JPS60218546A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS60218546A JPS60218546A JP59072850A JP7285084A JPS60218546A JP S60218546 A JPS60218546 A JP S60218546A JP 59072850 A JP59072850 A JP 59072850A JP 7285084 A JP7285084 A JP 7285084A JP S60218546 A JPS60218546 A JP S60218546A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- stairs
- space
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は複数階にわたって形成したクリーンルームに関
するものである。
するものである。
半導体装置の生産規模が年々拡大される中で、その生産
工場としてのクリーンルームにも複数階建のものが多く
建設されてきている。しかしながら、これまでのこの種
のクリーンルームは、建家の各階毎に独立してクリーン
ルーム乞構成したものであり、各階を結ぶ階段は特にク
リーン対策は施されていない。このため、作業者が複数
階のクリーンルーム間で移動する場合には、一つクリー
ンルームを出る際に防塵服を通常作業服に着替え、階段
を通って他のクリーンルームに入るときには、再び通常
作業服を防塵服に着替えかつエアシャワー’に浴びて除
塵を行なう必要がある。このため、クリーンルーム間で
の移動が面倒であり、作業効率の低下を生ずると共にク
リーンルーム内における空気清浄度を向上する上からも
好ましくない。
工場としてのクリーンルームにも複数階建のものが多く
建設されてきている。しかしながら、これまでのこの種
のクリーンルームは、建家の各階毎に独立してクリーン
ルーム乞構成したものであり、各階を結ぶ階段は特にク
リーン対策は施されていない。このため、作業者が複数
階のクリーンルーム間で移動する場合には、一つクリー
ンルームを出る際に防塵服を通常作業服に着替え、階段
を通って他のクリーンルームに入るときには、再び通常
作業服を防塵服に着替えかつエアシャワー’に浴びて除
塵を行なう必要がある。このため、クリーンルーム間で
の移動が面倒であり、作業効率の低下を生ずると共にク
リーンルーム内における空気清浄度を向上する上からも
好ましくない。
更に、各階にエアシャワー乞設備するために設備費が高
くつき、かつクリーンルームとしての面積の低下を生ず
ることになる。
くつき、かつクリーンルームとしての面積の低下を生ず
ることになる。
一方、従来のクリーンルームは、室内の空気ｔ循環させ
て空調や除塵を行なっており、しかも近年ではダウンフ
ロ一式の構成のものが主流Ｚ占めている（電子材料１９
８１年８月号、工業調査会発行、昭和５６年８月１日発
行、Ｐ２２〜Ｐ３５）。
て空調や除塵を行なっており、しかも近年ではダウンフ
ロ一式の構成のものが主流Ｚ占めている（電子材料１９
８１年８月号、工業調査会発行、昭和５６年８月１日発
行、Ｐ２２〜Ｐ３５）。
ところが、このダウンフロ一式のものは清浄化の点では
優れているが、室内の空気を一括して循環空調している
ため、室内の一部で悪臭や有害ガスが発生した場合にこ
れがクリーンルーム内全体に広がるおそれがある。また
、新鮮空気との混合比も少ないために、長時間にわたっ
て臭いやガスが室内に残ることもあるという問題がある
ことが、本発明者によって明らかにされた。
優れているが、室内の空気を一括して循環空調している
ため、室内の一部で悪臭や有害ガスが発生した場合にこ
れがクリーンルーム内全体に広がるおそれがある。また
、新鮮空気との混合比も少ないために、長時間にわたっ
て臭いやガスが室内に残ることもあるという問題がある
ことが、本発明者によって明らかにされた。
本発明の目的は複数階にわたるクリーンルーム間におけ
る移動を容易なものにすると共に各クリーンルームにお
ける空気清浄度を高いものに保ち、かつクリーンルーム
のスペースの低減ン図ることのできるクリーンルームを
提供することにある。
る移動を容易なものにすると共に各クリーンルームにお
ける空気清浄度を高いものに保ち、かつクリーンルーム
のスペースの低減ン図ることのできるクリーンルームを
提供することにある。
また本発明の他の目的はクリーンルーム内全体への悪臭
やガスの拡散を防止することのできるクリーンルームを
提供することにある。
やガスの拡散を防止することのできるクリーンルームを
提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、複数階の各クリーンルームを結ぶ階段ｔエア
シャワー構造として構成することにより、各階のクリー
ンルーム間の移動に際して作業服の着替を不要としかつ
階段を通れば必然的にエアシャワーを浴びることができ
、しかもエアシャワーを各階部に設ける必要がないので
クリーンルームのスペースの低減を図ることができる。
シャワー構造として構成することにより、各階のクリー
ンルーム間の移動に際して作業服の着替を不要としかつ
階段を通れば必然的にエアシャワーを浴びることができ
、しかもエアシャワーを各階部に設ける必要がないので
クリーンルームのスペースの低減を図ることができる。
また、空調循環系の一部に防臭フィルタを設置すること
によりクリーンルーム全体への悪臭やガスの拡散を防止
することができる。
によりクリーンルーム全体への悪臭やガスの拡散を防止
することができる。
第１図は本発明の一実施例の断面構成図、第２図はその
一部の拡大図である。図示のように、クリーンルーム１
は複数階の建家２の各階部々に個別クリーンルーム３を
形成し、各階は建家２の一側部に設けた階段４によって
連絡して作業者がこの階段４夕通って各階へ移動できる
ようにしている。
一部の拡大図である。図示のように、クリーンルーム１
は複数階の建家２の各階部々に個別クリーンルーム３を
形成し、各階は建家２の一側部に設けた階段４によって
連絡して作業者がこの階段４夕通って各階へ移動できる
ようにしている。
個別クリーンルーム３はすのこ状床５および天井板６と
で上下方向に天井空間７、室空間８、床下空間９に区画
され、この室空間８内に種々の装置を設備しかつ作業者
が作業を行なうようになっている。そして、前記天井空
間７の略全域には、フィルタユニット１０を配設し、少
なくともこのフィルタユニット１０直下の空間を高清浄
域に保っている。即チ、フィルタユニッ）１０はフィル
タ１１およびファン１２ケ有し、室空間８の空気ｔミキ
シングチャンバ１３内に吸入してここで天井空間７の空
気と混合させ、その上でフィルタ１１を通して室空間８
へ吹き下げ、所謂ダウンフローを床下空間９に向けて生
起させる。１４はこのダウンフロー暑確保するための隔
壁である。
で上下方向に天井空間７、室空間８、床下空間９に区画
され、この室空間８内に種々の装置を設備しかつ作業者
が作業を行なうようになっている。そして、前記天井空
間７の略全域には、フィルタユニット１０を配設し、少
なくともこのフィルタユニット１０直下の空間を高清浄
域に保っている。即チ、フィルタユニッ）１０はフィル
タ１１およびファン１２ケ有し、室空間８の空気ｔミキ
シングチャンバ１３内に吸入してここで天井空間７の空
気と混合させ、その上でフィルタ１１を通して室空間８
へ吹き下げ、所謂ダウンフローを床下空間９に向けて生
起させる。１４はこのダウンフロー暑確保するための隔
壁である。
一方、前記天井空間７と床下空間９とは循環通路１５ン
介して連通し、この循環通路１５内には温湿度を調整す
る空調器１６と、空気中の臭いやガス分を吸収する防臭
フィルタ１７とを介装している。そして、床下空間９の
空気を空調器１６および防臭フィルタｌ’１通して空調
、脱臭した上で天井空間７に強制循環している。空調器
１６では若干の新気を混入させることができる。また、
防臭フィルタ１７には例えば活生炭が利用される。
介して連通し、この循環通路１５内には温湿度を調整す
る空調器１６と、空気中の臭いやガス分を吸収する防臭
フィルタ１７とを介装している。そして、床下空間９の
空気を空調器１６および防臭フィルタｌ’１通して空調
、脱臭した上で天井空間７に強制循環している。空調器
１６では若干の新気を混入させることができる。また、
防臭フィルタ１７には例えば活生炭が利用される。
他方、前記階段４は、第２図に拡大図示するように、内
部を中空に形成した上でこれＹ上下に区画し、上側のリ
ターン通路１８と、下側の供給通路１９とを形成する。
部を中空に形成した上でこれＹ上下に区画し、上側のリ
ターン通路１８と、下側の供給通路１９とを形成する。
リターン通路１８の上面、即ち階段の足踏み部位２０は
、すのこ状に形成し、建家２の外壁に沿設したリターン
集合路２１に連通している。また、供給通路１９は下側
面に多数個のエアノズル（フード）２２を開設している
。
、すのこ状に形成し、建家２の外壁に沿設したリターン
集合路２１に連通している。また、供給通路１９は下側
面に多数個のエアノズル（フード）２２を開設している
。
そして、この供給通路１９を建家２上部に設けた清浄空
気ユニット２３に連通することにより、清浄空気は各供
給通路１’ｌ−通流しながらエアノズル２２から下方へ
吹き下され、ダウンフローとして階段内を通流した後に
リターン通路１８へ吸入され、リターン集合路２１へ通
流される。これにより、階段４の空間は全体がエアシャ
ワーとして構成されることになる。清浄空気ユニット２
３は、前記リターン集合路２１内の空気を清浄化して供
給通路１９に再循させるもので、その内部構造は大略前
記フィルタユニット１０と同様である。
気ユニット２３に連通することにより、清浄空気は各供
給通路１’ｌ−通流しながらエアノズル２２から下方へ
吹き下され、ダウンフローとして階段内を通流した後に
リターン通路１８へ吸入され、リターン集合路２１へ通
流される。これにより、階段４の空間は全体がエアシャ
ワーとして構成されることになる。清浄空気ユニット２
３は、前記リターン集合路２１内の空気を清浄化して供
給通路１９に再循させるもので、その内部構造は大略前
記フィルタユニット１０と同様である。
以上の構成によれば、個別クリーンルーム３内では、天
井空間７のフィルタユニット１０かう吹き出された清浄
空気がダウン７０−となワて室空間８を通流し、再びフ
ァン１２によって吸入される小循環流を形成し、室空間
８内を清浄化する。
井空間７のフィルタユニット１０かう吹き出された清浄
空気がダウン７０−となワて室空間８を通流し、再びフ
ァン１２によって吸入される小循環流を形成し、室空間
８内を清浄化する。
一方、ダウンフローの一部は床下空間９に通流し、循環
通路１５を通って空調器１６および防臭フィルタ１７に
より空調かつ脱臭されて再び天井空間７に通流され、大
循環流を形成する。これにより、室空間８は清浄かつ空
調された状態に保たれ、しかも一部に悪臭が発生しても
室空間全体に拡散されることはない。
通路１５を通って空調器１６および防臭フィルタ１７に
より空調かつ脱臭されて再び天井空間７に通流され、大
循環流を形成する。これにより、室空間８は清浄かつ空
調された状態に保たれ、しかも一部に悪臭が発生しても
室空間全体に拡散されることはない。
他方、作業者が各階の個別クリーンルーム３間を移動す
る場合には、防塵服のままで階段４を通って移動できる
。即ち、階段４は中空に形成した供給通路１９からリタ
ーン通路１８に清浄空気をダウン７０−させたシャワー
構造としているため、階段を通る作業者に塵が付着する
ことはなく、むしろ逆に除塵されることになる。これに
より、作業者は着替える面倒はなくなり作業の効率が向
上する。一方、これによってもクリーンルーム内は清浄
に保たれる。また、各階の個別クリーンルーム内には個
々にエアシャワーを設ける必要がないのでスペース的に
も有利になる。
る場合には、防塵服のままで階段４を通って移動できる
。即ち、階段４は中空に形成した供給通路１９からリタ
ーン通路１８に清浄空気をダウン７０−させたシャワー
構造としているため、階段を通る作業者に塵が付着する
ことはなく、むしろ逆に除塵されることになる。これに
より、作業者は着替える面倒はなくなり作業の効率が向
上する。一方、これによってもクリーンルーム内は清浄
に保たれる。また、各階の個別クリーンルーム内には個
々にエアシャワーを設ける必要がないのでスペース的に
も有利になる。
なお、階段４内に形成する供給通路とリターン通路は、
第３図に示すように階段４Ａ’に幅方向に区画して供給
通路１９Ａとリターン通路１８Ａとｔ′９．互に配列す
る構造であってもよい。図中、２ＯＡはすのこ状板、２
２Ａはノズルである。
第３図に示すように階段４Ａ’に幅方向に区画して供給
通路１９Ａとリターン通路１８Ａとｔ′９．互に配列す
る構造であってもよい。図中、２ＯＡはすのこ状板、２
２Ａはノズルである。
（１）複数階にわたって形成したクリーンルームを夫々
連絡する階段をエアシャワー構造としているので、作業
者が各階のクリーンルーム間を移動スる場合に防塵服の
ままでよく、着替えの面倒がなくなると共に作業効率を
向上できる。
連絡する階段をエアシャワー構造としているので、作業
者が各階のクリーンルーム間を移動スる場合に防塵服の
ままでよく、着替えの面倒がなくなると共に作業効率を
向上できる。
（２）階段がエアシャワーとして構成されているので、
作業者が階段を通過している間中エアシャワーを浴びる
ことになり、充分な除塵を可能にして各階のクリーンル
ームの清浄度χ高いものに確保できる。
作業者が階段を通過している間中エアシャワーを浴びる
ことになり、充分な除塵を可能にして各階のクリーンル
ームの清浄度χ高いものに確保できる。
（３） ８階の個別クリーンルームの夫々にエアシャワ
ーを設ける必要がないので、クリーンルームの有効利用
面積ン増大し、工場設備スペースを向上できる。
ーを設ける必要がないので、クリーンルームの有効利用
面積ン増大し、工場設備スペースを向上できる。
（４）階段を中空に形成して内部に空気通路を形成して
いるので、階段の通行スペース、特に上下スペースを低
減することはない。
いるので、階段の通行スペース、特に上下スペースを低
減することはない。
（５） りＩ）−ンｙｖ−ムの空調循環路に防臭フィル
タを介装しているので、クリーンルーム内に悪臭やガス
が拡散されることはない。
タを介装しているので、クリーンルーム内に悪臭やガス
が拡散されることはない。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、防臭フィル
タはフィルタユニット内に設けてもよく、或いはすのこ
状床に沿うように設けてもよい。また、階段と個別クリ
ーンルームとの間に扉を設けることは好ましいことであ
る。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、防臭フィル
タはフィルタユニット内に設けてもよく、或いはすのこ
状床に沿うように設けてもよい。また、階段と個別クリ
ーンルームとの間に扉を設けることは好ましいことであ
る。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の生産工
場としてのクリーンルームに適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではなく、たとえば精密
工業、薬品工業静穏々の分野のクリーンルームとして適
用できる。
をその背景となった利用分野である半導体装置の生産工
場としてのクリーンルームに適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではなく、たとえば精密
工業、薬品工業静穏々の分野のクリーンルームとして適
用できる。
第１図は本発明の一実施例の全体構成の断面図、第２図
は要部の拡大断面図、 第３図は変形例の概略斜視図である□ １・・・クリーンルーム、２・・・建家、３・・・個別
クリーンルーム、４・・・階段、７・・・天井空間、８
・・・室空間、９・・・床下空間、１ｏ・・・フィルタ
ユニット、１５・・・循環通路、１６・・・空調器、１
７・・・防臭フィルタ、１８・・・リターン通路、１９
・・・供給通路、２２・・・ノスル、２３・・・清浄空
気ユニット。 代理人 弁理士 高 橋 明 夫７．。 第 １ 図 ３
は要部の拡大断面図、 第３図は変形例の概略斜視図である□ １・・・クリーンルーム、２・・・建家、３・・・個別
クリーンルーム、４・・・階段、７・・・天井空間、８
・・・室空間、９・・・床下空間、１ｏ・・・フィルタ
ユニット、１５・・・循環通路、１６・・・空調器、１
７・・・防臭フィルタ、１８・・・リターン通路、１９
・・・供給通路、２２・・・ノスル、２３・・・清浄空
気ユニット。 代理人 弁理士 高 橋 明 夫７．。 第 １ 図 ３
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数階の娼家の各階に個別クリーンルームを形成し
、各階を階段で連絡してなるクリーンルームにおいて、
前記階段をエアシャワー構造とし、この階段を介して前
記各階の個別クリーンルーム乞一体の室に構成したこと
ｔ特徴とするクリーンルーム。 ２、階段の内部に空気通路ビ形成し、この通路を通流す
る清浄空気を階段下部からシャワー状に噴出させてなる
特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。 ３、クリーンルームと空調器を連通する空気循環。 路の一部に防臭フィルタを介装してなる特許請求の範囲
第１項又は第２項記載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072850A JPS60218546A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072850A JPS60218546A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218546A true JPS60218546A (ja) | 1985-11-01 |
| JPH0549899B2 JPH0549899B2 (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=13501261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59072850A Granted JPS60218546A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218546A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62206333A (ja) * | 1986-03-04 | 1987-09-10 | Shinko Kogyo Kk | エアシヤワ−室 |
| JPS63118450A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-23 | 鹿島建設株式会社 | クリ−ンル−ム用階段室 |
| JP2002213785A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム階段の空調方式 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840440A (ja) * | 1981-09-03 | 1983-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | 階段型エアシヤワ装置 |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP59072850A patent/JPS60218546A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840440A (ja) * | 1981-09-03 | 1983-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | 階段型エアシヤワ装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62206333A (ja) * | 1986-03-04 | 1987-09-10 | Shinko Kogyo Kk | エアシヤワ−室 |
| JPS63118450A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-23 | 鹿島建設株式会社 | クリ−ンル−ム用階段室 |
| JP2002213785A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム階段の空調方式 |
| JP4707242B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-06-22 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0549899B2 (ja) | 1993-07-27 |
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