わせた間隔 として、指定現位置の案内ランプ、例えば案内ランプ２２ａを点灯（点滅）させ 、所定時間で消灯した際に次の位置として案内ランプ２２ｂを点灯（点滅）させ て指示するといった形態にすればよい。２３はクリーンルーム前室１内のルーム ランプである。

【００１３】 以上のような構成からなるクリーンルーム前室１に入室する場合、入口２に立 つと入室検知センサ４ａが検知して入口ドア４を開成し、入室後閉成する。 尚、クリーンルーム前室１のエアシャワー機構７１，９１とエアカーテン機構 ７２，９２の作動制御は、例えば入室検知センサ４ａ，退室検知センサ５ａに連 動させたり、適宜の操作盤で操作したりすることにより行なう。又、図例のよう に入口エリア２ａに起動センサ２４を設けることも考えられる。何れにしても、 入室者が入口エリア２ａに至るときには、外部から同時に流入する清浄度の低い 空気及び入室者の付着塵埃を少なからず排除しておく方が好ましい。従って入口 エリア２ａ部分に対応したエアカーテンユニット７２ａは作動させておく。これ により入口エリア２ａ部分にダウンフローによる層流エアゾーンが形成されるの で、所要の塵埃はグレーチング１７から直ちに排出することができる。

【００１４】 入室者が歩行通路６を歩行する場合、入口側通路６ａにおいては、まずエアシ ャワーユニット７１ａ，９１ａによるエアシャワー洗浄を受ける。これにより、 入室者の衣服等から除去された塵埃は、エアシャワー空間に浮遊するが、リタン ガラリ１１により排気循環作用を受けて歩行通路６ａ外に排出される。この場合 、エアシャワー側壁７，９から略横方向に吹き出すので、一部の塵埃が上方にも 浮遊する。しかしながら、天井８面から加圧ブロア１６でエアを吹き出している ので、上記浮遊塵埃はそのまま留まることなく循環流により速やかにグレーチン グ１７，リタンガラリ１１等から排出される。エアシャワーの吹き出し速度を、 例えば毎秒２５ｍ程度とすれば、加圧ブロア１６によるエアは毎秒０．５ｍ程度 の吹き出し速度でよい。

【００１５】 上記洗浄ゾーンを通過すると、次にはエアカーテンユニット７２ｂ，９２ａの ダウンフローによる層流エアゾーンに至る。ここでは洗浄空気が層流となって下 方に流れているので、上記洗浄ゾーンを通過する際の人の移動とともに移動する 一部の塵埃混合エアは、この層流エアゾーンで直ちにグレーチング１７から歩行 通路６外に排出される。次いで、更に歩行すると新たなエアシャワーユニット７ １ｂ，９１ｂによる洗浄ゾーンに至り、前記同様の洗浄作用を受ける。 このようにして歩行通路６を進み、折れ曲り路６ｃに至りそして通過する際に はエアシャワーユニット９１ｅ，９１ｆによる前面及び側面洗浄のほか、コーナ 部でエアシャワーユニット９１ｄ，９１ｇによる前後面からの洗浄作用も受ける ことになる。 即ち、入口側通路６ａにおいては、歩行姿勢上から主として側面部を集中的に 洗浄したが、折れ曲り路６ｃで向きを変えることで自然な歩行姿勢のまま前後面 も集中的に洗浄することになる。これにより、エアシャワーの吹き付け位置が変 化するので、歩行動作とも相まってエアシャワーのブラッシング効果を上げるこ とができる。

【００１６】 出口側通路６ｂでは、前記と同様にエアシャワーユニット７１ｃ，９１ｃによ る洗浄ゾーンとエアカーテンユニット７２ｃ，７２ｄによる層流エアゾーンを通 過し、出口エリア３ａの層流エアゾーンに至る。 第１図例では、出口エリア３ａのほかその直前の位置もダウンフローでの層流 エアゾーンを形成している。従って、折れ曲り路６ｃ通過までに除去できなかっ た塵埃がこの直前のエアシャワーにより除去され浮遊したとしても、上記層流エ アゾーンで排出されるので、エアカーテン作用による遮蔽効果で、出口３からク リーンルームに移動するときにはクリーンルーム前室１内での汚染空気をクリー ンルームに流出させることはない。

【００１７】 このように、歩行通路方式によれば、自然的姿勢のまま効果的な除塵を行なう ことができる。そして又、少なくとも出口エリア３ａ部分をエアカーテン作用を 利用したダウンフローによる層流エアゾーンとすることで、エアシャワーで除去 された浮遊する塵埃がクリーンルームに流出することを防止することができる。 この歩行通路６による除塵の際、歩行者を歩行速度案内ランプ２２で誘導する ようにすれば、クリーンルームの清浄度に応じた除塵に対応することができる。 これによれば、歩行速度の個人差を均等化できるので、除塵効果を定性的に得る ことが可能となる。

【００１８】 尚、上記実施例においては、歩行通路にエアシャワー機構とエアカーテン機構 を交互に設けることで説明した。しかしながら、少なくとも出口エリアにエアカ ーテン機構による層流エアゾーンを設ければ、他はエアシャワー機構でもよいも のである。エアシャワー利用位置は歩行移動により変わるので、浮遊塵埃の再付 着を防止でき、所期目的を十分に達成することができる。 又、歩行通路においても、実施例では略Ｕ字状に形成したものを説明したが、 これに限るものではない。例えば略Ｌ字状等のように、歩行向きが一旦変わる折 れ曲り路を設けた通路形式であればよい。この通路形式は、クリーンルームの間 取りとか設置場所の形態等により決定すればよい。

【００１９】

【考案の効果】

以上詳細に述べてきた通り、本考案によれば、クリーンルーム前室における除 塵は自然的歩行動作のなかで移動しながら行なうので、順次所要間隔で連続して 入室することができる。これにより従来の如き待機ロス時間を解消して、効率の よい利用ができる。 又、歩行通路は単純な直線路ではなく、途中に折れ曲り路を設けたので、歩行 向きを変えた際に、エアシャワーの吹き付け位置を変化させることができる。こ れにより、歩行通路を歩行するだけで、歩行動作による姿勢変化とも相まってエ アシャワーの吹き付け位置が変化し、即ち人体等に対し万遍なく且つ効果的に除 塵を行うことができる。 更に又、本考案においては歩行通路の出口エリアにダウンフローによる層流エ アゾーンを設けている。従って、クリーンルーム前室からクリーンルームに移る 際に、エアシャワーで除去され浮遊している塵埃はこのエアカーテン作用で遮断 し、又グレーチング部を介して出口エリア外に排出することができる。これによ り、クリーンルーム前室の空気をクリーンルームに流出させることがなく、クリ ーンルームの清浄管理を一層容易にすることができる。 この歩行通路方式においては、歩行通路に歩行速度案内ランプを設けて、入室 者の歩行速度を案内するようにすれば、クリーンルームの清浄度に応じた除塵を 一層確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案クリーンルーム前室の平面構成図であ
る。

【図２】本考案クリーンルーム前室の配置構成を説明す
る断面側面図である。

【図３】本考案クリーンルーム前室の歩行通路側壁の構
成形態を示す説明図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム前室 ２ 入口 ３ 出口 ３ａ 出口エリア ６ 歩行通路 ６ａ 入口側通路 ６ｂ 出口側通路 ６ｃ 折れ曲り路 ７，９ 側壁 １０ エア吹き出
しノズル １３ エアシャワー用ブロア １６ 加圧ブロア １７ グレーチング ２０ エアカーテ
ン用ブロア ２２ 歩行速度案内ランプ ７１，９１ エア
シャワー機構 ７１ａ〜７１ｃ，９１ａ〜９１ｇ エアシャワーユニッ
ト ７２，９２ エアカーテン機構

フロントページの続き (72)考案者 金子 元英 東京都港区六本木６丁目３番18号 第一地 所麻布ビル内 近藤工業株式会社内 (72)考案者 中島 孝幸 東京都港区六本木６丁目３番18号 第一地 所麻布ビル内 近藤工業株式会社内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームへの入室前に身体等の付
   着塵埃を除去する為に利用するエアシャワー機構を備え
   た室であって、 側壁にエアシャワー用のエア吹き出しノズルを設けた歩
   行通路を形成し、 この歩行通路を折れ曲り状に形成すると共に、 歩行通路の出口エリアにダウンフローによる層流エアゾ
   ーンを設けてなるクリーンルーム前室において、 前記歩行通路には、順次点滅して歩行速度を案内する為
   のランプが該通路に沿って一列状に適宜数設けられたこ
   とを特徴とするクリーンルーム前室。