JPH0549899B2 - - Google Patents
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- JPH0549899B2 JPH0549899B2 JP59072850A JP7285084A JPH0549899B2 JP H0549899 B2 JPH0549899 B2 JP H0549899B2 JP 59072850 A JP59072850 A JP 59072850A JP 7285084 A JP7285084 A JP 7285084A JP H0549899 B2 JPH0549899 B2 JP H0549899B2
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- clean room
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- 230000001877 deodorizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 235000019645 odor Nutrition 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は複数階にわたつて形成したクリーンル
ームに関するものである。
ームに関するものである。
半導体装置の生産規模が年々拡大される中で、
その生産工場としてのクリーンルームにも複数階
建ものが多く建設されてきている。しかしなが
ら、これまでのこの種のクリーンルームは、建家
の各階毎に独立してクリーンルームを構成したも
のであり、各階を結ぶ階段は特にクリーン対策は
施されていない。このため、作業者が複数階のク
リーンルーム間で移動する場合には、クリーンル
ームを出る際に防塵服を通常作業服に着替え、階
段を通つて他のクリーンルームに入るときには、
再び通常作業服を防塵服に着替えかつエアシヤワ
ーを浴びて除塵を行なう必要がある。このため、
クリーンルーム間での移動が面倒であり、作業効
率の低下を生ずると共にクリーンルーム内におけ
る空気清浄度を向上する上からも好ましくない。
更に、各階にエアーシヤワーを設備するため設備
費が高くつき、かつクリーンルームとしての面積
の低下を生ずることになる。
その生産工場としてのクリーンルームにも複数階
建ものが多く建設されてきている。しかしなが
ら、これまでのこの種のクリーンルームは、建家
の各階毎に独立してクリーンルームを構成したも
のであり、各階を結ぶ階段は特にクリーン対策は
施されていない。このため、作業者が複数階のク
リーンルーム間で移動する場合には、クリーンル
ームを出る際に防塵服を通常作業服に着替え、階
段を通つて他のクリーンルームに入るときには、
再び通常作業服を防塵服に着替えかつエアシヤワ
ーを浴びて除塵を行なう必要がある。このため、
クリーンルーム間での移動が面倒であり、作業効
率の低下を生ずると共にクリーンルーム内におけ
る空気清浄度を向上する上からも好ましくない。
更に、各階にエアーシヤワーを設備するため設備
費が高くつき、かつクリーンルームとしての面積
の低下を生ずることになる。
一方、従来のクリーンルームは、室内の空気を
循環させて空調や除塵を行なつており、しかも近
年ではダウンフロー式の構成のものが主流を占め
ている（電子材料1981年８月号、工業調査会発
行、昭和56年８月１日発行、P22〜P35）。ところ
が、このダウンフロー式のものは清浄化の点では
優れているが、室内の空気を一括して循環空調し
ているため、室内の一部で悪臭や有害ガスが発生
した場合にこれがクリーンルーム内全体に広がる
おそれがある。また、新鮮空気との混合比も少な
いために、長時間にわたつて臭いやガスが室内に
残ることもあるという問題があることが、本発明
者によつて明らかにされた。
循環させて空調や除塵を行なつており、しかも近
年ではダウンフロー式の構成のものが主流を占め
ている（電子材料1981年８月号、工業調査会発
行、昭和56年８月１日発行、P22〜P35）。ところ
が、このダウンフロー式のものは清浄化の点では
優れているが、室内の空気を一括して循環空調し
ているため、室内の一部で悪臭や有害ガスが発生
した場合にこれがクリーンルーム内全体に広がる
おそれがある。また、新鮮空気との混合比も少な
いために、長時間にわたつて臭いやガスが室内に
残ることもあるという問題があることが、本発明
者によつて明らかにされた。
本発明の目的は複数階にわたるクリーンルーム
間における移動を容易なものにすると共に各クリ
ーンルームにおける空気清浄度を高いものに保
ち、かつクリーンルームのスペースの低減を図る
ことのできるクリーンルームを提供することにあ
る。
間における移動を容易なものにすると共に各クリ
ーンルームにおける空気清浄度を高いものに保
ち、かつクリーンルームのスペースの低減を図る
ことのできるクリーンルームを提供することにあ
る。
また本発明の他の目的はクリーンルーム内全体
への悪臭やガスの拡散を防止することのできるク
リーンルームを提供することにある。
への悪臭やガスの拡散を防止することのできるク
リーンルームを提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な
特徴は、本明細書の記述および添付図面からあき
らかになるであろう。
特徴は、本明細書の記述および添付図面からあき
らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
のの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
すなわち、複数階の各クリーンルームを結ぶ階
段をエアシヤワー構造として構成することによ
り、各階のクリーンルーム間の移動に際して作業
服の着替を不要としかつ階段を通れば必然的にエ
アシヤワーを浴びることができ、しかもエアシヤ
ワーを各階部に設ける必要がないのでクリーンル
ームのスペースの低減を図ることができる。
段をエアシヤワー構造として構成することによ
り、各階のクリーンルーム間の移動に際して作業
服の着替を不要としかつ階段を通れば必然的にエ
アシヤワーを浴びることができ、しかもエアシヤ
ワーを各階部に設ける必要がないのでクリーンル
ームのスペースの低減を図ることができる。
また、空調循環系の一部に防臭フイルムを設置
することによりクリーンルーム全体への悪臭やガ
スの拡散を防止することができる。
することによりクリーンルーム全体への悪臭やガ
スの拡散を防止することができる。
第１図は本発明の一実施例の断面構成図、第２
図はその一部の拡大図である。図示のように、ク
リーンルーム１は複数階の建家２の各階夫々に個
別クリーンルーム３を形成し、各階は建家２の一
側部に設けた階段４によつて連絡して作業者がこ
の階段４を通つて各階移動できるようにしてい
る。
図はその一部の拡大図である。図示のように、ク
リーンルーム１は複数階の建家２の各階夫々に個
別クリーンルーム３を形成し、各階は建家２の一
側部に設けた階段４によつて連絡して作業者がこ
の階段４を通つて各階移動できるようにしてい
る。
個別クリーンルーム３はすのこ状板５および天
井板６とで上下方向に天井空間７、室空間８、床
下空間９に区画され、この室空間８内に種々の装
置を設備しかつ作業者が作業を行なうようになつ
ている。そして、前記天井空間７の略全域には、
フイルタユニツト１０を配設し、少なくともこの
フイルタユニツト１０直下の空間を高清浄域に保
つている。即ち、フイルタユニツト１０はフイル
タ１１およびフアン１２を有し、室空間８の空気
をミキシングチヤンバ１３内に吸入してここで天
井空間７の空気と混合させ、その上でフイルタ１
１を通して室空間８へ吹き下げ、所謂ダウンフロ
ーを床下空間９に向けて生起させる。１４はこの
ダウンフローを確保するための隔壁である。
井板６とで上下方向に天井空間７、室空間８、床
下空間９に区画され、この室空間８内に種々の装
置を設備しかつ作業者が作業を行なうようになつ
ている。そして、前記天井空間７の略全域には、
フイルタユニツト１０を配設し、少なくともこの
フイルタユニツト１０直下の空間を高清浄域に保
つている。即ち、フイルタユニツト１０はフイル
タ１１およびフアン１２を有し、室空間８の空気
をミキシングチヤンバ１３内に吸入してここで天
井空間７の空気と混合させ、その上でフイルタ１
１を通して室空間８へ吹き下げ、所謂ダウンフロ
ーを床下空間９に向けて生起させる。１４はこの
ダウンフローを確保するための隔壁である。
一方、前記天井空間７と床下空間９とは循環通
路１５を介して連通し、この循環通路１５内には
温湿度を調整する空調器１６と、空気中の臭いや
ガス分を吸収する防臭フイルタ１７とを介装して
いる。そして、床下空間９の空気を空調器１６お
よび防臭フイルタ１７を通して空調、脱臭した上
で天井空間７に強制循環している。空調器１６で
は若干の新気を混入させることができる。また、
防臭フイルタ１７には例えば活性炭が利用され
る。
路１５を介して連通し、この循環通路１５内には
温湿度を調整する空調器１６と、空気中の臭いや
ガス分を吸収する防臭フイルタ１７とを介装して
いる。そして、床下空間９の空気を空調器１６お
よび防臭フイルタ１７を通して空調、脱臭した上
で天井空間７に強制循環している。空調器１６で
は若干の新気を混入させることができる。また、
防臭フイルタ１７には例えば活性炭が利用され
る。
他方、前記階段４は、第２図に拡大図示するよ
うに、内部を中空に形成した上でこれを上下に区
画し、上側のリターン通路１８と、下側の供給通
路１９とを形成する。リターン通路１８の上面、
即ち階段の足踏み部位２０は、すのこ状に形成
し、建家２の外壁に沿設したリターン集合路２１
に連通している。また、供給通路１９は下面に多
数個のエアノズル（フード）２２を開設してい
る。そして、この供給通路１９を建家２上部に設
けた清浄空気ユニツト２３に連通することによ
り、清浄空気は各供給通路１９を通流しながらエ
アノズル２２から下方へ吹き下され、ダウンフロ
ーとして階段間の空間を通流した後にリターン通
路１８へ吸入され、リターン集合路２１へ通流さ
れる。これにより、階段４の空間は全体がエアシ
ヤワーとして構成されることになる。清浄空気ユ
ニツト２３は、前記リターン集合路２１内の空気
を清浄化して供給通路１９に再循させるもので、
その内部構造は大略前記フイルタユニツト１０と
同様である。
うに、内部を中空に形成した上でこれを上下に区
画し、上側のリターン通路１８と、下側の供給通
路１９とを形成する。リターン通路１８の上面、
即ち階段の足踏み部位２０は、すのこ状に形成
し、建家２の外壁に沿設したリターン集合路２１
に連通している。また、供給通路１９は下面に多
数個のエアノズル（フード）２２を開設してい
る。そして、この供給通路１９を建家２上部に設
けた清浄空気ユニツト２３に連通することによ
り、清浄空気は各供給通路１９を通流しながらエ
アノズル２２から下方へ吹き下され、ダウンフロ
ーとして階段間の空間を通流した後にリターン通
路１８へ吸入され、リターン集合路２１へ通流さ
れる。これにより、階段４の空間は全体がエアシ
ヤワーとして構成されることになる。清浄空気ユ
ニツト２３は、前記リターン集合路２１内の空気
を清浄化して供給通路１９に再循させるもので、
その内部構造は大略前記フイルタユニツト１０と
同様である。
以上の構成によれば、個別クリーンルーム３内
では、天井空間７のフイルタユニツト１０から吹
き出された清浄空気がダウンフローとなつて室空
間８を通流し、再びフアン１２によつて吸入され
る小循環流を形成し、室空間８内を清浄化する。
一方、ダウンフローの一部は床下空間９に通流
し、循環通路１５を通つて空調器１６および防臭
フイルタ１７により空調かつ脱臭されて再び天井
空間７に通流され、大循環流を形成する。これに
より、室空間８は清浄かつ空調された状態に保た
れ、しかも一部に悪臭が発生しても室空間全体に
拡散されることはない。
では、天井空間７のフイルタユニツト１０から吹
き出された清浄空気がダウンフローとなつて室空
間８を通流し、再びフアン１２によつて吸入され
る小循環流を形成し、室空間８内を清浄化する。
一方、ダウンフローの一部は床下空間９に通流
し、循環通路１５を通つて空調器１６および防臭
フイルタ１７により空調かつ脱臭されて再び天井
空間７に通流され、大循環流を形成する。これに
より、室空間８は清浄かつ空調された状態に保た
れ、しかも一部に悪臭が発生しても室空間全体に
拡散されることはない。
他方、作業者が各階の個別クリーンルーム３間
を移動する場合には、防塵服のままで階段４を通
つて移動できる。即ち、階段４は中空に形成した
供給通路１９からリター通路１８に清浄空気をダ
ウンフローさせたシヤワー構造としているため、
階段を通る作業者に塵が付着することはなく、む
しろ逆に除塵されることになる。これにより、作
業者は着替える面倒はなくなり作業の効率が向上
する。一方、これによつてもクリーンルーム内は
清浄に保たれる。また、各階の個別クリーンルー
ム内には個々にエアシヤワーを設ける必要がない
のでスペース的にも有利になる。
を移動する場合には、防塵服のままで階段４を通
つて移動できる。即ち、階段４は中空に形成した
供給通路１９からリター通路１８に清浄空気をダ
ウンフローさせたシヤワー構造としているため、
階段を通る作業者に塵が付着することはなく、む
しろ逆に除塵されることになる。これにより、作
業者は着替える面倒はなくなり作業の効率が向上
する。一方、これによつてもクリーンルーム内は
清浄に保たれる。また、各階の個別クリーンルー
ム内には個々にエアシヤワーを設ける必要がない
のでスペース的にも有利になる。
なお、階段４内に形成する供給通路とリターン
通路は、第３図に示すように階段４Ａを幅方向に
区画して供給通路１９Ａとリターン通路１８Ａと
を交互に配列する構造であつてもよい。図中、２
０Ａはすのこ状板、２２Ａはノズルである。
通路は、第３図に示すように階段４Ａを幅方向に
区画して供給通路１９Ａとリターン通路１８Ａと
を交互に配列する構造であつてもよい。図中、２
０Ａはすのこ状板、２２Ａはノズルである。
(1) 複数階にわたつて形成したクリーンルームを
夫々連絡する階段をエアシヤワー構造としてい
るので、作業者が各階のクリーンルーム間を移
動する場合に防塵服のままでよく、着替えの面
倒がなくなると共に作業効率を向上できる。
夫々連絡する階段をエアシヤワー構造としてい
るので、作業者が各階のクリーンルーム間を移
動する場合に防塵服のままでよく、着替えの面
倒がなくなると共に作業効率を向上できる。
(2) 階段がエアシヤワーとして構成されているの
で、作業者が階段を通過している間中エアシヤ
ワーを浴びることになり、充分な除塵を可能に
して各階のクリーンルームの清浄度を高いもの
に確保できる。
で、作業者が階段を通過している間中エアシヤ
ワーを浴びることになり、充分な除塵を可能に
して各階のクリーンルームの清浄度を高いもの
に確保できる。
(3) 各階の個別クリーンルームの夫々にエアシヤ
ワーを設ける必要がないので、クリーンルーム
の有効利用面積を増大し、工場設備スペースを
向上できる。
ワーを設ける必要がないので、クリーンルーム
の有効利用面積を増大し、工場設備スペースを
向上できる。
(4) 階段を中空に形成して内部に空気通路を形成
しているので、階段の通行スペース、特に上下
スペースを低減することはない。
しているので、階段の通行スペース、特に上下
スペースを低減することはない。
(5) クリーンルームの空調循環路に防臭フイルタ
を介装しているので、クリーンルーム内に悪臭
やガスが拡散されることはない。
を介装しているので、クリーンルーム内に悪臭
やガスが拡散されることはない。
以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
もとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。たとえば、防臭フイルタはフイルタユニツ
ト内に設けてもよく、或いはすのこ状床に沿うよ
うに設けてもよい。また、階段と個別クリーンル
ームとの間に扉を設けることは好ましいことであ
る。
もとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。たとえば、防臭フイルタはフイルタユニツ
ト内に設けてもよく、或いはすのこ状床に沿うよ
うに設けてもよい。また、階段と個別クリーンル
ームとの間に扉を設けることは好ましいことであ
る。
以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野である半導
体装置の生産工場としてのクリーンルームに適用
した場合について説明したが、それに限定される
ものではなく、たとえば精密工業、楽品工業等
種々の分野のクリーンルームとして適用できる。
れた発明をその背景となつた利用分野である半導
体装置の生産工場としてのクリーンルームに適用
した場合について説明したが、それに限定される
ものではなく、たとえば精密工業、楽品工業等
種々の分野のクリーンルームとして適用できる。
第１図は本発明の一実施例の全体構成の断面
図、第２図は要部の拡大断面図、第３図は変形例
の概略斜視図である。 １……クリーンルーム、２……建家、３……個
別クリーンルーム、４……階段、７……天井空
間、８……室空間、９……床下空間、１０……フ
イルタユニツト、１５……循環通路、１６……空
調器、１７……防臭フイルタ、１８……リターン
通路、１９……供給通路、２２……ノズル、２３
……清浄空気ユニツト。
図、第２図は要部の拡大断面図、第３図は変形例
の概略斜視図である。 １……クリーンルーム、２……建家、３……個
別クリーンルーム、４……階段、７……天井空
間、８……室空間、９……床下空間、１０……フ
イルタユニツト、１５……循環通路、１６……空
調器、１７……防臭フイルタ、１８……リターン
通路、１９……供給通路、２２……ノズル、２３
……清浄空気ユニツト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 複数階の建家の各階に個別クリーンルームを
形成し、各階を階段で連絡してなるクリーンルー
ムにおいて、前記階段を中空に形成し内部をリタ
ーン通路と供給通路とに区画し、供給通路を通流
する清浄空気を、階段下部からシヤワー状に噴出
させ、対面する階段上部からリターン通路へ吸入
してなるエアシヤワー構造とし、この階段を介し
て前記各階の個別クリーンルームを一体の室に構
成したことを特徴とするクリーンルーム。 ２ クリーンルームと空調器を連通する空気循環
路の一部に防臭フイルタを介装してなる特許請求
の範囲第１項記載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072850A JPS60218546A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072850A JPS60218546A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218546A JPS60218546A (ja) | 1985-11-01 |
| JPH0549899B2 true JPH0549899B2 (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=13501261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59072850A Granted JPS60218546A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218546A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62206333A (ja) * | 1986-03-04 | 1987-09-10 | Shinko Kogyo Kk | エアシヤワ−室 |
| JPH0718218B2 (ja) * | 1986-11-04 | 1995-03-01 | 鹿島建設株式会社 | クリ−ンル−ム用階段室 |
| JP4707242B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-06-22 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840440A (ja) * | 1981-09-03 | 1983-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | 階段型エアシヤワ装置 |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP59072850A patent/JPS60218546A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840440A (ja) * | 1981-09-03 | 1983-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | 階段型エアシヤワ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60218546A (ja) | 1985-11-01 |
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